基板処理装置
【課題】オペレータ自身が操作画面を新規に作成できるようにする。
【解決手段】操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムと、複数の機能毎に所定の子ウインドウをそれぞれ記憶する記憶部と、カスタマイズ化した操作画面が保存されるカスタマイズ部とをコントローラにプログラムする。
カスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、カスタマイズシステムは、カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示する。この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを初期画面に貼り付けて表示し、カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する。
【解決手段】操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムと、複数の機能毎に所定の子ウインドウをそれぞれ記憶する記憶部と、カスタマイズ化した操作画面が保存されるカスタマイズ部とをコントローラにプログラムする。
カスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、カスタマイズシステムは、カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示する。この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを初期画面に貼り付けて表示し、カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関し、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の製造方法において、半導体素子を含む集積回路が作り込まれる半導体ウエハ（以下、ウエハという。）に金属膜や絶縁膜および半導体膜を形成するのに利用して有効なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＩＣの一例であるＤＲＡＭ（Dynamic Random-Access Memory）やＤＲＡＭ混載システムＬＳＩ（以下、ＤＲＡＭという。）の製造方法において、ウエハに電気容量絶縁膜やゲート絶縁膜として適用される容量絶縁膜を形成するのに、搬送室の周りに複数の処理モジュール（プロセスチャンバ）が設置されたマルチチャンバ型連続処理装置が使用される場合がある。
従来のマルチチャンバ型連続処理装置は、複数の処理モジュールをそれぞれ制御するサブコントローラをメインコントローラによって統括的に制御するように構成されているとともに、サブコントローラをシーケンス制御するためのプロセスレシピがメインコントローラの操作画面（ウインドウ）に表示されたり、サブコントローラによって検出された処理モジュールの状況がメインコントローラの操作画面に表示されるように構成されている。例えば、特許文献１参照。
【特許文献１】特開２００１−２３０２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
一般に、マルチチャンバ型連続処理装置においては、メインコントローラを操作し易くするために、メインコントローラにはＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフエース）システムが搭載されている。
ここで、ＧＵＩシステムとは、メインコントローラの表示装置の操作画面（ウインドウ）上のアイコン（機能を表す図形記号）をマウスポインタで指示してクリックしたり、カーソルで指示して決定したり、タッチパネルディスプレイの場合にはタッチしたりして選択することにより、処理や命令、判断およびデータ等を入力したり、操作画面を切り替えたりすることができるようにプログラミングされたシステムである。
マルチチャンバ型連続処理装置に搭載されたＧＵＩシステムは、その装置の運用に必要な情報が膨大であるために、オペレータ自身が操作画面を適宜に切り替えて表示することによって所望の情報を見ることができるように、構成されている。
通例、この操作画面のフォーマット（形式）はマルチチャンバ型連続処理装置のメインコントローラに予めプログラミングされて提供される。
しかしながら、高集積化や膜種の多様化およびシステムインテグレーテッド化等の進展に伴って、オペレータに通知しなければならない情報および提供しなければならない機能は増大の一途をたどり、マルチチャンバ型連続処理装置の運用に必要な操作画面のフォーマットは、多種多様になって来ている。
一方、オペレータによっては必要とする情報または機能は限られている。
例えば、成膜運転状態となった場合には、操作画面上で監視すべき情報および必要な操作は限定される。
【０００４】
本発明の目的は、オペレータが専用の操作画面を自由に作成することができる基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願において開示される発明のうち代表的なものは、次の通りである。
（１）入力手段で構成される入力装置と、操作画面で構成される表示装置と、前記入力手段からの指示入力を制御して前記操作画面の切り替えを行う画面制御部とが搭載されたコントローラを備えている基板処理装置であって、
前記コントローラは、操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムと、
複数の機能毎に所定の子ウインドウをそれぞれ記憶する記憶部と、
カスタマイズ化した操作画面が保存されるカスタマイズ部とを有し、
前記カスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、前記カスタマイズシステムは、前記カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示し、この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを前記初期画面に貼り付けて表示し、前記カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する
ことを特徴とする基板処理装置。
（２）入力手段で構成される入力装置と、操作画面で構成される表示装置と、前記入力手段からの指示入力を制御して前記操作画面の切り替えを行う画面制御部とが搭載されたコントローラを備えている基板処理装置の運用方法であって、
予め、複数の機能毎に所定の子ウインドウを記憶部にそれぞれ記憶しておき、
前記コントローラの操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、前記カスタマイズシステムは、前記カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示し、この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを前記初期画面に貼り付けて表示し、カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する
ことを特徴とする基板処理装置の運用方法。
【発明の効果】
【０００６】
前記（１）（２）によれば、オペレータが操作画面を自由に作成することができるので、多種多様の操作画面を予めプログラミングせずに全てのオペレータの要求に対応することができる。
他方、オペレータは自分が作成した操作画面を利用して、基板処理装置を所望通りに運用することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【０００８】
本実施の形態において、本発明に係る基板処理装置は、図１および図２に示されているように、マルチチャンバ型連続処理装置（以下、連続処理装置という。）として構成されており、この連続処理装置はＩＣの製造方法にあってウエハに所望の薄膜を堆積させる成膜工程に使用されるように構成されている。
なお、本実施の形態に係る連続処理装置においてはウエハ搬送用のキャリアとしては、ＦＯＵＰ（front opening unified pod 。以下、ポッドという。）が使用されている。
以下の説明において、前後左右は図１を基準とする。すなわち、第二ウエハ移載室４０側が前側、その反対側すなわち第一ウエハ移載室１０側が後側、第一予備室２０側が左側、第二予備室３０側が右側とする。
【０００９】
図１および図２に示されているように、連続処理装置は搬送室としての第一ウエハ移載室１０を備えており、第一ウエハ移載室１０は大気圧未満の圧力（負圧）に耐えるロードロックチャンバ構造に構成されている。第一ウエハ移載室（以下、負圧移載室という。）１０の筐体（以下、負圧移載室筐体という。）１１は、平面視が六角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
【００１０】
負圧移載室１０の中央部には、ウエハを保持して搬送する搬送装置としてのウエハ移載装置１２が設置されており、ウエハ移載装置１２は負圧下においてウエハＷを移載するように構成されている。ウエハ移載装置（以下、負圧移載装置という。）１２は、スカラ形ロボット（selective compliance assembly robot arm ＳＣＡＲＡ）によって構成されており、負圧移載室筐体１１の底壁に設置されたエレベータ１３によって気密シールを維持しつつ昇降するように構成されている。
負圧移載装置１２はウエハＷを保持する保持部としての一対のアーム１４、１５を備えている。上側に位置する第一アーム（以下、上側アームという。）１４の先端部には、二股のフォーク形状に形成された上側エンドエフェクタ１６が取り付けられており、下側に位置する第二アーム（以下、下側アームという。）１５の先端部には、下側エンドエフェクタ１７が取り付けられている。
【００１１】
負圧移載室筐体１１の６枚の側壁のうち正面側に位置する２枚の側壁には、負圧移載室１０に対してウエハＷを搬入搬出する予備室としての第一予備室２０と第二予備室３０とがそれぞれ隣接して連結されている。
第一予備室２０の筐体（以下、第一予備室筐体という。）２１および第二予備室３０の筐体（以下、第二予備室筐体という。）３１はいずれも、平面視が大略四角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されているとともに、負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。
【００１２】
互いに隣接した第一予備室筐体２１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬入搬出口２２、２３がそれぞれ開設されており、負圧移載室１０側の搬入搬出口２３には搬入搬出口２２、２３を開閉するゲートバルブ２４が設置されている。第一予備室２０には第一予備室用仮置き台２５が設置されている。
互いに隣接した第二予備室筐体３１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬入搬出口３２、３３がそれぞれ開設されており、負圧移載室１０側の搬入搬出口３３には搬入搬出口３２、３３を開閉するゲートバルブ３４が設置されている。第二予備室３０には第二予備室用仮置き台３５が設置されている。
【００１３】
第一予備室２０および第二予備室３０の前側には、大気圧以上の圧力（正圧）を維持可能な構造に構成された第二ウエハ移載室（以下、正圧移載室という。）４０が隣接して連結されており、正圧移載室４０の筐体（以下、正圧移載室筐体という。）４１は、平面視が横長の長方形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
正圧移載室４０には正圧下でウエハＷを移載する第二ウエハ移載装置（以下、正圧移載装置という。）４２が設置されており、正圧移載装置４２はスカラ形ロボットによって２枚のウエハを同時に搬送し得るように構成されている。
正圧移載装置４２は正圧移載室４０に設置されたエレベータ４３によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ４４によって左右方向に往復移動されるように構成されている。
【００１４】
互いに隣接した第一予備室筐体２１の側壁および正圧移載室筐体４１の側壁には搬入搬出口２６、２７がそれぞれ開設されており、正圧移載室４０側の搬入搬出口２７には搬入搬出口２６、２７を開閉するゲートバルブ２８が設置されている。
互いに隣接した第二予備室筐体３１の側壁および正圧移載室筐体４１の側壁には搬入搬出口３６、３７がそれぞれ開設されており、正圧移載室４０側の搬入搬出口３７には搬入搬出口３６、３７を開閉するゲートバルブ３８が設置されている。
図１に示されているように、正圧移載室４０の左側にはノッチ合わせ装置４５が設置されている。
また、図２に示されているように、正圧移載室４０の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット４６が設置されている。
【００１５】
図１および図２に示されているように、正圧移載室筐体４１の正面壁には三つのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９が左右方向に並べられて開設されており、これらのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９はウエハＷを正圧移載室４０に対して搬入搬出し得るように設定されている。これらのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９にはポッドオープナ５０がそれぞれ設置されている。
【００１６】
ポッドオープナ５０はポッドＰを載置する載置台５１と、載置台５１に載置されたポッドＰのキャップを着脱するキャップ着脱機構５２とを備えており、載置台５１に載置されたポッドＰのキャップをキャップ着脱機構５２によって着脱することにより、ポッドＰのウエハ出し入れ口を開閉するようになっている。
ポッドオープナ５０の載置台５１に対してはポッドＰが、図示しない工程内搬送装置（ＲＧＶ）によって供給および排出されるようになっている。したがって、載置台５１によってキャリアステージとしてのポッドステージが構成されていることになる。
【００１７】
図１に示されているように、負圧移載室筐体１１の６枚の側壁のうち背面側に位置する２枚の側壁には、第一処理モジュールとしての第一ＣＶＤモジュール６１と、第二処理モジュールとしての第二ＣＶＤモジュール６２とがそれぞれ隣接して連結されている。第一ＣＶＤモジュール６１および第二ＣＶＤモジュール６２はいずれも、枚葉式ＣＶＤ装置（枚葉式コールドウオール形ＣＶＤ装置）によってそれぞれ構成されている。
また、負圧移載室筐体１１における６枚の側壁のうちの残りの互いに対向する２枚の側壁には、第三処理モジュールとしての第一クーリングモジュール６３と、第四処理モジュールとしての第二クーリングモジュール６４とがそれぞれ連結されており、第一クーリングモジュール６３および第二クーリングモジュール６４はいずれも、処理済みのウエハＷを冷却するように構成されている。
なお、図１中、６５、６６、６７、６８はウエハ搬入搬出口である。
【００１８】
連続処理装置は図３に示された制御システム７０を備えている。
図３に示されているように、制御システム７０はパーソナルコンピュータ等から構築されたメインコントローラ７１を備えている。メインコントローラ７１にはＬＡＮシステム７２を介して、負圧移載装置１２を制御するサブコントローラ７３、正圧移載装置４２を制御するサブコントローラ７４、第一ＣＶＤモジュール（第一処理モジュール）６１を制御するサブコントローラ７５、第二ＣＶＤモジュール（第二処理モジュール）６２を制御するサブコントローラ７６、第一クーリングモジュール（第三処理モジュール）６３を制御するサブコントローラ７７、第二クーリングモジュール（第四処理モジュール）６４を制御するサブコントローラ７８等が接続されている。
メインコントローラ７１には、キーボードやマウス等の入力手段によって構成された入力装置８１、テレビモニタ等の表示部（操作画面）によって構成された表示装置８２、記憶媒体駆動装置等によって構成された記憶装置８３等が接続されている。
また、メインコントローラはホストコンピュータ８４に接続することができるようになっている。
【００１９】
メインコントローラ７１はＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフエース）システム８５を備えている。
メインコントローラ７１にはウインドウカスタマイズ化システム（以下、カスタマイズシステムという。）８６がプログラミングされて組み込まれており、カスタマイズシステム８６はオペレータがＧＵＩシステムのウインドウを自由に作成（カスタマイズ）することができるように構成されている。
カスタマイズシステム８６は、複数の機能（温度や圧力およびガス流量等）毎に所定の子ウインドウを少なくとも記憶する記憶部８７と、ＧＵＩシステムの操作画面（以下、ウインドウという場合がある。）における指定された位置に、記憶部８７の複数のウインドウのうち選択された子ウインドウを表示することにより、カスタマイズしたウインドウとして保存するカスタマイズ部８８とを備えており、後述するプロセスフローを実行するように構成されている。
ここで、子ウインドウとは、ウインドウ内に表示されている画面で、特に、機能毎に表示されている画面のこと、である。
【００２０】
以下、前記構成に係る連続処理装置が使用されたＩＣの製造方法における成膜工程のシーケンスのフローを説明する。
【００２１】
これから成膜すべきウエハＷは２５枚がポッドＰに収納された状態で、成膜工程を実施する連続処理装置へ工程内搬送装置によって搬送されて来る。
図１および図２に示されているように、搬送されて来たポッドＰは第一予備室２０におけるポッドオープナ５０の載置台５１の上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。ポッドＰのキャップがキャップ着脱機構５２によって取り外され、ポッドＰのウエハ出し入れ口が開放される。
【００２２】
ポッドＰがポッドオープナ５０によって開放されると、正圧移載室４０に設置された正圧移載装置４２はウエハ搬入搬出口４７を通してポッドＰからウエハＷを１枚ずつピックアップし、第一予備室２０に搬入搬出口２６、２７を通して搬入（ウエハローディング）し、ウエハＷを第一予備室用仮置き台２５に移載して行く。
この移載作業中には、負圧移載室１０側の搬入搬出口２２、２３はゲートバルブ２４によって閉じられており、負圧移載室１０の負圧は維持されている。
【００２３】
ポッドＰ内のウエハＷの第一予備室用仮置き台２５への移載が完了すると、正圧移載室４０側の搬入搬出口２６、２７がゲートバルブ２８によって閉じられ、第一予備室２０が排気装置（図示せず）によって負圧に排気される。
第一予備室２０が予め設定された圧力値に減圧されると、負圧移載室１０側の搬入搬出口２２、２３がゲートバルブ２４によって開かれる。
【００２４】
次に、負圧移載室１０の負圧移載装置１２は搬入搬出口２２、２３を通して第一予備室用仮置き台２５から処理前のウエハＷを１枚ずつピックアップして負圧移載室１０に搬入する。
例えば、負圧移載装置１２は処理前のウエハＷを第一ＣＶＤモジュール６１のウエハ搬入搬出口６５に搬送して、ウエハ搬入搬出口６５から第一ＣＶＤモジュール６１である枚葉式ＣＶＤ装置の処理室へ搬入（ウエハローディング）する。
【００２５】
第一ＣＶＤモジュール６１において所定の成膜処理が終了すると、成膜処理後（成膜済）のウエハＷは第一ＣＶＤモジュール６１から負圧移載装置１２によってピックアップされて、負圧に維持されている負圧移載室１０に第一ＣＶＤモジュール６１のウエハ搬入搬出口６５から搬出（ウエハアンローディング）される。
【００２６】
成膜処理後のウエハＷを第一ＣＶＤモジュール６１から負圧移載室１０に搬出すると、負圧移載装置１２は成膜処理後のウエハＷを第一クーリングモジュール６３の冷却室へウエハ搬入搬出口６７およびゲート６７Ａを通して搬入するとともに、冷却室のウエハ載置台に移載する。
ウエハＷは第一クーリングモジュール６３において冷却処理される。
【００２７】
第一クーリングモジュール６３において予め設定された冷却時間が経過すると、冷却処理後のウエハＷは負圧移載装置１２によって第一クーリングモジュール６３からピックアップされて、負圧移載室１０の搬入搬出口２３へ搬送され、第一予備室２０に搬入搬出口２３を通して搬出されて第一予備室用仮置き台２５に移載される。
【００２８】
第一予備室２０のロードロックが解除された後に、正圧移載室４０の第一予備室２０に対応したウエハ搬入搬出口４７がポッドオープナ５０によって開かれるとともに、載置台５１に載置された空のポッドＰのキャップがポッドオープナ５０によって開かれる。
続いて、正圧移載室４０の正圧移載装置４２は第一予備室用仮置き台２５からウエハＷを搬入搬出口２７を通してピックアップして正圧移載室４０に搬出し、正圧移載室４０のウエハ搬入搬出口４７を通してポッドＰに収納（チャージング）して行く。
【００２９】
処理済の２５枚のウエハＷのポッドＰへの収納が完了すると、ポッドＰのキャップがポッドオープナ５０のキャップ着脱機構５２によってウエハ出し入れ口に装着され、ポッドＰが閉じられる。
閉じられたポッドＰは載置台５１の上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。
以上の作動が繰り返されることにより、ウエハが１枚ずつ順次に処理されて行く。
【００３０】
以上の成膜工程のシーケンスの実施に際して、実施状況の監視等に供するために、メインコントローラ７１は表示装置８２のモニタ（表示部）に、例えば、図４に示されているようなウインドウ９０を表示する。
図４に示されたウインドウ９０は、常に同一の表示内容が表示される第一表示部としてのタイトルパネル９１およびナビパネル９２と、切替ボタンによって表示内容が切り替わる第二表示部としてのセンタパネル９３と、を備えている。
本実施の形態においては、センタパネル９３のレイアウトや表示内容のフォーマットを、連続処理装置を運転するオペレータの異なる目的に対応したものとすることができるようにしている。
ちなみに、オペレータの異なる目的の具体例としては、次のものがある。
1) 生産部門のオペレータの場合は、製品を生産する目的。
2) 生産技術部門のオペレータの場合は、製品の品質を守る目的。製品に不具合が有った時に、原因を究明するために各種のロギングデータを収集する。
3) 試験部門のオペレータの場合は、連続処理装置の性能を調査する目的。例えば、メンテナンス作業として、処理室内温度の均一性を測定するために、温度計を設置して温度測定したり、処理室内のパーティクルを測定したりする。
【００３１】
以下、生産部門のオペレータ（以下、オペレータと略称する場合がある。）が第一ユーザ画面を新規に作成（カスタマイズ）する場合を例にして、カスタマイズシステム８６のプログラムフローを図５に即して説明する。
なお、カスタマイズシステム８６を実行する前提として、安全性を期すために、メインコントローラ７１の成膜工程のシーケンスフローを実行するシステムがダウンされる。
【００３２】
カスタマイズシステム８６が起動すると、図５に示された第一ステップＡ１（以下、各ステップについて同様に表記する。）において、図６に示されたカスタマイズモード移行画面９４がメインコントローラ７１の表示装置８２のウインドウにＧＵＩシステム８５を介して表示される。
ちなみに、ユーザ画面カスタマイズモードに移行した後は、タイトルパネル９１内の見易い場所に「ユーザ画面カスタマイズ中」の注記が表示される。
【００３３】
カスタマイズモード移行画面９４において、オペレータがユーザ画面カスタマイズ開始釦を押下する（Ａ２）と、ユーザ画面追加数設定ダイヤログ９５が表示される（Ａ３）ので、オペレータは追加画面数を設定する（Ａ４）。
次いで、追加釦を押下する（Ａ５）か、または、変更釦を押下する（Ａ６）。
【００３４】
カスタマイズモード移行画面９４において、オペレータがユーザ画面削除釦を押下する（Ａ７）と、ユーザ画面削除ダイヤログ９６が表示される（Ａ８）ので、オペレータは削除したいユーザ画面の番号を設定する（Ａ９）。
次いで、削除釦が押下される（Ａ１０）と、カスタマイズ部８８は設定された番号のユーザ画面を削除する（Ａ１１）。
所望のユーザ画面の削除が終了すると、カスタマイズモード移行画面表示ステップＡ１に戻る。
また、追加釦押下ステップＡ５や変更釦押下ステップＡ６やユーザ画面削除釦押下ステップＡ７および削除釦押下ステップＡ１０において、押下されない場合にも、カスタマイズモード移行画面表示ステップＡ１に戻る。
【００３５】
翻って、追加釦が押下される（Ａ５）か変更釦が押下される（Ａ６）と、図７に示されたユーザ画面カスタマイズモード初期画面９７がウインドウに表示される（Ａ１２）。
ユーザ画面カスタマイズモード初期画面９７には第一ユーザ画面（ユーザ画面１）が表示されるが、第一ユーザ画面が新規作成の場合（新規作成画面の場合）には切り替え釦９８のみ表示され、子ウインドウは何も表示されない。
【００３６】
オペレータがユーザ画面カスタマイズモード初期画面９７の切り替え釦群９８のうち、例えば、第一プロセスモジュール（ＰＭ１）釦を押下する（Ａ１３）と、ウインドウの表示が図８に示された子ウインドウ選択画面９９に切り替わるので、オペレータは貼り付けたい子ウインドウ９９ａをクリックする（Ａ１４）。
この子ウインドウ選択画面９９は見た目には図４と同じであり、カスタマイズシステム８６の記憶部８７またはメインコントローラ７１の記憶装置８３に予め記憶されている画面が使用される。
子ウインドウはウインドウ９０のセンタパネル９３に表示される複数のアイコンを意味し、各子ウインドウには互いに異なる機能がそれぞれ付与されている。
【００３７】
子ウインドウ選択画面９９において、オペレータが子ウインドウを押下する（Ａ１４）と、表示先ユーザ画面指定ダイヤログ１００が表示される（Ａ１５）ので、オペレータは表示先のユーザ画面の番号を指定する（Ａ１６）。
次いで、ＯＫ釦が押下される（Ａ１７）と、カスタマイズ部８８は指定された番号のユーザ画面に選択された子ウインドウ９９ａを、図９に示された編集後のユーザ画面１０１のように表示する（Ａ１８）。
なお、図５では省略しているが、編集後のユーザ画面１０１においては、子ウインドウ９９ａをクリック（タッチパネルの場合にはタッチ）すると、例えば、図９に示されているように、ポップアップウインドウ１０２が表示されるので、同一の編集後のユーザ画面１０１内で子ウインドウ９９ａを移動または削除することができる。
また、編集後のユーザ画面１０１内の子ウインドウ９９ａの大きさは自動的に調整することができるし、表示しきれない場合には、スクロールバー機能や縮小拡大表示機能によって対応することができる。
【００３８】
ＯＫ釦押下ステップＡ１７においてＯＫ釦が押下されない場合には、フローはユーザ画面カスタマイズモード初期画面表示ステップＡ１２に戻る。
また、画面切替釦押下ステップＡ１３において画面切替釦が押下されない場合には、フローはカスタマイズモード移行画面表示ステップＡ１に戻る。
【００３９】
第一ユーザ画面において、登録釦が押下される（Ａ１９）と、カスタマイズ部８８は作成後のユーザ画面１０１を第一ユーザ画面としてユーザ登録と関連づけて、カスタマイズ部８８内の保存部に保存する。
なお、第一ユーザ画面の保存は、センタパネル９３での指定位置の座標（Ｘｎ，Ｙｎ）と、選択した子ウインドウ毎に予め付されたＩＤとによって実行することができる。
【００４０】
以上のようにしてカスタマイズした第一ユーザ画面が、生産部門のオペレータが連続処理装置を運用する際に実行される時のプロセスフローを図１０によって説明する。
【００４１】
まず、前述した成膜工程のシーケンスを実施すべく、図１０に示されているように、制御システム７０がパワーオンリセットされると、パワーオンリセット信号がメインコントローラ７１に入力される（図示せず）。これにより、メインコントローラ７１のプログラムはプログラム０番地からプロセスフローを開始する。
【００４２】
続いて、ログインステップＢ１において、生産部門のオペレータが、自分のユーザＩＤを表示装置８２のウインドウに入力することにより、ログインする。
【００４３】
生産部門のオペレータがユーザＩＤを入力してログインすると、カスタマイズシステム８６は生産部門のオペレータが予めカスタマイズした前述の第一ユーザ画面（図９参照）をカスタマイズ部８８内の保存部から自動的に読み出して、メインコントローラ７１の表示装置８２のウインドウに表示する（Ｂ２）。
【００４４】
その後は、前述した成膜工程のシーケンスのプロセスフローが順次実施されて行く。
この際には、生産部門のオペレータはウインドウに表示されている自分専用の第一ユーザ画面を監視しつつ連続処理装置を制御し、製品を生産して行くことになる。
【００４５】
なお、カスタマイズフォーマット表示ステップＢ２のプロセスフローを例示すると、図１１のようになる。
カスタマイズシステム８６はカスタマイズされた第一ユーザ画面のパラメータをカスタマイズ部８８の保存部から読み込む（Ｃ１）。
続いて、カスタマイズシステム８６は、ウインドウ９０のセンタパネル９３における座標（Ｘｎ，Ｙｎ）の位置に、例えばＩＤが「１０１」の子ウインドウ９９ａを表示する（Ｃ２）。
次に、カスタマイズシステム８６は次の子ウインドウ９９ａが有るかを判断する（Ｃ３）。
次の子ウインドウ９９ａが有る場合には、カスタマイズシステム８６はステップＣ１に戻り、保存部に次の子ウインドウ９９ａを読み込む。
次の子ウインドウ９９ａが無い場合には、カスタマイズシステム８６はステップＣ４に進み、カスタマイズされた第一ユーザ画面をウインドウ９０に表示する。
カスタマイズされた第一ユーザ画面を生産部門のオペレータ自身によって確認されると、カスタマイズ表示プロセスフローは終了する。
【００４６】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【００４７】
1) メインコントローラにおける操作画面のフォーマットをオペレータ自身が自由にフォーマティング（カスタマイズ）することができるので、多種多様のフォーマットを予めプログラミングせずに済み、連続処理装置のイニシャルコストを低減することができる。
【００４８】
2) メインコントローラにおける操作画面のフォーマットを連続処理装置をこれから運転しようとするオペレータの異なる目的に対応したものとすることにより、オペレータが連続処理装置を所望通りに運用し易くさせることができるので、連続処理装置の全体としてのスループットを向上させることができるとともに、誤操作を防止することができる。
【００４９】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【００５０】
前記実施の形態ではＣＶＤ装置について説明したが、酸化装置や拡散装置、アニール装置および熱処理装置等の基板処理装置全般に適用することができる。
【００５１】
また、ウエハを処理する場合について説明したが、液晶パネルや磁気ディスク、光ディスク等の基板全般について適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施の形態であるマルチチャンバ型連続処理装置を示す平面断面図である。
【図２】その側面断面図である。
【図３】その制御システムを示すブロック図である。
【図４】メインコントローラのモニタのウインドウを示す模式図である。
【図５】カスタマイズシステムのプログラムフローチャートである。
【図６】カスタマイズモード移行画面を示す模式図である。
【図７】ユーザ画面カスタマイズモード初期画面を示す模式図である。
【図８】子ウインドウ選択画面を示す模式図である。
【図９】編集後のユーザ画面を示す模式図である。
【図１０】カスタマイズしたオペレータ自身による連続処理装置の運用時のプロセスフローチャートである。
【図１１】カスタマイズフォーマット表示のプロセスフローチャートである。
【符号の説明】
【００５３】
Ｗ…ウエハ（基板）、Ｐ…ポッド（基板キャリア）、１０…負圧移載室（搬送室）、１１…負圧移載室筐体、１２…負圧移載装置（搬送装置）、１３…エレベータ、１４…上側アーム（保持部）、１５…下側アーム（保持部）、１６、１７…エンドエフェクタ、２０…第一予備室、２１…第一予備室筐体、２２、２３…搬入搬出口、２４…ゲートバルブ、２５…第一予備室用仮置き台、２６、２７…搬入搬出口、２８…ゲートバルブ、３０…第二予備室、３１…第二予備室筐体、３２、３３…搬入搬出口、３４…ゲートバルブ、３５…第二予備室用仮置き台、３６、３７…搬入搬出口、３８…ゲートバルブ、４０…正圧移載室（ウエハ移載室）、４１…正圧移載室筐体、４２…正圧移載装置（ウエハ移載装置）、４３…エレベータ、４４…リニアアクチュエータ、４５…ノッチ合わせ装置、４６…クリーンユニット、４７、４８、４９…ウエハ搬入搬出口、５０…ポッドオープナ、５１…載置台、５２…キャップ着脱機構、６１…第一ＣＶＤモジュール（第一処理モジュール）、６２…第二ＣＶＤモジュール（第二処理モジュール）、６３…第一クーリングモジュール（第三処理モジュール）、６４…第二クーリングモジュール（第四処理モジュール）、６５、６６、６７、６８…ウエハ搬入搬出口、７０…制御システム（制御装置）、７１…メインコントローラ、７２…ＬＡＮシステム、７３〜７８…サブコントローラ、８１…入力装置、８２…表示装置、８３…記憶装置、８４…ホストコンピュータ、８５…ＧＵＩシステム、８６…カスタマイズシステム、８７…記憶部、８８…カスタマイズ部、９０…操作画面（ウインドウ）、９１…タイトルパネル、９２…ナビパネル、９３…センタパネル、９４…カスタマイズモード移行画面、９５…ユーザ画面追加数設定ダイヤログ、９６…ユーザ画面削除ダイヤログ、９７…ユーザ画面カスタマイズモード初期画面、９８…切り替え釦群、９９…子ウインドウ選択画面、１００…表示先ユーザ画面指定ダイヤログ、１０１…編集後のユーザ画面、１０２…ポップアップウインドウ。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関し、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の製造方法において、半導体素子を含む集積回路が作り込まれる半導体ウエハ（以下、ウエハという。）に金属膜や絶縁膜および半導体膜を形成するのに利用して有効なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＩＣの一例であるＤＲＡＭ（Dynamic Random-Access Memory）やＤＲＡＭ混載システムＬＳＩ（以下、ＤＲＡＭという。）の製造方法において、ウエハに電気容量絶縁膜やゲート絶縁膜として適用される容量絶縁膜を形成するのに、搬送室の周りに複数の処理モジュール（プロセスチャンバ）が設置されたマルチチャンバ型連続処理装置が使用される場合がある。
従来のマルチチャンバ型連続処理装置は、複数の処理モジュールをそれぞれ制御するサブコントローラをメインコントローラによって統括的に制御するように構成されているとともに、サブコントローラをシーケンス制御するためのプロセスレシピがメインコントローラの操作画面（ウインドウ）に表示されたり、サブコントローラによって検出された処理モジュールの状況がメインコントローラの操作画面に表示されるように構成されている。例えば、特許文献１参照。
【特許文献１】特開２００１−２３０２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
一般に、マルチチャンバ型連続処理装置においては、メインコントローラを操作し易くするために、メインコントローラにはＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフエース）システムが搭載されている。
ここで、ＧＵＩシステムとは、メインコントローラの表示装置の操作画面（ウインドウ）上のアイコン（機能を表す図形記号）をマウスポインタで指示してクリックしたり、カーソルで指示して決定したり、タッチパネルディスプレイの場合にはタッチしたりして選択することにより、処理や命令、判断およびデータ等を入力したり、操作画面を切り替えたりすることができるようにプログラミングされたシステムである。
マルチチャンバ型連続処理装置に搭載されたＧＵＩシステムは、その装置の運用に必要な情報が膨大であるために、オペレータ自身が操作画面を適宜に切り替えて表示することによって所望の情報を見ることができるように、構成されている。
通例、この操作画面のフォーマット（形式）はマルチチャンバ型連続処理装置のメインコントローラに予めプログラミングされて提供される。
しかしながら、高集積化や膜種の多様化およびシステムインテグレーテッド化等の進展に伴って、オペレータに通知しなければならない情報および提供しなければならない機能は増大の一途をたどり、マルチチャンバ型連続処理装置の運用に必要な操作画面のフォーマットは、多種多様になって来ている。
一方、オペレータによっては必要とする情報または機能は限られている。
例えば、成膜運転状態となった場合には、操作画面上で監視すべき情報および必要な操作は限定される。
【０００４】
本発明の目的は、オペレータが専用の操作画面を自由に作成することができる基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願において開示される発明のうち代表的なものは、次の通りである。
（１）入力手段で構成される入力装置と、操作画面で構成される表示装置と、前記入力手段からの指示入力を制御して前記操作画面の切り替えを行う画面制御部とが搭載されたコントローラを備えている基板処理装置であって、
前記コントローラは、操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムと、
複数の機能毎に所定の子ウインドウをそれぞれ記憶する記憶部と、
カスタマイズ化した操作画面が保存されるカスタマイズ部とを有し、
前記カスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、前記カスタマイズシステムは、前記カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示し、この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを前記初期画面に貼り付けて表示し、前記カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する
ことを特徴とする基板処理装置。
（２）入力手段で構成される入力装置と、操作画面で構成される表示装置と、前記入力手段からの指示入力を制御して前記操作画面の切り替えを行う画面制御部とが搭載されたコントローラを備えている基板処理装置の運用方法であって、
予め、複数の機能毎に所定の子ウインドウを記憶部にそれぞれ記憶しておき、
前記コントローラの操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、前記カスタマイズシステムは、前記カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示し、この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを前記初期画面に貼り付けて表示し、カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する
ことを特徴とする基板処理装置の運用方法。
【発明の効果】
【０００６】
前記（１）（２）によれば、オペレータが操作画面を自由に作成することができるので、多種多様の操作画面を予めプログラミングせずに全てのオペレータの要求に対応することができる。
他方、オペレータは自分が作成した操作画面を利用して、基板処理装置を所望通りに運用することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【０００８】
本実施の形態において、本発明に係る基板処理装置は、図１および図２に示されているように、マルチチャンバ型連続処理装置（以下、連続処理装置という。）として構成されており、この連続処理装置はＩＣの製造方法にあってウエハに所望の薄膜を堆積させる成膜工程に使用されるように構成されている。
なお、本実施の形態に係る連続処理装置においてはウエハ搬送用のキャリアとしては、ＦＯＵＰ（front opening unified pod 。以下、ポッドという。）が使用されている。
以下の説明において、前後左右は図１を基準とする。すなわち、第二ウエハ移載室４０側が前側、その反対側すなわち第一ウエハ移載室１０側が後側、第一予備室２０側が左側、第二予備室３０側が右側とする。
【０００９】
図１および図２に示されているように、連続処理装置は搬送室としての第一ウエハ移載室１０を備えており、第一ウエハ移載室１０は大気圧未満の圧力（負圧）に耐えるロードロックチャンバ構造に構成されている。第一ウエハ移載室（以下、負圧移載室という。）１０の筐体（以下、負圧移載室筐体という。）１１は、平面視が六角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
【００１０】
負圧移載室１０の中央部には、ウエハを保持して搬送する搬送装置としてのウエハ移載装置１２が設置されており、ウエハ移載装置１２は負圧下においてウエハＷを移載するように構成されている。ウエハ移載装置（以下、負圧移載装置という。）１２は、スカラ形ロボット（selective compliance assembly robot arm ＳＣＡＲＡ）によって構成されており、負圧移載室筐体１１の底壁に設置されたエレベータ１３によって気密シールを維持しつつ昇降するように構成されている。
負圧移載装置１２はウエハＷを保持する保持部としての一対のアーム１４、１５を備えている。上側に位置する第一アーム（以下、上側アームという。）１４の先端部には、二股のフォーク形状に形成された上側エンドエフェクタ１６が取り付けられており、下側に位置する第二アーム（以下、下側アームという。）１５の先端部には、下側エンドエフェクタ１７が取り付けられている。
【００１１】
負圧移載室筐体１１の６枚の側壁のうち正面側に位置する２枚の側壁には、負圧移載室１０に対してウエハＷを搬入搬出する予備室としての第一予備室２０と第二予備室３０とがそれぞれ隣接して連結されている。
第一予備室２０の筐体（以下、第一予備室筐体という。）２１および第二予備室３０の筐体（以下、第二予備室筐体という。）３１はいずれも、平面視が大略四角形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されているとともに、負圧に耐え得るロードロックチャンバ構造に構成されている。
【００１２】
互いに隣接した第一予備室筐体２１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬入搬出口２２、２３がそれぞれ開設されており、負圧移載室１０側の搬入搬出口２３には搬入搬出口２２、２３を開閉するゲートバルブ２４が設置されている。第一予備室２０には第一予備室用仮置き台２５が設置されている。
互いに隣接した第二予備室筐体３１の側壁および負圧移載室筐体１１の側壁には搬入搬出口３２、３３がそれぞれ開設されており、負圧移載室１０側の搬入搬出口３３には搬入搬出口３２、３３を開閉するゲートバルブ３４が設置されている。第二予備室３０には第二予備室用仮置き台３５が設置されている。
【００１３】
第一予備室２０および第二予備室３０の前側には、大気圧以上の圧力（正圧）を維持可能な構造に構成された第二ウエハ移載室（以下、正圧移載室という。）４０が隣接して連結されており、正圧移載室４０の筐体（以下、正圧移載室筐体という。）４１は、平面視が横長の長方形で上下両端が閉塞した箱形状に形成されている。
正圧移載室４０には正圧下でウエハＷを移載する第二ウエハ移載装置（以下、正圧移載装置という。）４２が設置されており、正圧移載装置４２はスカラ形ロボットによって２枚のウエハを同時に搬送し得るように構成されている。
正圧移載装置４２は正圧移載室４０に設置されたエレベータ４３によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ４４によって左右方向に往復移動されるように構成されている。
【００１４】
互いに隣接した第一予備室筐体２１の側壁および正圧移載室筐体４１の側壁には搬入搬出口２６、２７がそれぞれ開設されており、正圧移載室４０側の搬入搬出口２７には搬入搬出口２６、２７を開閉するゲートバルブ２８が設置されている。
互いに隣接した第二予備室筐体３１の側壁および正圧移載室筐体４１の側壁には搬入搬出口３６、３７がそれぞれ開設されており、正圧移載室４０側の搬入搬出口３７には搬入搬出口３６、３７を開閉するゲートバルブ３８が設置されている。
図１に示されているように、正圧移載室４０の左側にはノッチ合わせ装置４５が設置されている。
また、図２に示されているように、正圧移載室４０の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット４６が設置されている。
【００１５】
図１および図２に示されているように、正圧移載室筐体４１の正面壁には三つのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９が左右方向に並べられて開設されており、これらのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９はウエハＷを正圧移載室４０に対して搬入搬出し得るように設定されている。これらのウエハ搬入搬出口４７、４８、４９にはポッドオープナ５０がそれぞれ設置されている。
【００１６】
ポッドオープナ５０はポッドＰを載置する載置台５１と、載置台５１に載置されたポッドＰのキャップを着脱するキャップ着脱機構５２とを備えており、載置台５１に載置されたポッドＰのキャップをキャップ着脱機構５２によって着脱することにより、ポッドＰのウエハ出し入れ口を開閉するようになっている。
ポッドオープナ５０の載置台５１に対してはポッドＰが、図示しない工程内搬送装置（ＲＧＶ）によって供給および排出されるようになっている。したがって、載置台５１によってキャリアステージとしてのポッドステージが構成されていることになる。
【００１７】
図１に示されているように、負圧移載室筐体１１の６枚の側壁のうち背面側に位置する２枚の側壁には、第一処理モジュールとしての第一ＣＶＤモジュール６１と、第二処理モジュールとしての第二ＣＶＤモジュール６２とがそれぞれ隣接して連結されている。第一ＣＶＤモジュール６１および第二ＣＶＤモジュール６２はいずれも、枚葉式ＣＶＤ装置（枚葉式コールドウオール形ＣＶＤ装置）によってそれぞれ構成されている。
また、負圧移載室筐体１１における６枚の側壁のうちの残りの互いに対向する２枚の側壁には、第三処理モジュールとしての第一クーリングモジュール６３と、第四処理モジュールとしての第二クーリングモジュール６４とがそれぞれ連結されており、第一クーリングモジュール６３および第二クーリングモジュール６４はいずれも、処理済みのウエハＷを冷却するように構成されている。
なお、図１中、６５、６６、６７、６８はウエハ搬入搬出口である。
【００１８】
連続処理装置は図３に示された制御システム７０を備えている。
図３に示されているように、制御システム７０はパーソナルコンピュータ等から構築されたメインコントローラ７１を備えている。メインコントローラ７１にはＬＡＮシステム７２を介して、負圧移載装置１２を制御するサブコントローラ７３、正圧移載装置４２を制御するサブコントローラ７４、第一ＣＶＤモジュール（第一処理モジュール）６１を制御するサブコントローラ７５、第二ＣＶＤモジュール（第二処理モジュール）６２を制御するサブコントローラ７６、第一クーリングモジュール（第三処理モジュール）６３を制御するサブコントローラ７７、第二クーリングモジュール（第四処理モジュール）６４を制御するサブコントローラ７８等が接続されている。
メインコントローラ７１には、キーボードやマウス等の入力手段によって構成された入力装置８１、テレビモニタ等の表示部（操作画面）によって構成された表示装置８２、記憶媒体駆動装置等によって構成された記憶装置８３等が接続されている。
また、メインコントローラはホストコンピュータ８４に接続することができるようになっている。
【００１９】
メインコントローラ７１はＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフエース）システム８５を備えている。
メインコントローラ７１にはウインドウカスタマイズ化システム（以下、カスタマイズシステムという。）８６がプログラミングされて組み込まれており、カスタマイズシステム８６はオペレータがＧＵＩシステムのウインドウを自由に作成（カスタマイズ）することができるように構成されている。
カスタマイズシステム８６は、複数の機能（温度や圧力およびガス流量等）毎に所定の子ウインドウを少なくとも記憶する記憶部８７と、ＧＵＩシステムの操作画面（以下、ウインドウという場合がある。）における指定された位置に、記憶部８７の複数のウインドウのうち選択された子ウインドウを表示することにより、カスタマイズしたウインドウとして保存するカスタマイズ部８８とを備えており、後述するプロセスフローを実行するように構成されている。
ここで、子ウインドウとは、ウインドウ内に表示されている画面で、特に、機能毎に表示されている画面のこと、である。
【００２０】
以下、前記構成に係る連続処理装置が使用されたＩＣの製造方法における成膜工程のシーケンスのフローを説明する。
【００２１】
これから成膜すべきウエハＷは２５枚がポッドＰに収納された状態で、成膜工程を実施する連続処理装置へ工程内搬送装置によって搬送されて来る。
図１および図２に示されているように、搬送されて来たポッドＰは第一予備室２０におけるポッドオープナ５０の載置台５１の上に工程内搬送装置から受け渡されて載置される。ポッドＰのキャップがキャップ着脱機構５２によって取り外され、ポッドＰのウエハ出し入れ口が開放される。
【００２２】
ポッドＰがポッドオープナ５０によって開放されると、正圧移載室４０に設置された正圧移載装置４２はウエハ搬入搬出口４７を通してポッドＰからウエハＷを１枚ずつピックアップし、第一予備室２０に搬入搬出口２６、２７を通して搬入（ウエハローディング）し、ウエハＷを第一予備室用仮置き台２５に移載して行く。
この移載作業中には、負圧移載室１０側の搬入搬出口２２、２３はゲートバルブ２４によって閉じられており、負圧移載室１０の負圧は維持されている。
【００２３】
ポッドＰ内のウエハＷの第一予備室用仮置き台２５への移載が完了すると、正圧移載室４０側の搬入搬出口２６、２７がゲートバルブ２８によって閉じられ、第一予備室２０が排気装置（図示せず）によって負圧に排気される。
第一予備室２０が予め設定された圧力値に減圧されると、負圧移載室１０側の搬入搬出口２２、２３がゲートバルブ２４によって開かれる。
【００２４】
次に、負圧移載室１０の負圧移載装置１２は搬入搬出口２２、２３を通して第一予備室用仮置き台２５から処理前のウエハＷを１枚ずつピックアップして負圧移載室１０に搬入する。
例えば、負圧移載装置１２は処理前のウエハＷを第一ＣＶＤモジュール６１のウエハ搬入搬出口６５に搬送して、ウエハ搬入搬出口６５から第一ＣＶＤモジュール６１である枚葉式ＣＶＤ装置の処理室へ搬入（ウエハローディング）する。
【００２５】
第一ＣＶＤモジュール６１において所定の成膜処理が終了すると、成膜処理後（成膜済）のウエハＷは第一ＣＶＤモジュール６１から負圧移載装置１２によってピックアップされて、負圧に維持されている負圧移載室１０に第一ＣＶＤモジュール６１のウエハ搬入搬出口６５から搬出（ウエハアンローディング）される。
【００２６】
成膜処理後のウエハＷを第一ＣＶＤモジュール６１から負圧移載室１０に搬出すると、負圧移載装置１２は成膜処理後のウエハＷを第一クーリングモジュール６３の冷却室へウエハ搬入搬出口６７およびゲート６７Ａを通して搬入するとともに、冷却室のウエハ載置台に移載する。
ウエハＷは第一クーリングモジュール６３において冷却処理される。
【００２７】
第一クーリングモジュール６３において予め設定された冷却時間が経過すると、冷却処理後のウエハＷは負圧移載装置１２によって第一クーリングモジュール６３からピックアップされて、負圧移載室１０の搬入搬出口２３へ搬送され、第一予備室２０に搬入搬出口２３を通して搬出されて第一予備室用仮置き台２５に移載される。
【００２８】
第一予備室２０のロードロックが解除された後に、正圧移載室４０の第一予備室２０に対応したウエハ搬入搬出口４７がポッドオープナ５０によって開かれるとともに、載置台５１に載置された空のポッドＰのキャップがポッドオープナ５０によって開かれる。
続いて、正圧移載室４０の正圧移載装置４２は第一予備室用仮置き台２５からウエハＷを搬入搬出口２７を通してピックアップして正圧移載室４０に搬出し、正圧移載室４０のウエハ搬入搬出口４７を通してポッドＰに収納（チャージング）して行く。
【００２９】
処理済の２５枚のウエハＷのポッドＰへの収納が完了すると、ポッドＰのキャップがポッドオープナ５０のキャップ着脱機構５２によってウエハ出し入れ口に装着され、ポッドＰが閉じられる。
閉じられたポッドＰは載置台５１の上から次の工程へ工程内搬送装置によって搬送されて行く。
以上の作動が繰り返されることにより、ウエハが１枚ずつ順次に処理されて行く。
【００３０】
以上の成膜工程のシーケンスの実施に際して、実施状況の監視等に供するために、メインコントローラ７１は表示装置８２のモニタ（表示部）に、例えば、図４に示されているようなウインドウ９０を表示する。
図４に示されたウインドウ９０は、常に同一の表示内容が表示される第一表示部としてのタイトルパネル９１およびナビパネル９２と、切替ボタンによって表示内容が切り替わる第二表示部としてのセンタパネル９３と、を備えている。
本実施の形態においては、センタパネル９３のレイアウトや表示内容のフォーマットを、連続処理装置を運転するオペレータの異なる目的に対応したものとすることができるようにしている。
ちなみに、オペレータの異なる目的の具体例としては、次のものがある。
1) 生産部門のオペレータの場合は、製品を生産する目的。
2) 生産技術部門のオペレータの場合は、製品の品質を守る目的。製品に不具合が有った時に、原因を究明するために各種のロギングデータを収集する。
3) 試験部門のオペレータの場合は、連続処理装置の性能を調査する目的。例えば、メンテナンス作業として、処理室内温度の均一性を測定するために、温度計を設置して温度測定したり、処理室内のパーティクルを測定したりする。
【００３１】
以下、生産部門のオペレータ（以下、オペレータと略称する場合がある。）が第一ユーザ画面を新規に作成（カスタマイズ）する場合を例にして、カスタマイズシステム８６のプログラムフローを図５に即して説明する。
なお、カスタマイズシステム８６を実行する前提として、安全性を期すために、メインコントローラ７１の成膜工程のシーケンスフローを実行するシステムがダウンされる。
【００３２】
カスタマイズシステム８６が起動すると、図５に示された第一ステップＡ１（以下、各ステップについて同様に表記する。）において、図６に示されたカスタマイズモード移行画面９４がメインコントローラ７１の表示装置８２のウインドウにＧＵＩシステム８５を介して表示される。
ちなみに、ユーザ画面カスタマイズモードに移行した後は、タイトルパネル９１内の見易い場所に「ユーザ画面カスタマイズ中」の注記が表示される。
【００３３】
カスタマイズモード移行画面９４において、オペレータがユーザ画面カスタマイズ開始釦を押下する（Ａ２）と、ユーザ画面追加数設定ダイヤログ９５が表示される（Ａ３）ので、オペレータは追加画面数を設定する（Ａ４）。
次いで、追加釦を押下する（Ａ５）か、または、変更釦を押下する（Ａ６）。
【００３４】
カスタマイズモード移行画面９４において、オペレータがユーザ画面削除釦を押下する（Ａ７）と、ユーザ画面削除ダイヤログ９６が表示される（Ａ８）ので、オペレータは削除したいユーザ画面の番号を設定する（Ａ９）。
次いで、削除釦が押下される（Ａ１０）と、カスタマイズ部８８は設定された番号のユーザ画面を削除する（Ａ１１）。
所望のユーザ画面の削除が終了すると、カスタマイズモード移行画面表示ステップＡ１に戻る。
また、追加釦押下ステップＡ５や変更釦押下ステップＡ６やユーザ画面削除釦押下ステップＡ７および削除釦押下ステップＡ１０において、押下されない場合にも、カスタマイズモード移行画面表示ステップＡ１に戻る。
【００３５】
翻って、追加釦が押下される（Ａ５）か変更釦が押下される（Ａ６）と、図７に示されたユーザ画面カスタマイズモード初期画面９７がウインドウに表示される（Ａ１２）。
ユーザ画面カスタマイズモード初期画面９７には第一ユーザ画面（ユーザ画面１）が表示されるが、第一ユーザ画面が新規作成の場合（新規作成画面の場合）には切り替え釦９８のみ表示され、子ウインドウは何も表示されない。
【００３６】
オペレータがユーザ画面カスタマイズモード初期画面９７の切り替え釦群９８のうち、例えば、第一プロセスモジュール（ＰＭ１）釦を押下する（Ａ１３）と、ウインドウの表示が図８に示された子ウインドウ選択画面９９に切り替わるので、オペレータは貼り付けたい子ウインドウ９９ａをクリックする（Ａ１４）。
この子ウインドウ選択画面９９は見た目には図４と同じであり、カスタマイズシステム８６の記憶部８７またはメインコントローラ７１の記憶装置８３に予め記憶されている画面が使用される。
子ウインドウはウインドウ９０のセンタパネル９３に表示される複数のアイコンを意味し、各子ウインドウには互いに異なる機能がそれぞれ付与されている。
【００３７】
子ウインドウ選択画面９９において、オペレータが子ウインドウを押下する（Ａ１４）と、表示先ユーザ画面指定ダイヤログ１００が表示される（Ａ１５）ので、オペレータは表示先のユーザ画面の番号を指定する（Ａ１６）。
次いで、ＯＫ釦が押下される（Ａ１７）と、カスタマイズ部８８は指定された番号のユーザ画面に選択された子ウインドウ９９ａを、図９に示された編集後のユーザ画面１０１のように表示する（Ａ１８）。
なお、図５では省略しているが、編集後のユーザ画面１０１においては、子ウインドウ９９ａをクリック（タッチパネルの場合にはタッチ）すると、例えば、図９に示されているように、ポップアップウインドウ１０２が表示されるので、同一の編集後のユーザ画面１０１内で子ウインドウ９９ａを移動または削除することができる。
また、編集後のユーザ画面１０１内の子ウインドウ９９ａの大きさは自動的に調整することができるし、表示しきれない場合には、スクロールバー機能や縮小拡大表示機能によって対応することができる。
【００３８】
ＯＫ釦押下ステップＡ１７においてＯＫ釦が押下されない場合には、フローはユーザ画面カスタマイズモード初期画面表示ステップＡ１２に戻る。
また、画面切替釦押下ステップＡ１３において画面切替釦が押下されない場合には、フローはカスタマイズモード移行画面表示ステップＡ１に戻る。
【００３９】
第一ユーザ画面において、登録釦が押下される（Ａ１９）と、カスタマイズ部８８は作成後のユーザ画面１０１を第一ユーザ画面としてユーザ登録と関連づけて、カスタマイズ部８８内の保存部に保存する。
なお、第一ユーザ画面の保存は、センタパネル９３での指定位置の座標（Ｘｎ，Ｙｎ）と、選択した子ウインドウ毎に予め付されたＩＤとによって実行することができる。
【００４０】
以上のようにしてカスタマイズした第一ユーザ画面が、生産部門のオペレータが連続処理装置を運用する際に実行される時のプロセスフローを図１０によって説明する。
【００４１】
まず、前述した成膜工程のシーケンスを実施すべく、図１０に示されているように、制御システム７０がパワーオンリセットされると、パワーオンリセット信号がメインコントローラ７１に入力される（図示せず）。これにより、メインコントローラ７１のプログラムはプログラム０番地からプロセスフローを開始する。
【００４２】
続いて、ログインステップＢ１において、生産部門のオペレータが、自分のユーザＩＤを表示装置８２のウインドウに入力することにより、ログインする。
【００４３】
生産部門のオペレータがユーザＩＤを入力してログインすると、カスタマイズシステム８６は生産部門のオペレータが予めカスタマイズした前述の第一ユーザ画面（図９参照）をカスタマイズ部８８内の保存部から自動的に読み出して、メインコントローラ７１の表示装置８２のウインドウに表示する（Ｂ２）。
【００４４】
その後は、前述した成膜工程のシーケンスのプロセスフローが順次実施されて行く。
この際には、生産部門のオペレータはウインドウに表示されている自分専用の第一ユーザ画面を監視しつつ連続処理装置を制御し、製品を生産して行くことになる。
【００４５】
なお、カスタマイズフォーマット表示ステップＢ２のプロセスフローを例示すると、図１１のようになる。
カスタマイズシステム８６はカスタマイズされた第一ユーザ画面のパラメータをカスタマイズ部８８の保存部から読み込む（Ｃ１）。
続いて、カスタマイズシステム８６は、ウインドウ９０のセンタパネル９３における座標（Ｘｎ，Ｙｎ）の位置に、例えばＩＤが「１０１」の子ウインドウ９９ａを表示する（Ｃ２）。
次に、カスタマイズシステム８６は次の子ウインドウ９９ａが有るかを判断する（Ｃ３）。
次の子ウインドウ９９ａが有る場合には、カスタマイズシステム８６はステップＣ１に戻り、保存部に次の子ウインドウ９９ａを読み込む。
次の子ウインドウ９９ａが無い場合には、カスタマイズシステム８６はステップＣ４に進み、カスタマイズされた第一ユーザ画面をウインドウ９０に表示する。
カスタマイズされた第一ユーザ画面を生産部門のオペレータ自身によって確認されると、カスタマイズ表示プロセスフローは終了する。
【００４６】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【００４７】
1) メインコントローラにおける操作画面のフォーマットをオペレータ自身が自由にフォーマティング（カスタマイズ）することができるので、多種多様のフォーマットを予めプログラミングせずに済み、連続処理装置のイニシャルコストを低減することができる。
【００４８】
2) メインコントローラにおける操作画面のフォーマットを連続処理装置をこれから運転しようとするオペレータの異なる目的に対応したものとすることにより、オペレータが連続処理装置を所望通りに運用し易くさせることができるので、連続処理装置の全体としてのスループットを向上させることができるとともに、誤操作を防止することができる。
【００４９】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【００５０】
前記実施の形態ではＣＶＤ装置について説明したが、酸化装置や拡散装置、アニール装置および熱処理装置等の基板処理装置全般に適用することができる。
【００５１】
また、ウエハを処理する場合について説明したが、液晶パネルや磁気ディスク、光ディスク等の基板全般について適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施の形態であるマルチチャンバ型連続処理装置を示す平面断面図である。
【図２】その側面断面図である。
【図３】その制御システムを示すブロック図である。
【図４】メインコントローラのモニタのウインドウを示す模式図である。
【図５】カスタマイズシステムのプログラムフローチャートである。
【図６】カスタマイズモード移行画面を示す模式図である。
【図７】ユーザ画面カスタマイズモード初期画面を示す模式図である。
【図８】子ウインドウ選択画面を示す模式図である。
【図９】編集後のユーザ画面を示す模式図である。
【図１０】カスタマイズしたオペレータ自身による連続処理装置の運用時のプロセスフローチャートである。
【図１１】カスタマイズフォーマット表示のプロセスフローチャートである。
【符号の説明】
【００５３】
Ｗ…ウエハ（基板）、Ｐ…ポッド（基板キャリア）、１０…負圧移載室（搬送室）、１１…負圧移載室筐体、１２…負圧移載装置（搬送装置）、１３…エレベータ、１４…上側アーム（保持部）、１５…下側アーム（保持部）、１６、１７…エンドエフェクタ、２０…第一予備室、２１…第一予備室筐体、２２、２３…搬入搬出口、２４…ゲートバルブ、２５…第一予備室用仮置き台、２６、２７…搬入搬出口、２８…ゲートバルブ、３０…第二予備室、３１…第二予備室筐体、３２、３３…搬入搬出口、３４…ゲートバルブ、３５…第二予備室用仮置き台、３６、３７…搬入搬出口、３８…ゲートバルブ、４０…正圧移載室（ウエハ移載室）、４１…正圧移載室筐体、４２…正圧移載装置（ウエハ移載装置）、４３…エレベータ、４４…リニアアクチュエータ、４５…ノッチ合わせ装置、４６…クリーンユニット、４７、４８、４９…ウエハ搬入搬出口、５０…ポッドオープナ、５１…載置台、５２…キャップ着脱機構、６１…第一ＣＶＤモジュール（第一処理モジュール）、６２…第二ＣＶＤモジュール（第二処理モジュール）、６３…第一クーリングモジュール（第三処理モジュール）、６４…第二クーリングモジュール（第四処理モジュール）、６５、６６、６７、６８…ウエハ搬入搬出口、７０…制御システム（制御装置）、７１…メインコントローラ、７２…ＬＡＮシステム、７３〜７８…サブコントローラ、８１…入力装置、８２…表示装置、８３…記憶装置、８４…ホストコンピュータ、８５…ＧＵＩシステム、８６…カスタマイズシステム、８７…記憶部、８８…カスタマイズ部、９０…操作画面（ウインドウ）、９１…タイトルパネル、９２…ナビパネル、９３…センタパネル、９４…カスタマイズモード移行画面、９５…ユーザ画面追加数設定ダイヤログ、９６…ユーザ画面削除ダイヤログ、９７…ユーザ画面カスタマイズモード初期画面、９８…切り替え釦群、９９…子ウインドウ選択画面、１００…表示先ユーザ画面指定ダイヤログ、１０１…編集後のユーザ画面、１０２…ポップアップウインドウ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力手段で構成される入力装置と、操作画面で構成される表示装置と、前記入力手段からの指示入力を制御して前記操作画面の切り替えを行う画面制御部とが搭載されたコントローラを備えている基板処理装置であって、
前記コントローラは、操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムと、
複数の機能毎に所定の子ウインドウをそれぞれ記憶する記憶部と、
カスタマイズ化した操作画面が保存されるカスタマイズ部とを有し、
前記カスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、前記カスタマイズシステムは、前記カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示し、この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを前記初期画面に貼り付けて表示し、前記カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項１】
入力手段で構成される入力装置と、操作画面で構成される表示装置と、前記入力手段からの指示入力を制御して前記操作画面の切り替えを行う画面制御部とが搭載されたコントローラを備えている基板処理装置であって、
前記コントローラは、操作画面を新規に作成するためのカスタマイズシステムと、
複数の機能毎に所定の子ウインドウをそれぞれ記憶する記憶部と、
カスタマイズ化した操作画面が保存されるカスタマイズ部とを有し、
前記カスタマイズシステムが起動されると、カスタマイズ移行画面を表示し、前記カスタマイズシステムは、前記カスタマイズ移行画面上で新規に作成する予定の操作画面である新規作成画面の数が設定されると、切り替え釦のみ表示されている初期画面を表示し、この切り替え釦が押下されると、画面を切り替え、切り替えられた画面で表示される子ウインドウを選択し、この選択された子ウインドウを前記初期画面に貼り付けて表示し、前記カスタマイズ部に前記新規作成画面として前記初期画面を保存する
ことを特徴とする基板処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００７−２５７４７６（Ｐ２００７−２５７４７６Ａ）
【公開日】平成１９年１０月４日（２００７．１０．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−８３０６０（Ｐ２００６−８３０６０）
【出願日】平成１８年３月２４日（２００６．３．２４）
【出願人】（０００００１１２２）株式会社日立国際電気 (5,007)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１０月４日（２００７．１０．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年３月２４日（２００６．３．２４）
【出願人】（０００００１１２２）株式会社日立国際電気 (5,007)
【Ｆターム（参考）】
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