プローバフレーム搬送台車およびプローバフレームハンドリングシステム
【課題】クリーンルーム外におけるプローバフレームの傾斜状態での輸送と、クリーンルーム内におけるプローバフレームの移載とを含む搬送動作を、簡易な機構で行う。
【解決手段】プローバフレームハンドリングシステム１０は、プローバフレーム１００を搬送するプローバフレーム搬送台車２０およびプローバフレーム１００を移載するプローバフレーム移載台車３０とを備える。プローバフレーム搬送台車２０は、プローバフレーム１００を支持面２１ａ上に保持する保持部と、保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備える。支持部は支柱２３ａと第１の昇降機構とを有し、保持部は、一方の端部を支柱２３ａに対して回動および上下動自在とし、他方の端部を滑動部２２により床面に対して滑動自在とする。上下動と滑動とによって、プローバフレーム１００は水平状態と傾斜状態との間で姿勢変更を可変とする。
【解決手段】プローバフレームハンドリングシステム１０は、プローバフレーム１００を搬送するプローバフレーム搬送台車２０およびプローバフレーム１００を移載するプローバフレーム移載台車３０とを備える。プローバフレーム搬送台車２０は、プローバフレーム１００を支持面２１ａ上に保持する保持部と、保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備える。支持部は支柱２３ａと第１の昇降機構とを有し、保持部は、一方の端部を支柱２３ａに対して回動および上下動自在とし、他方の端部を滑動部２２により床面に対して滑動自在とする。上下動と滑動とによって、プローバフレーム１００は水平状態と傾斜状態との間で姿勢変更を可変とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査を行うプローバフレームを搬送し、載置位置を変更するプローバフレームハンドリングシステム、および、プローバフレームハンドリングシステムを構成するプローバフレーム搬送台車、並びにプローバフレーム移載台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板や薄膜トランジスタアレイ基板（ＴＦＴアレイ基板）は、ガラス基板等の基板上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）がマトリックス状に配置されてなるＴＦＴアレイと、この薄膜トランジスタに駆動信号を供給する信号電極とを備え、薄膜トランジスタは走査信号電極端子，映像信号電極端子からの信号により駆動される。
【０００３】
基板に形成されるＴＦＴアレイや液晶基板を検査する装置としてＴＦＴアレイ検査装置や液晶基板検査装置等の基板検査装置が知られている。基板検査装置は、走査信号電極端子，映像信号電極端子と電気的に接続する検査用プローバと検査回路を備える。検査回路は、所定の電圧を検査用プローバに印加し、印加により流れる電流を検出して、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べる。
【０００４】
液晶基板上に形成されるＴＦＴアレイは様々なサイズや仕様があり、それぞれレイアウトが異なり、液晶基板上に形成される駆動用電極もレイアウト毎に異なる。そのため、液晶基板を検査する基板検査装置においても、ＴＦＴアレイのレイアウトに応じて検査用プローバ電極の電極位置を設定したものを用意しておき、検査する液晶基板に応じて交換し、検査を行っている。
【０００５】
液晶基板を検査する際には、液晶基板の上方あるいは下方からプローバフレームを重ね、プローバフレームに設けたプローブピンを液晶基板の電極に接触させ、このプローブピンと電極との接触によって液晶基板とプローバとの間の電気的接続を行っている。基板検査はクリーンルーム内に設置した基板検査装置において行われるため、プローバフレームをクリーンルーム内に搬出入する必要がある。
【０００６】
従来、プローバフレームの搬送は台車によって行っている。この台車による搬送では、クレーンや別途用意した吊り下げ機構によって台車に積載し、プローバフレームを積載した台車を人力によって移動させている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
液晶用ガラス基板の大型化に伴い、プローバフレームのサイズも大型化し、重量も重くなってきている。例えば、Ｇ８以上のガラス基板検査に用いるプローバフレームはサイズが２ｍ角以上であり、重量も１００ｋｇを越えるものとなる。このような大型サイズのプローバフレームを搬送するには、輸送路のスペースの制約から傾斜させた状態に積載することが望ましい。ここで、輸送路は、プローバフレームの製造箇所からプローバフレームを使用する装置までの経路であり、屋内に限らず交通路等の屋外を含むものである。
【０００８】
しかしながら、大型のプローバフレームを水平状態から傾斜状態に積載する作業を人力によって実施する場合には、例えば１０人以上の多人数の作業者が必要となる。
【０００９】
人力に代えてクレーン等の吊り下げ機構を用いる場合には、斜め方向の吊り上げ吊り下げを行うには、プローバフレームを保持する専用の治具が必要となり、作業も熟練を要する。また、プローバフレームを吊り上げた際、フレーム剛性が弱い箇所に荷重がかかると、フレームが変形するおそれがある。
【００１０】
このため、プローバフレームを水平位置から傾斜位置に積載し、また、傾斜位置から水平位置に戻す動作を簡易に行うことができる機構が求められている。
【００１１】
また、プローバフレームをクリーンルーム内に搬入した後、プローバフレームを検査装置等の装置やストッカーに移載するには、クリーンルーム内に別途クレーンを用いる必要がある。しかしながら、クリーンルーム内でのクレーンの操作には熟練を要し、プローバフレームやクリーンルーム内に設置した装置や機構を損傷させるおそれがある。
【００１２】
このため、クリーンルーム内においてプローバフレームの載置位置を簡易に行うことができる移載機構が求められている。
【００１３】
したがって、本発明は上記した課題を解決して、クリーンルーム外におけるプローバフレームの傾斜状態での輸送と、クリーンルーム内におけるプローバフレームの移載とを含む搬送動作を、簡易な機構で行うことができるプローバフレームハンドリングシステムを形成することを目的とし、当該プローバフレームハンドリングシステムを構成するプローバフレーム搬送台車、並びにプローバフレーム移載台車を形成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、プローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムは、プローバフレームを搬送するプローバフレーム搬送台車、およびプローバフレームを移載するプローバフレーム移載台車とから構成される。
【００１５】
本発明のプローバフレーム搬送台車は、プローバフレームを支持面上に保持する保持部と、保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備える。
【００１６】
支持部は、垂直に設置された支柱と第１の昇降機構とを有する。保持部は、一方の端部が支柱に対して回動および上下動自在であり、他方の端部が滑動部により床面に対して滑動自在である。
【００１７】
昇降機構は、保持部の一方の端部を支柱に対して上下動させる。保持部は、昇降機構による上下動に伴って一方の端部が支柱に対して回動し、他方の端部は滑動部によって床面上に対して滑動する。この上下動と滑動とによって、プローバフレームは水平状態と傾斜状態との間で可変となる。
【００１８】
また、プローバフレーム搬送台車は、傾斜状態の前記保持部と支柱との間にストッパを着脱自在に備える。ストッパは保持部と支柱との間に装着することによって保持部の傾斜状態を所定の傾斜角に保持する。このストッパによってプローバフレームを傾斜状態のまま安定して搬送することができる。
【００１９】
本発明のプローバフレーム移載台車は、プローバフレームを水平状態で保持する保持部と、保持部を上下方向に移動する第２の昇降機構と、保持部からプローバフレームを水平方向に移動するコロ搬送機構とを備える。
【００２０】
このプローバフレーム移載台車において、プローバフレームをプローバフレーム搬送台車から保持部に移動させて載置し、第２の昇降機構はプローバフレームを載置した保持部を上下動させて移動先の装置やストッカーの高さに合わせる。コロ搬送機構は、保持部に載置したプローバフレームを水平方向に移動させ、装置やストッカーに載置する。
【００２１】
本発明のプローバフレームハンドリングシステムは、クリーンルーム内においてプローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムであり、プローバフレーム搬送台車とプローバフレーム移載台車とを備える。プローバフレーム搬送台車は、クリーンルームの外部においてプローバフレームを傾斜状態で搬送し、プローバフレーム移載台車は、クリーンルーム内部においてプローバフレームを載置位置間において水平状態で移載する。
【００２２】
クリーンルーム内に設ける装置は基板検査装置とすることができる、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスブレイなどに使われる液晶基板の検査に使用する液晶基板検査装置に適用することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、クリーンルーム外におけるプローバフレームの傾斜状態での輸送と、クリーンルーム内におけるプローバフレームの移載とを含む搬送動作を、簡易な機構で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明のプローバフレームハンドリングシステムの概略構成を説明するための図である。
【図２】本発明のプローバフレームハンドリングシステムの動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明のプローバフレームのプローバフレーム搬送台車への載置動作を説明するための図である。
【図４】本発明のプローバフレーム搬送台車における保持部の傾斜動作を説明するための図である。
【図５】本発明のプローバフレーム搬送台車の移動を説明するための図である。
【図６】本発明のプローバフレーム移載台車からストッカーへの移載動作を示す図である。
【図７】本発明のプローバフレーム移載台車から装置への移載動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明のプローバフレームハンドリングシステムの概略構成を説明するための図である。図１において、プローバフレームハンドリングシステム１０は、クリーンルーム４０の外部においてプローバフレーム１００を搬送するプローバフレーム搬送台車２０と、クリーンルーム４０の内部において、プローバフレーム１００の載置先の入れ替えを行うプローバフレーム移載台車３０とを備える。
【００２６】
プローバフレーム搬送台車２０は、プローバフレーム１００を支持面２１ａ上に保持する保持部２１と、保持部２１を傾斜状態で搬送する支持部２３とを備える。
【００２７】
支持部２３は、垂直に設置された支柱２３ａと第１の昇降機構２３ｂとを備える。支柱２３ａおよび第１の昇降機構２３ｂは、保持部２１の一端を回動させながら上下動させて、保持部２１の姿勢を水平状態と傾斜状態との間で姿勢を変更する。
【００２８】
保持部２１の姿勢を傾斜状態とすることによって、大型のプローバフレーム１００であっても、広い輸送スペースを確保することなく搬送することができる。
【００２９】
保持部２１は、一方の端部に設けた支持軸部２１ｂによって支柱２３ａに対して回動および上下動自在に取り付けられている。保持部２１の他方の端部には、車輪等の滑動部２２が設けられ、床面に対して滑動自在としている。滑動部２２は、第１の昇降機構２３ｂによって保持部２１の一方の端部が上下動する際に、保持部２１の他方の端部を床面上で滑動させることによって、保持部２１が水平状態と傾斜状態との間で姿勢変更を円滑に行わせる。
【００３０】
プローバフレーム搬送台車２０は、保持部２１の傾斜状態を所定角度に保持するためにストッパ２４を備える。ストッパ２４は保持部２１の底面に設置されている。保持部２１を水平状態から傾斜させていくと、保持部２１に設けたストッパ２４の底面は支柱２３ａの側面に当接して保持部２１の傾斜状態は所定角度に止まり、保持部２１は自重によって所定角度の傾斜状態で保持される。ストッパ２４を用いることによって、格別な駆動源を要することなく保持部２１の傾斜状態を保持することができる。
【００３１】
プローバフレーム移載台車３０は、クリーンルーム４０内においてプローバフレーム１００の載置位置を変更するために用いる台車であり、プローバフレーム１１を水平状態で保持する保持部３１と、この保持部３１を上下方向に移動する第２の昇降機構３２と、保持部３１上に載置したプローバフレーム１００を水平方向に移動するコロ搬送機構３３とを備える。コロ搬送機構３３で移動されたプローバフレーム１００は、クリーンルーム４０内の装置（図示していない）やストッカー６０に移動して載置することができる。
【００３２】
ストッカー６０の一構成例は、枠体６１に複数の支持部６２を上下方向に配置して形成することができる。各支持部６２にはコロ搬送機構３３との間の移動においてプローバフレーム１００を案内するガイド部６３が設け、これによってプローバフレーム１００の移動を円滑とすることができる。
【００３３】
第２の昇降機構３２は、ストッカー６０において載置する支持部６２の高さまで保持部３１を昇降して、保持部３１と支持部６２との高さを調整し、プローバフレーム１００の移動を可能とする。
【００３４】
次に、図２のフローチャートおよび図３〜図７の動作図を用いて本発明のプローバフレームハンドリングシステムの動作について説明する。図３はプローバフレームのプローバフレーム搬送台車への載置動作を説明するための図であり、図４はプローバフレーム搬送台車における保持部の傾斜動作を説明するための図であり、図５はプローバフレーム搬送台車の移動を説明するための図であり、図６、図７はプローバフレーム移載台車の動作を説明するための図である。
【００３５】
はじめに、プローバフレーム搬送台車２０を門型リフター５０に移動し(S1)、門型リフター５０によってプローバフレーム１００を降下させ、プローバフレーム搬送台車２０の保持部２１の支持面２１ａ上に載置する。図３（ａ）はこの載置動作を示している。なお、プローバフレーム１００を保持部２１に降下させるリフターは門型リフターに限られるものではない(S2)。
【００３６】
プローバフレーム１００を保持部２１の支持面２１ａ上に載置した後、第１の昇降機構２３ｂによって保持部２１の一端の支持軸部２１ｂを支柱２３ａに沿って上昇させる図３（ｂ）はこの動作開始時の状態を示している(S3)。
【００３７】
第１の昇降機構２３ｂが保持部２１の支持軸部２１ｂを支柱２３ａに沿って上昇させると、この上昇に従って保持部２１は傾斜する。この傾斜に伴って、保持部２１の他端の滑動部２２は床面に沿って水平方向に移動する。この滑動部２２は、保持部２１が大きく傾斜した状態では床面から離れる。図４（ａ）はこの傾斜動作の途中の状態を示し、図４（ｂ）は保持部２１が大きく傾斜して、他端が床面から離れた状態を示している (S4)。
【００３８】
保持部２１をストッパ２４の下面が支柱２３ａの側面に当接するまで傾斜動作を行う。ストッパ２４の底面が支柱２３ａの側面に当接すると保持部２１の傾斜動作は停止し、ストッパ２４の底面と、保持部２１への設置面とのが成す所定角度の傾斜した状態で保持される。この傾斜の所定角度は、プローバフレームを搬送する状況等に応じて予め定めておくことができ、ストッパ２４の角度はこの所定角度に応じて定めることができる(S5)。
【００３９】
プローバフレーム搬送台車２０は、プローバフレーム１００を傾斜させた状態でクリーンルームまで搬送する。図５（ａ）はこの状態を示している(S6)。クリーンルーム４０まで搬送した後、第１の昇降機構２３ｂによって保持部２１の支持軸部２１ｂを支柱２３ａに沿って下降させる(S7)。この下降動作によって、保持部２１の傾斜角は緩やかとなり、途中の段階において保持部２１の他端の滑動部２２は床面と接触して床面に沿って移動する。図５（ｂ）はこの状態を示している（S8）。
【００４０】
次に、プローバフレーム１００をプローバフレーム搬送台車２０の保持部２１からクリーンルーム４０内のプローバフレーム移載台車３０に移動して載置する。このとき、プローバフレーム１００はプローバフレーム移載台車３０のコロ搬送機構３３によって移動される(S9)。
【００４１】
プローバフレーム移載台車３０に載置されたプローバフレーム１００の、クリーンルーム４０内での移載先を選択する。移載先は、例えば、検査装置等の装置やプローバフレームを保管しておくストッカーがある（S10）。
【００４２】
移載先としてストッカーを選択した場合には(S11)、プローバフレーム移載台車３０からストッカーにプローバフレームを移載する。図６はプローバフレーム移載台車３０からストッカー６０への移載動作を示す図である。プローバフレーム１００をプローバフレーム移載台車３０からストッカー６０へ移置するには、第２の昇降機構３２によって保持部３１を上昇あるいは下降させてストッカー６０の移載先の支持部６２の高さに合わせ、その後、コロ搬送機構３３によってプローバフレーム１００をプローバフレーム移載台車３０からストッカー６０へ移動させる。ストッカー６０側では、ガイド部６３によって案内されて支持部６２に載置される（S12）。
【００４３】
移載先として装置を選択した場合には(S11)、プローバフレーム移載台車３０から装置７０にプローバフレームを移載する。
【００４４】
図７はプローバフレーム移載台車３０から装置７０への移載動作を示す図である。プローバフレーム１００をプローバフレーム移載台車３０から装置７０へ移置するには、第２の昇降機構３２によって保持部３１を上昇あるいは下降させて装置７０の移載先の高さに合わせ、その後、コロ搬送機構３３によってプローバフレーム１００をプローバフレーム移載台車３０から装置７０へ移動させる。装置７０側では、ストッカーと同様にガイド部を設け、これによってプローバフレーム１００を案内して載置することができる（S13）。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明のプローバフレームハンドリングシステムは、液晶基板に限らず半導体基板の搬送に適用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１０…プローバフレームハンドリングシステム、１１…プローバフレーム、２０…プローバフレーム搬送台車、２１…保持部、２１ａ…支持面、２１ｂ…支持軸部、２２…滑動部、２３…支持部、２３ａ…支柱、２３ｂ…昇降機構、２４…ストッパ、３０…プローバフレーム移載台車、３１…保持部、３２…昇降機構、３３…コロ搬送機構、４０…クリーンルーム、５０…門型リフター、６０…ストッカー、６１…枠体、６２…支持部、６３…ガイド部、７０…装置、１００…プローバフレーム。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査を行うプローバフレームを搬送し、載置位置を変更するプローバフレームハンドリングシステム、および、プローバフレームハンドリングシステムを構成するプローバフレーム搬送台車、並びにプローバフレーム移載台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板や薄膜トランジスタアレイ基板（ＴＦＴアレイ基板）は、ガラス基板等の基板上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）がマトリックス状に配置されてなるＴＦＴアレイと、この薄膜トランジスタに駆動信号を供給する信号電極とを備え、薄膜トランジスタは走査信号電極端子，映像信号電極端子からの信号により駆動される。
【０００３】
基板に形成されるＴＦＴアレイや液晶基板を検査する装置としてＴＦＴアレイ検査装置や液晶基板検査装置等の基板検査装置が知られている。基板検査装置は、走査信号電極端子，映像信号電極端子と電気的に接続する検査用プローバと検査回路を備える。検査回路は、所定の電圧を検査用プローバに印加し、印加により流れる電流を検出して、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を調べる。
【０００４】
液晶基板上に形成されるＴＦＴアレイは様々なサイズや仕様があり、それぞれレイアウトが異なり、液晶基板上に形成される駆動用電極もレイアウト毎に異なる。そのため、液晶基板を検査する基板検査装置においても、ＴＦＴアレイのレイアウトに応じて検査用プローバ電極の電極位置を設定したものを用意しておき、検査する液晶基板に応じて交換し、検査を行っている。
【０００５】
液晶基板を検査する際には、液晶基板の上方あるいは下方からプローバフレームを重ね、プローバフレームに設けたプローブピンを液晶基板の電極に接触させ、このプローブピンと電極との接触によって液晶基板とプローバとの間の電気的接続を行っている。基板検査はクリーンルーム内に設置した基板検査装置において行われるため、プローバフレームをクリーンルーム内に搬出入する必要がある。
【０００６】
従来、プローバフレームの搬送は台車によって行っている。この台車による搬送では、クレーンや別途用意した吊り下げ機構によって台車に積載し、プローバフレームを積載した台車を人力によって移動させている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
液晶用ガラス基板の大型化に伴い、プローバフレームのサイズも大型化し、重量も重くなってきている。例えば、Ｇ８以上のガラス基板検査に用いるプローバフレームはサイズが２ｍ角以上であり、重量も１００ｋｇを越えるものとなる。このような大型サイズのプローバフレームを搬送するには、輸送路のスペースの制約から傾斜させた状態に積載することが望ましい。ここで、輸送路は、プローバフレームの製造箇所からプローバフレームを使用する装置までの経路であり、屋内に限らず交通路等の屋外を含むものである。
【０００８】
しかしながら、大型のプローバフレームを水平状態から傾斜状態に積載する作業を人力によって実施する場合には、例えば１０人以上の多人数の作業者が必要となる。
【０００９】
人力に代えてクレーン等の吊り下げ機構を用いる場合には、斜め方向の吊り上げ吊り下げを行うには、プローバフレームを保持する専用の治具が必要となり、作業も熟練を要する。また、プローバフレームを吊り上げた際、フレーム剛性が弱い箇所に荷重がかかると、フレームが変形するおそれがある。
【００１０】
このため、プローバフレームを水平位置から傾斜位置に積載し、また、傾斜位置から水平位置に戻す動作を簡易に行うことができる機構が求められている。
【００１１】
また、プローバフレームをクリーンルーム内に搬入した後、プローバフレームを検査装置等の装置やストッカーに移載するには、クリーンルーム内に別途クレーンを用いる必要がある。しかしながら、クリーンルーム内でのクレーンの操作には熟練を要し、プローバフレームやクリーンルーム内に設置した装置や機構を損傷させるおそれがある。
【００１２】
このため、クリーンルーム内においてプローバフレームの載置位置を簡易に行うことができる移載機構が求められている。
【００１３】
したがって、本発明は上記した課題を解決して、クリーンルーム外におけるプローバフレームの傾斜状態での輸送と、クリーンルーム内におけるプローバフレームの移載とを含む搬送動作を、簡易な機構で行うことができるプローバフレームハンドリングシステムを形成することを目的とし、当該プローバフレームハンドリングシステムを構成するプローバフレーム搬送台車、並びにプローバフレーム移載台車を形成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、プローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムは、プローバフレームを搬送するプローバフレーム搬送台車、およびプローバフレームを移載するプローバフレーム移載台車とから構成される。
【００１５】
本発明のプローバフレーム搬送台車は、プローバフレームを支持面上に保持する保持部と、保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備える。
【００１６】
支持部は、垂直に設置された支柱と第１の昇降機構とを有する。保持部は、一方の端部が支柱に対して回動および上下動自在であり、他方の端部が滑動部により床面に対して滑動自在である。
【００１７】
昇降機構は、保持部の一方の端部を支柱に対して上下動させる。保持部は、昇降機構による上下動に伴って一方の端部が支柱に対して回動し、他方の端部は滑動部によって床面上に対して滑動する。この上下動と滑動とによって、プローバフレームは水平状態と傾斜状態との間で可変となる。
【００１８】
また、プローバフレーム搬送台車は、傾斜状態の前記保持部と支柱との間にストッパを着脱自在に備える。ストッパは保持部と支柱との間に装着することによって保持部の傾斜状態を所定の傾斜角に保持する。このストッパによってプローバフレームを傾斜状態のまま安定して搬送することができる。
【００１９】
本発明のプローバフレーム移載台車は、プローバフレームを水平状態で保持する保持部と、保持部を上下方向に移動する第２の昇降機構と、保持部からプローバフレームを水平方向に移動するコロ搬送機構とを備える。
【００２０】
このプローバフレーム移載台車において、プローバフレームをプローバフレーム搬送台車から保持部に移動させて載置し、第２の昇降機構はプローバフレームを載置した保持部を上下動させて移動先の装置やストッカーの高さに合わせる。コロ搬送機構は、保持部に載置したプローバフレームを水平方向に移動させ、装置やストッカーに載置する。
【００２１】
本発明のプローバフレームハンドリングシステムは、クリーンルーム内においてプローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムであり、プローバフレーム搬送台車とプローバフレーム移載台車とを備える。プローバフレーム搬送台車は、クリーンルームの外部においてプローバフレームを傾斜状態で搬送し、プローバフレーム移載台車は、クリーンルーム内部においてプローバフレームを載置位置間において水平状態で移載する。
【００２２】
クリーンルーム内に設ける装置は基板検査装置とすることができる、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスブレイなどに使われる液晶基板の検査に使用する液晶基板検査装置に適用することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、クリーンルーム外におけるプローバフレームの傾斜状態での輸送と、クリーンルーム内におけるプローバフレームの移載とを含む搬送動作を、簡易な機構で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明のプローバフレームハンドリングシステムの概略構成を説明するための図である。
【図２】本発明のプローバフレームハンドリングシステムの動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明のプローバフレームのプローバフレーム搬送台車への載置動作を説明するための図である。
【図４】本発明のプローバフレーム搬送台車における保持部の傾斜動作を説明するための図である。
【図５】本発明のプローバフレーム搬送台車の移動を説明するための図である。
【図６】本発明のプローバフレーム移載台車からストッカーへの移載動作を示す図である。
【図７】本発明のプローバフレーム移載台車から装置への移載動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明のプローバフレームハンドリングシステムの概略構成を説明するための図である。図１において、プローバフレームハンドリングシステム１０は、クリーンルーム４０の外部においてプローバフレーム１００を搬送するプローバフレーム搬送台車２０と、クリーンルーム４０の内部において、プローバフレーム１００の載置先の入れ替えを行うプローバフレーム移載台車３０とを備える。
【００２６】
プローバフレーム搬送台車２０は、プローバフレーム１００を支持面２１ａ上に保持する保持部２１と、保持部２１を傾斜状態で搬送する支持部２３とを備える。
【００２７】
支持部２３は、垂直に設置された支柱２３ａと第１の昇降機構２３ｂとを備える。支柱２３ａおよび第１の昇降機構２３ｂは、保持部２１の一端を回動させながら上下動させて、保持部２１の姿勢を水平状態と傾斜状態との間で姿勢を変更する。
【００２８】
保持部２１の姿勢を傾斜状態とすることによって、大型のプローバフレーム１００であっても、広い輸送スペースを確保することなく搬送することができる。
【００２９】
保持部２１は、一方の端部に設けた支持軸部２１ｂによって支柱２３ａに対して回動および上下動自在に取り付けられている。保持部２１の他方の端部には、車輪等の滑動部２２が設けられ、床面に対して滑動自在としている。滑動部２２は、第１の昇降機構２３ｂによって保持部２１の一方の端部が上下動する際に、保持部２１の他方の端部を床面上で滑動させることによって、保持部２１が水平状態と傾斜状態との間で姿勢変更を円滑に行わせる。
【００３０】
プローバフレーム搬送台車２０は、保持部２１の傾斜状態を所定角度に保持するためにストッパ２４を備える。ストッパ２４は保持部２１の底面に設置されている。保持部２１を水平状態から傾斜させていくと、保持部２１に設けたストッパ２４の底面は支柱２３ａの側面に当接して保持部２１の傾斜状態は所定角度に止まり、保持部２１は自重によって所定角度の傾斜状態で保持される。ストッパ２４を用いることによって、格別な駆動源を要することなく保持部２１の傾斜状態を保持することができる。
【００３１】
プローバフレーム移載台車３０は、クリーンルーム４０内においてプローバフレーム１００の載置位置を変更するために用いる台車であり、プローバフレーム１１を水平状態で保持する保持部３１と、この保持部３１を上下方向に移動する第２の昇降機構３２と、保持部３１上に載置したプローバフレーム１００を水平方向に移動するコロ搬送機構３３とを備える。コロ搬送機構３３で移動されたプローバフレーム１００は、クリーンルーム４０内の装置（図示していない）やストッカー６０に移動して載置することができる。
【００３２】
ストッカー６０の一構成例は、枠体６１に複数の支持部６２を上下方向に配置して形成することができる。各支持部６２にはコロ搬送機構３３との間の移動においてプローバフレーム１００を案内するガイド部６３が設け、これによってプローバフレーム１００の移動を円滑とすることができる。
【００３３】
第２の昇降機構３２は、ストッカー６０において載置する支持部６２の高さまで保持部３１を昇降して、保持部３１と支持部６２との高さを調整し、プローバフレーム１００の移動を可能とする。
【００３４】
次に、図２のフローチャートおよび図３〜図７の動作図を用いて本発明のプローバフレームハンドリングシステムの動作について説明する。図３はプローバフレームのプローバフレーム搬送台車への載置動作を説明するための図であり、図４はプローバフレーム搬送台車における保持部の傾斜動作を説明するための図であり、図５はプローバフレーム搬送台車の移動を説明するための図であり、図６、図７はプローバフレーム移載台車の動作を説明するための図である。
【００３５】
はじめに、プローバフレーム搬送台車２０を門型リフター５０に移動し(S1)、門型リフター５０によってプローバフレーム１００を降下させ、プローバフレーム搬送台車２０の保持部２１の支持面２１ａ上に載置する。図３（ａ）はこの載置動作を示している。なお、プローバフレーム１００を保持部２１に降下させるリフターは門型リフターに限られるものではない(S2)。
【００３６】
プローバフレーム１００を保持部２１の支持面２１ａ上に載置した後、第１の昇降機構２３ｂによって保持部２１の一端の支持軸部２１ｂを支柱２３ａに沿って上昇させる図３（ｂ）はこの動作開始時の状態を示している(S3)。
【００３７】
第１の昇降機構２３ｂが保持部２１の支持軸部２１ｂを支柱２３ａに沿って上昇させると、この上昇に従って保持部２１は傾斜する。この傾斜に伴って、保持部２１の他端の滑動部２２は床面に沿って水平方向に移動する。この滑動部２２は、保持部２１が大きく傾斜した状態では床面から離れる。図４（ａ）はこの傾斜動作の途中の状態を示し、図４（ｂ）は保持部２１が大きく傾斜して、他端が床面から離れた状態を示している (S4)。
【００３８】
保持部２１をストッパ２４の下面が支柱２３ａの側面に当接するまで傾斜動作を行う。ストッパ２４の底面が支柱２３ａの側面に当接すると保持部２１の傾斜動作は停止し、ストッパ２４の底面と、保持部２１への設置面とのが成す所定角度の傾斜した状態で保持される。この傾斜の所定角度は、プローバフレームを搬送する状況等に応じて予め定めておくことができ、ストッパ２４の角度はこの所定角度に応じて定めることができる(S5)。
【００３９】
プローバフレーム搬送台車２０は、プローバフレーム１００を傾斜させた状態でクリーンルームまで搬送する。図５（ａ）はこの状態を示している(S6)。クリーンルーム４０まで搬送した後、第１の昇降機構２３ｂによって保持部２１の支持軸部２１ｂを支柱２３ａに沿って下降させる(S7)。この下降動作によって、保持部２１の傾斜角は緩やかとなり、途中の段階において保持部２１の他端の滑動部２２は床面と接触して床面に沿って移動する。図５（ｂ）はこの状態を示している（S8）。
【００４０】
次に、プローバフレーム１００をプローバフレーム搬送台車２０の保持部２１からクリーンルーム４０内のプローバフレーム移載台車３０に移動して載置する。このとき、プローバフレーム１００はプローバフレーム移載台車３０のコロ搬送機構３３によって移動される(S9)。
【００４１】
プローバフレーム移載台車３０に載置されたプローバフレーム１００の、クリーンルーム４０内での移載先を選択する。移載先は、例えば、検査装置等の装置やプローバフレームを保管しておくストッカーがある（S10）。
【００４２】
移載先としてストッカーを選択した場合には(S11)、プローバフレーム移載台車３０からストッカーにプローバフレームを移載する。図６はプローバフレーム移載台車３０からストッカー６０への移載動作を示す図である。プローバフレーム１００をプローバフレーム移載台車３０からストッカー６０へ移置するには、第２の昇降機構３２によって保持部３１を上昇あるいは下降させてストッカー６０の移載先の支持部６２の高さに合わせ、その後、コロ搬送機構３３によってプローバフレーム１００をプローバフレーム移載台車３０からストッカー６０へ移動させる。ストッカー６０側では、ガイド部６３によって案内されて支持部６２に載置される（S12）。
【００４３】
移載先として装置を選択した場合には(S11)、プローバフレーム移載台車３０から装置７０にプローバフレームを移載する。
【００４４】
図７はプローバフレーム移載台車３０から装置７０への移載動作を示す図である。プローバフレーム１００をプローバフレーム移載台車３０から装置７０へ移置するには、第２の昇降機構３２によって保持部３１を上昇あるいは下降させて装置７０の移載先の高さに合わせ、その後、コロ搬送機構３３によってプローバフレーム１００をプローバフレーム移載台車３０から装置７０へ移動させる。装置７０側では、ストッカーと同様にガイド部を設け、これによってプローバフレーム１００を案内して載置することができる（S13）。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明のプローバフレームハンドリングシステムは、液晶基板に限らず半導体基板の搬送に適用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１０…プローバフレームハンドリングシステム、１１…プローバフレーム、２０…プローバフレーム搬送台車、２１…保持部、２１ａ…支持面、２１ｂ…支持軸部、２２…滑動部、２３…支持部、２３ａ…支柱、２３ｂ…昇降機構、２４…ストッパ、３０…プローバフレーム移載台車、３１…保持部、３２…昇降機構、３３…コロ搬送機構、４０…クリーンルーム、５０…門型リフター、６０…ストッカー、６１…枠体、６２…支持部、６３…ガイド部、７０…装置、１００…プローバフレーム。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローバフレームを支持面上に保持する保持部と、
前記保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備え、
前記支持部は、垂直に設置された支柱と第１の昇降機構を有し、
前記保持部は、一方の端部が前記支柱に対して回動および上下動自在であり、他方の端部が滑動部により床面に対して滑動自在であり、
前記保持部は、前記昇降機構によって保持部の一方の端部が支柱に対して回動しながら上下動し、他方の端部が前記滑動部によって床面上に対して滑動し、前記プローバフレームを水平状態と傾斜状態との間で可変とすることを特徴とする、プローバフレーム搬送台車。
【請求項２】
傾斜状態の前記保持部と支柱との間に着脱自在のストッパを備え、
前記ストッパは前記保持部と支柱との間に装着することによって前記保持部の傾斜状態を所定の傾斜角に保持することを特徴とする請求項１に記載のプローバフレーム搬送台車。
【請求項３】
プローバフレームを水平状態で保持する保持部と、
前記保持部を上下方向に移動する第２の昇降機構と、
前記保持部からプローバフレームを水平方向に移動するコロ搬送機構とを備えたことを特徴とする、プローバフレーム移載台車。
【請求項４】
クリーンルーム内においてプローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムであって、
請求項１又は請求項２に記載のプローバフレーム搬送台車と請求項３に記載のプローバフレーム移載台車とを備え、
前記プローバフレーム搬送台車は、前記クリーンルームの外部において前記プローバフレームを搬送し、
前記プローバフレーム移載台車は、前記クリーンルーム内部において前記プローバフレームを載置位置間で移載することを特徴とする、プローバフレームハンドリングシステム。
【請求項１】
プローバフレームを支持面上に保持する保持部と、
前記保持部を傾斜状態で搬送する支持部とを備え、
前記支持部は、垂直に設置された支柱と第１の昇降機構を有し、
前記保持部は、一方の端部が前記支柱に対して回動および上下動自在であり、他方の端部が滑動部により床面に対して滑動自在であり、
前記保持部は、前記昇降機構によって保持部の一方の端部が支柱に対して回動しながら上下動し、他方の端部が前記滑動部によって床面上に対して滑動し、前記プローバフレームを水平状態と傾斜状態との間で可変とすることを特徴とする、プローバフレーム搬送台車。
【請求項２】
傾斜状態の前記保持部と支柱との間に着脱自在のストッパを備え、
前記ストッパは前記保持部と支柱との間に装着することによって前記保持部の傾斜状態を所定の傾斜角に保持することを特徴とする請求項１に記載のプローバフレーム搬送台車。
【請求項３】
プローバフレームを水平状態で保持する保持部と、
前記保持部を上下方向に移動する第２の昇降機構と、
前記保持部からプローバフレームを水平方向に移動するコロ搬送機構とを備えたことを特徴とする、プローバフレーム移載台車。
【請求項４】
クリーンルーム内においてプローバフレームを搬送し移載するプローバフレームハンドリングシステムであって、
請求項１又は請求項２に記載のプローバフレーム搬送台車と請求項３に記載のプローバフレーム移載台車とを備え、
前記プローバフレーム搬送台車は、前記クリーンルームの外部において前記プローバフレームを搬送し、
前記プローバフレーム移載台車は、前記クリーンルーム内部において前記プローバフレームを載置位置間で移載することを特徴とする、プローバフレームハンドリングシステム。
【図２】
【図１】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図１】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１０−２７１６５５（Ｐ２０１０−２７１６５５Ａ）
【公開日】平成２２年１２月２日（２０１０．１２．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１２５６１２（Ｐ２００９−１２５６１２）
【出願日】平成２１年５月２５日（２００９．５．２５）
【出願人】（０００００１９９３）株式会社島津製作所 (3,708)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１２月２日（２０１０．１２．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年５月２５日（２００９．５．２５）
【出願人】（０００００１９９３）株式会社島津製作所 (3,708)
【Ｆターム（参考）】
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