【課題】電極指からバスバー方向への弾性波の漏れを抑制すること。
【解決手段】本発明は、弾性波を反射する弾性波反射領域（２０）を有する圧電基板（１０）と、圧電基板（１０）上に設けられ、弾性波を励振する複数の電極指（１２）と、圧電基板（１０）上に設けられ、複数の電極指（１２）を互いに接続するバスバー（１３）と、バスバー（１３）の少なくとも一部上に接して設けられた第１媒質層（１６ａ）と、を有する。弾性波反射領域（２０）は、複数の電極指（１２）のバスバー（１３）方向にバスバー（１３）に接するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】高周波数帯域において、圧電性基板に水平に対向する電極からなる容量のＱ値が大きい弾性波デバイスおよびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電性基板（１６）と、圧電性基板（１６）上に設けられた弾性波を励振する櫛型電極（１２）および反射電極（Ｒ１）で構成される共振子（１３）と、圧電性基板（１６）上に設けられ、共振子（１３）に並列または直列に接続され、圧電性基板（１６）に水平に対向する櫛型電極型容量（１４）と、を具備し、櫛型電極型容量（１４）を構成する櫛型電極が共振子（１３）を構成する櫛型電極（１２）より圧電性基板（１６）から離れて設けられている弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷ電極面と基板表面とが封止材で汚染されることがなく、信頼性に優れたＳＡＷデバイスを簡便に得ることを可能とする封止フィルムを提供すること。
【解決手段】Ａ層及びＢ層を備え、Ａ層の８０℃以上１５０℃以下の温度範囲における最低ずり粘度が１，０００Ｐａ・ｓ以上５０，０００Ｐａ・ｓ未満であり、Ｂ層の８０℃以上１５０℃以下の温度範囲における最低ずり粘度が５０，０００Ｐａ・ｓ以上であることを特徴とする封止フィルム。 （もっと読む）

【課題】 周波数温度特性に優れた薄膜構造の高結合擬似弾性表面波基板および高周波帯の挿入損失を低下させる弾性表面波機能素子を提供する。
【解決手段】 LiNbO₃基板上にSiO₂膜の薄膜層を形成するとともに、前記LiNbO₃基板の回転Ｙ板のカット角度を−１０度から＋３０度とし、前記薄膜層の膜厚寸法をＨ、前記弾性表面波の動作中心周波数の波長をλとしたときに、Ｈ／λの値を０．１１５から０．３１とした。その結果、レーレー型の弾性表面波よりも早い速度の擬似弾性表面波に対する電気機械結合係数ｋ^２を０．２０以上にでき、かつ周波数温度特性を−３０から＋３０ppm／℃の各範囲とすることができ、電気機械結合係数ｋ^２が大きく、周波数温度特性の優れた機能素子を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 通過帯域近傍のスプリアスの発生を抑制し、小型の弾性表面波装置及び通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、圧電基板１上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って、３個のＩＤＴ電極２〜４，５〜７と、それらの両側にそれぞれ配置された反射器電極８，１０とを有し、不平衡信号端子２１に並列接続された第１，第２の弾性表面波素子１４，１５が伝搬方向に並んで形成されており、第１，第２の弾性表面波素子１４，１５の中央のＩＤＴ電極３，６に平衡信号端子２２，２３が接続されており、第１，第２の弾性表面波素子１４，１５は、それらが隣り合う箇所における反射器電極が共通反射器電極３０からなり、その中央部の電極指ピッチが共通反射器電極３０に隣り合うＩＤＴ電極４，５の電極指ピッチより長く形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スプリアスを抑え、かつ、Ｑ値が高く、さらに減衰量も大きい弾性表面波共振器およびこれを用いた弾性表面波フィルタ、アンテナ共用器を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の弾性表面波共振器は、ニオブ酸リチウムからなる基板１と、この基板１の上面に設けられアルミニウムまたはアルミニウム合金で構成された少なくとも１つの櫛型電極２と、この櫛型電極２を覆うとともに表面に凹凸形状を有する保護膜４とを備え、前記基板１の回転Ｙ板のカット角を０〜＋２５度とし、かつ、前記櫛型電極２の膜厚をｈ、波長をλとしたときに、規格化電極膜厚（ｈ／λ）を７．８〜９．８％としたものである。 （もっと読む）

【課題】温度特性を改善した弾性波デバイスおよびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板（１２）と、圧電基板上に設けられた第１誘電体（２２ａ）と、第１誘電体上に設けられた櫛型電極（１４）および反射電極（１６）と、櫛型電極および反射電極を覆うように設けられた第２誘電体（２４）と、第２誘電体上に設けられた第３誘電体（２６）と、を具備しており、前記第１誘電体は前記圧電基板より誘電率の温度係数が小さい物質であり、前記第３誘電体は前記第２誘電体より音速が速い物質である弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】温度変化による伸縮が十分に抑えられる圧電基板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電基板１は、基材１１と、基材１１の一方の主面上に形成された膜１２とから主に構成されている。基材１１において、膜１２を形成する主面は、粗面化された主面１１ａである。この圧電基板１は、基材１１の線膨張係数よりも小さい線膨張係数を有する材料で構成された膜１２を、粗面化された主面１１ａ上に溶射法により形成することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】温度変化による伸縮が十分に抑えられる圧電基板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電基板１は、基材１１と、基材１１の一方の主面上に形成された膜１２とから主に構成されている。基材１１において、膜１２を形成する主面は、鏡面化された主面１１ａである。この圧電基板１は、基材１１の線膨張係数よりも小さい線膨張係数を有する材料で構成された膜１２を、鏡面化された主面１１ａ上にスラリーを用いたコーティング法により直接形成することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】長期に亘って優れた特性を発揮することができる弾性波デバイスおよび弾性波デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電性を有する圧電体層１３と、圧電体層１３の一方の面上に設けられ、通電により圧電体層１３に弾性振動を励起させる１対の櫛形電極１４ａ、１４ｂと、圧電体層１３および／または１対の櫛形電極１４ａ、１４ｂに接合され、二酸化珪素を主材料として構成された二酸化珪素層１５とを有し、二酸化珪素層１５は、酸素流量比６０％以上の雰囲気中で二酸化珪素のターゲットを用いてスパッタリングを行うことにより形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】 挿入損失劣化を低減し、小型化を実現した弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 第１，第２の弾性表面波共振子１８，１９は、中心共通バスバー電極２９の両側に、中心共通バスバー電極２９により接続されて形成され、中心共通バスバー電極２９に不平衡入（出）力端子２２が接続されており、弾性表面波素子２０，２１と第１，第２の弾性表面波共振子１８，１９とは、隣接して伝搬方向に直交する方向に並んで配置され、互いのバスバー電極が絶縁体３２，３３を介して重なって配置されており、弾性表面波素子２０，２１の各中央のＩＤＴ電極のバスバー電極が平衡入（出）力端子２３，２４に接続され、弾性表面波素子２０，２１の各中央のＩＤＴ電極以外のもののバスバー電極が弾性表面波共振子１８，１９のＩＤＴ電極のバスバー電極に、絶縁体３２，３３を介して並列接続されている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波装置の耐衝撃性を向上させ、かつ小型で低背な弾性表面波装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電基板１上面に弾性表面波素子の領域を複数形成する工程、各領域を犠牲層５で覆う工程、犠牲層５を覆って各領域上に第１封止部材６を形成しそれに貫通孔７を形成する工程、貫通孔７を通して犠牲層５を除去し空間を形成する工程、貫通孔７を第２封止部材８により塞ぐ工程、複数の領域を保護カバー１２で覆い各領域でパッド電極３上に柱状電極１１を形成する工程、保護カバー１２及び圧電基板１下面をダイシングテープ１５及び接着用樹脂シート１４上に接着する工程、圧電基板１をダイシングテープ１５を残して各領域毎に分断する工程、分断で形成された間隙及び各領域を柱状電極１１の上端面を残して覆って樹脂保護層１６を形成する工程、樹脂保護層１６を間隙の部位で分断し弾性表面波装置を複数個製造する工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】放熱性に優れた弾性境界波素子、共振器およびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電性を有する第１媒質（１０）と、第１媒質上に設けられた弾性波を励振する電極（１２）と、第１媒質と異なる材料からなり、第１媒質上に電極を覆うように設けられた第２媒質（１４）と、第２媒質より熱伝導率の大きく、第２媒質の側面の少なくとも一部に接し第２媒質上に設けられた第３媒質（１６）と、を具備することを特徴とする弾性境界波素子、共振器、フィルタである。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の櫛歯電極及び反射器との間の空間を形成する空間形成体を簡単に形成することができる表面弾性波装置の製造方法及び表面弾性波装置を提供すること。
【解決手段】表面弾性波装置の製造方法は、圧電基板１２上にて櫛歯電極１３，１４及び反射器１９を覆うように犠牲層を形成する犠牲層形成ステップと、この犠牲層の表面に沿って反射器１９の近傍に開口部８を形成しつつ空間形成体７を形成する空間形成体形成ステップと、空間形成体７の開口部８から犠牲層を取り除く犠牲層除去ステップと、空間形成体７によって櫛歯電極１３，１４及び反射器１９との間に励振保護空間７ｃが形成された表面弾性波素子１１を封止樹脂によって封止する樹脂封止ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】フィルタ特性の劣化を招くことなく、小型化を進めることが可能なトランスバーサル型の弾性表面波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２の第１の主面２ｃ上において、傾斜型ＩＤＴ電極からなる入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４が表面波伝搬方向において隔てられて設けられており、入力側ＩＤＴ３の弾性表面波伝搬方向外側の第１の端面２ａ側の領域に第１の吸音材７が、出力側ＩＤＴ４の表面波伝搬方向外側の領域である第２の端面側の領域に第２の吸音材８が設けられており、第１，第２の吸音材７，８が、それぞれ、入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４の表面波伝搬方向外側端部から、該入力側ＩＤＴ３及び出力側ＩＤＴ４の一部に至るように設けられている、弾性表面波フィルタ装置１。 （もっと読む）

電気音響部品は、誘導音響波により動作し、第１基板（Ｓ１）と、第２基板（Ｓ２）と、金属層（ＭＳ）と、中間層（ＺＳ）とを含む。第１基板（Ｓ１）は、ＬｉＴａＯ_３単結晶から成る。金属層（ＭＳ）は、第１基板（Ｓ１）と中間層（ＺＳ）との間に配置される。中間層（ＺＳ）は、金属層（ＭＳ）と第２基板（Ｓ２）との間に配置される。ＬｉＴａＯ_３単結晶の結晶部は、第２オイラー角μ：−１００°≦μ≦−４０°または−１６０°≦μ≦−１３０°であるように選択される。第１オイラー角λとしてλ＝０°が好ましく、第３オイラー角θとして−１０°≦θ＜０°またはθ＝０°または０°＜θ≦１０°が好ましい。 （もっと読む）

【課題】励振電極に保護膜が被覆された際に、ＳＡＷ装置の周波数温度特性が良好となるＳＡＷ装置を提供する。
【解決手段】上記課題を達成するためのＳＡＷ装置は、カット角がオイラー角表示で（０°，９５°≦θ≦１５５°，３３°≦｜ψ｜≦４６°）の範囲内にある事を基本とする面内回転ＳＴカット水晶基板（圧電基板）を用いたＳＡＷ装置である。そして、設定された共振周波数において所望する周波数温度特性を得るために必要とされる前記圧電基板のカット角に、圧電基板の主面に構成する励振電極本体に対する保護膜付与の影響による周波数温度特性の変化量に基づいて予め求めた面内回転角ψの補正量Δψを加えたカット角によって構成した圧電基板１２と、圧電基板１２の主面に形成された励振電極本体１８と、補正量Δψによる周波数温度特性の変化量に対応した膜厚に設定されて励振電極本体１８に付与される保護膜２０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電基板上に形成されたＩＤＴ電極の周囲に絶縁膜が形成されており、耐電力性に優れた弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３を含む電極が形成されており、該電極が形成されている領域の周囲に絶縁膜６が形成されており、ＩＤＴ電極３の電極指３ａの下方部分において、電極指３ａの幅が圧電基板２に近づくにつれて狭くなっており、絶縁膜６が、電極指３ａの幅方向寸法が狭くなっている下方部分に入り込むように形成されている、弾性表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】弾性境界波素子の機能として使用する弾性境界波の近傍の周波数に出現するストンリー波を抑圧することが可能な弾性境界波素子、共振器およびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、ＬｉＮｂＯ_３基板１０と、基板１０上に設けられた弾性波を励振する電極１６と、基板１０上に電極１６を覆うように設けられた酸化シリコン膜１２と、を有する。そして、基板１０の回転Ｙカット角、電極１６の密度のＣｕの密度に対する比、電極１６に励振される弾性波の波長、電極１６の膜厚、酸化シリコン膜１２の膜厚をストンリー波の電気機械結合係数が０．０００１５以下の範囲となるように設定することを特徴とする弾性境界波素子、共振器、フィルタである。 （もっと読む）

【課題】小型で通過帯域特性を向上した弾性表面波フィルタを提供することを目的としている。
【解決手段】弾性表面波フィルタ１００は、ＩＤＴ電極１０２、１０３、１０４と反射器電極１０５、１０６とにより構成し、ＩＤＴ電極１０２、１０３、１０４の一方の電極指は、電極パッド１０７に配線されてそれぞれ接地端子ＧＮＤに接続し、ＩＤＴ電極１０２、１０４の他方の電極指は、配線電極１０８により電極パッド１０９に配線されて出力端子ＯＵＴに接続し、ＩＤＴ電極１０３の他方の電極指は、配線電極１１０により電極パッド１１１に配線されて入力端子ＩＮに接続し、配線電極１０８と配線電極１１０とは、絶縁層１１２を介して立体交差させた構成である。 （もっと読む）