スケジューラ、基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法
【課題】新たに投入する基板に対して通常処理の基板搬送スケジュールを作成するだけでなく、故障が発生した場合にも容易に、且つ高い生産量を維持できる基板の搬送スケジュールを作成できるスケジューラ、及び該スケジューラを用いた基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法を提供すること。
【解決手段】基板の処理を行う複数の基板処理部と、基板を搬送する搬送部と、搬送部での基板の搬送と基板処理部での基板処理を制御する制御部を備えた基板処理装置の制御部に内蔵され、基板搬送スケジュールを計算するスケジューラであって、新たに投入する基板に対する基板搬送スケジュールを順次計算し、更に装置内に故障が発生した際、その状態を初期状態として基板搬送スケジュールを再計算する機能を備えた。
【解決手段】基板の処理を行う複数の基板処理部と、基板を搬送する搬送部と、搬送部での基板の搬送と基板処理部での基板処理を制御する制御部を備えた基板処理装置の制御部に内蔵され、基板搬送スケジュールを計算するスケジューラであって、新たに投入する基板に対する基板搬送スケジュールを順次計算し、更に装置内に故障が発生した際、その状態を初期状態として基板搬送スケジュールを再計算する機能を備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の処理部と複数の基板搬送機を備え、基板搬送機により投入される基板を複数の処理部に順次搬送して処理を行う基板処理装置の制御部に内蔵されるスケジューラ、該スケジューラを使用する基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記基板処理装置には種々の構成のものがあるが、一般に、複数枚の基板が、基板収納容器から装置内に順次投入され、複数の搬送機により複数の処理機器（処理部）間を搬送されて並列的に処理され、全処理を終えた基板を基板収納容器に回収するように構成したものが多く使用されている。更に、基板収納容器を複数個装着可能・交換可能としたものもあり、このような基板処理装置では、適宜未処理の基板が装填された基板収納容器に交換することによって、連続的に基板処理装置の運転を行うことができるようになっている。
【０００３】
上記基板処理装置、例えば、バンプ形成、ＴＳＶ形成、再配線めっきを行う基板めっき処理装置等では、厳しいプロセス制約条件（プロセスが終了してから次のプロセスを開始するまでの所定のプロセス時間間隔）を満たしながら、高い生産量（故障から復旧時間を含めた単位時間当たりの基板処理量）を実現することが求められる事がある。この厳しい要求を満たすため、基板めっき処理装置の基板搬送制御には最適な基板の搬送計画を立てる様々なスケジューリング（以下「ＳＣＨ」と略記すこともある）手法が考えられてきた。このなかでも線形計画法を利用したスケジューラは、厳しいプロセス制約条件を満たしながら最大スループットを発揮する優れたスケジューリング法である。この手法は、プロセス制約条件や搬送休止の非負条件を予め定式化して、投入した複数枚の基板が最早にプロセス終了するように線形計画法により基板搬送スケジュールを作成することが求められる。そのため、故障無く基板を搬送する規則的な搬送性能を最大に発揮することが条件となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３１９８４２号公報
【特許文献２】特許第３９９５４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の線形計画法を利用したスケジューラでは、故障の発生時等の非定常的なイベントが発生した場合には、線形計画法での定式化が複雑になり困難であるため、一旦装置内の基板を全て基板収納容器内に回収し、基板の搬送処理を開始する必要がある。当然、この基板回収中には、新規の基板を投入することができないため生産量が大きく低下する。例えば、バンプ形成めっき処理装置等、装置内に多くの基板が同時に存在するめっき処理装置では、基板回収に長時間（例えば、２時間）を要する。
【０００６】
また、上記めっき処理装置において、基板プロセス中にめっき処理部内で整流器異常等が発生したとき、当該基板を救済するためにはそのプロセスを中断して直ちに他の同種別めっき処理部に移してプロセスを継続するか、或いは基板回収容器へ回収する必要がある。しかしながら、現状のスケジューラではそのためのスケジューリング手段を備えていないため、不良基板を発生させないためには、一旦後続の新規基板の処理開始を停止して不良基板及び処理中の基板を装置制御コントローラの制御によって基板収納容器へ回収し、装置内に基板が無くなった状態から後続の新規基板を投入する必要がある。従って生産量が大きく低下する。
【０００７】
また、基板のプロセス中にめっき処理部に故障が発生して、当該めっき処理部がそれ以降使用できなくなったとき、現状のスケジューラではめっき処理部の使用・不使用設定を動的に変更して後続基板を継続して処理することができない。その結果、当該めっき処理部の設定を変更するために、装置への新規基板の投入を一旦止めて装置を停止する必要があり、生産量（基板のめっき処理量）が大きく低下する。
【０００８】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、新たに投入する基板に対して通常処理の基板搬送スケジュールを作成するだけでなく、故障が発生した場合にも容易に、且つ高い生産量を維持できる基板の搬送スケジュールを作成できるスケジューラ、及び該スケジューラを用いた基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明は、基板の処理を行う複数の基板処理部と、基板を搬送する搬送部と、搬送部での基板の搬送と基板処理部での基板処理を制御する制御部を備えた基板処理装置の制御部に内蔵され、基板搬送スケジュールを計算するスケジューラであって、新たに投入する基板に対する基板搬送スケジュールを順次計算し、更に装置内に故障が発生した際、その状態を初期状態として基板搬送スケジュールを再計算する機能を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールの計算方法が搬送シミュレーション法であることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、基板を投入するときに所定プロセス制約条件を満たしながら、目標処理スループット以上で予め基板ごとに設定された条件で処理プロセスを実行するように計算されることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、搬送シミュレーション法は、前回の搬送スケジューリングで作成済の基板の搬送スケジュールに従った投入スケジューリング済（以下、本明細書では「投入済」と記す）基板搬送に対する新規投入基板の搬送スケジュールの優先順位、及び投入済基板の搬送が新規投入基板搬送の割り込みにより影響を受け搬送遅延が発生する場合の遅延許容時間をパラメータとして、それらのパラメータに対して装置の設計時点で最適化しておいた設定値を使用することにより、目標スループットに達する搬送スケジュールを作成することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板、又は機器故障により装置が停止して基板処理部に残留した基板を回収しながら新たな基板の投入を行うことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、一部の基板処理部にて故障が発生した場合は、その基板処理部を使用不可とし、使用不可とした基板処理部の使用を予定していた投入済基板及び未処理基板の使用する基板処理部を他の使用可能な基板処理部へ変更した基板搬送スケジュールを再計算することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板処理部の基板を取り出して、他の正常で且つ使用可能な基板処理部に搬送して処理を継続するか、或いは水洗及び乾燥後に基板収納容器へ回収することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、故障が発生した基板の回収、又は機器故障により装置が停止したとき基板処理部に残留する基板の回収を行いながら並行して新たな基板を処理投入することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、他の使用可能な基板処理部へ変更した基板搬送スケジュールを再計算することに並行して新たな基板を処理投入することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板処理部の基板を取り出して、他の正常で且つ使用可能な基板処理部に搬送して処理を継続すると共に、並行して新たな基板を処理投入することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、新たに投入する基板に対する全ての処理プロセス、回収する基板の回収開始処理部より下流側の処理プロセス、及び前回以前の基板投入スケジューリングにより基板搬送スケジュールを作成済の基板に対する全ての処理プロセスについて、処理プロセス制約条件を満たすように基板搬送スケジュールのスケジューリングをすることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明は、基板処理を行う複数の基板処理部と、基板を搬送する搬送部と、搬送部での基板搬送と基板処理部での基板処理を制御する制御部を具備する基板処理装置の運転方法において、新規投入基板の基板搬送スケジュールを順次計算して、故障が起きた際に制御部にてその状態を初期状態とし基板搬送スケジュールを再計算することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明は、基板を搬送する搬送部と、基板処理を行う複数の基板処理部と、搬送部での基板搬送と基板処理部での基板処理を制御する制御部を具備する基板処理装置において、制御部に内蔵するスケジューラとして、上記いずれかの発明に係るスケジューラを用いたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、基板搬送スケジュールの計算方法に、シミュレーション法を採用することにより、新たに投入する基板に対して通常処理の基板搬送スケジュールを作成するだけでなく、故障が発生した場合にも容易に基板搬送スケジュールを作成することが可能になる。
【００２３】
本発明は、故障の復旧後に、装置内に残留した基板を回収しながら、新規の基板を投入できるような基板の搬送スケジューリングを行うことにより、基板回収に要する時間を削減して生産量を向上させることができる。
【００２４】
基板処理中の基板処理部で機器の故障が発生して、当該基板処理部をそれ以降使用できなくなった場合、当該基板処理部を自動的に使用不可に設定して後続基板を継続して処理することを可能にする基板の搬送スケジューリングを行うことにより、装置を停止させて基板を回収する時間を削減して生産量を向上させることができる。
【００２５】
処理プロセス不良が発生した場合、装置内にある他の基板の処理プロセス制約条件（処理プロセスが終了してから次の処理プロセスを開始するまでのプロセス時間間隔の許容値等）を満たしながら、当該基板を優先的に処理プロセスの継続が可能な他の同種別基板処理部へ移動させるか、或いは基板収納容器へ回収するためのスケジューリングを行うことにより、当該基板の処理プロセスのダメージを可能な限り少なくして不良発生基板の発生を抑制することができると共に、生産量の向上も図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は本発明の実施例１に係るめっき装置の構成例を示す模式図である。
【図２】図２はめっき装置の制御部のハードウエア構成の一例を示す図である。
【図３】図３はプロセス制約条件の定義を説明するための図である。
【図４】図４は生産量の定義を説明するための図である。
【図５】図５はスケジューラのアーキテクチャを示す図である。
【図６】図６は基板搬送スケジューラのモジュール構成を示す図である。
【図７】図７は本発明に係るスケジューラのスケジューリングプロセスのメイン処理のフローを示す図である。
【図８】図８は新規基板投入処理（図７のＳＴ２１）のフローを示す図である。
【図９】図９は装置停止からの生産再開処理（図７のＳＴ２２）のフローを示す図である。
【図１０】図１０はユニット使用不可設定変更処理（図７のＳＴ２３）のフローを示す図である。
【図１１】図１１はプロセスＮＧ基板回収処理（図７のＳＴ２４）のフローを示す図である。
【図１２】図１２は新規基板投入搬送シミュレーション処理（図８のＳＴ２１−３、ＳＴ２１−６、図１０のＳＴ２３−９）のフローを示す図である。
【図１３】図１３は生産再開基板回収搬送シミュレーション処理（図９のＳＴ２２−６）のフローを示す図である。
【図１４】図１４はプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーション処理（図１１のＳＴ２４−３）のフローを示す図である。
【図１５】図１５はプロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーション処理のフロー（図１０のＳＴ２３−５、図１１のＳＴ２４−５）を示す図である。
【図１６】図１６は搬送シミュレーション初期化処理（図１２のＳＴ１０１）のフローを示す図である。
【図１７】図１７は生産再開残留基板回収、搬送シミュレーション初期化処理（図１３のＳＴ２０１、図１５のＳＴ４０１）のフローを示す図である。
【図１８】図１８はプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーション初期化処理（図１４のＳＴ３０１）のフローを示す図である。
【図１９】図１９は搬送シミュレーション時刻計時処理（図１２のＳＴ１０２、図１３のＳＴ２０２、図１４のＳＴ３０２、図１５のＳＴ４０２）のフローを示す図である。
【図２０】図２０はロードポート新規投入基板又は投入済基板投入開始処理（図１２のＳＴ１０３）のフローを示す図である。
【図２１】図２１はユニットステータス更新処理（図１２のＳＴ１０４、図１３のＳＴ２０３、図１４のＳＴ３０３、図１５のＳＴ４０３）のフローを示す図である。
【図２２】図２２は搬送機ステータス更新処理（図１２のＳＴ１０５、図１３のＳＴ２０４、図１４のＳＴ３０４）のフローを示す図である。
【図２３】図２３は新規投入基板搬送開始判定処理（図１２のＳＴ１０６）のフローを示す図である。
【図２４】図２４は新規回収指定基板搬送開始処理（図１３のＳＴ２０５、図１５のＳＴ４０５）のフローを示す図である。
【図２５】図２５は新規継続指定基板搬送開始判定処理（図１４のＳＴ３０５）のフローを示す図である。
【図２６】図２６は投入済基板搬送開始判定処理（図１２のＳＴ１０７）のフローを示す図である。
【図２７】図２７は回収ＳＣＨ済基板搬送開始判定処理（図１３のステップＳＴ２０６）のフローを示す図である。
【図２８】図２８は投入済基板搬送開始判定処理（図１４のＳＴ３０６、図１５のＳＴ４０６）のフローを示す図である。
【図２９】図２９は投入済基板搬送開始判定処理（図１２のステップＳＴ１０８、図１３のＳＴ２０７、図１４のＳＴ３０７、図１５のＳＴ４０７）のフローを示す図である。
【図３０】図３０は新規投入基板搬送エラー処理（図１２のステップＳＴ１０９）フローを示す図である。
【図３１】図３１は新規回収指定基板搬送エラー処理（図１３のＳＴ２０８、図１５のＳＴ４０８）のフローを示す図である。
【図３２】図３２は新規継続指定基板搬送エラー処理（図１４のＳＴ３０８）のフローを示す図である。
【図３３】図３３は搬送シミュレーション状態を指定領域へコピーする処理（図１２のＳＴ１１０）のフローを示す図である。
【図３４】図３４は搬送シミュレーション終了処理（図１２のＳＴ１１２、図１３のＳＴ２１０、図１４のＳＴ３１０、図１５のＳＴ４１０）のフローを示す図である。
【図３５】図３５は装置停止状態からの生産再開を説明するための概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。本実施の形態では、基板処理装置として半導体基板にめっき処理を行うめっき装置を例に説明するが、本発明に係る基板処理装置はこれに限らず、例えば、ガラス基板に対してＬＣＤ製造用の処理を行う基板処理装置等各種の基板処理装置に適用できる。
【実施例】
【００２８】
図１は本発明の実施例に係るめっき装置の構成例を示す模式図である。本めっき処理装置１０はロードポート１１を備え、内部にロードロボット１２、基板位置決め台１３、洗浄乾燥機１４、締付ステージ１５ａ、１５ｂ、複数のストッカ１６を備えた基板ホルダー貯留領域２５、前水洗槽１７、前処理槽１８、水洗槽１９、粗乾燥槽（ブロー槽）２０、水洗槽２１、複数のめっき槽２２を備えためっき領域２６、２台の搬送機２３、２４が配置された構成である。図１において、矢印Ａは基板のロード移送行程を、矢印Ｂは基板のアンロードの移送行程を示す。ロードポート１１には複数枚の未処理基板を収納した基板収納容器、複数枚の処理済基板を収納する基板収納容器が載置されるようになっている。
【００２９】
上記構成のめっき処理装置１０において、ロードロボット１２はロードポート１１に載置された基板収納容器から未処理の基板を取り出し、基板位置決め台１３に載置し、ノッチ、オリフラ等を基準に基板の位置決めを行う。次にロードロボット１２は基板を締付ステージ１５ａ、１５ｂに移送し、該締付ステージ１５ａ、１５ｂで基板ホルダー貯留領域２５のストッカ１６から取り出した基板ホルダーに基板を装着する。ここでは２台の締付ステージ１５ａ、１５ｂでそれぞれの基板ホルダーに基板を装着し、２つの基板ホルダーを１組として搬送するようになっている。基板ホルダーに装着された基板は搬送機２３により、前水洗槽１７に移送され該前水洗槽１７で前水洗処理された後、前処理槽１８に移送され、該前処理槽１８で前処理された後、更に水洗槽１９に移送され、該水洗槽１９で水洗処理される。
【００３０】
水洗槽１９で水洗処理された基板は搬送機２４でめっき領域２６のいずれかのめっき槽２２に移送され、めっき液に浸漬される。ここでめっき処理が施され基板に金属膜が形成される。該金属膜が形成された基板は搬送機２４により水洗槽２１に移送され、該水洗槽２１で水洗処理された基板は粗乾燥槽（ブロー槽）２０に移送され、該粗乾燥槽２０で粗乾燥処理を施された後、搬送機２３により締付ステージ１５ａ、１５ｂに移送され、ここで基板は基板ホルダーから外される。基板ホルダーから外された基板は、ロードロボット１２で洗浄乾燥機１４に移送され、洗浄・乾燥処理を施された後、ロードポート１１に載置されている所定基板収納容器の所定位置（上記未処理基板を取り出した基板収納容器の未処理基板を取り出した位置又は別途載置された処理終了後の基板（処理済基板）を収納する基板収納容器の所定位置）に収納される。
【００３１】
上記ロードロボット１２、搬送機２３、及び搬送機２４による矢印Ａに示す基板のロード移送行程の搬送制御、及び矢印Ｂに示す基板のアンロードの移送行程の搬送制御は、後述する制御部の制御により行う。図２は制御部のハードウエア構成の一例を示す図である。図示するように、制御部３０は、中央処理装置（ＣＰＵ）３１、キーボード、マウス等のポインティングデバイスや他のコンピュータ内に格納されたデータを読み込むための通信装置等の入力装置３２、及び共有記憶装置３３を備えている。共有記憶装置３３はＲＯＭ３３−１、メモリ３３−２、ハードディスク３３−３を備えている。また、制御部３０は入出力インターフェース３４を介して装置制御用コントローラ３５に接続されている。ＣＰＵ３１からの制御信号は入出力インターフェース３４を介して装置制御用コントローラ３５に送られることにより、装置制御用コントローラ３５を介してロードロボット１２、搬送機２３、及び搬送機２４が制御される。
【００３２】
上記構成のめっき装置において、「新規基板投入」、「搬送機器／プロセス機器異常」、「基板ホルダー不良」、及び「めっき槽整流器異常」のイベントが発生した場合、それぞれ下記のように、「新規基板投入搬送シミュレーション処理」、「搬送機器／プロセス機器異常処理」、「基板ホルダー不良処理」、「めっき槽整流器異常処理」を行う。
【００３３】
〔新規基板投入の搬送シミュレーション〕
新規基板投入の搬送シミュレーションは、下記１）〜４）の手法により搬送シミュレーションを行い、基板搬送スケジュール（基板搬送実行時刻テーブル）を再作成する。
１）新規基板を１枚又は複数枚１組（本実施例では２枚１組）ずつ投入するための搬送シミュレーションを行う。
【００３４】
２）搬送シミュレーションは、仮想的な装置モデルを制御部３０内に生成し、投入済基板は前回の新規基板投入スケジューリングで作成済の基板搬送スケジュールに従って搬送を行い、また新規投入基板はユニット処理終了条件及び搬送条件を満たした搬送シミュレーションを行って、新たな基板搬送スケジュール（基板搬送実行時刻テーブル）を作成する。
【００３５】
３）搬送シミュレーションでは、新規投入基板が基板収納容器から投入されてプロセス終了後に指定した基板収納容器へ戻ってくることを前提とする。
【００３６】
４）搬送シミュレーションでは、各々の投入基板に対して予め制御部３０側で設定されたプロセスレシピ条件に従って搬送処理を行う。また、レシピ時間設定が０のユニットを飛び越す処理も含む。
【００３７】
〔搬送機器／プロセス機器（モータ、ポンプ、恒温器、センサー他）異常〕
搬送機器／プロセス機器異常が発生した場合は、装置は新たな基板の投入を中止して、装置内で処理中の基板を限界まで処理を続行した後に停止する。その後、作業者によって操作パネルの生産再開ボタンが押されたときに、めっき領域２６のめっき槽２２に滞留している基板を回収しながら新たな基板の投入を行い、通常生産を行うための基板搬送スケジュールを搬送シミュレーションにより作成する。（以下「装置停止からの生産再開処理」と記載する）。但し、全ての回収基板に対して、残留めっき槽２２から下流のプロセスにおいてプロセス制約条件を満たすように計算する。
【００３８】
〔基板ホルダー不良〕
めっき通電不良が頻発し、基板ホルダー不良と判定された場合、該不良と判定された基板ホルダーを使用不可として基板ホルダー貯留領域２５のストッカ１６へ戻し、その後は装置停止するまで使用を禁止する。それに伴い、使用不可とされた基板ホルダーを使用予定していた投入済基板及び未処理基板が使用する基板ホルダーを他の使用可能な基板ホルダーへ変更して、基板搬送スケジュールを再作成する。（以下、「ユニット（基板処理部）使用不可設定変更処理」と記載する）。その後に装置の制御部３０から新たな基板を投入する要求があったときには、搬送シミュレーションによってそのための基板搬送スケジュール（基板搬送実行時刻テーブル）を作成する。
【００３９】
〔めっき槽整流器異常〕
めっき槽整流器異常が発生した場合は、めっき通電処理を中断して、その故障が発生しためっき槽２２の基板を別の正常なめっき槽２２に移して通電めっき処理するか、或いは該基板を水洗槽２１、粗乾燥槽２０、洗浄乾燥機１４により、水洗及び乾燥処理の後に基板収納容器１１へ回収するための基板搬送スケジュールを作成する。（以下、「プロセスＮＧ基板回収処理」と記載する）。但し、他の正常な処理中基板の基板搬送スケジュールを乱さず、プロセス制約条件を満たすように計算する。また、故障が発生しためっき槽２２の１列を「使用不可」設定に切り替えて後続の基板が投入されるのを禁止する。それに伴い、使用不可とされためっき槽２２を使用予定していた投入済基板及び未処理基板の使用処理槽を他の使用可能なめっき槽２２へ変更して、基板搬送スケジュールを再作成、即ちユニット（基板処理部）使用不可設定変更処理をする。その後に制御部３０から新たな基板を投入する要求があったときには、搬送シミュレーションによってそのための基板搬送スケジュールを作成する。（以下、「新規基板投入処理」と記載する。）
【００４０】
本実施例では、線形計画法の代わりに搬送シミュレーション法を採用し、厳しいプロセス制約条件を満たしながら、高い生産量を実現するため、以下（１）乃至（３）に示す解決策を実行した。ここで、厳しいプロセス制約条件とは、プロセスが終了してから次のプロセスを開始するまでのプロセス時間間隔のことであり、図３に示すように、Ｌユニットレシピ処理からＭユニットレシピ処理に移るプロセス時間間隔ＴPは、
ＴP＝後処理時間Ｔ1＋取出待ち時間Ｔ2＋搬送時間Ｔ3＋前処理時間Ｔ4
である。通常、めっき処理では、後処理時間Ｔ1及び前処理時間Ｔ4は０（Ｔ1＝０，Ｔ4＝０）、搬送時間Ｔ3はめっき槽２２のどの列から取り出すかにより異なる。そこで、プロセス時間間隔ＴPを超えないように取出待ち時間Ｔ2を調整してスケジューリングする。
【００４１】
また、生産量とは、狭義的には、通常搬送時に単位時間当たりに処理できる基板の枚数のことであり、スループットと呼ぶが、ここでは、図４に示すように、故障発生から復旧時間（故障原因究明時間＋故障修理時間＋基板回収時間）を含めた広義の単位時間当たりの基板処理量である。
【００４２】
（１）故障の復旧後に、めっき処理装置内に残留した基板を回収しながら、新規の基板を投入できるような搬送スケジュールを行うことで、基板回収に要する時間を削減して基板の生産量を向上させる。
【００４３】
（２）基板のめっき処理中に故障が発生して、当該基板のめっき処理中の処理ユニット（めっき槽２２）がそれ以降使用できなくなった場合に、当該処理ユニットを動的に使用不可に設定し、後続基板を継続してめっき処理することを可能にする搬送スケジューリングを行う。これにより、めっき処理装置を停止させて基板を回収する時間を削減して基板の生産量を向上させる。
【００４４】
（３）めっき処理プロセス不良が発生した場合、めっき処理装置内にある他の基板のめっき処理プロセス制約条件を満たしながら、該当基板を優先的にプロセスの継続が可能な他の同種別処理ユニットへ移動させるか、或いは基板収納容器へ回収するための搬送スケジュールを行うことにより、該当基板のプロセス的なダメージを可能な限り少なくして不良の発生を抑制する。
【００４５】
制御部３０は、後に詳述するように、「新規基板投入処理」、「装置停止からの生産再開処理」、「ユニット（基板処理部）使用不可設定変更処理」、「プロセスＮＧ基板回収処理」を行う機能を有し、それぞれの基板搬送シミュレーションを行い基板の搬送スケジュールを作成する。
【００４６】
図５は上記基板の搬送スケジュールを作成するスケジューラのアーキテクチャを示す図である。図示するように、本スケジューラ４０はコントロールプロセス４１、初期化プロセス４２、スケジューリングプロセス４３、インターフェースプロセス４４を備える。コントロールプロセス４１はスケジューリングプロセス４３とインターフェースプロセス４４を起動し、スケジューリングプロセス４３とインターフェースプロセス４４との間のデータ送受信（データ読み込み／書き込み）をハンドシェークで行う。初期化プロセス４２は共有記憶装置３３を初期化する。インターフェースプロセス４４は装置制御用コントローラを備えた装置制御部５０との通信、及びスケジューリングプロセス４３へのイベント通知、基板の搬送スケジュールの送受信を行う。スケジューリングプロセス４３はインターフェースプロセス４４からのイベント受信、搬送スケジュール計算、及び計算して作成した搬送スケジュールの送信を行う。共有記憶装置３３はインターフェースプロセス４４、及びスケジューリングプロセス４３で、パラメータ設定やレシピ設定、基板の搬送スケジュール等の各種データを受け渡す。
【００４７】
図６は基板搬送スケジューラのモジュール構成を示す図である。基板搬送スケジューラは、装置内のイベントに応じて基板搬送シミュレーションを行い、下記ａ）〜ｄ）の機能を実現する。
ａ）新規基板投入スケジューリング機能（新規基板のプロセスレシピ条件に対応した基板搬送スケジュールを作成する機能）
ｂ）生産再開スケジューリング機能（装置が故障停止した後、装置内に残留した全ての基板を回収するための基板搬送スケジュールを作成する機能）
ｃ）ユニット使用・不使用動的切替機能（ユニット（基板処理部）設定切替と同時に、設定変更されたユニットを使用予定していた投入済基板、及び未処理基板の使用ユニットを変更する基板搬送スケジュールを作成する機能）
ｄ）プロセスＮＧ基板の回収スケジューリング機能（（めっき）プロセス不良と判定された基板に関して、他の正常な基板のプロセスを継続しながら、迅速に他のプロセス継続が可能な同種別ユニットへ移動させるか、或いは水洗乾燥後基板収納容器へ回収する基板搬送スケジュール作成機能））
【００４８】
図７はスケジュールリングプロセスのメイン処理のフローを示す図である。ステップＳＴ１で装置制御部５０の装置制御用コントローラ（図５参照）からスケジューラコマンドを受信し、ステップＳＴ２に移行する。該ステップＳＴ２では、装置始動開始要求有りかを判断し、有り（Ｙ）の場合はステップＳＴ３に移行し、無し（Ｎ）の場合は上記ステップＳＴ１に戻る。ステップＳＴ３では、装置始動処理を行い、ステップＳＴ４に移行する。該ステップＳＴ４では、装置制御部５０の装置制御用コントローラからスケジューラコマンドを受信し、ステップＳＴ５に移行する。
【００４９】
ステップＳＴ５では、装置コマンドの種類を判断し、装置コマンドが「新規基板投入」、「装置生産再開」、「ユニット使用不可動的切替」、「プロセスＮＧ発生」かにより、それぞれステップＳＴ２１の「新規基板投入処理」、ステップＳＴ２２の「装置停止からの生産再開処理」、ステップＳＴ２３の「ユニット使用不可設定変更処理」、ステップＳＴ２４の「プロセスＮＧ基板回収処理」を行い、ステップＳＴ３０に移行する。また、ステップＳＴ５で装置コマンドが無い場合、ステップＳＴ３０に移行する。
【００５０】
ステップＳＴ３０では、装置内に処理中基板が有りか又は処理予定基板が有るかを判断し、有る（Ｙ）の場合は、ステップＳＴ３１に移行し、無い（Ｎ）の場合はステップＳＴ３２に移行する。ステップＳＴ３１では、装置制御部５０の装置制御用コントローラに基板搬送スケジュール変更を送信し、ステップＳＴ３２に移行する。ステップＳＴ３２では、装置始動要求があるかを判断し、有る（Ｙ）の場合はステップＳＴ３３に移行し、スケジューラ４０のスケジューリングプロセス４３のスケジューラ演算部停止処理を行う。また、装置始動要求が無い（Ｎ）の場合は、上記ステップＳＴ４に戻る。以下、上記「新規基板投入処理」、「装置停止からの生産再開処理」、「ユニット使用不可設定変更処理」、「プロセスＮＧ基板回収処理」について詳細に説明する。
【００５１】
図８は新規基板投入処理（図７のステップＳＴ２１）のフローを示す図である。先ずステップＳＴ２１−１は、装置内に先行処理中基板が有るかを調べ、無い（Ｎ）場合はステップＳＴ２１−２に移行し、有り（Ｙ）の場合はステップＳＴ２１−４に移行する。ステップＳＴ２１−２で搬送シミュレーションデータ初期化を行い、ステップＳＴ２１−３に移行する。該ステップＳＴ２１−３では先頭新規基板投入搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２１−４に移行する。
【００５２】
ステップＳＴ２１−４では、後続基板同一レシピ投入かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２１−５に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２１−６に移行する。ステップＳＴ２１−５では、スループット検証を行い、最大スループットパラメータを選択し、ステップＳＴ２１−６に移行する。該ステップＳＴ２１−６では後続新規基板投入搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２１−７に移行する。該ステップＳＴ２１−７では基板搬送スケジュール更新を行う。
【００５３】
図９は装置停止からの生産再開処理（図７のステップＳＴ２２）のフローを示す図である。装置停止からの生産再開処理では、先ずステップＳＴ２２−１で装置制御用コントローラの装置内残留基板位置データを読み込み、ステップＳＴ２２−２に移行する。該ステップＳＴ２２−２では搬送シミュレーションデータ初期化を行いステップＳＴ２２−３に移行する。該ステップＳＴ２２−３では装置最下流側未回収残留基板の検索を行いステップＳＴ２２−４に移行する。該ステップＳＴ２２−４では未回収残留基板が有るかを判断し有り（Ｙ）の場合はステップＳＴ２２−５に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２２−７に移行する。ステップＳＴ２２−５では新規回収対象基板を指定し、ステップＳＴ２２−６に移行する。該ステップＳＴ２２−６では回収指定残留基板回収搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２２−３に戻る。ステップＳＴ２２−７では、基板搬送スケジュール更新を行う。
【００５４】
図１０はユニット使用不可設定変更処理（ユニット使用不可設定動的切替処理）（図７のステップＳＴ２３）のフローを示す図である。ユニット使用不可設定変更処理では、先ずステップＳＴ２３−１で対象ユニットの使用・不使用設定切替を行い、ステップＳＴ２３−２に移行する。該ステップＳＴ２３−２では、当該ユニット変更後設定が使用か不使用かを判断し、不使用の場合はステップＳＴ２３−３に移行する。該ステップＳＴ２３−３では当該ユニット使用予定基板上流側検索を行い、使用予定基板有りの場合はステップＳＴ２３−４に移行し、使用予定基板無しの場合はステップＳＴ２３−７に移行する。ステップＳＴ２３−４では同種別使用可能代替ユニットを検索し、無の場合はステップＳＴ２３−５に移行し、有の場合はステップＳＴ２３−６に移行する。
【００５５】
ステップＳＴ２３−５では、プロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーションを行いステップＳＴ２３−７に移行する。また、ステップＳＴ２３−６では、当該ユニット使用予定上流基板の基板搬送スケジュールを代替ユニット使用へ変更し、ステップＳＴ２３−７に移行する。ステップＳＴ２３−７では、当該ユニット使用予定基板処理開始前検索を行い、処理開始前基板有りの場合はステップＳＴ２３−８に移行し、処理開始前基板無しの場合はステップＳＴ２３−１０に移行する。ステップＳＴ２３−８では処理開始前基板の基板搬送スケジュールを削除し、ステップＳＴ２３−９に移行する。該ステップＳＴ２３−９では処理開始前基板再投入シミュレーションを行いステップＳＴ２３−１０に移行する。該ステップＳＴ２３−１０では、基板搬送スケジュールの更新を行う。
【００５６】
図１１はプロセスＮＧ基板回収処理（図７のステップＳＴ２４）のフローを示す図である。プロセスＮＧ基板回収処理では、先ずステップＳＴ２４−１でＮＧ対象基板の基板搬送スケジュールを削除し、ステップＳＴ２４−２に移行する。該ステップＳＴ２４−２では、同種別の使用可能代替ユニットを検索し、同種別の使用可能代替ユニットが有ったらステップＳＴ２４−３に移行し、無かったらステップＳＴ２４−５に移行する。このプロセス異常発生ユニットと同種別で代替ユニットが存在するかどうかの判定は、上流側又は基板収納容器に代替ユニットを使用する予定の正常基板が存在しないこと、或いは存在した場合には代替ユニットを使用予定の基板がそこへ到着する前にプロセスＮＧ基板の代替ユニットでのプロセスが終了するタイミングであれば「有」と看做す。
【００５７】
ステップＳＴ２４−３では、プロセスＮＧ基板代替ユニットプロセス継続搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２４−４に移行する。プロセスＮＧ基板をプロセス制約時間内に異常ユニットから代替ユニットへ搬送してプロセス継続を行い、他の正常基板のプロセス制約条件を守りながら、プロセスＮＧ基板を含め全ての基板を正常に基板収納容器へ戻すための搬送シミュレーションを行う。ここで搬送シミュレーションの方法の詳細は生産再開における「残留回収シミュレーション」と同様である。
【００５８】
ステップＳＴ２４−４では、プロセス継続搬送シミュレーションが成功したか否かを判定し、イエス（Ｙ）であったらステップＳＴ２４−６に移行し、ノー（Ｎ）であったらステップＳＴ２４−５に移行する。本判定では、上記搬送シミュレーションでプロセスＮＧ基板を含め全ての基板がプロセス制約条件を守って正常にロードポートへ戻ったかどうかを判定する。
【００５９】
ステップＳＴ２４−５ではプロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２４−６に移行する。プロセスＮＧ基板を異常発生ユニットから取り出して水洗、乾燥処理を経由してロードポートへ戻すための搬送シミュレーションを行う。他の正常基板はプロセス継続を行う。ここで搬送シミュレーションの方法の詳細は生産再開における「残留回収シミュレーション」と同様である。ステップＳＴ２４−６では、基板搬送スケジュール更新を行う。
【００６０】
以下、上記各処理について説明する。図１２は新規基板投入搬送シミュレーション処理（図８のＳＴ２１−３、ＳＴ２１−６、図１０のＳＴ２３−９）のフローを示す図である。図１２において、Ｎは基板収納容器（ロードポート１１）数、ＵＮＩＴ_ＮＵＭはユニット（めっき槽２２を含む全ての処理槽、ロードユニットの合計）総数、ＴＲＦ_ＮＵＭは搬送機台数を示す。先ずステップＳＴ１０１では、搬送シミュレーションの始めに、ユニット（めっき槽２２）情報や搬送機（ロードロボット１２、搬送機２３、２４）情報、投入済基板搬送スケジュールを参照するポインタを初期化し、搬送シミュレーション初期化を行い、ステップＳＴ１０２の搬送シミュレーション時刻計時処理に移行する。ステップＳＴ１０２の搬送シミュレーション時刻計時処理では、搬送機やユニット処理の次のステータス移行イベントまでの最小残り時間を検索し計時処理を行い、ステップＳＴ１０３、１０４に移行する。
【００６１】
ステップＳＴ１０３では、基板収納容器での新規投入基板又は投入済基板の投入開始処理を行い、ステップＳＴ１０４では、全プロセスユニットにおいて処理ステータスの更新処理を行い、ステップＳＴ１０５に移行する。該ステップＳＴ１０５では、全ての搬送機において、搬送ステータスの更新処理を行いステップＳＴ１０６に移行する。該ステップＳＴ１０６では、プロセスユニット又は搬送機に存在する新規投入基板に関して、搬送開始のための判定処理を行い、ステップＳＴ１０７に移行する。該ステップＳＴ１０７では、基板搬送スケジュールの参照ポインタが参照する投入済基板に関して、次の搬送開始のための判定処理を行い、ステップＳＴ１０８に移行する。
【００６２】
ステップＳＴ１０８では、新規投入基板又は投入済基板に関して搬送開始判定処理により搬送開始を要求された基板の搬送開始処理を行い、ステップＳＴ１０９に移行する。ステップＳＴ１０９では、上記ステップＳＴ１０４の処理ステータス更新処理又はステップＳＴ１０５の搬送機ステータス更新処理においてプロセス制約条件を逸脱したエラーが発生した場合には、搬送シミュレーションデータを初期状態に復元してロード開始時刻を遅延する搬送エラー処理を行い、ステップＳＴ１１０に移行する。該ステップＳＴ１１０では、ロードポート１１において処理開始要求をＯＮにした後に搬送シミュレーションのロード前状態記憶要求が発生したときには、現在の搬送シミュレーションデータをロード前状態の記憶領域へコピーする処理を行い、ステップＳＴ１１１に移行する。
【００６３】
ステップＳＴ１１１では、搬送シミュレーション装置内にプロセス中の新規投入又は投入済の基板が存在するかを検索し、有り（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０２に戻り、無し（Ｎ）の場合、即ち新規基板及び投入済基板の搬送が全てプロセス制約を満たして正常に処理終了して指定基板収納容器へ戻ったことを確認したら、ステップＳＴ１１２に移行し、搬送シミュレーション終了処理を行う。この搬送シミュレーション終了処理では、新規に作成された基板搬送スケジュールを投入済基板搬送スケジュール変数領域に上書きコピーする。
【００６４】
図１３は図９のステップＳＴ２２−６の生産再開基板回収搬送シミュレーション処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ２０１では、搬送シミュレーション初期化し、ステップＳＴ２０２に移行する。ステップＳＴ２０２では搬送シミュレーション時刻計時を行い、ステップＳＴ２０３に移行する。ステップＳＴ２０３ではプロセスユニットステータス更新処理を行い、ステップＳＴ２０４に移行する。ステップＳＴ２０４では搬送機ステータス更新処理を行い、ステップＳＴ２０５に移行する。ステップＳＴ２０５では、装置内残留新規回収指定基板搬送開始判定処理を行い、ステップＳＴ２０６に移行する。ステップＳＴ２０６では、装置内残留回収ＳＣＨ済基板搬送開始判定処理を行い、ステップＳＴ２０７に移行する。
【００６５】
ステップＳＴ２０７では、新規回収指定基板、又は回収ＳＣＨ済基板搬送機開始処理を行い、ステップＳＴ２０８に移行する。ステップＳＴ２０８では、残留基板回収シミュレーション搬送エラー処理を行い、ステップＳＴ２０９に移行する。ステップＳＴ２０９では搬送シミュレーション装置内に回収中基板が有るかを判断し、イエス（Ｙ）の場合は前記ステップＳＴ２０２に移行し、上記処理を行い、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２１０に移行する。ここでの回収中基板検索では、回収スケジューリング（ＳＣＨ）をまだ行っていない装置内残留基板を除外する。ステップＳＴ２１０では、搬送シミュレーション終了処理を行う。
【００６６】
図１４は図１１のステップＳＴ２４−３のプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーションフローを示す図である。先ずステップＳＴ３０１で搬送シミュレーション初期化を行い、ステップＳＴ３０２に移行する。ステップＳＴ３０２では、搬送シミュレーション時刻計時を行い、ステップＳＴ３０３に移行する。ステップＳＴ３０３では、プロセスユニットステータス更新処理を行いステップＳＴ３０４に移行する。ステップＳＴ３０４では、搬送機ステータス更新処理を行いステップＳＴ３０５に移行する。ステップＳＴ３０５では、プロセスＮＧ新規継続指定基板搬送開始判定処理を行いステップＳＴ３０６に移行する。
【００６７】
ステップＳＴ３０６では、投入済基板搬送開始判定処理を行いステップＳＴ３０７に移行する。ステップＳＴ３０７では、プロセスＮＧ継続指定基板、又は投入済基板搬送機開始処理を行いステップＳＴ３０８に移行する。ここでの「投入済基板」は、新規投入基板又は回収指定基板としてスケジューリング済の全ての基板を指す。ステップＳＴ３０８では、プロセスＮＧ基板継続シミュレーション搬送エラー処理を行いステップＳＴ３０９に移行する。ステップＳＴ３０９では、搬送シミュレーション装置内に搬送処理中基板があるかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ３１０に移行し、搬送シミュレーション終了処理を行う。
【００６８】
図１５は図１０のステップＳＴ２３−５、図１１のステップＳＴ２４−５のプロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーションフローを示す図である。先ずステップＳＴ４０１では、搬送シミュレーション初期化を行いステップＳＴ４０２に移行する。ステップＳＴ４０２では搬送シミュレーション時刻計時を行いステップＳＴ４０３に移行する。ステップＳＴ４０３では、プロセスユニットステータス更新処理を行いステップＳＴ４０４に移行する。ステップＳＴ４０４では、搬送機ステータス更新処理を行いステップＳＴ４０５に移行する。ステップＳＴ４０５では、プロセスＮＧ新規回収指定基板搬送開始判定処理を行いステップＳＴ４０６に移行する。
【００６９】
ステップＳＴ４０６では、投入済基板搬送開始判定処理を行いステップＳＴ４０７に移行する。ステップＳＴ４０７では、新規回収指定基板、又は投入済基板搬送機開始処理を行いステップＳＴ４０８に移行する。ここでの「投入済基板」は、新規投入基板又は回収指定基板としてスケジューリング済の全ての基板を指す。ステップＳＴ４０８では、プロセスＮＧ基板回収シミュレーション搬送エラー処理を行いステップＳＴ４０９に移行する。ステップＳＴ４０９では、搬送シミュレーション装置内に処理中の基板が有るかを判断し、イエス（Ｙ）の場合は、ステップＳＴ４０２に移行し、ノー（Ｎ）の場合は、ステップＳＴ４１０に移行し、搬送シミュレーション終了処理を行う。
【００７０】
図１６は図１２のステップＳＴ１０１の搬送シミュレーション初期化フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０１−１では、搬送シミュレーション状態を前回投入済基板のロード前状態へ初期化し、ステップＳＴ１０１−２に移行する。ここで搬送シミュレーション状態には、全てのユニット情報データ、搬送機情報データ、その他搬送シミュレーションに必要なデータを含む。初期化は、前回投入基板の搬送シミュレーション開始時に記憶領域にコピー（ステップＳＴ１０１−７）しておいたデータセットを搬送シミュレーション変数領域へ上書きコピーする。ステップＳＴ１０１−２では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを新規投入基板ロード前状態へ初期化し、ステップＳＴ１０１−３に移行する。ここで参照ポインタは、投入済基板の搬送開始を既存基板搬送スケジュールの順序に従って行うために、既存基板搬送スケジュールを順次参照するのに用いる。
【００７１】
ステップＳＴ１０１−３では、新規投入基板の前回投入済基板に対するロード待機時間を計算し、ステップＳＴ１０１−４に移行する。ロード待機時間下限をデフォルト値又はスループット検証結果値とする。ある複数のユニットから成る種別において全てのユニットが使用中の場合、最早に空になるユニットを検索して、そのユニットにスムーズに該当新規投入基板が収納されるロード待機時間を算出する。その計算された時間は上記下限値以上とする。ステップＳＴ１０１−４では、新規投入基板のロード開始時刻を前回投入済基板の開始時刻にロード待機時間を加算して設定し、ステップＳＴ１０１−５に移行する。
【００７２】
ステップＳＴ１０１−５では、装置現在時刻が新規投入基板ロード開始時刻を超えた（装置現在時刻＞新規投入基板ロード開始時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０１−６に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０１−７に移行する。ステップＳＴ１０１−６では、新規投入基板ロード開始時刻を装置現在時刻にマージン時間を加算して再設定し、ステップＳＴ１０１−７に移行する。ここでのマージン時間は、装置現在時刻にスケジューリングを開始して終了するまでの余裕をみた所要時間として予め定数設定しておいたものを用いる。なお、装置現在時刻は、装置制御用コントローラ５０より読み込むものとする。ステップＳＴ１０１−７では搬送シミュレーション状態変数データを全てロード前の記憶領域へコピーする。
【００７３】
図１７は図１３のステップＳＴ２０１、図１５のステップＳＴ４０１の生産再開残留基板回収、プロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーション初期化フローを示す図である。先ずステップＳＴ２０１−１では、搬送シミュレーション状態を新規回収指定基板の回収開始前状態に初期化しステップＳＴ２０１−２に移行する。ステップＳＴ２０１−２では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを前回投入ＳＣＨ済基板のロード開始前状態へ初期化し、ステップＳＴ２０１−３に移行する。ステップＳＴ２０１−３では、前回投入ＳＣＨ済基板のロード開始前における時刻を現在シミュレーション時刻に設定し、ステップＳＴ２０１−４に移行する。ステップＳＴ２０１−４では、新規回収指定基板の回収搬送順序及びプロセス条件を作成し、ステップＳＴ２０１−５に移行し、該ステップＳＴ２０１−５で搬送シミュレーション状態変数データを全て回収開始前の記憶領域にコピーする。
【００７４】
図１８は図１４のステップＳＴ３０１のプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーション初期化フローを示す図である。先ずステップＳＴ３０１−１では、搬送シミュレーション状態を新規継続指定基板の搬送開始前状態へ初期化し、ステップＳＴ３０１−２に移行する。ここで搬送シミュレーション状態には、全てのユニット情報データ、搬送機情報データ、その他搬送機シミュレーションに必要なデータを含む。また、初期化は、前回回収ＳＣＨ済基板の搬送シミュレーション開始時に記憶領域にコピー（図１７のステップＳＴ２０１−５）しておいたデータセットを搬送シミュレーション変数領域へ上書きコピーする。ステップＳＴ３０１−２では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを前回投入ＳＣＨ済基板のロード開始前状態へ初期化し、ステップＳＴ３０１−３に移行する。ここで参照ポインタは、投入済基板の搬送開始を既存基板搬送スケジュールの順序に従って行うために、既存基板搬送スケジュールを順次参照するのに用いる。
【００７５】
前記ステップＳＴ３０１−３では、前回投入ＳＣＨ済基板のロード開始前における時刻を現在シミュレーション時刻に設定し、ステップＳＴ３０１−４に移行する。ここでプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーションでは、新規継続指定基板の搬送順序及びプロセス条件は既に存在するので作成する必要は無い。前記ステップＳＴ３０１−４では、搬送シミュレーション状態変数データを全て継続開始前の記憶領域へコピーする。
【００７６】
図１９は図１２のステップＳＴ１０２、図１３のステップＳＴ２０２、図１４のステップＳＴ３０２、図１５のステップＳＴ４０２の搬送シミュレーション時刻計時フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０２−１では、ユニット次ステータス移行までの残り時間最小値を検索し、インターバル時間に設定し、ステップＳＴ１０２−２に移行する。ステップＳＴ１０２−２では新規投入基板搬送開始時刻までの残り時間がインターバル時間を超えない（新規投入基板搬送開始時刻までの残り時間＜インターバル時間）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０２−３に移行し、ノー（Ｎ）はステップＳＴ１０２−４に移行する。ステップＳＴ１０２−３では、新規投入基板搬送開始時刻までの残り時間をインターバル時間に設定し、ステップＳＴ１０２−４に移行し、該ステップＳＴ１０２−４では、搬送機の次ステータス移行までの残り時間最小値を検索し、ステップＳＴ１０２−５に移行する。
【００７７】
ステップＳＴ１０２−５では、搬送機の次ステータスまでの残り時間最小値がインターバル時間を超えない（残り時間最小値＜インターバル時間）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０２−６に移行し、ノー（Ｎ）のステップＳＴ１０２−７に移行する。ステップＳＴ１０２−６では、搬送機の次ステータスまでの残り時間最小値をインターバル時間に設定し、ステップＳＴ１０２−７に移行し、該ステップＳＴ１０２−７で投入済基搬送開始時刻までの残り時間最小値を検索し、ステップＳＴ１０２−８に移行する。ステップＳＴ１０２−８では、投入済基板搬送開始時刻までの残り時間最小値がインターバル時間を超えない（投入済基板搬送開始時刻までの残り時間最小値＜インターバル時間）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０２−９に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０２−１０に移行する。
【００７８】
ステップＳＴ１０２−９では、投入済基板搬送開始時刻までの残り時間最小値をインターバル時間に設定し、ステップＳＴ１０２−１０に移行し、該ステップＳＴ１０２−１０では搬送詰まりエラー監視し、ステップＳＴ１０２−１１に移行する。搬送詰まりエラー監視は、インターバル時間が一定回数以上にわたりゼロとなる状況を監視する。もしこのような状況が発生した場合には搬送エラーとして、新規基板投入遅延時間を定数値に設定する。ステップＳＴ１０２−１１では、搬送シミュレーション時間にインターバル時間を加算する。
【００７９】
図２０は図１２のステップＳＴ１０３のロードポート新規投入基板又は投入済基板投入開始処理のフローを示す図である。先ずステップＳＴ１０３−１では、スケジューリング投入済の処理前基板の順に次ロード基板を検索指定していき、最後尾で新規投入基板を次ロード指定とし、ステップＳＴ１０３−２に移行する。該ステップＳＴ１０３−２では、現在シミュレーション時刻が次のロード指定投入基板のロード開始時刻を経過したかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０３−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０３−１１に移行する。ステップＳＴ１０３−３でロードポートユニット情報にロード指定投入基板データを登録し、ステップＳＴ１０３−４に移行する。ステップＳＴ１０３−４では、新規投入基板であるかｏｒ投入済基板であるかを判断し、新規投入である場合はステップＳＴ１０３−５に移行し、投入済である場合はステップＳＴ１０３−１２に移行する。
【００８０】
ステップＳＴ１０３−５では、基板収納容器からの基板投入開始から基板収納容器に戻るまでの全てのプロセスに対して、使用可能な空きユニットを検索し、ステップＳＴ１０３−６に移行する。該ステップＳＴ１０３−６では、新規投入基板に対して全てのプロセスで使用可能な空きユニットの検索が成功したかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０３−７に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０３−１３に移行する。ステップＳＴ１０３−７では、ロードポートユニットの搬送開始要求信号をＯＮとして、ステップＳＴ１０３−８に移行する。該ステップＳＴ１０３−８では、搬送シミュレーション情報ロード前状態記憶要求をＯＮとする。これにより搬送シミュレーションループ後方で図１２のステップＳＴ１１０の搬送シミュレーション情報の指定記憶領域へのコピーが行われる。
【００８１】
また、ステップＳＴ１０３−１１では、ロード開始時刻までの残り時間を設定する。この時は、ステップＳＴ１０２（図１２参照）の搬送シミュレーション時刻計時における最小時間検索に使われる。また、ステップＳＴ１０３−１２では、ロードポートユニット搬送開始要求をＯＮとする。また、ステップＳＴ１０３−１３では、プロセス対象種別のユニットが複数あり全て使用中の場合には、ロード開始時刻を開始可能時刻まで遅延し、ステップＳＴ１０３−１４に移行し、該ステップＳＴ１０３−１４でロード開始時刻までの残り時間を設定する。
【００８２】
図２１は図１２のステップＳＴ１０４、図１３のステップＳＴ２０３、図１４のステップＳＴ３０３、図１５のステップＳＴ４０３のユニットステータス更新処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０４−１では、ユニット処理経過時間に搬送シミュレーションインターバル時間を加算し、ステップＳＴ１０４−２に移行する。ステップＳＴ１０４−２では、ユニット処理経過時間≧次ステータス移動時間かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０４−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０４−４０に移行する。ステップＳＴ１０４−３では、ユニット処理ステータスを判断し、該ユニット処理ステータスが「処理中」、「処理終了」、「リセット」の場合はそれぞれステップＳＴ１０４−１１、ステップＳＴ１０４−２１、ステップＳＴ１０４−３１に移行する。
【００８３】
ステップＳＴ１０４−１１では、ユニット処理ステータスを「処理終了」へ変更し、ステップＳＴ１０４−１２に移行し、基板搬送要求信号をＯＮとする。また、ステップＳＴ１０４−２１では、ユニット処理ステータス「リセット」移行要求ＯＮかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０４−２２に移行し、ユニット情報基板データを削除してステップＳＴ１０４−２３に移行する。該ステップＳＴ１０４−２３でユニット処理ステータスを「リセット」へ変更し、ステップＳＴ１０４−２４に移行する。該ステップＳＴ１０４−２４では次ステータス移行時間にリセット時間を加算し、ステップＳＴ１０４−２５に移行する。該ステップＳＴ１０４−２５では次ステータス移行時間までの残り時間を設定する。また、ステップＳＴ１０４−３１では、ユニット処理ステータスを「処理停止」へ変更し、ステップＳＴ１０４−３２に移行する、該ステップＳＴ１０４−３２では、ユニット情報データを全て消去する。また、前記ステップＳＴ１０４−４０では、次ステータス移行時間までの残り時間を設定する。
【００８４】
図２２は図１２のステップＳＴ１０５、図１３のステップＳＴ２０４、図１４のステップＳＴ３０４の搬送機ステータス更新処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０５−１では、搬送機搬送処理経過時間に搬送シミュレーションインターバル時間を加算し、ステップＳＴ１０５−２に移行する。ステップＳＴ１０５−２では、搬送処理経過時間≧次ステータス移動時間を経過した（搬送処理経過時間≧次ステータス移動時間）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０５−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０５−５０に移行する。ステップＳＴ１０５−３では搬送ステータスを判断し、該搬送ステータスが「移動中」、「取出中」、「収納中」、「退避中」により、それぞれステップＳＴ１０５−１１、ステップＳＴ１０５−２１、ステップＳＴ１０５−３１、ステップＳＴ１０５−４１に移行する。
【００８５】
ステップＳＴ１０５−１１では、搬送機非干渉条件成立かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０５−１２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０５−１６に移行する。ステップＳＴ１０５−１２では、搬送機搬送種別を判断し、「取出」の場合はステップＳＴ１０５−１３に移行して搬送ステータスを「取出中」へ変更し、「収納」の場合はステップＳＴ１０５−１４に移行し、搬送ステータスを「収納中」へ変更する。また、ステップＳＴ１０５−１６では次ステータス移行時間を遅延更新する。
【００８６】
ステップＳＴ１０５−２１では、ユニット内基板搬送要求がＯＮかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０５−２２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０５−２５に移行する。ステップＳＴ１０５−２２では、ユニット処理ステータスを「リセット」移行要求し、ステップＳＴ１０５−２３に移行し、搬送ステータスを「停止中」へ変更（搬送終了）し、ステップＳＴ１０５−２４に移行し、該ステップＳＴ１０５−２４でプロセス後放置時間上下限搬送エラーを監視する。また、ステップＳＴ１０５−２５では、次ステータス移動時間にユニット処理残り時間分を遅延加算する。
【００８７】
ステップＳＴ１０５−３１では、搬送基板データをユニット情報へコピーし、ステップＳＴ１０５−３２に移行する。ステップＳＴ１０５−３２では、収納ユニットをステータス「処理中」へ移行プロセスを起動し、ステップＳＴ１０５−３３に移行する。ステップＳＴ１０５−３３では、搬送機位置が干渉領域外かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０５−３４に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０５−３６に移行する。ステップＳＴ１０５−３４では搬送ステータスを「停止中」へ変更（搬送終了）し、ステップＳＴ１０５−３５に移行する。該ステップＳＴ１０５−３５では搬送機時情報データを全て消去し、ステップＳＴ１０５−３７に移行する。ステップＳＴ１０５−３７では、プロセス時間間隔上下限搬送エラー監視し、ステップＳＴ１０５−３８に移行する。該ステップＳＴ１０５−３８では、搬送機保持時間上限搬送エラー監視する。また、ステップＳＴ１０５−３６では搬送ステータスを「退避中」へ変更する。
【００８８】
ステップＳＴ１０５−４１では、搬送機現在位置データを待機位置へ変更し、ステップＳＴ１０５−４２に移行する。ステップＳＴ１０５−４２では、搬送ステータスを「停止中」へ変更（搬送終了）し、該ステップＳＴ１０５−４３で搬送機情報データを全て消去する。また、前記ステップＳＴ１０５−５０では、次ステータス移行時間までの残り時間を設定する。
【００８９】
図２３は図１２のステップＳＴ１０６の新規投入基板搬送開始判定処理フローを示す図である。新規投入基板搬送開始判定処理は、指定搬送機が休止している場合に行うため、先ずステップＳＴ１０６−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求がＯＦＦか判断し、イエス（Ｙ）であったらステップＳＴ１０６−２に移行する。ステップＳＴ１０６−２では、現在シミュレーション時刻が搬送開始時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送開始時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）であればステップＳＴ１０６−３に移行し、ノー（Ｎ）であればステップＳＴ１０６−９に移行する。ここで搬送開始時刻は、取出の場合はユニット情報に対してプロセスレシピ設定時間から搬送機到達の所要時間を差し引いて設定された時間を指す。また収納の場合は現在シミュレーション時刻そのものとする。ステップＳＴ１０６−３では搬送機非干渉条件判定処理を行い、ステップＳＴ１０６−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域内へアクセスしているかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機を予約しているかを判定する。
【００９０】
ステップＳＴ１０６−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行いステップＳＴ１０６−５に移行する。本判定では、搬送機条件として基板取出の場合には搬送機ハンドに基板を持っていないか、収納する場合に搬送機ハンドが基板を持っているかを判定する。また取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先別に別の基板が無いかを判定する。ステップＳＴ１０６−５では、上記搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立しているかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０６−６に移行する。ステップＳＴ１０６−６では、新規投入基板搬送開始優先判定を行いＳＴ１０６−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐ開始すると投入済基板搬送の開始時刻遅れ時間が設定許容値を越える場合、新規基板搬送を投入済基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。
【００９１】
ステップＳＴ１０６−７では、ステップＳＴ１０６−６の判定で、新規投入基板の搬送遅延時間が０に等しい（＝０）か或いは正数値（＞０）かを判断し、０の場合はステップＳＴ１０６−８に移行し、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮにする。また、正数値の場合はステップＳＴ１０６−１０に移行し、搬送開始時間に遅延時間を加算して残り時間を設定する。この残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【００９２】
図２４は図１３のステップＳＴ２０５、図１５のステップＳＴ４０５の新規回収指定基板搬送開始判定処理フローを示す図である。投入済基板の搬送開始判定処理は、指定搬送機が休止している場合に行うので、先ずステップＳＴ２０５−１では、指定搬送機停止中で搬送開始要求がＯＦＦであるかを判断し、イエス（Ｙ）であればステップＳＴ２０５−２に移行する。該ステップＳＴ２０５−２では、現在シミュレーション時刻が搬送開始予定時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送開始予定時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０５−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２０５−１１に移行する。ここで搬送開始予定時刻は、取出の場合はユニット情報に対してプロセスレシピ設定時間から搬送到達の所定時間を差し引いて設定された時刻を指す。また、収納の場合は現在シミュレーション時刻そのものとする。
【００９３】
ステップＳＴ２０５−３では、搬送機非干渉条件判定を行い、ステップＳＴ２０５−４に移行する。本判定では、搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域内へアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合は指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ２０５−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行いステップＳＴ２０５−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出す場合には搬送機ハンドが基板を持っていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先に別の基板が無いかを判定する。
【００９４】
ステップＳＴ２０５−５では、上記搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立するかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０５−６に移行する。ステップＳＴ２０５−６では新規回収指定基板搬送開始優先判定を行いステップＳＴ２０５−７に移行する。本判定で、その搬送をすぐ開始すると回収ＳＣＨ済基板搬送の開始時刻遅れ時間が設定許容値を越える場合、新規回収指定基板搬送を回収ＳＣＨ済基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。ステップＳＴ２０５−７では、新規回収指定基板搬送開始遅延時間が０である（＝０）か、正数値（＞０）かを判断し、０に等しい場合はステップＳＴ２０５−８に移行し、正数値の場合はステップＳＴ２０５−１２に移行する。ステップＳＴ２０５−８では、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとする。ここで残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。また、ステップＳＴ２０５−１２では、搬送開始予定時刻に遅延時間を加算して残り時間を設定する。また、ステップＳＴ２０５−１１では搬送開始時刻までの予定時刻を設定する。
【００９５】
図２５は図１４のステップＳＴ３０５の新規継続指定基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ３０５−１で指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＦＦかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０５−２に移行する。該ステップＳＴ３０５−２では、現在シミュレーション時刻が搬送開始時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送開始時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０５−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ３０５−１１に移行し、搬送開始時間までの残り時間を設定する。ここでの搬送開始時間は、取出の場合はユニット情報に対してプロセスレシピ設定時間から搬送機到達の所要時間を差し引いて設定された時間を指す。また収納の場合は現在シミュレーション時間そのものとする。
【００９６】
ステップＳＴ３０５−３では、搬送機非干渉条件を判定しステップＳＴ３０５−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域にアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ３０５−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行いステップＳＴ３０５−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出する場合には搬送機ハンドが基板をもっていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先に別の基板が無いかを判定する。
【００９７】
ステップＳＴ３０５−５では、搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立するかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０５−６に移行する。該ステップＳＴ３０５−６では新規継続指定基板搬送開始優先判定を行い、ステップＳＴ３０５−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐ開始すると回収ＳＣＨ済基板搬送の開始時刻遅れ時間が設定許容値を越える場合、新規回収指定基板搬送を回収ＳＣＨ済基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。ステップＳＴ３０５−７では、継続指定基板搬送開始遅延時間が０である（＝０）又は正数値である（＞０）かを判断し、０の場合はステップＳＴ３０５−８に移行し、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとし、正数値の場合はステップＳＴ３０５−１２に移行し、搬送開始時間に遅延時間を加算して残り時間を設定する。ここで、残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【００９８】
図２６は図１２のステップＳＴ１０７の投入済基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０７−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＦＦかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０７−２に移行する。ステップＳＴ１０７−２では、現在シミュレーション時刻が搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０７−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０７−１１に移行する。ここでの搬送開始予定時刻は、基板搬送スケジュールのポインタが参照する行における時刻を指す。
【００９９】
前記ステップＳＴ１０７−３では、搬送機非干渉条件を判定し、ステップＳＴ１０７−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域内へアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ１０７−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行い、ステップＳＴ１０７−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出しの場合には搬送機ハンドが基板を持っていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先に別の基板が無いかを判定する。また、ステップＳＴ１０７−１１では、搬送開始予定時刻までの残り時間を設定する。
【０１００】
ステップＳＴ１０７−５では、搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立しているかを判定し、イエス（Ｙ）の場合は、ステップＳＴ１０７−６に移行し、該ステップＳＴ１０７−６では投入済基板搬送開始優先判定し、ステップＳＴ１０７−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐに開始すると搬送予定時刻を過ぎて遅れ時間が設定許容値を超える場合、新規基板搬送を投入済基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。
【０１０１】
ステップＳＴ１０７−７では、投入済み基板搬送開始遅延時間が０である（＝０）か又は正数値である（＞０）を判定し、０の場合はステップＳＴ１０７−８に移行し、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとする。また正数値の場合はステップＳＴ１０７−１２に移行し、搬送開始予定時刻に遅延時間を加算して残り時間を設定する。ここで残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【０１０２】
図２７は図１３のステップＳＴ２０６の回収ＳＣＨ済基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ２０６−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＦＦかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０６−２に移行する。ステップＳＴ２０６−２では、現在シミュレーション時刻が搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻）かを判定し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０６−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２０６−１１に移行する。ここでの搬送開始予定時刻は、投入済基板搬送スケジュールのポインタが参照する行における時刻を指す。
【０１０３】
ステップＳＴ２０６−３では、搬送機非干渉条件判定を行い、ステップＳＴ２０６−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機搬送機が干渉領域内へアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ２０６−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定し、ステップＳＴ２０６−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出しする場合には搬送機ハンドが基板を持っていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また、取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先に別の基板が無いかを判定する。また、ステップＳＴ２０６−１１では、搬送開始予定時刻までの残り時間を設定する。
【０１０４】
前記ステップＳＴ２０６−５では、搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立するかを判断し、イエスの場合はステップＳＴ２０６−６に移行し、回収ＳＣＨ済基板搬送開始優先判定を行い、ステップＳＴ２０６−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐに開始すると新規回収指定基板の搬送予定時刻を過ぎて遅れ時間が設定許容値を超える場合、回収ＳＣＨ済基板搬送を新規回収指定基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。
【０１０５】
ステップＳＴ２０６−７はでは、回収ＳＣＨ済基板搬送時間開始遅延時間が０である（＝０）か又は正数値（＞０）であるかを判定し、０ではステップＳＴ２０６−８に移行し、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとする。また、正数値の場合は、搬送開始予定時刻に遅延時間を加算して残り時間を設定する。この残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【０１０６】
図２８は図１４のステップＳＴ３０６、図１５のステップ４０６の投入済基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ３０６−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＦＦかを判定し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０６−２に移行する。ステップＳＴ３０６−２では、現在シミュレーション時刻が搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻）かを判定し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０６−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ３０６−１１に移行する。ここで搬送開始予定時刻は、投入基板搬送スケジュールのポインタが参照する行における時刻を指す。
【０１０７】
ステップＳＴ３０６−３では、搬送機非干渉条件を判定し、ステップＳＴ３０６−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域内へアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ３０６−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行い、ステップＳＴ３０６−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出する場合には搬送機ハンドが基板を持っていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また、取出元・収納先ユニット条件として、取出に基板が存在して収納先に別の基板が無いことを判定する。また、ステップＳＴ３０６−１１では、搬送開始予定時刻までの残り時間を設定する。
【０１０８】
ステップＳＴ３０６−５では、搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立したかを判定し、イエス（Ｙ）の場合は、ステップＳＴ３０６−６に移行する。ステップＳＴ３０６−６では、投入済基板搬送開始優先を判定し、ステップＳＴ３０６−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐに開始すると新規継続又は回収指定基板の搬送予定時刻を過ぎて遅れ時間が設定許容値を超える場合、投入済基板を新規継続又は回収指定基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。
【０１０９】
ステップＳＴ３０６−７では投入済基板搬送開始遅延時間が０であるか（＝０）又は正数値である（＞０）かを判断し、０の場合は搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとし、正数値の場合は搬送開始予定時刻に遅延時間を加算して残り時間を設定する。残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【０１１０】
図２９は図１２のステップＳＴ１０８、図１３のステップＳＴ２０７、図１４のステップＳＴ３０７、図１５のＳＴステップ４０７の投入済基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０８−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＮかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０８−２に移行する。ステップＳＴ１０８−２では搬送機情報データへ搬送基板データ、搬送動作を設定し、ステップＳＴ１０８−３へ移行する。ステップＳＴ１０８−３では、搬送ステータスを「移動中」へ設定し、ステップＳＴ１０８−４に移行する。ここで搬送ステータスは搬送機情報データにプロパティとして含まれる。
【０１１１】
前記ステップＳＴ１０８−４では、搬送機次ステータス移行までの残り時間に移動時間を設定し、ステップＳＴ１０８−５に移行する。ステップＳＴ１０８−５では、基板搬送スケジュールへ該当搬送データを登録し、ステップＳＴ１０８−６に移行する。ステップＳＴ１０８−６では、新規投入基板ｏｒ投入済基板かを判断し、投入済基板の場合はステップＳＴ１０８−７に移行し新規投入基板の場合はステップＳＴ１０８−８に移行する。ステップＳＴ１０８−７では、投入済基板搬送スケジュール参照ポインタを更新し、ステップＳＴ１０８−８に移行する。ステップＳＴ１０８−８では、搬送機搬送開始要求をＯＦＦとする。
【０１１２】
図３０は図１２のステップＳＴ１０９の新規投入基板搬送エラー処理のフローを示す図である。搬送シミュレーションでは、不良発生ユニットに存在するプロセス不良基板、及び装置停止時においてユニットに残留する基板を除く全ての投入済基板について、プロセス制約条件を満足していない搬送、又は搬送が詰まった状態を搬送エラーとしてステップＳＴ１０５の（図１２参照）搬送ステータス更新処理で検知する。ステップＳＴ１０５の搬送ステータス更新処理で搬送エラーを検知した場合には、新規基板の装置内へのプロセス投入開始時刻を遅延させるための新規投入遅延時間を設定する。このプロセス制約条件には、全てのユニットを対象として、下記（ａ）〜（ｃ）に対する上限及び下限時間を含む。
（ａ）プロセス終了時点から基板を搬送機ハンドが掴むまでの時間
（ｂ）プロセス終了から次のユニットでのプロセス開始時点までのプロセス時間間隔
（ｃ）搬送機が基板を取出終了してから次のユニットへの収納開始するまでの搬送機保持時間
【０１１３】
図３０において、ステップＳＴ１０９−１では、新規基板投入遅延時間が正数値であるかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０９−２に移行する。該ステップＳＴ１０９−２では、搬送シミュレーションの状態を新規投入基板ロード前の初期状態に復元し、続くステップＳＴ１０９−３では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを新規投入基板ロード前の状態に復元し、ステップＳＴ１０９−４に移行する。該ステップＳＴ１０９−４では、新規投入基板のロード開始時刻を遅延時間だけ延期させて、搬送シミュレーションを再試行する。
【０１１４】
図３１は図１３のステップＳＴ２０８、図１５のステップＳＴ４０８の新規回収指定基板搬送エラー処理のフローを示す図である。先ずステップＳＴ２０８−１では、新規回収指定基板回収開始遅延時間＞０かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０８−２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２０８−４に移行する。ステップＳＴ２０８−２では搬送シミュレーション状態を新規回復指定基板回収開始前の初期状態に復元し、ステップＳＴ２０８−３に移行する。搬送シミュレーション状態の復元は、前回回収指定基板の搬送シミュレーション開始時に記憶領域にコピー（図１７のステップＳＴ２０１−５）しておいたデータセットを搬送シミュレーション変数領域へ上書きコピーする。
【０１１５】
前記ステップＳＴ２０８−３では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを新規回収指定基板回収開始前の状態へ復元し、ステップＳＴ２０８−４に移行し、該ステップＳＴ２０８−４で新規回収指定基板の回収開始時刻を遅延時間だけ延期させる。
【０１１６】
図３２は図１４のステップＳＴ３０８の新規継続指定基板搬送エラー処理のフローを示す図である。先ずステップＳＴ３０８−１では、新規継続指定基板継続開始遅延時間が正数値（＞０）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０８−２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ３０８−４に移行する。搬送シミュレーション状態の復元は、新規継続指定基板の搬送シミュレーション開始時に記憶領域へ上書きコピーする（図１８のステップＳＴ３０１−４）。ステップＳＴ３０８−２では、搬送シミュレーション状態を新規継続指定基板継続開始前の初期状態へ復元し、ステップＳＴ３０８−３に移行する。ステップＳＴ３０８−３では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを新規継続指定基板継続開始前の状態に復元し、ステップＳＴ３０８−４に移行する。ステップＳＴ３０８−４では、新規継続指定基板の継続開始時刻を遅延時間だけ延期させる。
【０１１７】
図３３は図１２のステップＳＴ１１０の搬送シミュレーション状態を指定領域へコピーするフローを示す図である。先ずステップＳＴ１１０−１では、搬送シミュレーション情報記憶要求をＯＮとし、ステップＳＴ１１０−２に移行する。ステップＳＴ１１０−２では、搬送シミュレーション情報を指定状態を記憶領域へコピーし、ステップＳＴ１１０−３に移行する。ステップＳＴ１１０−３では、搬送シミュレーション情報記憶要求ＯＦＦとする。
【０１１８】
図３４は図１２のステップＳＴ１１２、図１３のステップＳＴ２１０、図１４のステップＳＴ３１０、図１５のステップＳＴ４１０の搬送シミュレーション終了処理フローを示す図である。ステップＳＴ１１２−１では、作成された基板搬送スケジュールを投入済基板搬送スケジュール変数領域へ上書きコピーする。
【０１１９】
〔スループット検証〕
図８のステップＳＴ２１−５のスループット検証処理は下記のように行う。
１）同一プロセスレシピ条件の新規基板を複数枚同時に投入する場合、装置内に基板が存在しない状態からの先頭新規基板投入の搬送シミュレーション（図８のステップＳＴ２１−３）後、及び後続新規基板投入の搬送シミュレーション（図８のステップＳＴ２１−６）の前に最大スループットになる搬送制御パラメータ設定を選択する検証（図８のステップＳＴ２１−５）を行う。ここで先頭新規基板投入の搬送シミュレーション（図８のステップＳＴ２１−３）は、スループット検証処理（図８のステップＳＴ２１−５）に時間を要する場合に先頭基板を先にプロセス投入するための処置である。
【０１２０】
２）前記１）のスループット検証機能（図８のステップＳＴ２１−５）では、最適と想定される複数のパラメータ設定を用意して、それらの各々に対してスループット評価対象枚数分の新規基板投入搬送シミュレーションを行い、スループットの評価値を計測する。その中から最大スループット値となるパラメータを選択して、それを残り複数枚の新規基板等投入搬送シミュレーションに使用する。
【０１２１】
３）前記２）のパラメータ設定には新規投入基板、及び投入済基板の搬送開始遅れ許容時間、優先順位パラメータ、及び基板投入時間下限間隔を含む。
【０１２２】
４）前記２）の最適と想定される複数のパラメータ設定は、予め設計時点において考えられるプロセスレシピ条件に対してスループット値が最大となるようなパラメータ設定を検索することにより準備しておく。
【０１２３】
５）前記２）で計測するスループット評価値は、先頭新規基板が基板収納容器から投入されてから最後尾基板が基板収納容器に戻るまでの下記するロットインデックス値、或いは先頭新規基板が基板収納容器に戻ってから最後尾基板が基板収納容器に戻るまでのタクトベース値の何れかを選択使用する。何れを使用するかは装置毎に異なる。
ロットインデックス値ＷＰＨlot index
＝基板処理枚数Ｎ／基板総処理所要時間ＴN
タクトベース値ＷＰＨtakt base
＝（基板処理枚数Ｎ−１）／（総処理所要時間ＴN−先頭基板処理所要時間Ｔ1）
【０１２４】
〔生産再開機能〕
装置の故障停止後において、人手によるメンテナンス後に装置制御部から生産再開の要求を受けたとき、装置内に残留する基板を指定された基板収納容器に回収しながら、同時に新規基板を装置内に投入するスケジューリングを、下記１）〜３）のように行う。
１）生産再開スケジューリングには搬送シミュレーション方式を用いる。
２）装置内に残留した基板は、プロセス制約条件を満たしながら指定された基板収納容器へ回収する。
３）装置内に残留した基板を回収するスケジューリングを行い、続いて後続の新規の基板を投入するためのスケジューリングを行う。
【０１２５】
図３５は装置停止状態からの生産再開を説明するための概念図であり、図３５（ａ）は従来例を、図３５（ｂ）は本実施例を示す。図示するように、従来例では図３５（ａ）に示すように、装置内に残留している基板１〜４を回収し、その後に生産再開準備を行い、該生産再開準備の終了後に新規基板５〜８の投入を行っていた。これに対して本実施例では、図３５（ｂ）に示すように、装置内に残留している基板１〜４の回収と並行して、新規基板５〜８の投入を行っている。これにより生産量が向上する。
【０１２６】
〔装置内に残留している基板の回収スケジューリング〕
装置内に残留している基板の回収スケジューリングの概要は、下記１）〜４）となる。
１）装置内に残留した基板を１枚又は複数枚１組ずつ指定（本実施例では２枚１組指定）して基板収納容器への回収をするための搬送シミュレーションを行う。
【０１２７】
２）搬送シミュレーションは、仮想的な装置モデルを制御部内に生成し（図５参照）、回収スケジューリング済基板は前回の残留基板回収シミュレーションで作成済の基板搬送スケジュールに従って搬送を行い、また新規回収指定基板はユニット処理終了条件及び搬送条件を満たした搬送シミュレーションを行って、新たな基板搬送スケジュールを作成する。
【０１２８】
３）搬送シミュレーションでは、新規回収指定基板がプロセス終了後に指定された基板収納容器へ戻ることを前提とする。
【０１２９】
４）搬送シミュレーションでは、各々の回収基板に対して予め装置制御部側で設定されたプロセスレシピ条件に従って搬送処理を行う。また、レシピ時間設定が０のユニットを飛び越す処理を含む。
【０１３０】
〔残留基板回収搬送シミュレーションの流れ〕
残留基板回収搬送シミュレーションの流れは、図１３の生産再開基板回収搬送シミュレーション処理（図９のＳＴ２２）フローと同じであるので、その図示と説明は省略する。
【０１３１】
〔残留基板回収シミュレーション〕
ここで新規回収指定基板の搬送開始判定処理フローは、図２４の新規回収指定基板搬送開始処理（図１３のＳＴ２０５、図１５のＳＴ４０５）フローと同じであるので、その図示と説明は省略する。
また、回収スケジューリング済基板の搬送開始判定処理は、図２７の回収ＳＣＨ済基板搬送開始判定処理（図１３のＳＴ２０６）フローと同じであるので、その図示と説明は省略する。
【０１３２】
〔搬送エラー処理〕
搬送エラー処理フローは、図３１の新規回収指定搬送エラー処理（図１３のＳＴ２０８、図１５のＳＴ４０８）フローと同じであるので、その図示と説明は省略する。
【０１３３】
〔ユニット使用・不使用の動的切替機能〕
基板を処理中に故障が発生して、当該基板を処理中のユニットがそれ以上使用できなくなった場合（図７のステップＳＴ５において、装置コマンドがユニット使用不可動的切替であった場合のステップＳＴ８のユニット使用不可設定変更処理）、当該処理ユニットを動的に使用不可に設定して後続基板を継続して処理することを可能にするスケジューリングには上記搬送シミュレーション方式を用いる。
【０１３４】
上記ユニット使用不可設定時のスケジューリングは、図１０のユニット使用不可設定変更処理フローに基づいて、前記段落００５３〜００５４に記載するように行う。要約すると下記１）〜１７）となる。
【０１３５】
１）処理開始基板が「不使用」へ設定変更されたユニットを使用する予定であってその上流行程でプロセス中の場合、当該ユニットと同一種別の他の基板プロセスに影響を与えない使用可能な別ユニットを探す。
【０１３６】
２）前記１）で別の使用可能なユニットが見つかった場合には、基板搬送スケジュールをその別の処理ユニットを使用するように書き換える。
【０１３７】
３）前記１）で別の使用可能なユニットが見つからなかった場合には、その基板を現在プロセス中のユニット処理終了時点から基板収納容器へ回収するスケジューリングを行うか、或いは予定通り当該ユニットを使用してプロセスを続行するためスケジューリングを行わない。
【０１３８】
４）前記３）で当該基板を回収する場合のスケジューリングは、当該ユニット直前のユニットに存在する基板をプロセス不良基板に見立てて、後述の回収スケジューリングを行う。
【０１３９】
５）前記３）におけるプロセス続行の判断は、設計時点で予め設定しておいたパラメータにより行う。このパラメータ設定は装置毎に異なる。
【０１４０】
６）上記機能は、処理開始前基板の中に「不使用」へ設定変更されたユニットを使用する予定の基板が含まれている場合には、その基板以降の全ての処理開始前基板の搬送を投入済基板の基板搬送スケジュールから一旦削除し、それらの処理開始前基板を再投入するための搬送シミュレーションを上記新規基板投入の場合と同様に行う。
【０１４１】
７）上記機能は、処理開始前基板の中に「使用」へ設定変更されたユニットを含む種別のプロセスを行う予定の基板が含まれる場合には、その基板以降の全ての処理開始前基板の搬送を投入済基板の基板搬送スケジュールから一旦削除し、それらの処理開始前基板を再投入するための搬送シミュレーションを上記新規基板の投入と同様に行う。
【０１４２】
〔プロセス不良基板の回収機能〕
処理ユニットにおいてプロセス異常が発生した基板に関して、他の正常な基板のプロセスを継続しながら、迅速に他のプロセス継続が可能な同種別ユニットへ移動させてプロセスを継続するか、或いは水洗乾燥処理後基板収容容器へ回収するためのスケジューリングを下記１）〜５）のように行う。
１）プロセス継続、又は基板回収スケジューリングには上記搬送シミュレーション方式を用いる。
【０１４３】
２）搬送シミュレーションは、制御部に仮想的な装置モデルを生成し、投入済基板は前回の新規投入スケジューリングで作成済の基板搬送スケジュールに従って搬送を行い、また回収指定基板はユニット処理終了条件及び搬送条件を満たした搬送シミュレーションを行って、新たな基板搬送スケジュールを作成する。
【０１４４】
３）搬送シミュレーションでは、回収指定基板がプロセス終了後に指定した基板収容容器へ戻ってくることを前提とする。
【０１４５】
４）搬送シミュレーションでは、各々の回収基板に対して予め装置制御部側で設定されたプロセスレシピ条件に従って搬送処理を行う。また、レシピ時間設定が０のユニットを飛び越す処理も含む。
５）搬送シミュレーションの流れは上記「残留基板回収搬送シミュレーション」と同様である。
【０１４６】
以上、本発明の実施形態例を説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。上記実施例ではめっき槽２２で半導体基板にバンプ電極等の金属膜を形成するめっき処理装置を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、より厳格な基板搬送スケジュールの管理が必要な装置に好適である。例えば、電解めっきでは電解電流を供給する電源を遮断することにより、めっきの進行を止めることができるから、無電解めっき装置ほど厳しい制約条件での基板搬送スケジューリングを必要としないが、無電解めっき装置では、必然的にめっき処理が進行するため、より厳格な基板搬送スケジュールの管理が必要となるから、本願発明が好適である。
【産業上の利用可能性】
【０１４７】
本発明は、基板の搬送スケジュールの計算方法に、シミュレーション法を採用することにより、新たに投入する基板に対して通常処理の基板搬送スケジュールを作成するだけでなく、故障が発生し、故障の復旧後に、装置内に残留した基板を回収しながら、新規の基板を投入できるような基板の搬送スケジューリングを行うことにより、基板回収に要する時間を削減して生産量を向上させることができるスケジューラ、該スケジューラを用いた基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法をとして利用できる。
【符号の説明】
【０１４８】
１０ めっき処理装置
１１ ロードポート
１２ ロードロボット
１３ 基板位置決め台
１４ 洗浄乾燥機
１５ 締付ステージ
１６ ストッカ
１７ 前水洗槽
１８ 前処理槽
１９ 水洗槽
２０ 粗乾燥槽（ブロー槽）
２１ 水洗槽
２２ めっき槽
２３ 搬送機
２４ 搬送機
２５ 基板ホルダー貯留領域
２６ めっき領域
３０ 制御部
３１ 中央処理装置（ＣＰＵ）
３２ 入力装置
３３ 共有記憶装置
３４ 入出力インターフェース
４０ スケジューラ
４１ コントロールプロセス
４２ 初期化プロセス
４３ スケジューリングプロセス
４４ インターフェースプロセス
５０ 装置制御部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の処理部と複数の基板搬送機を備え、基板搬送機により投入される基板を複数の処理部に順次搬送して処理を行う基板処理装置の制御部に内蔵されるスケジューラ、該スケジューラを使用する基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記基板処理装置には種々の構成のものがあるが、一般に、複数枚の基板が、基板収納容器から装置内に順次投入され、複数の搬送機により複数の処理機器（処理部）間を搬送されて並列的に処理され、全処理を終えた基板を基板収納容器に回収するように構成したものが多く使用されている。更に、基板収納容器を複数個装着可能・交換可能としたものもあり、このような基板処理装置では、適宜未処理の基板が装填された基板収納容器に交換することによって、連続的に基板処理装置の運転を行うことができるようになっている。
【０００３】
上記基板処理装置、例えば、バンプ形成、ＴＳＶ形成、再配線めっきを行う基板めっき処理装置等では、厳しいプロセス制約条件（プロセスが終了してから次のプロセスを開始するまでの所定のプロセス時間間隔）を満たしながら、高い生産量（故障から復旧時間を含めた単位時間当たりの基板処理量）を実現することが求められる事がある。この厳しい要求を満たすため、基板めっき処理装置の基板搬送制御には最適な基板の搬送計画を立てる様々なスケジューリング（以下「ＳＣＨ」と略記すこともある）手法が考えられてきた。このなかでも線形計画法を利用したスケジューラは、厳しいプロセス制約条件を満たしながら最大スループットを発揮する優れたスケジューリング法である。この手法は、プロセス制約条件や搬送休止の非負条件を予め定式化して、投入した複数枚の基板が最早にプロセス終了するように線形計画法により基板搬送スケジュールを作成することが求められる。そのため、故障無く基板を搬送する規則的な搬送性能を最大に発揮することが条件となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３１９８４２号公報
【特許文献２】特許第３９９５４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の線形計画法を利用したスケジューラでは、故障の発生時等の非定常的なイベントが発生した場合には、線形計画法での定式化が複雑になり困難であるため、一旦装置内の基板を全て基板収納容器内に回収し、基板の搬送処理を開始する必要がある。当然、この基板回収中には、新規の基板を投入することができないため生産量が大きく低下する。例えば、バンプ形成めっき処理装置等、装置内に多くの基板が同時に存在するめっき処理装置では、基板回収に長時間（例えば、２時間）を要する。
【０００６】
また、上記めっき処理装置において、基板プロセス中にめっき処理部内で整流器異常等が発生したとき、当該基板を救済するためにはそのプロセスを中断して直ちに他の同種別めっき処理部に移してプロセスを継続するか、或いは基板回収容器へ回収する必要がある。しかしながら、現状のスケジューラではそのためのスケジューリング手段を備えていないため、不良基板を発生させないためには、一旦後続の新規基板の処理開始を停止して不良基板及び処理中の基板を装置制御コントローラの制御によって基板収納容器へ回収し、装置内に基板が無くなった状態から後続の新規基板を投入する必要がある。従って生産量が大きく低下する。
【０００７】
また、基板のプロセス中にめっき処理部に故障が発生して、当該めっき処理部がそれ以降使用できなくなったとき、現状のスケジューラではめっき処理部の使用・不使用設定を動的に変更して後続基板を継続して処理することができない。その結果、当該めっき処理部の設定を変更するために、装置への新規基板の投入を一旦止めて装置を停止する必要があり、生産量（基板のめっき処理量）が大きく低下する。
【０００８】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、新たに投入する基板に対して通常処理の基板搬送スケジュールを作成するだけでなく、故障が発生した場合にも容易に、且つ高い生産量を維持できる基板の搬送スケジュールを作成できるスケジューラ、及び該スケジューラを用いた基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明は、基板の処理を行う複数の基板処理部と、基板を搬送する搬送部と、搬送部での基板の搬送と基板処理部での基板処理を制御する制御部を備えた基板処理装置の制御部に内蔵され、基板搬送スケジュールを計算するスケジューラであって、新たに投入する基板に対する基板搬送スケジュールを順次計算し、更に装置内に故障が発生した際、その状態を初期状態として基板搬送スケジュールを再計算する機能を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールの計算方法が搬送シミュレーション法であることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、基板を投入するときに所定プロセス制約条件を満たしながら、目標処理スループット以上で予め基板ごとに設定された条件で処理プロセスを実行するように計算されることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、搬送シミュレーション法は、前回の搬送スケジューリングで作成済の基板の搬送スケジュールに従った投入スケジューリング済（以下、本明細書では「投入済」と記す）基板搬送に対する新規投入基板の搬送スケジュールの優先順位、及び投入済基板の搬送が新規投入基板搬送の割り込みにより影響を受け搬送遅延が発生する場合の遅延許容時間をパラメータとして、それらのパラメータに対して装置の設計時点で最適化しておいた設定値を使用することにより、目標スループットに達する搬送スケジュールを作成することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板、又は機器故障により装置が停止して基板処理部に残留した基板を回収しながら新たな基板の投入を行うことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、一部の基板処理部にて故障が発生した場合は、その基板処理部を使用不可とし、使用不可とした基板処理部の使用を予定していた投入済基板及び未処理基板の使用する基板処理部を他の使用可能な基板処理部へ変更した基板搬送スケジュールを再計算することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板処理部の基板を取り出して、他の正常で且つ使用可能な基板処理部に搬送して処理を継続するか、或いは水洗及び乾燥後に基板収納容器へ回収することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、故障が発生した基板の回収、又は機器故障により装置が停止したとき基板処理部に残留する基板の回収を行いながら並行して新たな基板を処理投入することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、他の使用可能な基板処理部へ変更した基板搬送スケジュールを再計算することに並行して新たな基板を処理投入することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板処理部の基板を取り出して、他の正常で且つ使用可能な基板処理部に搬送して処理を継続すると共に、並行して新たな基板を処理投入することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明は、上記スケジューラにおいて、新たに投入する基板に対する全ての処理プロセス、回収する基板の回収開始処理部より下流側の処理プロセス、及び前回以前の基板投入スケジューリングにより基板搬送スケジュールを作成済の基板に対する全ての処理プロセスについて、処理プロセス制約条件を満たすように基板搬送スケジュールのスケジューリングをすることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明は、基板処理を行う複数の基板処理部と、基板を搬送する搬送部と、搬送部での基板搬送と基板処理部での基板処理を制御する制御部を具備する基板処理装置の運転方法において、新規投入基板の基板搬送スケジュールを順次計算して、故障が起きた際に制御部にてその状態を初期状態とし基板搬送スケジュールを再計算することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明は、基板を搬送する搬送部と、基板処理を行う複数の基板処理部と、搬送部での基板搬送と基板処理部での基板処理を制御する制御部を具備する基板処理装置において、制御部に内蔵するスケジューラとして、上記いずれかの発明に係るスケジューラを用いたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、基板搬送スケジュールの計算方法に、シミュレーション法を採用することにより、新たに投入する基板に対して通常処理の基板搬送スケジュールを作成するだけでなく、故障が発生した場合にも容易に基板搬送スケジュールを作成することが可能になる。
【００２３】
本発明は、故障の復旧後に、装置内に残留した基板を回収しながら、新規の基板を投入できるような基板の搬送スケジューリングを行うことにより、基板回収に要する時間を削減して生産量を向上させることができる。
【００２４】
基板処理中の基板処理部で機器の故障が発生して、当該基板処理部をそれ以降使用できなくなった場合、当該基板処理部を自動的に使用不可に設定して後続基板を継続して処理することを可能にする基板の搬送スケジューリングを行うことにより、装置を停止させて基板を回収する時間を削減して生産量を向上させることができる。
【００２５】
処理プロセス不良が発生した場合、装置内にある他の基板の処理プロセス制約条件（処理プロセスが終了してから次の処理プロセスを開始するまでのプロセス時間間隔の許容値等）を満たしながら、当該基板を優先的に処理プロセスの継続が可能な他の同種別基板処理部へ移動させるか、或いは基板収納容器へ回収するためのスケジューリングを行うことにより、当該基板の処理プロセスのダメージを可能な限り少なくして不良発生基板の発生を抑制することができると共に、生産量の向上も図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は本発明の実施例１に係るめっき装置の構成例を示す模式図である。
【図２】図２はめっき装置の制御部のハードウエア構成の一例を示す図である。
【図３】図３はプロセス制約条件の定義を説明するための図である。
【図４】図４は生産量の定義を説明するための図である。
【図５】図５はスケジューラのアーキテクチャを示す図である。
【図６】図６は基板搬送スケジューラのモジュール構成を示す図である。
【図７】図７は本発明に係るスケジューラのスケジューリングプロセスのメイン処理のフローを示す図である。
【図８】図８は新規基板投入処理（図７のＳＴ２１）のフローを示す図である。
【図９】図９は装置停止からの生産再開処理（図７のＳＴ２２）のフローを示す図である。
【図１０】図１０はユニット使用不可設定変更処理（図７のＳＴ２３）のフローを示す図である。
【図１１】図１１はプロセスＮＧ基板回収処理（図７のＳＴ２４）のフローを示す図である。
【図１２】図１２は新規基板投入搬送シミュレーション処理（図８のＳＴ２１−３、ＳＴ２１−６、図１０のＳＴ２３−９）のフローを示す図である。
【図１３】図１３は生産再開基板回収搬送シミュレーション処理（図９のＳＴ２２−６）のフローを示す図である。
【図１４】図１４はプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーション処理（図１１のＳＴ２４−３）のフローを示す図である。
【図１５】図１５はプロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーション処理のフロー（図１０のＳＴ２３−５、図１１のＳＴ２４−５）を示す図である。
【図１６】図１６は搬送シミュレーション初期化処理（図１２のＳＴ１０１）のフローを示す図である。
【図１７】図１７は生産再開残留基板回収、搬送シミュレーション初期化処理（図１３のＳＴ２０１、図１５のＳＴ４０１）のフローを示す図である。
【図１８】図１８はプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーション初期化処理（図１４のＳＴ３０１）のフローを示す図である。
【図１９】図１９は搬送シミュレーション時刻計時処理（図１２のＳＴ１０２、図１３のＳＴ２０２、図１４のＳＴ３０２、図１５のＳＴ４０２）のフローを示す図である。
【図２０】図２０はロードポート新規投入基板又は投入済基板投入開始処理（図１２のＳＴ１０３）のフローを示す図である。
【図２１】図２１はユニットステータス更新処理（図１２のＳＴ１０４、図１３のＳＴ２０３、図１４のＳＴ３０３、図１５のＳＴ４０３）のフローを示す図である。
【図２２】図２２は搬送機ステータス更新処理（図１２のＳＴ１０５、図１３のＳＴ２０４、図１４のＳＴ３０４）のフローを示す図である。
【図２３】図２３は新規投入基板搬送開始判定処理（図１２のＳＴ１０６）のフローを示す図である。
【図２４】図２４は新規回収指定基板搬送開始処理（図１３のＳＴ２０５、図１５のＳＴ４０５）のフローを示す図である。
【図２５】図２５は新規継続指定基板搬送開始判定処理（図１４のＳＴ３０５）のフローを示す図である。
【図２６】図２６は投入済基板搬送開始判定処理（図１２のＳＴ１０７）のフローを示す図である。
【図２７】図２７は回収ＳＣＨ済基板搬送開始判定処理（図１３のステップＳＴ２０６）のフローを示す図である。
【図２８】図２８は投入済基板搬送開始判定処理（図１４のＳＴ３０６、図１５のＳＴ４０６）のフローを示す図である。
【図２９】図２９は投入済基板搬送開始判定処理（図１２のステップＳＴ１０８、図１３のＳＴ２０７、図１４のＳＴ３０７、図１５のＳＴ４０７）のフローを示す図である。
【図３０】図３０は新規投入基板搬送エラー処理（図１２のステップＳＴ１０９）フローを示す図である。
【図３１】図３１は新規回収指定基板搬送エラー処理（図１３のＳＴ２０８、図１５のＳＴ４０８）のフローを示す図である。
【図３２】図３２は新規継続指定基板搬送エラー処理（図１４のＳＴ３０８）のフローを示す図である。
【図３３】図３３は搬送シミュレーション状態を指定領域へコピーする処理（図１２のＳＴ１１０）のフローを示す図である。
【図３４】図３４は搬送シミュレーション終了処理（図１２のＳＴ１１２、図１３のＳＴ２１０、図１４のＳＴ３１０、図１５のＳＴ４１０）のフローを示す図である。
【図３５】図３５は装置停止状態からの生産再開を説明するための概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。本実施の形態では、基板処理装置として半導体基板にめっき処理を行うめっき装置を例に説明するが、本発明に係る基板処理装置はこれに限らず、例えば、ガラス基板に対してＬＣＤ製造用の処理を行う基板処理装置等各種の基板処理装置に適用できる。
【実施例】
【００２８】
図１は本発明の実施例に係るめっき装置の構成例を示す模式図である。本めっき処理装置１０はロードポート１１を備え、内部にロードロボット１２、基板位置決め台１３、洗浄乾燥機１４、締付ステージ１５ａ、１５ｂ、複数のストッカ１６を備えた基板ホルダー貯留領域２５、前水洗槽１７、前処理槽１８、水洗槽１９、粗乾燥槽（ブロー槽）２０、水洗槽２１、複数のめっき槽２２を備えためっき領域２６、２台の搬送機２３、２４が配置された構成である。図１において、矢印Ａは基板のロード移送行程を、矢印Ｂは基板のアンロードの移送行程を示す。ロードポート１１には複数枚の未処理基板を収納した基板収納容器、複数枚の処理済基板を収納する基板収納容器が載置されるようになっている。
【００２９】
上記構成のめっき処理装置１０において、ロードロボット１２はロードポート１１に載置された基板収納容器から未処理の基板を取り出し、基板位置決め台１３に載置し、ノッチ、オリフラ等を基準に基板の位置決めを行う。次にロードロボット１２は基板を締付ステージ１５ａ、１５ｂに移送し、該締付ステージ１５ａ、１５ｂで基板ホルダー貯留領域２５のストッカ１６から取り出した基板ホルダーに基板を装着する。ここでは２台の締付ステージ１５ａ、１５ｂでそれぞれの基板ホルダーに基板を装着し、２つの基板ホルダーを１組として搬送するようになっている。基板ホルダーに装着された基板は搬送機２３により、前水洗槽１７に移送され該前水洗槽１７で前水洗処理された後、前処理槽１８に移送され、該前処理槽１８で前処理された後、更に水洗槽１９に移送され、該水洗槽１９で水洗処理される。
【００３０】
水洗槽１９で水洗処理された基板は搬送機２４でめっき領域２６のいずれかのめっき槽２２に移送され、めっき液に浸漬される。ここでめっき処理が施され基板に金属膜が形成される。該金属膜が形成された基板は搬送機２４により水洗槽２１に移送され、該水洗槽２１で水洗処理された基板は粗乾燥槽（ブロー槽）２０に移送され、該粗乾燥槽２０で粗乾燥処理を施された後、搬送機２３により締付ステージ１５ａ、１５ｂに移送され、ここで基板は基板ホルダーから外される。基板ホルダーから外された基板は、ロードロボット１２で洗浄乾燥機１４に移送され、洗浄・乾燥処理を施された後、ロードポート１１に載置されている所定基板収納容器の所定位置（上記未処理基板を取り出した基板収納容器の未処理基板を取り出した位置又は別途載置された処理終了後の基板（処理済基板）を収納する基板収納容器の所定位置）に収納される。
【００３１】
上記ロードロボット１２、搬送機２３、及び搬送機２４による矢印Ａに示す基板のロード移送行程の搬送制御、及び矢印Ｂに示す基板のアンロードの移送行程の搬送制御は、後述する制御部の制御により行う。図２は制御部のハードウエア構成の一例を示す図である。図示するように、制御部３０は、中央処理装置（ＣＰＵ）３１、キーボード、マウス等のポインティングデバイスや他のコンピュータ内に格納されたデータを読み込むための通信装置等の入力装置３２、及び共有記憶装置３３を備えている。共有記憶装置３３はＲＯＭ３３−１、メモリ３３−２、ハードディスク３３−３を備えている。また、制御部３０は入出力インターフェース３４を介して装置制御用コントローラ３５に接続されている。ＣＰＵ３１からの制御信号は入出力インターフェース３４を介して装置制御用コントローラ３５に送られることにより、装置制御用コントローラ３５を介してロードロボット１２、搬送機２３、及び搬送機２４が制御される。
【００３２】
上記構成のめっき装置において、「新規基板投入」、「搬送機器／プロセス機器異常」、「基板ホルダー不良」、及び「めっき槽整流器異常」のイベントが発生した場合、それぞれ下記のように、「新規基板投入搬送シミュレーション処理」、「搬送機器／プロセス機器異常処理」、「基板ホルダー不良処理」、「めっき槽整流器異常処理」を行う。
【００３３】
〔新規基板投入の搬送シミュレーション〕
新規基板投入の搬送シミュレーションは、下記１）〜４）の手法により搬送シミュレーションを行い、基板搬送スケジュール（基板搬送実行時刻テーブル）を再作成する。
１）新規基板を１枚又は複数枚１組（本実施例では２枚１組）ずつ投入するための搬送シミュレーションを行う。
【００３４】
２）搬送シミュレーションは、仮想的な装置モデルを制御部３０内に生成し、投入済基板は前回の新規基板投入スケジューリングで作成済の基板搬送スケジュールに従って搬送を行い、また新規投入基板はユニット処理終了条件及び搬送条件を満たした搬送シミュレーションを行って、新たな基板搬送スケジュール（基板搬送実行時刻テーブル）を作成する。
【００３５】
３）搬送シミュレーションでは、新規投入基板が基板収納容器から投入されてプロセス終了後に指定した基板収納容器へ戻ってくることを前提とする。
【００３６】
４）搬送シミュレーションでは、各々の投入基板に対して予め制御部３０側で設定されたプロセスレシピ条件に従って搬送処理を行う。また、レシピ時間設定が０のユニットを飛び越す処理も含む。
【００３７】
〔搬送機器／プロセス機器（モータ、ポンプ、恒温器、センサー他）異常〕
搬送機器／プロセス機器異常が発生した場合は、装置は新たな基板の投入を中止して、装置内で処理中の基板を限界まで処理を続行した後に停止する。その後、作業者によって操作パネルの生産再開ボタンが押されたときに、めっき領域２６のめっき槽２２に滞留している基板を回収しながら新たな基板の投入を行い、通常生産を行うための基板搬送スケジュールを搬送シミュレーションにより作成する。（以下「装置停止からの生産再開処理」と記載する）。但し、全ての回収基板に対して、残留めっき槽２２から下流のプロセスにおいてプロセス制約条件を満たすように計算する。
【００３８】
〔基板ホルダー不良〕
めっき通電不良が頻発し、基板ホルダー不良と判定された場合、該不良と判定された基板ホルダーを使用不可として基板ホルダー貯留領域２５のストッカ１６へ戻し、その後は装置停止するまで使用を禁止する。それに伴い、使用不可とされた基板ホルダーを使用予定していた投入済基板及び未処理基板が使用する基板ホルダーを他の使用可能な基板ホルダーへ変更して、基板搬送スケジュールを再作成する。（以下、「ユニット（基板処理部）使用不可設定変更処理」と記載する）。その後に装置の制御部３０から新たな基板を投入する要求があったときには、搬送シミュレーションによってそのための基板搬送スケジュール（基板搬送実行時刻テーブル）を作成する。
【００３９】
〔めっき槽整流器異常〕
めっき槽整流器異常が発生した場合は、めっき通電処理を中断して、その故障が発生しためっき槽２２の基板を別の正常なめっき槽２２に移して通電めっき処理するか、或いは該基板を水洗槽２１、粗乾燥槽２０、洗浄乾燥機１４により、水洗及び乾燥処理の後に基板収納容器１１へ回収するための基板搬送スケジュールを作成する。（以下、「プロセスＮＧ基板回収処理」と記載する）。但し、他の正常な処理中基板の基板搬送スケジュールを乱さず、プロセス制約条件を満たすように計算する。また、故障が発生しためっき槽２２の１列を「使用不可」設定に切り替えて後続の基板が投入されるのを禁止する。それに伴い、使用不可とされためっき槽２２を使用予定していた投入済基板及び未処理基板の使用処理槽を他の使用可能なめっき槽２２へ変更して、基板搬送スケジュールを再作成、即ちユニット（基板処理部）使用不可設定変更処理をする。その後に制御部３０から新たな基板を投入する要求があったときには、搬送シミュレーションによってそのための基板搬送スケジュールを作成する。（以下、「新規基板投入処理」と記載する。）
【００４０】
本実施例では、線形計画法の代わりに搬送シミュレーション法を採用し、厳しいプロセス制約条件を満たしながら、高い生産量を実現するため、以下（１）乃至（３）に示す解決策を実行した。ここで、厳しいプロセス制約条件とは、プロセスが終了してから次のプロセスを開始するまでのプロセス時間間隔のことであり、図３に示すように、Ｌユニットレシピ処理からＭユニットレシピ処理に移るプロセス時間間隔ＴPは、
ＴP＝後処理時間Ｔ1＋取出待ち時間Ｔ2＋搬送時間Ｔ3＋前処理時間Ｔ4
である。通常、めっき処理では、後処理時間Ｔ1及び前処理時間Ｔ4は０（Ｔ1＝０，Ｔ4＝０）、搬送時間Ｔ3はめっき槽２２のどの列から取り出すかにより異なる。そこで、プロセス時間間隔ＴPを超えないように取出待ち時間Ｔ2を調整してスケジューリングする。
【００４１】
また、生産量とは、狭義的には、通常搬送時に単位時間当たりに処理できる基板の枚数のことであり、スループットと呼ぶが、ここでは、図４に示すように、故障発生から復旧時間（故障原因究明時間＋故障修理時間＋基板回収時間）を含めた広義の単位時間当たりの基板処理量である。
【００４２】
（１）故障の復旧後に、めっき処理装置内に残留した基板を回収しながら、新規の基板を投入できるような搬送スケジュールを行うことで、基板回収に要する時間を削減して基板の生産量を向上させる。
【００４３】
（２）基板のめっき処理中に故障が発生して、当該基板のめっき処理中の処理ユニット（めっき槽２２）がそれ以降使用できなくなった場合に、当該処理ユニットを動的に使用不可に設定し、後続基板を継続してめっき処理することを可能にする搬送スケジューリングを行う。これにより、めっき処理装置を停止させて基板を回収する時間を削減して基板の生産量を向上させる。
【００４４】
（３）めっき処理プロセス不良が発生した場合、めっき処理装置内にある他の基板のめっき処理プロセス制約条件を満たしながら、該当基板を優先的にプロセスの継続が可能な他の同種別処理ユニットへ移動させるか、或いは基板収納容器へ回収するための搬送スケジュールを行うことにより、該当基板のプロセス的なダメージを可能な限り少なくして不良の発生を抑制する。
【００４５】
制御部３０は、後に詳述するように、「新規基板投入処理」、「装置停止からの生産再開処理」、「ユニット（基板処理部）使用不可設定変更処理」、「プロセスＮＧ基板回収処理」を行う機能を有し、それぞれの基板搬送シミュレーションを行い基板の搬送スケジュールを作成する。
【００４６】
図５は上記基板の搬送スケジュールを作成するスケジューラのアーキテクチャを示す図である。図示するように、本スケジューラ４０はコントロールプロセス４１、初期化プロセス４２、スケジューリングプロセス４３、インターフェースプロセス４４を備える。コントロールプロセス４１はスケジューリングプロセス４３とインターフェースプロセス４４を起動し、スケジューリングプロセス４３とインターフェースプロセス４４との間のデータ送受信（データ読み込み／書き込み）をハンドシェークで行う。初期化プロセス４２は共有記憶装置３３を初期化する。インターフェースプロセス４４は装置制御用コントローラを備えた装置制御部５０との通信、及びスケジューリングプロセス４３へのイベント通知、基板の搬送スケジュールの送受信を行う。スケジューリングプロセス４３はインターフェースプロセス４４からのイベント受信、搬送スケジュール計算、及び計算して作成した搬送スケジュールの送信を行う。共有記憶装置３３はインターフェースプロセス４４、及びスケジューリングプロセス４３で、パラメータ設定やレシピ設定、基板の搬送スケジュール等の各種データを受け渡す。
【００４７】
図６は基板搬送スケジューラのモジュール構成を示す図である。基板搬送スケジューラは、装置内のイベントに応じて基板搬送シミュレーションを行い、下記ａ）〜ｄ）の機能を実現する。
ａ）新規基板投入スケジューリング機能（新規基板のプロセスレシピ条件に対応した基板搬送スケジュールを作成する機能）
ｂ）生産再開スケジューリング機能（装置が故障停止した後、装置内に残留した全ての基板を回収するための基板搬送スケジュールを作成する機能）
ｃ）ユニット使用・不使用動的切替機能（ユニット（基板処理部）設定切替と同時に、設定変更されたユニットを使用予定していた投入済基板、及び未処理基板の使用ユニットを変更する基板搬送スケジュールを作成する機能）
ｄ）プロセスＮＧ基板の回収スケジューリング機能（（めっき）プロセス不良と判定された基板に関して、他の正常な基板のプロセスを継続しながら、迅速に他のプロセス継続が可能な同種別ユニットへ移動させるか、或いは水洗乾燥後基板収納容器へ回収する基板搬送スケジュール作成機能））
【００４８】
図７はスケジュールリングプロセスのメイン処理のフローを示す図である。ステップＳＴ１で装置制御部５０の装置制御用コントローラ（図５参照）からスケジューラコマンドを受信し、ステップＳＴ２に移行する。該ステップＳＴ２では、装置始動開始要求有りかを判断し、有り（Ｙ）の場合はステップＳＴ３に移行し、無し（Ｎ）の場合は上記ステップＳＴ１に戻る。ステップＳＴ３では、装置始動処理を行い、ステップＳＴ４に移行する。該ステップＳＴ４では、装置制御部５０の装置制御用コントローラからスケジューラコマンドを受信し、ステップＳＴ５に移行する。
【００４９】
ステップＳＴ５では、装置コマンドの種類を判断し、装置コマンドが「新規基板投入」、「装置生産再開」、「ユニット使用不可動的切替」、「プロセスＮＧ発生」かにより、それぞれステップＳＴ２１の「新規基板投入処理」、ステップＳＴ２２の「装置停止からの生産再開処理」、ステップＳＴ２３の「ユニット使用不可設定変更処理」、ステップＳＴ２４の「プロセスＮＧ基板回収処理」を行い、ステップＳＴ３０に移行する。また、ステップＳＴ５で装置コマンドが無い場合、ステップＳＴ３０に移行する。
【００５０】
ステップＳＴ３０では、装置内に処理中基板が有りか又は処理予定基板が有るかを判断し、有る（Ｙ）の場合は、ステップＳＴ３１に移行し、無い（Ｎ）の場合はステップＳＴ３２に移行する。ステップＳＴ３１では、装置制御部５０の装置制御用コントローラに基板搬送スケジュール変更を送信し、ステップＳＴ３２に移行する。ステップＳＴ３２では、装置始動要求があるかを判断し、有る（Ｙ）の場合はステップＳＴ３３に移行し、スケジューラ４０のスケジューリングプロセス４３のスケジューラ演算部停止処理を行う。また、装置始動要求が無い（Ｎ）の場合は、上記ステップＳＴ４に戻る。以下、上記「新規基板投入処理」、「装置停止からの生産再開処理」、「ユニット使用不可設定変更処理」、「プロセスＮＧ基板回収処理」について詳細に説明する。
【００５１】
図８は新規基板投入処理（図７のステップＳＴ２１）のフローを示す図である。先ずステップＳＴ２１−１は、装置内に先行処理中基板が有るかを調べ、無い（Ｎ）場合はステップＳＴ２１−２に移行し、有り（Ｙ）の場合はステップＳＴ２１−４に移行する。ステップＳＴ２１−２で搬送シミュレーションデータ初期化を行い、ステップＳＴ２１−３に移行する。該ステップＳＴ２１−３では先頭新規基板投入搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２１−４に移行する。
【００５２】
ステップＳＴ２１−４では、後続基板同一レシピ投入かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２１−５に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２１−６に移行する。ステップＳＴ２１−５では、スループット検証を行い、最大スループットパラメータを選択し、ステップＳＴ２１−６に移行する。該ステップＳＴ２１−６では後続新規基板投入搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２１−７に移行する。該ステップＳＴ２１−７では基板搬送スケジュール更新を行う。
【００５３】
図９は装置停止からの生産再開処理（図７のステップＳＴ２２）のフローを示す図である。装置停止からの生産再開処理では、先ずステップＳＴ２２−１で装置制御用コントローラの装置内残留基板位置データを読み込み、ステップＳＴ２２−２に移行する。該ステップＳＴ２２−２では搬送シミュレーションデータ初期化を行いステップＳＴ２２−３に移行する。該ステップＳＴ２２−３では装置最下流側未回収残留基板の検索を行いステップＳＴ２２−４に移行する。該ステップＳＴ２２−４では未回収残留基板が有るかを判断し有り（Ｙ）の場合はステップＳＴ２２−５に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２２−７に移行する。ステップＳＴ２２−５では新規回収対象基板を指定し、ステップＳＴ２２−６に移行する。該ステップＳＴ２２−６では回収指定残留基板回収搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２２−３に戻る。ステップＳＴ２２−７では、基板搬送スケジュール更新を行う。
【００５４】
図１０はユニット使用不可設定変更処理（ユニット使用不可設定動的切替処理）（図７のステップＳＴ２３）のフローを示す図である。ユニット使用不可設定変更処理では、先ずステップＳＴ２３−１で対象ユニットの使用・不使用設定切替を行い、ステップＳＴ２３−２に移行する。該ステップＳＴ２３−２では、当該ユニット変更後設定が使用か不使用かを判断し、不使用の場合はステップＳＴ２３−３に移行する。該ステップＳＴ２３−３では当該ユニット使用予定基板上流側検索を行い、使用予定基板有りの場合はステップＳＴ２３−４に移行し、使用予定基板無しの場合はステップＳＴ２３−７に移行する。ステップＳＴ２３−４では同種別使用可能代替ユニットを検索し、無の場合はステップＳＴ２３−５に移行し、有の場合はステップＳＴ２３−６に移行する。
【００５５】
ステップＳＴ２３−５では、プロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーションを行いステップＳＴ２３−７に移行する。また、ステップＳＴ２３−６では、当該ユニット使用予定上流基板の基板搬送スケジュールを代替ユニット使用へ変更し、ステップＳＴ２３−７に移行する。ステップＳＴ２３−７では、当該ユニット使用予定基板処理開始前検索を行い、処理開始前基板有りの場合はステップＳＴ２３−８に移行し、処理開始前基板無しの場合はステップＳＴ２３−１０に移行する。ステップＳＴ２３−８では処理開始前基板の基板搬送スケジュールを削除し、ステップＳＴ２３−９に移行する。該ステップＳＴ２３−９では処理開始前基板再投入シミュレーションを行いステップＳＴ２３−１０に移行する。該ステップＳＴ２３−１０では、基板搬送スケジュールの更新を行う。
【００５６】
図１１はプロセスＮＧ基板回収処理（図７のステップＳＴ２４）のフローを示す図である。プロセスＮＧ基板回収処理では、先ずステップＳＴ２４−１でＮＧ対象基板の基板搬送スケジュールを削除し、ステップＳＴ２４−２に移行する。該ステップＳＴ２４−２では、同種別の使用可能代替ユニットを検索し、同種別の使用可能代替ユニットが有ったらステップＳＴ２４−３に移行し、無かったらステップＳＴ２４−５に移行する。このプロセス異常発生ユニットと同種別で代替ユニットが存在するかどうかの判定は、上流側又は基板収納容器に代替ユニットを使用する予定の正常基板が存在しないこと、或いは存在した場合には代替ユニットを使用予定の基板がそこへ到着する前にプロセスＮＧ基板の代替ユニットでのプロセスが終了するタイミングであれば「有」と看做す。
【００５７】
ステップＳＴ２４−３では、プロセスＮＧ基板代替ユニットプロセス継続搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２４−４に移行する。プロセスＮＧ基板をプロセス制約時間内に異常ユニットから代替ユニットへ搬送してプロセス継続を行い、他の正常基板のプロセス制約条件を守りながら、プロセスＮＧ基板を含め全ての基板を正常に基板収納容器へ戻すための搬送シミュレーションを行う。ここで搬送シミュレーションの方法の詳細は生産再開における「残留回収シミュレーション」と同様である。
【００５８】
ステップＳＴ２４−４では、プロセス継続搬送シミュレーションが成功したか否かを判定し、イエス（Ｙ）であったらステップＳＴ２４−６に移行し、ノー（Ｎ）であったらステップＳＴ２４−５に移行する。本判定では、上記搬送シミュレーションでプロセスＮＧ基板を含め全ての基板がプロセス制約条件を守って正常にロードポートへ戻ったかどうかを判定する。
【００５９】
ステップＳＴ２４−５ではプロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーションを行い、ステップＳＴ２４−６に移行する。プロセスＮＧ基板を異常発生ユニットから取り出して水洗、乾燥処理を経由してロードポートへ戻すための搬送シミュレーションを行う。他の正常基板はプロセス継続を行う。ここで搬送シミュレーションの方法の詳細は生産再開における「残留回収シミュレーション」と同様である。ステップＳＴ２４−６では、基板搬送スケジュール更新を行う。
【００６０】
以下、上記各処理について説明する。図１２は新規基板投入搬送シミュレーション処理（図８のＳＴ２１−３、ＳＴ２１−６、図１０のＳＴ２３−９）のフローを示す図である。図１２において、Ｎは基板収納容器（ロードポート１１）数、ＵＮＩＴ_ＮＵＭはユニット（めっき槽２２を含む全ての処理槽、ロードユニットの合計）総数、ＴＲＦ_ＮＵＭは搬送機台数を示す。先ずステップＳＴ１０１では、搬送シミュレーションの始めに、ユニット（めっき槽２２）情報や搬送機（ロードロボット１２、搬送機２３、２４）情報、投入済基板搬送スケジュールを参照するポインタを初期化し、搬送シミュレーション初期化を行い、ステップＳＴ１０２の搬送シミュレーション時刻計時処理に移行する。ステップＳＴ１０２の搬送シミュレーション時刻計時処理では、搬送機やユニット処理の次のステータス移行イベントまでの最小残り時間を検索し計時処理を行い、ステップＳＴ１０３、１０４に移行する。
【００６１】
ステップＳＴ１０３では、基板収納容器での新規投入基板又は投入済基板の投入開始処理を行い、ステップＳＴ１０４では、全プロセスユニットにおいて処理ステータスの更新処理を行い、ステップＳＴ１０５に移行する。該ステップＳＴ１０５では、全ての搬送機において、搬送ステータスの更新処理を行いステップＳＴ１０６に移行する。該ステップＳＴ１０６では、プロセスユニット又は搬送機に存在する新規投入基板に関して、搬送開始のための判定処理を行い、ステップＳＴ１０７に移行する。該ステップＳＴ１０７では、基板搬送スケジュールの参照ポインタが参照する投入済基板に関して、次の搬送開始のための判定処理を行い、ステップＳＴ１０８に移行する。
【００６２】
ステップＳＴ１０８では、新規投入基板又は投入済基板に関して搬送開始判定処理により搬送開始を要求された基板の搬送開始処理を行い、ステップＳＴ１０９に移行する。ステップＳＴ１０９では、上記ステップＳＴ１０４の処理ステータス更新処理又はステップＳＴ１０５の搬送機ステータス更新処理においてプロセス制約条件を逸脱したエラーが発生した場合には、搬送シミュレーションデータを初期状態に復元してロード開始時刻を遅延する搬送エラー処理を行い、ステップＳＴ１１０に移行する。該ステップＳＴ１１０では、ロードポート１１において処理開始要求をＯＮにした後に搬送シミュレーションのロード前状態記憶要求が発生したときには、現在の搬送シミュレーションデータをロード前状態の記憶領域へコピーする処理を行い、ステップＳＴ１１１に移行する。
【００６３】
ステップＳＴ１１１では、搬送シミュレーション装置内にプロセス中の新規投入又は投入済の基板が存在するかを検索し、有り（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０２に戻り、無し（Ｎ）の場合、即ち新規基板及び投入済基板の搬送が全てプロセス制約を満たして正常に処理終了して指定基板収納容器へ戻ったことを確認したら、ステップＳＴ１１２に移行し、搬送シミュレーション終了処理を行う。この搬送シミュレーション終了処理では、新規に作成された基板搬送スケジュールを投入済基板搬送スケジュール変数領域に上書きコピーする。
【００６４】
図１３は図９のステップＳＴ２２−６の生産再開基板回収搬送シミュレーション処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ２０１では、搬送シミュレーション初期化し、ステップＳＴ２０２に移行する。ステップＳＴ２０２では搬送シミュレーション時刻計時を行い、ステップＳＴ２０３に移行する。ステップＳＴ２０３ではプロセスユニットステータス更新処理を行い、ステップＳＴ２０４に移行する。ステップＳＴ２０４では搬送機ステータス更新処理を行い、ステップＳＴ２０５に移行する。ステップＳＴ２０５では、装置内残留新規回収指定基板搬送開始判定処理を行い、ステップＳＴ２０６に移行する。ステップＳＴ２０６では、装置内残留回収ＳＣＨ済基板搬送開始判定処理を行い、ステップＳＴ２０７に移行する。
【００６５】
ステップＳＴ２０７では、新規回収指定基板、又は回収ＳＣＨ済基板搬送機開始処理を行い、ステップＳＴ２０８に移行する。ステップＳＴ２０８では、残留基板回収シミュレーション搬送エラー処理を行い、ステップＳＴ２０９に移行する。ステップＳＴ２０９では搬送シミュレーション装置内に回収中基板が有るかを判断し、イエス（Ｙ）の場合は前記ステップＳＴ２０２に移行し、上記処理を行い、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２１０に移行する。ここでの回収中基板検索では、回収スケジューリング（ＳＣＨ）をまだ行っていない装置内残留基板を除外する。ステップＳＴ２１０では、搬送シミュレーション終了処理を行う。
【００６６】
図１４は図１１のステップＳＴ２４−３のプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーションフローを示す図である。先ずステップＳＴ３０１で搬送シミュレーション初期化を行い、ステップＳＴ３０２に移行する。ステップＳＴ３０２では、搬送シミュレーション時刻計時を行い、ステップＳＴ３０３に移行する。ステップＳＴ３０３では、プロセスユニットステータス更新処理を行いステップＳＴ３０４に移行する。ステップＳＴ３０４では、搬送機ステータス更新処理を行いステップＳＴ３０５に移行する。ステップＳＴ３０５では、プロセスＮＧ新規継続指定基板搬送開始判定処理を行いステップＳＴ３０６に移行する。
【００６７】
ステップＳＴ３０６では、投入済基板搬送開始判定処理を行いステップＳＴ３０７に移行する。ステップＳＴ３０７では、プロセスＮＧ継続指定基板、又は投入済基板搬送機開始処理を行いステップＳＴ３０８に移行する。ここでの「投入済基板」は、新規投入基板又は回収指定基板としてスケジューリング済の全ての基板を指す。ステップＳＴ３０８では、プロセスＮＧ基板継続シミュレーション搬送エラー処理を行いステップＳＴ３０９に移行する。ステップＳＴ３０９では、搬送シミュレーション装置内に搬送処理中基板があるかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ３１０に移行し、搬送シミュレーション終了処理を行う。
【００６８】
図１５は図１０のステップＳＴ２３−５、図１１のステップＳＴ２４−５のプロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーションフローを示す図である。先ずステップＳＴ４０１では、搬送シミュレーション初期化を行いステップＳＴ４０２に移行する。ステップＳＴ４０２では搬送シミュレーション時刻計時を行いステップＳＴ４０３に移行する。ステップＳＴ４０３では、プロセスユニットステータス更新処理を行いステップＳＴ４０４に移行する。ステップＳＴ４０４では、搬送機ステータス更新処理を行いステップＳＴ４０５に移行する。ステップＳＴ４０５では、プロセスＮＧ新規回収指定基板搬送開始判定処理を行いステップＳＴ４０６に移行する。
【００６９】
ステップＳＴ４０６では、投入済基板搬送開始判定処理を行いステップＳＴ４０７に移行する。ステップＳＴ４０７では、新規回収指定基板、又は投入済基板搬送機開始処理を行いステップＳＴ４０８に移行する。ここでの「投入済基板」は、新規投入基板又は回収指定基板としてスケジューリング済の全ての基板を指す。ステップＳＴ４０８では、プロセスＮＧ基板回収シミュレーション搬送エラー処理を行いステップＳＴ４０９に移行する。ステップＳＴ４０９では、搬送シミュレーション装置内に処理中の基板が有るかを判断し、イエス（Ｙ）の場合は、ステップＳＴ４０２に移行し、ノー（Ｎ）の場合は、ステップＳＴ４１０に移行し、搬送シミュレーション終了処理を行う。
【００７０】
図１６は図１２のステップＳＴ１０１の搬送シミュレーション初期化フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０１−１では、搬送シミュレーション状態を前回投入済基板のロード前状態へ初期化し、ステップＳＴ１０１−２に移行する。ここで搬送シミュレーション状態には、全てのユニット情報データ、搬送機情報データ、その他搬送シミュレーションに必要なデータを含む。初期化は、前回投入基板の搬送シミュレーション開始時に記憶領域にコピー（ステップＳＴ１０１−７）しておいたデータセットを搬送シミュレーション変数領域へ上書きコピーする。ステップＳＴ１０１−２では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを新規投入基板ロード前状態へ初期化し、ステップＳＴ１０１−３に移行する。ここで参照ポインタは、投入済基板の搬送開始を既存基板搬送スケジュールの順序に従って行うために、既存基板搬送スケジュールを順次参照するのに用いる。
【００７１】
ステップＳＴ１０１−３では、新規投入基板の前回投入済基板に対するロード待機時間を計算し、ステップＳＴ１０１−４に移行する。ロード待機時間下限をデフォルト値又はスループット検証結果値とする。ある複数のユニットから成る種別において全てのユニットが使用中の場合、最早に空になるユニットを検索して、そのユニットにスムーズに該当新規投入基板が収納されるロード待機時間を算出する。その計算された時間は上記下限値以上とする。ステップＳＴ１０１−４では、新規投入基板のロード開始時刻を前回投入済基板の開始時刻にロード待機時間を加算して設定し、ステップＳＴ１０１−５に移行する。
【００７２】
ステップＳＴ１０１−５では、装置現在時刻が新規投入基板ロード開始時刻を超えた（装置現在時刻＞新規投入基板ロード開始時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０１−６に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０１−７に移行する。ステップＳＴ１０１−６では、新規投入基板ロード開始時刻を装置現在時刻にマージン時間を加算して再設定し、ステップＳＴ１０１−７に移行する。ここでのマージン時間は、装置現在時刻にスケジューリングを開始して終了するまでの余裕をみた所要時間として予め定数設定しておいたものを用いる。なお、装置現在時刻は、装置制御用コントローラ５０より読み込むものとする。ステップＳＴ１０１−７では搬送シミュレーション状態変数データを全てロード前の記憶領域へコピーする。
【００７３】
図１７は図１３のステップＳＴ２０１、図１５のステップＳＴ４０１の生産再開残留基板回収、プロセスＮＧ基板回収搬送シミュレーション初期化フローを示す図である。先ずステップＳＴ２０１−１では、搬送シミュレーション状態を新規回収指定基板の回収開始前状態に初期化しステップＳＴ２０１−２に移行する。ステップＳＴ２０１−２では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを前回投入ＳＣＨ済基板のロード開始前状態へ初期化し、ステップＳＴ２０１−３に移行する。ステップＳＴ２０１−３では、前回投入ＳＣＨ済基板のロード開始前における時刻を現在シミュレーション時刻に設定し、ステップＳＴ２０１−４に移行する。ステップＳＴ２０１−４では、新規回収指定基板の回収搬送順序及びプロセス条件を作成し、ステップＳＴ２０１−５に移行し、該ステップＳＴ２０１−５で搬送シミュレーション状態変数データを全て回収開始前の記憶領域にコピーする。
【００７４】
図１８は図１４のステップＳＴ３０１のプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーション初期化フローを示す図である。先ずステップＳＴ３０１−１では、搬送シミュレーション状態を新規継続指定基板の搬送開始前状態へ初期化し、ステップＳＴ３０１−２に移行する。ここで搬送シミュレーション状態には、全てのユニット情報データ、搬送機情報データ、その他搬送機シミュレーションに必要なデータを含む。また、初期化は、前回回収ＳＣＨ済基板の搬送シミュレーション開始時に記憶領域にコピー（図１７のステップＳＴ２０１−５）しておいたデータセットを搬送シミュレーション変数領域へ上書きコピーする。ステップＳＴ３０１−２では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを前回投入ＳＣＨ済基板のロード開始前状態へ初期化し、ステップＳＴ３０１−３に移行する。ここで参照ポインタは、投入済基板の搬送開始を既存基板搬送スケジュールの順序に従って行うために、既存基板搬送スケジュールを順次参照するのに用いる。
【００７５】
前記ステップＳＴ３０１−３では、前回投入ＳＣＨ済基板のロード開始前における時刻を現在シミュレーション時刻に設定し、ステップＳＴ３０１−４に移行する。ここでプロセスＮＧ基板継続搬送シミュレーションでは、新規継続指定基板の搬送順序及びプロセス条件は既に存在するので作成する必要は無い。前記ステップＳＴ３０１−４では、搬送シミュレーション状態変数データを全て継続開始前の記憶領域へコピーする。
【００７６】
図１９は図１２のステップＳＴ１０２、図１３のステップＳＴ２０２、図１４のステップＳＴ３０２、図１５のステップＳＴ４０２の搬送シミュレーション時刻計時フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０２−１では、ユニット次ステータス移行までの残り時間最小値を検索し、インターバル時間に設定し、ステップＳＴ１０２−２に移行する。ステップＳＴ１０２−２では新規投入基板搬送開始時刻までの残り時間がインターバル時間を超えない（新規投入基板搬送開始時刻までの残り時間＜インターバル時間）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０２−３に移行し、ノー（Ｎ）はステップＳＴ１０２−４に移行する。ステップＳＴ１０２−３では、新規投入基板搬送開始時刻までの残り時間をインターバル時間に設定し、ステップＳＴ１０２−４に移行し、該ステップＳＴ１０２−４では、搬送機の次ステータス移行までの残り時間最小値を検索し、ステップＳＴ１０２−５に移行する。
【００７７】
ステップＳＴ１０２−５では、搬送機の次ステータスまでの残り時間最小値がインターバル時間を超えない（残り時間最小値＜インターバル時間）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０２−６に移行し、ノー（Ｎ）のステップＳＴ１０２−７に移行する。ステップＳＴ１０２−６では、搬送機の次ステータスまでの残り時間最小値をインターバル時間に設定し、ステップＳＴ１０２−７に移行し、該ステップＳＴ１０２−７で投入済基搬送開始時刻までの残り時間最小値を検索し、ステップＳＴ１０２−８に移行する。ステップＳＴ１０２−８では、投入済基板搬送開始時刻までの残り時間最小値がインターバル時間を超えない（投入済基板搬送開始時刻までの残り時間最小値＜インターバル時間）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０２−９に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０２−１０に移行する。
【００７８】
ステップＳＴ１０２−９では、投入済基板搬送開始時刻までの残り時間最小値をインターバル時間に設定し、ステップＳＴ１０２−１０に移行し、該ステップＳＴ１０２−１０では搬送詰まりエラー監視し、ステップＳＴ１０２−１１に移行する。搬送詰まりエラー監視は、インターバル時間が一定回数以上にわたりゼロとなる状況を監視する。もしこのような状況が発生した場合には搬送エラーとして、新規基板投入遅延時間を定数値に設定する。ステップＳＴ１０２−１１では、搬送シミュレーション時間にインターバル時間を加算する。
【００７９】
図２０は図１２のステップＳＴ１０３のロードポート新規投入基板又は投入済基板投入開始処理のフローを示す図である。先ずステップＳＴ１０３−１では、スケジューリング投入済の処理前基板の順に次ロード基板を検索指定していき、最後尾で新規投入基板を次ロード指定とし、ステップＳＴ１０３−２に移行する。該ステップＳＴ１０３−２では、現在シミュレーション時刻が次のロード指定投入基板のロード開始時刻を経過したかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０３−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０３−１１に移行する。ステップＳＴ１０３−３でロードポートユニット情報にロード指定投入基板データを登録し、ステップＳＴ１０３−４に移行する。ステップＳＴ１０３−４では、新規投入基板であるかｏｒ投入済基板であるかを判断し、新規投入である場合はステップＳＴ１０３−５に移行し、投入済である場合はステップＳＴ１０３−１２に移行する。
【００８０】
ステップＳＴ１０３−５では、基板収納容器からの基板投入開始から基板収納容器に戻るまでの全てのプロセスに対して、使用可能な空きユニットを検索し、ステップＳＴ１０３−６に移行する。該ステップＳＴ１０３−６では、新規投入基板に対して全てのプロセスで使用可能な空きユニットの検索が成功したかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０３−７に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０３−１３に移行する。ステップＳＴ１０３−７では、ロードポートユニットの搬送開始要求信号をＯＮとして、ステップＳＴ１０３−８に移行する。該ステップＳＴ１０３−８では、搬送シミュレーション情報ロード前状態記憶要求をＯＮとする。これにより搬送シミュレーションループ後方で図１２のステップＳＴ１１０の搬送シミュレーション情報の指定記憶領域へのコピーが行われる。
【００８１】
また、ステップＳＴ１０３−１１では、ロード開始時刻までの残り時間を設定する。この時は、ステップＳＴ１０２（図１２参照）の搬送シミュレーション時刻計時における最小時間検索に使われる。また、ステップＳＴ１０３−１２では、ロードポートユニット搬送開始要求をＯＮとする。また、ステップＳＴ１０３−１３では、プロセス対象種別のユニットが複数あり全て使用中の場合には、ロード開始時刻を開始可能時刻まで遅延し、ステップＳＴ１０３−１４に移行し、該ステップＳＴ１０３−１４でロード開始時刻までの残り時間を設定する。
【００８２】
図２１は図１２のステップＳＴ１０４、図１３のステップＳＴ２０３、図１４のステップＳＴ３０３、図１５のステップＳＴ４０３のユニットステータス更新処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０４−１では、ユニット処理経過時間に搬送シミュレーションインターバル時間を加算し、ステップＳＴ１０４−２に移行する。ステップＳＴ１０４−２では、ユニット処理経過時間≧次ステータス移動時間かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０４−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０４−４０に移行する。ステップＳＴ１０４−３では、ユニット処理ステータスを判断し、該ユニット処理ステータスが「処理中」、「処理終了」、「リセット」の場合はそれぞれステップＳＴ１０４−１１、ステップＳＴ１０４−２１、ステップＳＴ１０４−３１に移行する。
【００８３】
ステップＳＴ１０４−１１では、ユニット処理ステータスを「処理終了」へ変更し、ステップＳＴ１０４−１２に移行し、基板搬送要求信号をＯＮとする。また、ステップＳＴ１０４−２１では、ユニット処理ステータス「リセット」移行要求ＯＮかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０４−２２に移行し、ユニット情報基板データを削除してステップＳＴ１０４−２３に移行する。該ステップＳＴ１０４−２３でユニット処理ステータスを「リセット」へ変更し、ステップＳＴ１０４−２４に移行する。該ステップＳＴ１０４−２４では次ステータス移行時間にリセット時間を加算し、ステップＳＴ１０４−２５に移行する。該ステップＳＴ１０４−２５では次ステータス移行時間までの残り時間を設定する。また、ステップＳＴ１０４−３１では、ユニット処理ステータスを「処理停止」へ変更し、ステップＳＴ１０４−３２に移行する、該ステップＳＴ１０４−３２では、ユニット情報データを全て消去する。また、前記ステップＳＴ１０４−４０では、次ステータス移行時間までの残り時間を設定する。
【００８４】
図２２は図１２のステップＳＴ１０５、図１３のステップＳＴ２０４、図１４のステップＳＴ３０４の搬送機ステータス更新処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０５−１では、搬送機搬送処理経過時間に搬送シミュレーションインターバル時間を加算し、ステップＳＴ１０５−２に移行する。ステップＳＴ１０５−２では、搬送処理経過時間≧次ステータス移動時間を経過した（搬送処理経過時間≧次ステータス移動時間）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０５−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０５−５０に移行する。ステップＳＴ１０５−３では搬送ステータスを判断し、該搬送ステータスが「移動中」、「取出中」、「収納中」、「退避中」により、それぞれステップＳＴ１０５−１１、ステップＳＴ１０５−２１、ステップＳＴ１０５−３１、ステップＳＴ１０５−４１に移行する。
【００８５】
ステップＳＴ１０５−１１では、搬送機非干渉条件成立かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０５−１２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０５−１６に移行する。ステップＳＴ１０５−１２では、搬送機搬送種別を判断し、「取出」の場合はステップＳＴ１０５−１３に移行して搬送ステータスを「取出中」へ変更し、「収納」の場合はステップＳＴ１０５−１４に移行し、搬送ステータスを「収納中」へ変更する。また、ステップＳＴ１０５−１６では次ステータス移行時間を遅延更新する。
【００８６】
ステップＳＴ１０５−２１では、ユニット内基板搬送要求がＯＮかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０５−２２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０５−２５に移行する。ステップＳＴ１０５−２２では、ユニット処理ステータスを「リセット」移行要求し、ステップＳＴ１０５−２３に移行し、搬送ステータスを「停止中」へ変更（搬送終了）し、ステップＳＴ１０５−２４に移行し、該ステップＳＴ１０５−２４でプロセス後放置時間上下限搬送エラーを監視する。また、ステップＳＴ１０５−２５では、次ステータス移動時間にユニット処理残り時間分を遅延加算する。
【００８７】
ステップＳＴ１０５−３１では、搬送基板データをユニット情報へコピーし、ステップＳＴ１０５−３２に移行する。ステップＳＴ１０５−３２では、収納ユニットをステータス「処理中」へ移行プロセスを起動し、ステップＳＴ１０５−３３に移行する。ステップＳＴ１０５−３３では、搬送機位置が干渉領域外かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０５−３４に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０５−３６に移行する。ステップＳＴ１０５−３４では搬送ステータスを「停止中」へ変更（搬送終了）し、ステップＳＴ１０５−３５に移行する。該ステップＳＴ１０５−３５では搬送機時情報データを全て消去し、ステップＳＴ１０５−３７に移行する。ステップＳＴ１０５−３７では、プロセス時間間隔上下限搬送エラー監視し、ステップＳＴ１０５−３８に移行する。該ステップＳＴ１０５−３８では、搬送機保持時間上限搬送エラー監視する。また、ステップＳＴ１０５−３６では搬送ステータスを「退避中」へ変更する。
【００８８】
ステップＳＴ１０５−４１では、搬送機現在位置データを待機位置へ変更し、ステップＳＴ１０５−４２に移行する。ステップＳＴ１０５−４２では、搬送ステータスを「停止中」へ変更（搬送終了）し、該ステップＳＴ１０５−４３で搬送機情報データを全て消去する。また、前記ステップＳＴ１０５−５０では、次ステータス移行時間までの残り時間を設定する。
【００８９】
図２３は図１２のステップＳＴ１０６の新規投入基板搬送開始判定処理フローを示す図である。新規投入基板搬送開始判定処理は、指定搬送機が休止している場合に行うため、先ずステップＳＴ１０６−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求がＯＦＦか判断し、イエス（Ｙ）であったらステップＳＴ１０６−２に移行する。ステップＳＴ１０６−２では、現在シミュレーション時刻が搬送開始時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送開始時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）であればステップＳＴ１０６−３に移行し、ノー（Ｎ）であればステップＳＴ１０６−９に移行する。ここで搬送開始時刻は、取出の場合はユニット情報に対してプロセスレシピ設定時間から搬送機到達の所要時間を差し引いて設定された時間を指す。また収納の場合は現在シミュレーション時刻そのものとする。ステップＳＴ１０６−３では搬送機非干渉条件判定処理を行い、ステップＳＴ１０６−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域内へアクセスしているかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機を予約しているかを判定する。
【００９０】
ステップＳＴ１０６−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行いステップＳＴ１０６−５に移行する。本判定では、搬送機条件として基板取出の場合には搬送機ハンドに基板を持っていないか、収納する場合に搬送機ハンドが基板を持っているかを判定する。また取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先別に別の基板が無いかを判定する。ステップＳＴ１０６−５では、上記搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立しているかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０６−６に移行する。ステップＳＴ１０６−６では、新規投入基板搬送開始優先判定を行いＳＴ１０６−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐ開始すると投入済基板搬送の開始時刻遅れ時間が設定許容値を越える場合、新規基板搬送を投入済基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。
【００９１】
ステップＳＴ１０６−７では、ステップＳＴ１０６−６の判定で、新規投入基板の搬送遅延時間が０に等しい（＝０）か或いは正数値（＞０）かを判断し、０の場合はステップＳＴ１０６−８に移行し、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮにする。また、正数値の場合はステップＳＴ１０６−１０に移行し、搬送開始時間に遅延時間を加算して残り時間を設定する。この残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【００９２】
図２４は図１３のステップＳＴ２０５、図１５のステップＳＴ４０５の新規回収指定基板搬送開始判定処理フローを示す図である。投入済基板の搬送開始判定処理は、指定搬送機が休止している場合に行うので、先ずステップＳＴ２０５−１では、指定搬送機停止中で搬送開始要求がＯＦＦであるかを判断し、イエス（Ｙ）であればステップＳＴ２０５−２に移行する。該ステップＳＴ２０５−２では、現在シミュレーション時刻が搬送開始予定時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送開始予定時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０５−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２０５−１１に移行する。ここで搬送開始予定時刻は、取出の場合はユニット情報に対してプロセスレシピ設定時間から搬送到達の所定時間を差し引いて設定された時刻を指す。また、収納の場合は現在シミュレーション時刻そのものとする。
【００９３】
ステップＳＴ２０５−３では、搬送機非干渉条件判定を行い、ステップＳＴ２０５−４に移行する。本判定では、搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域内へアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合は指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ２０５−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行いステップＳＴ２０５−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出す場合には搬送機ハンドが基板を持っていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先に別の基板が無いかを判定する。
【００９４】
ステップＳＴ２０５−５では、上記搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立するかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０５−６に移行する。ステップＳＴ２０５−６では新規回収指定基板搬送開始優先判定を行いステップＳＴ２０５−７に移行する。本判定で、その搬送をすぐ開始すると回収ＳＣＨ済基板搬送の開始時刻遅れ時間が設定許容値を越える場合、新規回収指定基板搬送を回収ＳＣＨ済基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。ステップＳＴ２０５−７では、新規回収指定基板搬送開始遅延時間が０である（＝０）か、正数値（＞０）かを判断し、０に等しい場合はステップＳＴ２０５−８に移行し、正数値の場合はステップＳＴ２０５−１２に移行する。ステップＳＴ２０５−８では、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとする。ここで残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。また、ステップＳＴ２０５−１２では、搬送開始予定時刻に遅延時間を加算して残り時間を設定する。また、ステップＳＴ２０５−１１では搬送開始時刻までの予定時刻を設定する。
【００９５】
図２５は図１４のステップＳＴ３０５の新規継続指定基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ３０５−１で指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＦＦかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０５−２に移行する。該ステップＳＴ３０５−２では、現在シミュレーション時刻が搬送開始時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送開始時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０５−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ３０５−１１に移行し、搬送開始時間までの残り時間を設定する。ここでの搬送開始時間は、取出の場合はユニット情報に対してプロセスレシピ設定時間から搬送機到達の所要時間を差し引いて設定された時間を指す。また収納の場合は現在シミュレーション時間そのものとする。
【００９６】
ステップＳＴ３０５−３では、搬送機非干渉条件を判定しステップＳＴ３０５−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域にアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ３０５−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行いステップＳＴ３０５−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出する場合には搬送機ハンドが基板をもっていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先に別の基板が無いかを判定する。
【００９７】
ステップＳＴ３０５−５では、搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立するかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０５−６に移行する。該ステップＳＴ３０５−６では新規継続指定基板搬送開始優先判定を行い、ステップＳＴ３０５−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐ開始すると回収ＳＣＨ済基板搬送の開始時刻遅れ時間が設定許容値を越える場合、新規回収指定基板搬送を回収ＳＣＨ済基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。ステップＳＴ３０５−７では、継続指定基板搬送開始遅延時間が０である（＝０）又は正数値である（＞０）かを判断し、０の場合はステップＳＴ３０５−８に移行し、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとし、正数値の場合はステップＳＴ３０５−１２に移行し、搬送開始時間に遅延時間を加算して残り時間を設定する。ここで、残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【００９８】
図２６は図１２のステップＳＴ１０７の投入済基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０７−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＦＦかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０７−２に移行する。ステップＳＴ１０７−２では、現在シミュレーション時刻が搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０７−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ１０７−１１に移行する。ここでの搬送開始予定時刻は、基板搬送スケジュールのポインタが参照する行における時刻を指す。
【００９９】
前記ステップＳＴ１０７−３では、搬送機非干渉条件を判定し、ステップＳＴ１０７−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域内へアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ１０７−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行い、ステップＳＴ１０７−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出しの場合には搬送機ハンドが基板を持っていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先に別の基板が無いかを判定する。また、ステップＳＴ１０７−１１では、搬送開始予定時刻までの残り時間を設定する。
【０１００】
ステップＳＴ１０７−５では、搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立しているかを判定し、イエス（Ｙ）の場合は、ステップＳＴ１０７−６に移行し、該ステップＳＴ１０７−６では投入済基板搬送開始優先判定し、ステップＳＴ１０７−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐに開始すると搬送予定時刻を過ぎて遅れ時間が設定許容値を超える場合、新規基板搬送を投入済基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。
【０１０１】
ステップＳＴ１０７−７では、投入済み基板搬送開始遅延時間が０である（＝０）か又は正数値である（＞０）を判定し、０の場合はステップＳＴ１０７−８に移行し、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとする。また正数値の場合はステップＳＴ１０７−１２に移行し、搬送開始予定時刻に遅延時間を加算して残り時間を設定する。ここで残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【０１０２】
図２７は図１３のステップＳＴ２０６の回収ＳＣＨ済基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ２０６−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＦＦかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０６−２に移行する。ステップＳＴ２０６−２では、現在シミュレーション時刻が搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻）かを判定し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０６−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２０６−１１に移行する。ここでの搬送開始予定時刻は、投入済基板搬送スケジュールのポインタが参照する行における時刻を指す。
【０１０３】
ステップＳＴ２０６−３では、搬送機非干渉条件判定を行い、ステップＳＴ２０６−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機搬送機が干渉領域内へアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ２０６−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定し、ステップＳＴ２０６−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出しする場合には搬送機ハンドが基板を持っていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また、取出元・収納先ユニット条件として、取出元に基板が存在して収納先に別の基板が無いかを判定する。また、ステップＳＴ２０６−１１では、搬送開始予定時刻までの残り時間を設定する。
【０１０４】
前記ステップＳＴ２０６−５では、搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立するかを判断し、イエスの場合はステップＳＴ２０６−６に移行し、回収ＳＣＨ済基板搬送開始優先判定を行い、ステップＳＴ２０６−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐに開始すると新規回収指定基板の搬送予定時刻を過ぎて遅れ時間が設定許容値を超える場合、回収ＳＣＨ済基板搬送を新規回収指定基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。
【０１０５】
ステップＳＴ２０６−７はでは、回収ＳＣＨ済基板搬送時間開始遅延時間が０である（＝０）か又は正数値（＞０）であるかを判定し、０ではステップＳＴ２０６−８に移行し、搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとする。また、正数値の場合は、搬送開始予定時刻に遅延時間を加算して残り時間を設定する。この残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【０１０６】
図２８は図１４のステップＳＴ３０６、図１５のステップ４０６の投入済基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ３０６−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＦＦかを判定し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０６−２に移行する。ステップＳＴ３０６−２では、現在シミュレーション時刻が搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻を経過した（現在シミュレーション時刻≧搬送実行時刻テーブル搬送開始予定時刻）かを判定し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０６−３に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ３０６−１１に移行する。ここで搬送開始予定時刻は、投入基板搬送スケジュールのポインタが参照する行における時刻を指す。
【０１０７】
ステップＳＴ３０６−３では、搬送機非干渉条件を判定し、ステップＳＴ３０６−４に移行する。本判定では、指定搬送機が隣接搬送機との干渉領域に入る場合、隣接搬送機が干渉領域内へアクセスしていないかどうか、又はアクセスする予定の場合には指定搬送機が干渉領域を予約しているかを判定する。ステップＳＴ３０６−４では、搬送機条件判定、取出元・収納先ユニット条件判定を行い、ステップＳＴ３０６−５に移行する。本判定では、搬送機条件として取出する場合には搬送機ハンドが基板を持っていないか、収納する場合には基板を持っているかを判定する。また、取出元・収納先ユニット条件として、取出に基板が存在して収納先に別の基板が無いことを判定する。また、ステップＳＴ３０６−１１では、搬送開始予定時刻までの残り時間を設定する。
【０１０８】
ステップＳＴ３０６−５では、搬送機非干渉条件＆搬送機条件＆取出元・収納先ユニット条件の全てが成立したかを判定し、イエス（Ｙ）の場合は、ステップＳＴ３０６−６に移行する。ステップＳＴ３０６−６では、投入済基板搬送開始優先を判定し、ステップＳＴ３０６−７に移行する。本判定では、その搬送をすぐに開始すると新規継続又は回収指定基板の搬送予定時刻を過ぎて遅れ時間が設定許容値を超える場合、投入済基板を新規継続又は回収指定基板に対して優先するかを優先順位パラメータで判定する。
【０１０９】
ステップＳＴ３０６−７では投入済基板搬送開始遅延時間が０であるか（＝０）又は正数値である（＞０）かを判断し、０の場合は搬送機に対して搬送開始要求をＯＮとし、正数値の場合は搬送開始予定時刻に遅延時間を加算して残り時間を設定する。残り時間は、搬送シミュレーション時刻計時用のインターバル時間計算に用いる。
【０１１０】
図２９は図１２のステップＳＴ１０８、図１３のステップＳＴ２０７、図１４のステップＳＴ３０７、図１５のＳＴステップ４０７の投入済基板搬送開始判定処理フローを示す図である。先ずステップＳＴ１０８−１では、指定搬送機停止中＆搬送開始要求ＯＮかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０８−２に移行する。ステップＳＴ１０８−２では搬送機情報データへ搬送基板データ、搬送動作を設定し、ステップＳＴ１０８−３へ移行する。ステップＳＴ１０８−３では、搬送ステータスを「移動中」へ設定し、ステップＳＴ１０８−４に移行する。ここで搬送ステータスは搬送機情報データにプロパティとして含まれる。
【０１１１】
前記ステップＳＴ１０８−４では、搬送機次ステータス移行までの残り時間に移動時間を設定し、ステップＳＴ１０８−５に移行する。ステップＳＴ１０８−５では、基板搬送スケジュールへ該当搬送データを登録し、ステップＳＴ１０８−６に移行する。ステップＳＴ１０８−６では、新規投入基板ｏｒ投入済基板かを判断し、投入済基板の場合はステップＳＴ１０８−７に移行し新規投入基板の場合はステップＳＴ１０８−８に移行する。ステップＳＴ１０８−７では、投入済基板搬送スケジュール参照ポインタを更新し、ステップＳＴ１０８−８に移行する。ステップＳＴ１０８−８では、搬送機搬送開始要求をＯＦＦとする。
【０１１２】
図３０は図１２のステップＳＴ１０９の新規投入基板搬送エラー処理のフローを示す図である。搬送シミュレーションでは、不良発生ユニットに存在するプロセス不良基板、及び装置停止時においてユニットに残留する基板を除く全ての投入済基板について、プロセス制約条件を満足していない搬送、又は搬送が詰まった状態を搬送エラーとしてステップＳＴ１０５の（図１２参照）搬送ステータス更新処理で検知する。ステップＳＴ１０５の搬送ステータス更新処理で搬送エラーを検知した場合には、新規基板の装置内へのプロセス投入開始時刻を遅延させるための新規投入遅延時間を設定する。このプロセス制約条件には、全てのユニットを対象として、下記（ａ）〜（ｃ）に対する上限及び下限時間を含む。
（ａ）プロセス終了時点から基板を搬送機ハンドが掴むまでの時間
（ｂ）プロセス終了から次のユニットでのプロセス開始時点までのプロセス時間間隔
（ｃ）搬送機が基板を取出終了してから次のユニットへの収納開始するまでの搬送機保持時間
【０１１３】
図３０において、ステップＳＴ１０９−１では、新規基板投入遅延時間が正数値であるかを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ１０９−２に移行する。該ステップＳＴ１０９−２では、搬送シミュレーションの状態を新規投入基板ロード前の初期状態に復元し、続くステップＳＴ１０９−３では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを新規投入基板ロード前の状態に復元し、ステップＳＴ１０９−４に移行する。該ステップＳＴ１０９−４では、新規投入基板のロード開始時刻を遅延時間だけ延期させて、搬送シミュレーションを再試行する。
【０１１４】
図３１は図１３のステップＳＴ２０８、図１５のステップＳＴ４０８の新規回収指定基板搬送エラー処理のフローを示す図である。先ずステップＳＴ２０８−１では、新規回収指定基板回収開始遅延時間＞０かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ２０８−２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ２０８−４に移行する。ステップＳＴ２０８−２では搬送シミュレーション状態を新規回復指定基板回収開始前の初期状態に復元し、ステップＳＴ２０８−３に移行する。搬送シミュレーション状態の復元は、前回回収指定基板の搬送シミュレーション開始時に記憶領域にコピー（図１７のステップＳＴ２０１−５）しておいたデータセットを搬送シミュレーション変数領域へ上書きコピーする。
【０１１５】
前記ステップＳＴ２０８−３では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを新規回収指定基板回収開始前の状態へ復元し、ステップＳＴ２０８−４に移行し、該ステップＳＴ２０８−４で新規回収指定基板の回収開始時刻を遅延時間だけ延期させる。
【０１１６】
図３２は図１４のステップＳＴ３０８の新規継続指定基板搬送エラー処理のフローを示す図である。先ずステップＳＴ３０８−１では、新規継続指定基板継続開始遅延時間が正数値（＞０）かを判断し、イエス（Ｙ）の場合はステップＳＴ３０８−２に移行し、ノー（Ｎ）の場合はステップＳＴ３０８−４に移行する。搬送シミュレーション状態の復元は、新規継続指定基板の搬送シミュレーション開始時に記憶領域へ上書きコピーする（図１８のステップＳＴ３０１−４）。ステップＳＴ３０８−２では、搬送シミュレーション状態を新規継続指定基板継続開始前の初期状態へ復元し、ステップＳＴ３０８−３に移行する。ステップＳＴ３０８−３では、投入済基板搬送スケジュールの参照ポインタを新規継続指定基板継続開始前の状態に復元し、ステップＳＴ３０８−４に移行する。ステップＳＴ３０８−４では、新規継続指定基板の継続開始時刻を遅延時間だけ延期させる。
【０１１７】
図３３は図１２のステップＳＴ１１０の搬送シミュレーション状態を指定領域へコピーするフローを示す図である。先ずステップＳＴ１１０−１では、搬送シミュレーション情報記憶要求をＯＮとし、ステップＳＴ１１０−２に移行する。ステップＳＴ１１０−２では、搬送シミュレーション情報を指定状態を記憶領域へコピーし、ステップＳＴ１１０−３に移行する。ステップＳＴ１１０−３では、搬送シミュレーション情報記憶要求ＯＦＦとする。
【０１１８】
図３４は図１２のステップＳＴ１１２、図１３のステップＳＴ２１０、図１４のステップＳＴ３１０、図１５のステップＳＴ４１０の搬送シミュレーション終了処理フローを示す図である。ステップＳＴ１１２−１では、作成された基板搬送スケジュールを投入済基板搬送スケジュール変数領域へ上書きコピーする。
【０１１９】
〔スループット検証〕
図８のステップＳＴ２１−５のスループット検証処理は下記のように行う。
１）同一プロセスレシピ条件の新規基板を複数枚同時に投入する場合、装置内に基板が存在しない状態からの先頭新規基板投入の搬送シミュレーション（図８のステップＳＴ２１−３）後、及び後続新規基板投入の搬送シミュレーション（図８のステップＳＴ２１−６）の前に最大スループットになる搬送制御パラメータ設定を選択する検証（図８のステップＳＴ２１−５）を行う。ここで先頭新規基板投入の搬送シミュレーション（図８のステップＳＴ２１−３）は、スループット検証処理（図８のステップＳＴ２１−５）に時間を要する場合に先頭基板を先にプロセス投入するための処置である。
【０１２０】
２）前記１）のスループット検証機能（図８のステップＳＴ２１−５）では、最適と想定される複数のパラメータ設定を用意して、それらの各々に対してスループット評価対象枚数分の新規基板投入搬送シミュレーションを行い、スループットの評価値を計測する。その中から最大スループット値となるパラメータを選択して、それを残り複数枚の新規基板等投入搬送シミュレーションに使用する。
【０１２１】
３）前記２）のパラメータ設定には新規投入基板、及び投入済基板の搬送開始遅れ許容時間、優先順位パラメータ、及び基板投入時間下限間隔を含む。
【０１２２】
４）前記２）の最適と想定される複数のパラメータ設定は、予め設計時点において考えられるプロセスレシピ条件に対してスループット値が最大となるようなパラメータ設定を検索することにより準備しておく。
【０１２３】
５）前記２）で計測するスループット評価値は、先頭新規基板が基板収納容器から投入されてから最後尾基板が基板収納容器に戻るまでの下記するロットインデックス値、或いは先頭新規基板が基板収納容器に戻ってから最後尾基板が基板収納容器に戻るまでのタクトベース値の何れかを選択使用する。何れを使用するかは装置毎に異なる。
ロットインデックス値ＷＰＨlot index
＝基板処理枚数Ｎ／基板総処理所要時間ＴN
タクトベース値ＷＰＨtakt base
＝（基板処理枚数Ｎ−１）／（総処理所要時間ＴN−先頭基板処理所要時間Ｔ1）
【０１２４】
〔生産再開機能〕
装置の故障停止後において、人手によるメンテナンス後に装置制御部から生産再開の要求を受けたとき、装置内に残留する基板を指定された基板収納容器に回収しながら、同時に新規基板を装置内に投入するスケジューリングを、下記１）〜３）のように行う。
１）生産再開スケジューリングには搬送シミュレーション方式を用いる。
２）装置内に残留した基板は、プロセス制約条件を満たしながら指定された基板収納容器へ回収する。
３）装置内に残留した基板を回収するスケジューリングを行い、続いて後続の新規の基板を投入するためのスケジューリングを行う。
【０１２５】
図３５は装置停止状態からの生産再開を説明するための概念図であり、図３５（ａ）は従来例を、図３５（ｂ）は本実施例を示す。図示するように、従来例では図３５（ａ）に示すように、装置内に残留している基板１〜４を回収し、その後に生産再開準備を行い、該生産再開準備の終了後に新規基板５〜８の投入を行っていた。これに対して本実施例では、図３５（ｂ）に示すように、装置内に残留している基板１〜４の回収と並行して、新規基板５〜８の投入を行っている。これにより生産量が向上する。
【０１２６】
〔装置内に残留している基板の回収スケジューリング〕
装置内に残留している基板の回収スケジューリングの概要は、下記１）〜４）となる。
１）装置内に残留した基板を１枚又は複数枚１組ずつ指定（本実施例では２枚１組指定）して基板収納容器への回収をするための搬送シミュレーションを行う。
【０１２７】
２）搬送シミュレーションは、仮想的な装置モデルを制御部内に生成し（図５参照）、回収スケジューリング済基板は前回の残留基板回収シミュレーションで作成済の基板搬送スケジュールに従って搬送を行い、また新規回収指定基板はユニット処理終了条件及び搬送条件を満たした搬送シミュレーションを行って、新たな基板搬送スケジュールを作成する。
【０１２８】
３）搬送シミュレーションでは、新規回収指定基板がプロセス終了後に指定された基板収納容器へ戻ることを前提とする。
【０１２９】
４）搬送シミュレーションでは、各々の回収基板に対して予め装置制御部側で設定されたプロセスレシピ条件に従って搬送処理を行う。また、レシピ時間設定が０のユニットを飛び越す処理を含む。
【０１３０】
〔残留基板回収搬送シミュレーションの流れ〕
残留基板回収搬送シミュレーションの流れは、図１３の生産再開基板回収搬送シミュレーション処理（図９のＳＴ２２）フローと同じであるので、その図示と説明は省略する。
【０１３１】
〔残留基板回収シミュレーション〕
ここで新規回収指定基板の搬送開始判定処理フローは、図２４の新規回収指定基板搬送開始処理（図１３のＳＴ２０５、図１５のＳＴ４０５）フローと同じであるので、その図示と説明は省略する。
また、回収スケジューリング済基板の搬送開始判定処理は、図２７の回収ＳＣＨ済基板搬送開始判定処理（図１３のＳＴ２０６）フローと同じであるので、その図示と説明は省略する。
【０１３２】
〔搬送エラー処理〕
搬送エラー処理フローは、図３１の新規回収指定搬送エラー処理（図１３のＳＴ２０８、図１５のＳＴ４０８）フローと同じであるので、その図示と説明は省略する。
【０１３３】
〔ユニット使用・不使用の動的切替機能〕
基板を処理中に故障が発生して、当該基板を処理中のユニットがそれ以上使用できなくなった場合（図７のステップＳＴ５において、装置コマンドがユニット使用不可動的切替であった場合のステップＳＴ８のユニット使用不可設定変更処理）、当該処理ユニットを動的に使用不可に設定して後続基板を継続して処理することを可能にするスケジューリングには上記搬送シミュレーション方式を用いる。
【０１３４】
上記ユニット使用不可設定時のスケジューリングは、図１０のユニット使用不可設定変更処理フローに基づいて、前記段落００５３〜００５４に記載するように行う。要約すると下記１）〜１７）となる。
【０１３５】
１）処理開始基板が「不使用」へ設定変更されたユニットを使用する予定であってその上流行程でプロセス中の場合、当該ユニットと同一種別の他の基板プロセスに影響を与えない使用可能な別ユニットを探す。
【０１３６】
２）前記１）で別の使用可能なユニットが見つかった場合には、基板搬送スケジュールをその別の処理ユニットを使用するように書き換える。
【０１３７】
３）前記１）で別の使用可能なユニットが見つからなかった場合には、その基板を現在プロセス中のユニット処理終了時点から基板収納容器へ回収するスケジューリングを行うか、或いは予定通り当該ユニットを使用してプロセスを続行するためスケジューリングを行わない。
【０１３８】
４）前記３）で当該基板を回収する場合のスケジューリングは、当該ユニット直前のユニットに存在する基板をプロセス不良基板に見立てて、後述の回収スケジューリングを行う。
【０１３９】
５）前記３）におけるプロセス続行の判断は、設計時点で予め設定しておいたパラメータにより行う。このパラメータ設定は装置毎に異なる。
【０１４０】
６）上記機能は、処理開始前基板の中に「不使用」へ設定変更されたユニットを使用する予定の基板が含まれている場合には、その基板以降の全ての処理開始前基板の搬送を投入済基板の基板搬送スケジュールから一旦削除し、それらの処理開始前基板を再投入するための搬送シミュレーションを上記新規基板投入の場合と同様に行う。
【０１４１】
７）上記機能は、処理開始前基板の中に「使用」へ設定変更されたユニットを含む種別のプロセスを行う予定の基板が含まれる場合には、その基板以降の全ての処理開始前基板の搬送を投入済基板の基板搬送スケジュールから一旦削除し、それらの処理開始前基板を再投入するための搬送シミュレーションを上記新規基板の投入と同様に行う。
【０１４２】
〔プロセス不良基板の回収機能〕
処理ユニットにおいてプロセス異常が発生した基板に関して、他の正常な基板のプロセスを継続しながら、迅速に他のプロセス継続が可能な同種別ユニットへ移動させてプロセスを継続するか、或いは水洗乾燥処理後基板収容容器へ回収するためのスケジューリングを下記１）〜５）のように行う。
１）プロセス継続、又は基板回収スケジューリングには上記搬送シミュレーション方式を用いる。
【０１４３】
２）搬送シミュレーションは、制御部に仮想的な装置モデルを生成し、投入済基板は前回の新規投入スケジューリングで作成済の基板搬送スケジュールに従って搬送を行い、また回収指定基板はユニット処理終了条件及び搬送条件を満たした搬送シミュレーションを行って、新たな基板搬送スケジュールを作成する。
【０１４４】
３）搬送シミュレーションでは、回収指定基板がプロセス終了後に指定した基板収容容器へ戻ってくることを前提とする。
【０１４５】
４）搬送シミュレーションでは、各々の回収基板に対して予め装置制御部側で設定されたプロセスレシピ条件に従って搬送処理を行う。また、レシピ時間設定が０のユニットを飛び越す処理も含む。
５）搬送シミュレーションの流れは上記「残留基板回収搬送シミュレーション」と同様である。
【０１４６】
以上、本発明の実施形態例を説明したが、本発明は上記実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。上記実施例ではめっき槽２２で半導体基板にバンプ電極等の金属膜を形成するめっき処理装置を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、より厳格な基板搬送スケジュールの管理が必要な装置に好適である。例えば、電解めっきでは電解電流を供給する電源を遮断することにより、めっきの進行を止めることができるから、無電解めっき装置ほど厳しい制約条件での基板搬送スケジューリングを必要としないが、無電解めっき装置では、必然的にめっき処理が進行するため、より厳格な基板搬送スケジュールの管理が必要となるから、本願発明が好適である。
【産業上の利用可能性】
【０１４７】
本発明は、基板の搬送スケジュールの計算方法に、シミュレーション法を採用することにより、新たに投入する基板に対して通常処理の基板搬送スケジュールを作成するだけでなく、故障が発生し、故障の復旧後に、装置内に残留した基板を回収しながら、新規の基板を投入できるような基板の搬送スケジューリングを行うことにより、基板回収に要する時間を削減して生産量を向上させることができるスケジューラ、該スケジューラを用いた基板処理装置、及び基板処理装置の運転方法をとして利用できる。
【符号の説明】
【０１４８】
１０ めっき処理装置
１１ ロードポート
１２ ロードロボット
１３ 基板位置決め台
１４ 洗浄乾燥機
１５ 締付ステージ
１６ ストッカ
１７ 前水洗槽
１８ 前処理槽
１９ 水洗槽
２０ 粗乾燥槽（ブロー槽）
２１ 水洗槽
２２ めっき槽
２３ 搬送機
２４ 搬送機
２５ 基板ホルダー貯留領域
２６ めっき領域
３０ 制御部
３１ 中央処理装置（ＣＰＵ）
３２ 入力装置
３３ 共有記憶装置
３４ 入出力インターフェース
４０ スケジューラ
４１ コントロールプロセス
４２ 初期化プロセス
４３ スケジューリングプロセス
４４ インターフェースプロセス
５０ 装置制御部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行う複数の基板処理部と、前記基板を搬送する搬送部と、前記搬送部での前記基板の搬送と前記基板処理部での基板処理を制御する制御部を備えた基板処理装置の前記制御部に内蔵され、基板搬送スケジュールを計算するスケジューラであって、
新たに投入する基板に対する基板搬送スケジュールを順次計算し、更に装置内に故障が発生した際、その状態を初期状態として基板搬送スケジュールを再計算する機能を備えたことを特徴とするスケジューラ。
【請求項２】
請求項１に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールの計算方法が搬送シミュレーション法であることを特徴とするスケジューラ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、前記基板を投入するときに所定プロセス制約条件を満たしながら、目標処理スループット以上で予め基板ごとに設定された条件で処理プロセスを実行するように計算されることを特徴とするスケジューラ。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のスケジューラにおいて、
前記搬送シミュレーション法は、前回の搬送スケジューリングで作成済の基板の搬送スケジュールに従った投入済基板搬送に対する新規投入基板の搬送スケジュールの優先順位、及び投入済基板の搬送が新規投入基板搬送の割り込みにより影響を受け搬送遅延が発生する場合の遅延許容時間をパラメータとして、それらのパラメータに対して装置の設計時点で最適化しておいた設定値を使用することにより、目標スループットに達する搬送スケジュールを作成することを特徴とするスケジューラ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板、又は機器故障により装置が停止して前記基板処理部に残留した基板を回収しながら新たな基板の投入を行うことを特徴とするスケジューラ。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、一部の前記基板処理部にて故障が発生した場合は、その基板処理部を使用不可とし、該使用不可とした基板処理部の使用を予定していた投入済基板及び未処理基板の使用する基板処理部を他の使用可能な基板処理部へ変更した基板搬送スケジュールを再計算することを特徴とするスケジューラ。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板処理部の基板を取り出して、他の正常で且つ使用可能な基板処理部に搬送して処理を継続するか、或いは水洗及び乾燥後に基板収納容器へ回収することを特徴とするスケジューラ。
【請求項８】
請求項５に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、前記故障が発生した基板の回収、又は機器故障により装置が停止したとき基板処理部に残留する基板の回収を行いながら並行して新たな基板を処理投入することを特徴とするスケジューラ。
【請求項９】
請求項６に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、前記他の使用可能な基板処理部へ変更した基板搬送スケジュールを再計算することに並行して新たな基板を処理投入することを特徴とするスケジューラ。
【請求項１０】
請求項７に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、前記故障が起きた基板処理部の基板を取り出して、他の正常で且つ使用可能な基板処理部に搬送して処理を継続すると共に、並行して新たな基板を処理投入することを特徴とするスケジューラ。
【請求項１１】
請求項８又は１０に記載のスケジューラにおいて、
新たに投入する基板に対する全ての処理プロセス、回収する基板の回収開始処理部より下流側の処理プロセス、及び前回以前の基板投入スケジューリングにより基板搬送スケジュールを作成済の基板に対する全ての処理プロセスについて、処理プロセス制約条件を満たすように基板搬送スケジュールのスケジューリングをすることを特徴とするスケジューラ。
【請求項１２】
基板処理を行う複数の基板処理部と、基板を搬送する搬送部と、前記搬送部での基板搬送と前記基板処理部での基板処理を制御する制御部を具備する基板処理装置の運転方法において、
新規投入基板の基板搬送スケジュールを順次計算して、故障が起きた際に前記制御部にてその状態を初期状態とし基板搬送スケジュールを再計算することを特徴とする基板処理装置の運転方法。
【請求項１３】
基板を搬送する搬送部と、基板処理を行う複数の基板処理部と、前記搬送部での基板搬送と前記基板処理部での基板処理を制御する制御部を具備する基板処理装置において、
前記制御部に内蔵するスケジューラとして、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のスケジューラを用いたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項１】
基板の処理を行う複数の基板処理部と、前記基板を搬送する搬送部と、前記搬送部での前記基板の搬送と前記基板処理部での基板処理を制御する制御部を備えた基板処理装置の前記制御部に内蔵され、基板搬送スケジュールを計算するスケジューラであって、
新たに投入する基板に対する基板搬送スケジュールを順次計算し、更に装置内に故障が発生した際、その状態を初期状態として基板搬送スケジュールを再計算する機能を備えたことを特徴とするスケジューラ。
【請求項２】
請求項１に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールの計算方法が搬送シミュレーション法であることを特徴とするスケジューラ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、前記基板を投入するときに所定プロセス制約条件を満たしながら、目標処理スループット以上で予め基板ごとに設定された条件で処理プロセスを実行するように計算されることを特徴とするスケジューラ。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のスケジューラにおいて、
前記搬送シミュレーション法は、前回の搬送スケジューリングで作成済の基板の搬送スケジュールに従った投入済基板搬送に対する新規投入基板の搬送スケジュールの優先順位、及び投入済基板の搬送が新規投入基板搬送の割り込みにより影響を受け搬送遅延が発生する場合の遅延許容時間をパラメータとして、それらのパラメータに対して装置の設計時点で最適化しておいた設定値を使用することにより、目標スループットに達する搬送スケジュールを作成することを特徴とするスケジューラ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板、又は機器故障により装置が停止して前記基板処理部に残留した基板を回収しながら新たな基板の投入を行うことを特徴とするスケジューラ。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、一部の前記基板処理部にて故障が発生した場合は、その基板処理部を使用不可とし、該使用不可とした基板処理部の使用を予定していた投入済基板及び未処理基板の使用する基板処理部を他の使用可能な基板処理部へ変更した基板搬送スケジュールを再計算することを特徴とするスケジューラ。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、故障が起きた基板処理部の基板を取り出して、他の正常で且つ使用可能な基板処理部に搬送して処理を継続するか、或いは水洗及び乾燥後に基板収納容器へ回収することを特徴とするスケジューラ。
【請求項８】
請求項５に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、前記故障が発生した基板の回収、又は機器故障により装置が停止したとき基板処理部に残留する基板の回収を行いながら並行して新たな基板を処理投入することを特徴とするスケジューラ。
【請求項９】
請求項６に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、前記他の使用可能な基板処理部へ変更した基板搬送スケジュールを再計算することに並行して新たな基板を処理投入することを特徴とするスケジューラ。
【請求項１０】
請求項７に記載のスケジューラにおいて、
前記基板搬送スケジュールは、前記故障が起きた基板処理部の基板を取り出して、他の正常で且つ使用可能な基板処理部に搬送して処理を継続すると共に、並行して新たな基板を処理投入することを特徴とするスケジューラ。
【請求項１１】
請求項８又は１０に記載のスケジューラにおいて、
新たに投入する基板に対する全ての処理プロセス、回収する基板の回収開始処理部より下流側の処理プロセス、及び前回以前の基板投入スケジューリングにより基板搬送スケジュールを作成済の基板に対する全ての処理プロセスについて、処理プロセス制約条件を満たすように基板搬送スケジュールのスケジューリングをすることを特徴とするスケジューラ。
【請求項１２】
基板処理を行う複数の基板処理部と、基板を搬送する搬送部と、前記搬送部での基板搬送と前記基板処理部での基板処理を制御する制御部を具備する基板処理装置の運転方法において、
新規投入基板の基板搬送スケジュールを順次計算して、故障が起きた際に前記制御部にてその状態を初期状態とし基板搬送スケジュールを再計算することを特徴とする基板処理装置の運転方法。
【請求項１３】
基板を搬送する搬送部と、基板処理を行う複数の基板処理部と、前記搬送部での基板搬送と前記基板処理部での基板処理を制御する制御部を具備する基板処理装置において、
前記制御部に内蔵するスケジューラとして、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のスケジューラを用いたことを特徴とする基板処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【公開番号】特開２０１１−１４６４４８（Ｐ２０１１−１４６４４８Ａ）
【公開日】平成２３年７月２８日（２０１１．７．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−４４４９（Ｐ２０１０−４４４９）
【出願日】平成２２年１月１２日（２０１０．１．１２）
【出願人】（００００００２３９）株式会社荏原製作所 (1,477)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月２８日（２０１１．７．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１月１２日（２０１０．１．１２）
【出願人】（００００００２３９）株式会社荏原製作所 (1,477)
【Ｆターム（参考）】
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