日射調整フィルムおよびこれを用いたフィルム付きガラス
【課題】生産性を低下させずに良好な安定性、耐久性を得ることができ、また良好な光学特性を得ることができる日射調整フィルム。
【解決手段】日射調整フィルム１は、ポリエステルフィルム２の一方の主面にハードコート層３を有し、他方の主面に日射反射積層膜４を有する。日射反射積層膜４は、ポリエステルフィルム２側から順に、第１の亜鉛酸化物層４１、第１の銀合金層４２、第２の亜鉛酸化物層４３、第２の銀合金層４４、第３の亜鉛酸化物層４５が積層されてなるものである。第１〜第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５は、亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、これら亜鉛と亜鉛以外の金属元素とにおいて亜鉛が主たる酸化物構成元素となるものであり、第１〜第２の銀合金層４２、４４は、パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなるものである。
【解決手段】日射調整フィルム１は、ポリエステルフィルム２の一方の主面にハードコート層３を有し、他方の主面に日射反射積層膜４を有する。日射反射積層膜４は、ポリエステルフィルム２側から順に、第１の亜鉛酸化物層４１、第１の銀合金層４２、第２の亜鉛酸化物層４３、第２の銀合金層４４、第３の亜鉛酸化物層４５が積層されてなるものである。第１〜第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５は、亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、これら亜鉛と亜鉛以外の金属元素とにおいて亜鉛が主たる酸化物構成元素となるものであり、第１〜第２の銀合金層４２、４４は、パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなるものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、日射調整フィルムおよびこれを用いたフィルム付きガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、日射調整フィルムとして、誘電体層と金属層とを交互に積層した層状構造を有するものが知られている。このような層状構造を有する日射調整フィルムは、可視光線を透過させ、また近赤外部から赤外部にかけての光線（熱線）を反射させることから、建物や車両等の窓ガラスに貼着し、入射する太陽エネルギーを遮断して冷房効果を向上させるために用いられている。また、このような日射調整フィルムは電磁波遮蔽効果を有することから、電磁波シールドフィルムとして電子機器の誤動作を抑制するために外部の不要な電磁場を遮蔽し、更には内部の無線化による情報の漏洩を防止するためにも用いられている。さらに、窓ガラスが破損したときの飛散を抑制できることから、安全性を向上させるためにも用いられている。
【０００３】
日射調整フィルムとしては、例えば誘電体層を酸化インジウムとし、金属層を実質的に銀とし、５層の層状構造としたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、例えば誘電体層を酸化チタンとし、金属層を実質的に銀とし、５層の層状構造としたものが知られている（例えば、特許文献２参照）。一方、誘電体層を酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化スズ、酸化ケイ素、酸化インジウム、または酸化亜鉛とし、金属層を金、銀、銅、またはアルミニウムとし、３層の層状構造としたものが知られている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００２−５２３７９８号公報
【特許文献２】特表２００６−５０５８１１号公報
【特許文献３】特開２００１−３１０４０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、誘電体層を酸化チタンとし、金属層を銀とし、これらの層状構造部分を５層としたものについては、必ずしも誘電体層と金属層との相性が良好でなく、銀からなる金属層の安定性、耐久性が十分でないために白濁あるいは白化するおそれがある。このため、層状構造部分を一対のポリエステルフィルム等で挟持する構造とすることにより安定性、耐久性を向上させることも検討されているが、新たにポリエステルフィルム等を設ける工程が必要となり、生産性等の観点から必ずしも好ましくない。一方、誘電体層を酸化チタン以外とし、層状構造部分を３層としたものについては、必ずしも良好な光学特性、例えば可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものを得ることができない。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、生産性を低下させずに良好な安定性、耐久性を得ることができ、また良好な光学特性を得ることができる日射調整フィルムおよびこれを用いたフィルム付きガラスを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の日射調整フィルムは、ポリエステルフィルムの一方の主面にハードコート層を有し、他方の主面に日射反射積層膜を有するものであって、この日射反射積層膜が、ポリエステルフィルム側から順に、第１の亜鉛酸化物層、第１の銀合金層、第２の亜鉛酸化物層、第２の銀合金層、第３の亜鉛酸化物層が積層されてなるものである。そして、第１〜第３の亜鉛酸化物層は、亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、これら亜鉛と亜鉛以外の金属元素とにおいて亜鉛が主たる酸化物構成元素となるものであり、第１〜第２の銀合金層は、パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明のフィルム付きガラスは、ガラス板にフィルムが貼着されてなるフィルム付きガラスであって、前記フィルムが上記した本発明の日射調整フィルムであることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の日射調整フィルムによれば、ポリエステルフィルムの一方の主面にハードコート層を設け、他方の主面に日射反射積層膜を設けるとともに、この日射反射積層膜を亜鉛酸化物層と銀含有層とが交互に積層され、かつ亜鉛酸化物層と銀含有層とが全体として５層構造となるようにすることで、生産性を低下させずに良好な安定性、耐久性を得ることができ、かつ良好な光学特性を得ることができる。また、本発明のフィルム付きガラスによれば、上記した日射調整フィルムを有することで、良好な安定性、耐久性を得ることができ、かつ良好な光学特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の日射調整フィルムの一例を示す断面図。
【図２】本発明のフィルム付きガラスの一例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の日射調整フィルムについて図面を参照して説明する。
図１は、日射調整フィルムの一例を示す断面図である。
【００１２】
日射調整フィルム１は、ポリエステルフィルム２の一方の主面にハードコート層３を有し、他方の主面に日射反射積層膜４を有するものである。なお、この日射調整フィルム１には、図示するように日射反射積層膜４上に保護層５や粘着層６が形成されていてもよい。
【００１３】
ポリエステルフィルム２は、日射調整フィルム１における基材となるものである。ポリエステルフィルム２は、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリメタクリレート等からなるものである。
【００１４】
これらのなかでもポリエチレンテレフタレートフィルムのように延伸法で作製されるものは比較的に高強度であり、製造時や加工時における折れなどの欠陥の発生を抑制できることから好ましい。ポリエステルフィルム２の厚さは必ずしも限定されるものではないが、５〜２００μｍが好ましい。厚さを５μｍ以上とすることで、ポリエステルフィルム２の製造時や加工時における折れなどの欠陥の発生を抑制することができるために好ましい。また、２００μｍ以下とすることで、日射調整フィルム１の全体の厚さを抑制することができるために好ましい。ポリエステルフィルム２の厚さは、３０〜１５０μｍが好ましく、４０〜１１０μｍがより好ましい。
【００１５】
ハードコート層３は、ポリエステルフィルム２に比べて高い硬度を有するものであり、日射調整フィルム１をガラス貼付時にポリエステルフィルム２の表面に細かな擦り傷が発生することを抑制し、またポリエステルフィルム２の収縮を抑制するために設けられている。
【００１６】
ハードコート層３の硬度は、鉛筆硬度でＨ以上が好ましく、Ｈ〜３Ｈがより好ましい。鉛筆硬度をＨ以上とすることで、ポリエステルフィルム２における擦り傷等を効果的に抑制することができる。一方、鉛筆硬度は２Ｈ程度もあれば擦り傷等を十分に抑制することができ、またハードコート層３が硬くなりすぎるためにクラック等が発生することも抑制することができる。なお、本発明におけるハードコート層３の鉛筆硬度は、ポリエステルフィルム２上に形成したハードコート層３について、ＪＩＳＫ５４００（１９９０）に準じて荷重１００ｇで測定されるものである。
【００１７】
ハードコート層３の厚さは、０．５〜２０μｍが好ましく、１〜１０μｍがより好ましい。ハードコート層３の厚さを０．５μｍ以上とすることで、ポリエステルフィルム２における擦り傷、収縮等を効果的に抑制することができる。一方、ハードコート層３の厚さは２０μｍ程度もあればポリエステルフィルム２における擦り傷、収縮等を十分に抑制することができ、またハードコート層３が硬くなりすぎるためにクラック等が発生することも抑制することができる。
【００１８】
このようなハードコート層３は、例えば樹脂自身の作用あるいは硬化剤等によって架橋硬化する硬化性樹脂からなるものである。具体的には、ウレタン系樹脂、アミノプラスト系樹脂、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等の単独硬化型の熱・紫外線・電子線硬化性樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等の硬化剤によって硬化する熱硬化性樹脂等が挙げられる。これらの中でも、良好なハードコート層３を簡便に形成できることから、アクリル系樹脂が好適なものとして挙げられる。
【００１９】
日射反射積層膜４は、近赤外部から赤外部にかけての光線（熱線）を反射させるために設けられており、ポリエステルフィルム２側から順に、第１の亜鉛酸化物層４１、第１の銀合金層４２、第２の亜鉛酸化物層４３、第２の銀合金層４４、第３の亜鉛酸化物層４５が積層されてなるものである。
【００２０】
第１、第２、第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５（以下、これらをまとめて単に亜鉛酸化物層という場合がある）は、いずれも亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなるものである。このような酸化物としては、亜鉛単独の酸化物（酸化亜鉛）と、亜鉛および亜鉛以外の金属元素の複合酸化物とを含むものが挙げられる。このような酸化物は、さらに亜鉛以外の金属元素単独の酸化物を含んでいてもよい。
【００２１】
また、この酸化物は、酸化物を構成する亜鉛と亜鉛以外の金属元素とにおいて亜鉛が主たる酸化物構成元素となるものである。具体的には、亜鉛と亜鉛以外の金属元素との合計量において好ましくは亜鉛が５０原子％以上、より好ましくは７５原子％以上、さらに好ましくは８５％以上となるものである。そして、亜鉛以外の金属元素の含有量は、亜鉛と亜鉛以外の金属元素との合計量において好ましくは、５０原子％以下、より好ましくは２５原子％以下、さらに好ましくは１５％以下となるものである。
【００２２】
このような亜鉛酸化物層によれば、例えばその結晶性等により銀合金層との相性が良好となるために、銀合金層の安定性、耐久性を良好とすることができる。なお、第１、第２、第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５は、互いに異なる組成を有することができるが、通常は同一の組成を有することが好ましい。
【００２３】
一方、第１、第２の銀合金層４２、４４（以下、これらをまとめて単に銀合金層という場合がある）は、いずれもパラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなるものである。このような銀合金層によれば、パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有することで、良好な安定性、耐久性を得ることができる。なお、第１、第２の銀合金層４２、４４についても、互いに異なる組成を有することができるが、通常は同一の組成を有するものとされている。
【００２４】
このような亜鉛酸化物層と銀合金層とからなる日射反射積層膜４によれば、銀合金層自体の安定性、耐久性が良好であることに加えて、亜鉛酸化物層と銀合金層との相性が良好であるために、銀合金層の安定性、耐久性をさらに良好とすることができる。このため、従来の日射反射積層膜のように安定性、耐久性を良好とするために一対のポリエステルフィルムで挟持する必要がなく、生産性を良好としつつ、安定性、耐久性の良好なものとすることができる。
【００２５】
また、日射反射積層膜４を亜鉛酸化物層と銀合金層との５層構造、すなわち銀合金層を２層有するものとすることで、良好な光学特性、例えば可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものとすることができる。すなわち、亜鉛酸化物層と銀合金層との３層構造、すなわち銀合金層を１層有するものの場合、必ずしも可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものを得ることができない。また、７層構造、すなわち銀合金層を３層有するものについても、必ずしも可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものを得ることができず、また生産性にも優れない。
【００２６】
亜鉛酸化物層と銀合金層との５層構造の日射反射積層膜４を有するものによれば、例えばガラス板に貼着した場合、ＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される可視光線透過率を７０％以上、かつ日射反射率を３０％以上とすることができ、可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものとすることができる。
【００２７】
第１、第２、第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５は、屈折率が１．７〜２．３であることが好ましく、１．８〜２．２であることがより好ましく、１．９〜２．１であることがさらに好ましい。このような屈折率とすることにより、第１、第２の銀合金層４２、４４との干渉効果で可視光線透過率、日射反射率共に高くすることができる。なお、屈折率は、波長５５５ｎｍにおける屈折率を意味する。
【００２８】
第１、第２、第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５における亜鉛以外の金属元素としては、例えばスズ、アルミニウム、クロム、チタン、マグネシウム、ガリウムが好適なものとして挙げられ、これらは１種のみまたは２種以上を用いることができる。これらの中でも、特にアルミニウム、チタン、またはガリウムを用いることで、例えば銀合金層との相性を良好とすることができ、また内部応力を効果的に低減して銀合金層との密着性を高めることができ、結果として安定性、耐久性を良好とすることができる。
【００２９】
亜鉛以外の金属元素がアルミニウムまたはガリウムの場合、酸化物中におけるアルミニウム元素またはガリウム元素の含有量は、亜鉛元素とアルミニウム元素またはガリウム元素との合計量中、１〜１５原子％が好ましい。アルミニウム元素またはガリウム元素の含有量を１原子％以上とすることで、例えば亜鉛酸化物層の内部応力を効果的に低減し、銀合金層との密着性を高めて安定性、耐久性を良好とすることができる。一方、１０原子％以下とすることで、例えばその結晶性を保って銀合金層との相性を維持し、結果として耐湿性等を良好とすることができる。アルミニウム元素またはガリウム元素の含有量は、亜鉛元素とアルミニウム元素またはガリウム元素との合計量中、１．５〜１０原子％が好ましく、１．５〜８．０原子％がより好ましい。
【００３０】
一方、亜鉛以外の元素がチタンの場合、チタン元素の含有量は、亜鉛元素とチタン元素との合計量中、２〜２０原子％が好ましい。チタン元素の含有量を２原子％以上とすることで、例えば亜鉛酸化物層の内部応力を効果的に低減し、銀合金層との密着性を高めて安定性、耐久性を良好とすることができる。一方、２０原子％以下とすることで、例えばその結晶性を保って銀合金層との相性を維持し、結果として耐湿性等を良好とすることができる。チタン元素の含有量は、亜鉛元素とチタン元素との合計量中、３〜１５原子％が好ましい。
【００３１】
第１、第３の亜鉛酸化物層４１、４５の膜厚（物理的膜厚、以下同様）はそれぞれ２５〜４５ｎｍが好ましく、第２の亜鉛酸化物層４３の膜厚は６０〜９０ｎｍが好ましい。第１の亜鉛酸化物層４１は３５〜４５ｎｍがより好ましく、第３の亜鉛酸化物層４５の膜厚は３０〜４０ｎｍがより好ましい。第２の亜鉛酸化物層４３の膜厚は７０〜９０ｎｍがより好ましい。
【００３２】
第１、第２の銀合金層４２、４４は、いずれもパラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなるものである。パラジウムおよび金の合計した含有量は、銀、パラジウム、および金の合計量中、０．２〜３質量％が好ましく、０．２〜１．５質量％がより好ましい。パラジウム、金の含有量をこのような範囲内とすることで、例えば銀の拡散を抑制し、これにより耐湿性を高くすることができ、また銀合金層の比抵抗を１０μΩｃｍ以下にすることができる。
【００３３】
第１、第２の銀合金層４２、４４の厚みは、いずれも５〜２５ｎｍが好ましく、５〜２０ｎｍがより好ましく、５〜１５ｎｍがさらに好ましい。また、第１の銀合金層４２よりも第２の銀合金層４４が厚いことが好ましく、第１の銀合金層４２よりも第２の銀合金層４４が１〜８ｎｍ厚いことが好ましく、１〜６ｎｍ厚いことがより好ましく、１〜５ｎｍ厚いことがさらに好ましい。
【００３４】
このような日射反射積層膜４は表面抵抗値が２〜４Ω／ｓｑであることが好ましい。このような表面抵抗値を有するものによれば、電磁波遮蔽効果が良好となり、電磁波シールドフィルムとして電子機器の誤動作を効果的に抑制することができる。
【００３５】
保護層５は、粘着層６との密着性を向上させるために設けられるものであり、日射反射積層膜４を水分等から保護する役割も果たしている。保護層５は必要に応じて日射反射積層膜４上に設けられるものであり、スズ、インジウム、チタン、ケイ素、ガリウム等の金属の酸化物もしくは窒化物の層、または水素化炭素を主成分として含む層等が挙げられる。保護層５としては、特に、インジウム、スズ、およびガリウムの酸化物層、または水素化炭素を主成分として含む層が好ましい。
【００３６】
保護層５の膜厚は、２〜３０ｎｍが好ましく、３〜２０ｎｍがより好ましく、３〜１０ｎｍがさらに好ましい。保護層５の膜厚を２ｎｍ以上とすることで、粘着層６との密着性を向上させ、日射反射積層膜４を水分等から効果的に保護することができる。また、保護層５の膜厚を３０ｎｍ以下とすることで、日射反射積層膜４を水分等から効果的に保護しつつ、日射調整フィルム１の全体の厚みも抑制することができる。
【００３７】
粘着層６は、日射調整フィルム１を建物や車両等の窓ガラスに貼着するために利用されるものであり、必要に応じて設けられるものである。粘着層６としては、粘着剤のみからなるもの、または粘着剤中に紫外線吸収剤が含有されたものが挙げられる。これらの中でも紫外線吸収剤を含有するものは、日射調整フィルム１を建物や車両等の窓ガラスに貼着した場合に、紫外線による室内の人体や物品における日焼けを抑制し、また人体への悪影響を抑制することができるために好ましい。
【００３８】
紫外線吸収剤としては、例えばトリアジン系紫外線吸収剤が好適に用いられる。紫外線吸収剤としてはベンゾフェノン系やベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤も知られているが、これらの紫外線吸収剤は、粘着剤の架橋を不足させ、保持力を低下させたり、黄変させたりするおそれがある。このため、紫外線吸収剤としては、トリアジン系紫外線吸収剤を用いることが好ましい。
【００３９】
粘着剤としては、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ブタジエン系粘着剤が挙げられ、これらの中でもアクリル系粘着剤が好適に用いられる。アクリル系粘着剤は、アクリル系単量体単位を主成分として含む重合体であって、アクリル系単量体としては、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、（無水）マレイン酸、（無水）フマル酸、クロトン酸、これらのアルキルエステルが挙げられる。ここで、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸の総称として使用している。
【００４０】
このような粘着層６、特に紫外線吸収剤を含有する粘着層６を有するものによれば、例えばガラス板に貼着した場合、ＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される紫外線透過率を１％以下とすることができ、紫外線による室内の人体や物品における日焼けを効果的に抑制し、また人体への悪影響を効果的に抑制することができる。
【００４１】
このような日射調整フィルム１は、例えば粘着層６を利用してガラス板に貼着してフィルム付きガラスとして用いることができる。図２は、フィルム付きガラスの一例を示す断面図である。
【００４２】
フィルム付きガラス１１は、ガラス板１２を有し、このガラス板１２に粘着層６を利用して日射調整フィルム１が貼着されている。ガラス板１２としては、建物や車両等の窓ガラスが代表的なものとして挙げられるが、必ずしもこれらのものに限定されるものではなく、例えば冷蔵・冷凍ショーケース等のガラス板であっても構わない。
【００４３】
建物や車両等の窓ガラスに日射調整フィルム１を設けることで、入射する太陽エネルギーを遮断して冷房効果を向上させることができる。また、この日射調整フィルム１は、電磁波遮蔽効果を有することから、電磁波シールドフィルムとして電子機器の誤動作を抑制し、電波の漏洩を防止することもできる。さらに、窓ガラスが破損したときの飛散を抑制できることから、安全性も向上させることもできる。
【００４４】
フィルム付きガラス１１は、例えばＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される可視光線透過率が７０％以上、日射反射率が３０％以上であることが好ましい。可視光線透過率は、７２％以上であることがより好ましい。日射反射率は３２％以上であることがより好ましい。このような可視光線透過率、日射反射率等を有するものとすることで、例えば内部から外部にかけての視認性と太陽エネルギーの遮断による冷房効果とを両立することができる。なお、このような可視光線透過率、日射反射率は、上記したように主として日射調整フィルム１における日射反射積層膜４を亜鉛酸化物層と銀合金層とからなるものとし、かつその積層数を５層、すなわち銀合金層を２層とすることにより達成することができる。
【００４５】
また、フィルム付きガラス１１は、例えばＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される紫外線透過率が１％以下であることが好ましい。このような紫外線透過率とすることで、紫外線による室内の人体や物品における日焼けを抑制し、また人体への悪影響を効果的に抑制することができる。なお、このような紫外線透過率についても、上記したように日射調整フィルム１に紫外線吸収剤を含有する粘着層６を設けることにより達成することができる。
【００４６】
次に、日射調整フィルム１の製造方法について説明する。
日射調整フィルム１は、ポリエステルフィルム２の一方の主面に熱硬化性樹脂等を塗布および硬化させてハードコート層３を形成するとともに、他方の主面にスパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、化学的気相成長法等により日射反射積層膜４を形成し、必要に応じて日射反射積層膜４上に保護層５、粘着層６を形成することにより製造することができる。
【００４７】
日射反射積層膜４の形成は、品質、特性の安定性が良好であることから、特にスパッタ法により行うことが好ましい。スパッタ法としては、ＤＣスパッタ法、ＡＣスパッタ法、高周波スパッタ法等が挙げられる。スパッタ法による日射反射積層膜４の形成は、例えば以下のようにして行うことができる。
【００４８】
まず、酸素ガスを混合したアルゴンガスを導入しながら、ポリエステルフィルム２の表面に亜鉛およびチタンの酸化物からなる混合ターゲットを用いてＤＣスパッタを行い、第１の亜鉛酸化物層４１を形成する。また、アルゴンガスを導入しながら、銀合金ターゲットを用いてＤＣスパッタを行い、第１の銀合金層４２を形成する。このような操作を繰り返して行い、第１の銀合金層４２上に、第２の亜鉛酸化物層４３、第２の銀合金層４４、第３の亜鉛酸化物層４５を順に形成することで日射反射積層膜４を形成することができる。
【００４９】
亜鉛酸化物層、銀合金層の各層の厚みは、ＤＣスパッタを行う際の電力密度とスパッタ時間とにより調整することができる。また、上記した混合ターゲットは、各金属単独の酸化物の高純度（通常９９．９％）粉末を混合し、冷間静水圧プレス等を用いて成形し焼結することにより製造できる。
【実施例】
【００５０】
以下に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されない。なお、実施例における膜厚は光学特性あるいはスパッタ成膜レートとスパッタ時間とから求めた値であり、実際に測定した膜厚ではない。実施例における各特性は、以下のよう測定した。
【００５１】
（可視光線透過率（Ｔｖ）、日射透過率（Ｔｅ）、日射反射率（Ｒｅ）の測定）
日射調整フィルムを５０ｍｍ×５０ｍｍのサイズに切断し、その粘着層を介して５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ３ｍｍのソーダライムガラス板に気泡の入らないように均一に貼り付けてフィルム付きガラスを作製した。このフィルム付きガラスについて、ＪＩＳ Ａ５７５９に準拠して島津製作所社製のＵＶ−３１５０分光光度計により測定した。光源はガラス側より入射させた。
【００５２】
（遮蔽係数、熱貫流率の測定）
日射調整フィルムを５０ｍｍ×５０ｍｍのサイズに切断し、その粘着層を介して５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ３ｍｍのソーダライムガラス板に気泡の入らないように均一に貼り付けてフィルム付きガラスを作製した。このフィルム付きガラスについて、ＪＩＳ Ｒ３１０６に準拠して日本分光株式会社製のＦＴ／ＩＲ−４２０フーリエ変換赤外分光光度計により垂直放射率を測定し、ＪＩＳ Ａ５７５９に準拠して計算により求めた。
【００５３】
（耐侯性試験）
日射調整フィルムを７０ｍｍ×１５０ｍｍのサイズに切断し、その粘着層を介して７０ｍｍ×１５０ｍｍ、厚さ２ｍｍのソーダライムガラス板に気泡の入らないように均一に貼り付けてフィルム付きガラスを作製した。このフィルム付きガラスについて、ＪＩＳ Ａ５７５９に準拠してサンシャインカーボンアーク灯式の耐侯性試験機を用いて１，０００時間および２，０００時間の耐侯性試験を行い、目視によるフィルムの異常の有無と、可視光線透過率、日射透過率、日射反射率の測定を行った。
【００５４】
（シート抵抗値の測定）
日射調整フィルムを１００ｍｍ×１００ｍｍのサイズに切断し、Ｎａｇｙ社製の渦電流型抵抗測定器（商品名：ＳＲＭ１２）を用いてシート抵抗値（表面抵抗値）を測定した。
【００５５】
［試料１］
ロールコータを用いて以下のようにして日射調整フィルムを作製した。
まず、ハードコート層が形成されたＰＥＴフィルム（ＰＥＴフィルムの厚さ：１００μｍ）のハードコート層が形成されていない表面（日射反射積層膜の形成面）の洗浄を目的としてイオンビームによる乾式洗浄を行った。この乾式洗浄は、アルゴンガスに約３０％の酸素を混合した混合ガスを導入しながら１００Ｗの電力を投入し、イオンビームソースによりイオン化されたアルゴンイオンおよび酸素イオンを照射して行った。
【００５６】
次いで、上記形成面に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに１０体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．１Ｐａの圧力で、ＡＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３９ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率２.０２、第１の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００５７】
第１の亜鉛酸化物層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、０．３Ｐａの圧力で周波数１００ｋＨｚ、反転パルス幅５μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間とを調整して厚さ１０ｎｍの金属膜（第１の銀合金層）を形成した。
【００５８】
第１の銀合金層上に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに１０体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．１Ｐａの圧力で、ＡＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ７８ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率屈折率２.０２、第２の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００５９】
第２の亜鉛酸化物層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、０．３Ｐａの圧力で周波数１００ｋＨｚ、反転パルス幅５μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間とを調整して厚さ１３ｎｍの金属膜（第２の銀合金層）を形成した。
【００６０】
第２の銀合金層上に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに１０体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．１Ｐａの圧力で、ＡＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３４ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率屈折率２.０２、第３の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００６１】
さらに、この日射反射積層膜（第３の亜鉛酸化物層）上に、ガリウム、インジウム、およびスズの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＧＩＴターゲット）を用いてアルゴンガスに７体積％の酸素ガスを混合した混合ガスを導入しながら、０．１Ｐａの圧力で周波数１００ｋＨｚ、反転パルス幅１μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ５ｎｍの保護層（屈折率２.０８）を形成した。さらに、保護層上に紫外線吸収剤を含む粘着フィルム（リンテック社製、商品名：ＰＵ−Ｖ）を貼り合わせて粘着層とし、日射調整フィルムとした。
【００６２】
［試料２］
ＰＥＴフィルムの厚さを７５μｍに変更した以外は試料１と同様に日射調整フィルムを作製した。
【００６３】
［試料３］
ＰＥＴフィルムの厚さを５０μｍに変更した以外は試料１と同様に日射調整フィルムを作製した。
【００６４】
［試料４］
試料１と略同様にして、ハードコート層が形成されたＰＥＴフィルム上に、第１の亜鉛酸化物層（厚さ３９ｎｍ）、第１の銀合金層（厚さ１０ｎｍ）、第２の亜鉛酸化物層（厚さ３４ｎｍ）の３層を順に形成して日射反射積層膜とした。その後、試料１と同様にして、日射反射積層膜上に保護層、粘着層を順に形成して、日射調整フィルムとした。なお、この試料４は、日射反射積層膜が３層（銀合金層が１層）のものであり、本発明の比較例となるものである。
【００６５】
［試料５］
試料１と略同様にして、ハードコート層が形成されたＰＥＴフィルム上に、第１の亜鉛酸化物層（厚さ３６ｎｍ）、第１の銀合金層（厚さ１０ｎｍ）、第２の亜鉛酸化物層（厚さ７２ｎｍ）、第２の銀合金層（厚さ１１ｎｍ）、第３の亜鉛酸化物層（厚さ７２ｎｍ）、第３の銀合金層（厚さ１０ｎｍ）、第４の亜鉛酸化物層（厚さ３１ｎｍ）の７層を順に形成して日射反射積層膜とした。その後、試料１と同様にして、日射反射積層膜上に保護層、粘着層を順に形成して、日射調整フィルムとした。なお、この試料５は、日射反射積層膜が７層（銀合金層が３層）のものであり、本発明の比較例となるものである。
【００６６】
［試料６］
バッチ式スパッタ装置を用いて以下のように日射調整フィルムを作製した。
まず、試料１と同様に洗浄が行われたハードコート層を有するＰＥＴフィルムの表面（日射反射積層膜の形成面）に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３９ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率２.０２、第１の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００６７】
第１の亜鉛酸化物層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、１．０Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅１０μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間とを調整して厚さ１０ｎｍの金属膜（第１の銀合金層）を形成した。
【００６８】
第１の銀合金層上に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ７８ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率２.０２、第２の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００６９】
第２の亜鉛酸化物層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、１．０Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅１０μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間とを調整して厚さ１２ｎｍの金属膜（第２の銀合金層）を形成した。
【００７０】
第２の銀合金層上に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３４ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率２.０２、第３の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成して、日射反射積層膜とした。
【００７１】
さらに、この日射反射積層膜（第３の亜鉛酸化物層）上に、ガリウム、インジウム、およびスズの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＧＩＴターゲット）を用いてアルゴンガスに７体積％の酸素ガスを混合した混合ガスを導入しながら、０．１Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ５ｎｍの保護層（屈折率２.０８）を形成した。さらに、保護層上に紫外線吸収剤を含む粘着フィルムを貼り合わせて粘着層とし、日射調整フィルムとした。
【００７２】
［試料７］
パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットの代わりに金を１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いて、第１の銀合金層を８ｎｍ、第２の銀合金層を１０ｎｍとした以外は試料６と同様に日射調整フィルムを作製した。
【００７３】
［試料８］
酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲットの代わりに、酸化亜鉛および酸化アルミニウムを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化アルミニウム＝９７：３（質量比））を用いて亜鉛およびアルミニウムの酸化物膜（屈折率１．９５、亜鉛酸化物層、組成略称：ＡＺＯ）を形成した以外は試料６と同様に日射調整フィルムを作製した。
【００７４】
［試料９］
試料６と同様のバッチ式スパッタ装置を用いて日射調整フィルムを作製した。
まず、試料１と同様に洗浄が行われたハードコート層を有するＰＥＴフィルムの表面（日射反射積層膜の形成面）に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ２５ｎｍの酸化チタン膜（屈折率２.４、第１の酸化チタン層、組成略称：ＴｉＯｘ）を形成した。
【００７５】
第１の酸化チタン層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、１．０Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅１０μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ１０ｎｍの金属層（第１の銀合金層）を形成した。
【００７６】
第１の銀合金層上に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスを導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３ｎｍの第１のバリア膜を形成した。
【００７７】
第１のバリア膜上に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ４７ｎｍの酸化チタン膜（屈折率２.４、第２の酸化チタン層、組成略称：ＴｉＯｘ）を形成した。
【００７８】
第２の酸化チタン層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、１．０Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅１０μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ１２ｎｍの金属層（第２の銀合金層）を形成した。
【００７９】
第２の銀合金層上に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスを導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３ｎｍの第２のバリア膜を形成した。
【００８０】
第２のバリア膜上に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ２２ｎｍの酸化チタン膜（屈折率２.４、第３の酸化チタン層、組成略称：ＴｉＯｘ）を形成して日射反射積層膜とした。
【００８１】
さらに、この日射反射積層膜（第３の酸化チタン層）上に、紫外線吸収剤を含む粘着フィルムを貼り合わせて粘着層とし、日射調整フィルムとした。なお、この試料９は、日射反射積層膜が酸化チタン層と銀合金層とからなるものであり、本発明の比較例となるものである。
【００８２】
［試料１０］
第１の銀合金層を１２ｎｍ、第２の銀合金層を１５ｎｍとした以外は試料９と同様に日射調整フィルムを作製した。なお、この試料１０についても、日射反射積層膜が酸化チタン層と銀合金層とからなるものであり、本発明の比較例となるものである。
【００８３】
［試料１１］
第１の銀合金層を１２ｎｍ、第２の銀合金層を１４ｎｍとし、第１および第２の銀合金層の形成に用いたターゲットをパラジウムを５．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いたこと、並びに保護層を形成しなかったこと以外は試料１と同様にして日射調整フィルムを作製した。
【００８４】
［試料１２］
第１の銀合金層を１３ｎｍ、第２の銀合金層を１６ｎｍとし、第１および第２の銀合金の形成に用いたターゲットをスズを５．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いたこと以外は試料１１と同様にして日射調整フィルムを作製した。なお、この試料１２は、銀合金に、パラジウムおよび金から選ばれる１種以上の金属が含有されていないものであるので、本発明の比較例となるものである。
【００８５】
［試料１３］
第１の銀合金層を１０ｎｍ、第２の銀合金層を１２ｎｍとし、第１および第２の銀合金の形成に用いたターゲットを、パラジウムを２質量％および金を３質量％ドープした銀合金ターゲットを用いたこと以外は試料１１と同様にして日射調整フィルムを作製した。
【００８６】
【表１】
【００８７】
【表２】
【００８８】
【表３】
【００８９】
このようにして得られた日射調整フィルムについて、上記方法により測定を行った。表４に電気特性および光学特性の結果を、表５に遮蔽係数および熱貫流率の結果を、表６に耐候性試験の結果をそれぞれ示す。
【００９０】
【表４】
【００９１】
【表５】
【００９２】
【表６】
【００９３】
表４から明らかなように、亜鉛酸化物層と銀含有層とからなる５層構造の日射反射積層膜を有する日射調整フィルムは、いずれも可視光線透過率（Ｔｖ）が７０％以上、日射反射率（Ｒｅ）が３０％以上となることが認められた。また、表６から明らかなように、亜鉛酸化物層と銀含有層とからなる日射反射積層膜を有する日射調整フィルムは、耐久性も良好となることが認められた。
【符号の説明】
【００９４】
１…日射調整フィルム１
２…ポリエステルフィルム
３…ハードコート層
４…日射反射積層膜
４１…第１の亜鉛酸化物層
４２…第１の銀合金層
４３…第２の亜鉛酸化物層
４４…第２の銀合金層
４５…第３の亜鉛酸化物層
５…保護層
６…粘着層
１１…フィルム付きガラス
１２…ガラス板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、日射調整フィルムおよびこれを用いたフィルム付きガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、日射調整フィルムとして、誘電体層と金属層とを交互に積層した層状構造を有するものが知られている。このような層状構造を有する日射調整フィルムは、可視光線を透過させ、また近赤外部から赤外部にかけての光線（熱線）を反射させることから、建物や車両等の窓ガラスに貼着し、入射する太陽エネルギーを遮断して冷房効果を向上させるために用いられている。また、このような日射調整フィルムは電磁波遮蔽効果を有することから、電磁波シールドフィルムとして電子機器の誤動作を抑制するために外部の不要な電磁場を遮蔽し、更には内部の無線化による情報の漏洩を防止するためにも用いられている。さらに、窓ガラスが破損したときの飛散を抑制できることから、安全性を向上させるためにも用いられている。
【０００３】
日射調整フィルムとしては、例えば誘電体層を酸化インジウムとし、金属層を実質的に銀とし、５層の層状構造としたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、例えば誘電体層を酸化チタンとし、金属層を実質的に銀とし、５層の層状構造としたものが知られている（例えば、特許文献２参照）。一方、誘電体層を酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化スズ、酸化ケイ素、酸化インジウム、または酸化亜鉛とし、金属層を金、銀、銅、またはアルミニウムとし、３層の層状構造としたものが知られている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００２−５２３７９８号公報
【特許文献２】特表２００６−５０５８１１号公報
【特許文献３】特開２００１−３１０４０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、誘電体層を酸化チタンとし、金属層を銀とし、これらの層状構造部分を５層としたものについては、必ずしも誘電体層と金属層との相性が良好でなく、銀からなる金属層の安定性、耐久性が十分でないために白濁あるいは白化するおそれがある。このため、層状構造部分を一対のポリエステルフィルム等で挟持する構造とすることにより安定性、耐久性を向上させることも検討されているが、新たにポリエステルフィルム等を設ける工程が必要となり、生産性等の観点から必ずしも好ましくない。一方、誘電体層を酸化チタン以外とし、層状構造部分を３層としたものについては、必ずしも良好な光学特性、例えば可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものを得ることができない。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、生産性を低下させずに良好な安定性、耐久性を得ることができ、また良好な光学特性を得ることができる日射調整フィルムおよびこれを用いたフィルム付きガラスを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の日射調整フィルムは、ポリエステルフィルムの一方の主面にハードコート層を有し、他方の主面に日射反射積層膜を有するものであって、この日射反射積層膜が、ポリエステルフィルム側から順に、第１の亜鉛酸化物層、第１の銀合金層、第２の亜鉛酸化物層、第２の銀合金層、第３の亜鉛酸化物層が積層されてなるものである。そして、第１〜第３の亜鉛酸化物層は、亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、これら亜鉛と亜鉛以外の金属元素とにおいて亜鉛が主たる酸化物構成元素となるものであり、第１〜第２の銀合金層は、パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明のフィルム付きガラスは、ガラス板にフィルムが貼着されてなるフィルム付きガラスであって、前記フィルムが上記した本発明の日射調整フィルムであることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の日射調整フィルムによれば、ポリエステルフィルムの一方の主面にハードコート層を設け、他方の主面に日射反射積層膜を設けるとともに、この日射反射積層膜を亜鉛酸化物層と銀含有層とが交互に積層され、かつ亜鉛酸化物層と銀含有層とが全体として５層構造となるようにすることで、生産性を低下させずに良好な安定性、耐久性を得ることができ、かつ良好な光学特性を得ることができる。また、本発明のフィルム付きガラスによれば、上記した日射調整フィルムを有することで、良好な安定性、耐久性を得ることができ、かつ良好な光学特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の日射調整フィルムの一例を示す断面図。
【図２】本発明のフィルム付きガラスの一例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の日射調整フィルムについて図面を参照して説明する。
図１は、日射調整フィルムの一例を示す断面図である。
【００１２】
日射調整フィルム１は、ポリエステルフィルム２の一方の主面にハードコート層３を有し、他方の主面に日射反射積層膜４を有するものである。なお、この日射調整フィルム１には、図示するように日射反射積層膜４上に保護層５や粘着層６が形成されていてもよい。
【００１３】
ポリエステルフィルム２は、日射調整フィルム１における基材となるものである。ポリエステルフィルム２は、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリメタクリレート等からなるものである。
【００１４】
これらのなかでもポリエチレンテレフタレートフィルムのように延伸法で作製されるものは比較的に高強度であり、製造時や加工時における折れなどの欠陥の発生を抑制できることから好ましい。ポリエステルフィルム２の厚さは必ずしも限定されるものではないが、５〜２００μｍが好ましい。厚さを５μｍ以上とすることで、ポリエステルフィルム２の製造時や加工時における折れなどの欠陥の発生を抑制することができるために好ましい。また、２００μｍ以下とすることで、日射調整フィルム１の全体の厚さを抑制することができるために好ましい。ポリエステルフィルム２の厚さは、３０〜１５０μｍが好ましく、４０〜１１０μｍがより好ましい。
【００１５】
ハードコート層３は、ポリエステルフィルム２に比べて高い硬度を有するものであり、日射調整フィルム１をガラス貼付時にポリエステルフィルム２の表面に細かな擦り傷が発生することを抑制し、またポリエステルフィルム２の収縮を抑制するために設けられている。
【００１６】
ハードコート層３の硬度は、鉛筆硬度でＨ以上が好ましく、Ｈ〜３Ｈがより好ましい。鉛筆硬度をＨ以上とすることで、ポリエステルフィルム２における擦り傷等を効果的に抑制することができる。一方、鉛筆硬度は２Ｈ程度もあれば擦り傷等を十分に抑制することができ、またハードコート層３が硬くなりすぎるためにクラック等が発生することも抑制することができる。なお、本発明におけるハードコート層３の鉛筆硬度は、ポリエステルフィルム２上に形成したハードコート層３について、ＪＩＳＫ５４００（１９９０）に準じて荷重１００ｇで測定されるものである。
【００１７】
ハードコート層３の厚さは、０．５〜２０μｍが好ましく、１〜１０μｍがより好ましい。ハードコート層３の厚さを０．５μｍ以上とすることで、ポリエステルフィルム２における擦り傷、収縮等を効果的に抑制することができる。一方、ハードコート層３の厚さは２０μｍ程度もあればポリエステルフィルム２における擦り傷、収縮等を十分に抑制することができ、またハードコート層３が硬くなりすぎるためにクラック等が発生することも抑制することができる。
【００１８】
このようなハードコート層３は、例えば樹脂自身の作用あるいは硬化剤等によって架橋硬化する硬化性樹脂からなるものである。具体的には、ウレタン系樹脂、アミノプラスト系樹脂、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等の単独硬化型の熱・紫外線・電子線硬化性樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等の硬化剤によって硬化する熱硬化性樹脂等が挙げられる。これらの中でも、良好なハードコート層３を簡便に形成できることから、アクリル系樹脂が好適なものとして挙げられる。
【００１９】
日射反射積層膜４は、近赤外部から赤外部にかけての光線（熱線）を反射させるために設けられており、ポリエステルフィルム２側から順に、第１の亜鉛酸化物層４１、第１の銀合金層４２、第２の亜鉛酸化物層４３、第２の銀合金層４４、第３の亜鉛酸化物層４５が積層されてなるものである。
【００２０】
第１、第２、第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５（以下、これらをまとめて単に亜鉛酸化物層という場合がある）は、いずれも亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなるものである。このような酸化物としては、亜鉛単独の酸化物（酸化亜鉛）と、亜鉛および亜鉛以外の金属元素の複合酸化物とを含むものが挙げられる。このような酸化物は、さらに亜鉛以外の金属元素単独の酸化物を含んでいてもよい。
【００２１】
また、この酸化物は、酸化物を構成する亜鉛と亜鉛以外の金属元素とにおいて亜鉛が主たる酸化物構成元素となるものである。具体的には、亜鉛と亜鉛以外の金属元素との合計量において好ましくは亜鉛が５０原子％以上、より好ましくは７５原子％以上、さらに好ましくは８５％以上となるものである。そして、亜鉛以外の金属元素の含有量は、亜鉛と亜鉛以外の金属元素との合計量において好ましくは、５０原子％以下、より好ましくは２５原子％以下、さらに好ましくは１５％以下となるものである。
【００２２】
このような亜鉛酸化物層によれば、例えばその結晶性等により銀合金層との相性が良好となるために、銀合金層の安定性、耐久性を良好とすることができる。なお、第１、第２、第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５は、互いに異なる組成を有することができるが、通常は同一の組成を有することが好ましい。
【００２３】
一方、第１、第２の銀合金層４２、４４（以下、これらをまとめて単に銀合金層という場合がある）は、いずれもパラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなるものである。このような銀合金層によれば、パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有することで、良好な安定性、耐久性を得ることができる。なお、第１、第２の銀合金層４２、４４についても、互いに異なる組成を有することができるが、通常は同一の組成を有するものとされている。
【００２４】
このような亜鉛酸化物層と銀合金層とからなる日射反射積層膜４によれば、銀合金層自体の安定性、耐久性が良好であることに加えて、亜鉛酸化物層と銀合金層との相性が良好であるために、銀合金層の安定性、耐久性をさらに良好とすることができる。このため、従来の日射反射積層膜のように安定性、耐久性を良好とするために一対のポリエステルフィルムで挟持する必要がなく、生産性を良好としつつ、安定性、耐久性の良好なものとすることができる。
【００２５】
また、日射反射積層膜４を亜鉛酸化物層と銀合金層との５層構造、すなわち銀合金層を２層有するものとすることで、良好な光学特性、例えば可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものとすることができる。すなわち、亜鉛酸化物層と銀合金層との３層構造、すなわち銀合金層を１層有するものの場合、必ずしも可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものを得ることができない。また、７層構造、すなわち銀合金層を３層有するものについても、必ずしも可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものを得ることができず、また生産性にも優れない。
【００２６】
亜鉛酸化物層と銀合金層との５層構造の日射反射積層膜４を有するものによれば、例えばガラス板に貼着した場合、ＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される可視光線透過率を７０％以上、かつ日射反射率を３０％以上とすることができ、可視光線透過率と日射反射率とのバランスのとれたものとすることができる。
【００２７】
第１、第２、第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５は、屈折率が１．７〜２．３であることが好ましく、１．８〜２．２であることがより好ましく、１．９〜２．１であることがさらに好ましい。このような屈折率とすることにより、第１、第２の銀合金層４２、４４との干渉効果で可視光線透過率、日射反射率共に高くすることができる。なお、屈折率は、波長５５５ｎｍにおける屈折率を意味する。
【００２８】
第１、第２、第３の亜鉛酸化物層４１、４３、４５における亜鉛以外の金属元素としては、例えばスズ、アルミニウム、クロム、チタン、マグネシウム、ガリウムが好適なものとして挙げられ、これらは１種のみまたは２種以上を用いることができる。これらの中でも、特にアルミニウム、チタン、またはガリウムを用いることで、例えば銀合金層との相性を良好とすることができ、また内部応力を効果的に低減して銀合金層との密着性を高めることができ、結果として安定性、耐久性を良好とすることができる。
【００２９】
亜鉛以外の金属元素がアルミニウムまたはガリウムの場合、酸化物中におけるアルミニウム元素またはガリウム元素の含有量は、亜鉛元素とアルミニウム元素またはガリウム元素との合計量中、１〜１５原子％が好ましい。アルミニウム元素またはガリウム元素の含有量を１原子％以上とすることで、例えば亜鉛酸化物層の内部応力を効果的に低減し、銀合金層との密着性を高めて安定性、耐久性を良好とすることができる。一方、１０原子％以下とすることで、例えばその結晶性を保って銀合金層との相性を維持し、結果として耐湿性等を良好とすることができる。アルミニウム元素またはガリウム元素の含有量は、亜鉛元素とアルミニウム元素またはガリウム元素との合計量中、１．５〜１０原子％が好ましく、１．５〜８．０原子％がより好ましい。
【００３０】
一方、亜鉛以外の元素がチタンの場合、チタン元素の含有量は、亜鉛元素とチタン元素との合計量中、２〜２０原子％が好ましい。チタン元素の含有量を２原子％以上とすることで、例えば亜鉛酸化物層の内部応力を効果的に低減し、銀合金層との密着性を高めて安定性、耐久性を良好とすることができる。一方、２０原子％以下とすることで、例えばその結晶性を保って銀合金層との相性を維持し、結果として耐湿性等を良好とすることができる。チタン元素の含有量は、亜鉛元素とチタン元素との合計量中、３〜１５原子％が好ましい。
【００３１】
第１、第３の亜鉛酸化物層４１、４５の膜厚（物理的膜厚、以下同様）はそれぞれ２５〜４５ｎｍが好ましく、第２の亜鉛酸化物層４３の膜厚は６０〜９０ｎｍが好ましい。第１の亜鉛酸化物層４１は３５〜４５ｎｍがより好ましく、第３の亜鉛酸化物層４５の膜厚は３０〜４０ｎｍがより好ましい。第２の亜鉛酸化物層４３の膜厚は７０〜９０ｎｍがより好ましい。
【００３２】
第１、第２の銀合金層４２、４４は、いずれもパラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなるものである。パラジウムおよび金の合計した含有量は、銀、パラジウム、および金の合計量中、０．２〜３質量％が好ましく、０．２〜１．５質量％がより好ましい。パラジウム、金の含有量をこのような範囲内とすることで、例えば銀の拡散を抑制し、これにより耐湿性を高くすることができ、また銀合金層の比抵抗を１０μΩｃｍ以下にすることができる。
【００３３】
第１、第２の銀合金層４２、４４の厚みは、いずれも５〜２５ｎｍが好ましく、５〜２０ｎｍがより好ましく、５〜１５ｎｍがさらに好ましい。また、第１の銀合金層４２よりも第２の銀合金層４４が厚いことが好ましく、第１の銀合金層４２よりも第２の銀合金層４４が１〜８ｎｍ厚いことが好ましく、１〜６ｎｍ厚いことがより好ましく、１〜５ｎｍ厚いことがさらに好ましい。
【００３４】
このような日射反射積層膜４は表面抵抗値が２〜４Ω／ｓｑであることが好ましい。このような表面抵抗値を有するものによれば、電磁波遮蔽効果が良好となり、電磁波シールドフィルムとして電子機器の誤動作を効果的に抑制することができる。
【００３５】
保護層５は、粘着層６との密着性を向上させるために設けられるものであり、日射反射積層膜４を水分等から保護する役割も果たしている。保護層５は必要に応じて日射反射積層膜４上に設けられるものであり、スズ、インジウム、チタン、ケイ素、ガリウム等の金属の酸化物もしくは窒化物の層、または水素化炭素を主成分として含む層等が挙げられる。保護層５としては、特に、インジウム、スズ、およびガリウムの酸化物層、または水素化炭素を主成分として含む層が好ましい。
【００３６】
保護層５の膜厚は、２〜３０ｎｍが好ましく、３〜２０ｎｍがより好ましく、３〜１０ｎｍがさらに好ましい。保護層５の膜厚を２ｎｍ以上とすることで、粘着層６との密着性を向上させ、日射反射積層膜４を水分等から効果的に保護することができる。また、保護層５の膜厚を３０ｎｍ以下とすることで、日射反射積層膜４を水分等から効果的に保護しつつ、日射調整フィルム１の全体の厚みも抑制することができる。
【００３７】
粘着層６は、日射調整フィルム１を建物や車両等の窓ガラスに貼着するために利用されるものであり、必要に応じて設けられるものである。粘着層６としては、粘着剤のみからなるもの、または粘着剤中に紫外線吸収剤が含有されたものが挙げられる。これらの中でも紫外線吸収剤を含有するものは、日射調整フィルム１を建物や車両等の窓ガラスに貼着した場合に、紫外線による室内の人体や物品における日焼けを抑制し、また人体への悪影響を抑制することができるために好ましい。
【００３８】
紫外線吸収剤としては、例えばトリアジン系紫外線吸収剤が好適に用いられる。紫外線吸収剤としてはベンゾフェノン系やベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤も知られているが、これらの紫外線吸収剤は、粘着剤の架橋を不足させ、保持力を低下させたり、黄変させたりするおそれがある。このため、紫外線吸収剤としては、トリアジン系紫外線吸収剤を用いることが好ましい。
【００３９】
粘着剤としては、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ブタジエン系粘着剤が挙げられ、これらの中でもアクリル系粘着剤が好適に用いられる。アクリル系粘着剤は、アクリル系単量体単位を主成分として含む重合体であって、アクリル系単量体としては、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、（無水）マレイン酸、（無水）フマル酸、クロトン酸、これらのアルキルエステルが挙げられる。ここで、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸の総称として使用している。
【００４０】
このような粘着層６、特に紫外線吸収剤を含有する粘着層６を有するものによれば、例えばガラス板に貼着した場合、ＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される紫外線透過率を１％以下とすることができ、紫外線による室内の人体や物品における日焼けを効果的に抑制し、また人体への悪影響を効果的に抑制することができる。
【００４１】
このような日射調整フィルム１は、例えば粘着層６を利用してガラス板に貼着してフィルム付きガラスとして用いることができる。図２は、フィルム付きガラスの一例を示す断面図である。
【００４２】
フィルム付きガラス１１は、ガラス板１２を有し、このガラス板１２に粘着層６を利用して日射調整フィルム１が貼着されている。ガラス板１２としては、建物や車両等の窓ガラスが代表的なものとして挙げられるが、必ずしもこれらのものに限定されるものではなく、例えば冷蔵・冷凍ショーケース等のガラス板であっても構わない。
【００４３】
建物や車両等の窓ガラスに日射調整フィルム１を設けることで、入射する太陽エネルギーを遮断して冷房効果を向上させることができる。また、この日射調整フィルム１は、電磁波遮蔽効果を有することから、電磁波シールドフィルムとして電子機器の誤動作を抑制し、電波の漏洩を防止することもできる。さらに、窓ガラスが破損したときの飛散を抑制できることから、安全性も向上させることもできる。
【００４４】
フィルム付きガラス１１は、例えばＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される可視光線透過率が７０％以上、日射反射率が３０％以上であることが好ましい。可視光線透過率は、７２％以上であることがより好ましい。日射反射率は３２％以上であることがより好ましい。このような可視光線透過率、日射反射率等を有するものとすることで、例えば内部から外部にかけての視認性と太陽エネルギーの遮断による冷房効果とを両立することができる。なお、このような可視光線透過率、日射反射率は、上記したように主として日射調整フィルム１における日射反射積層膜４を亜鉛酸化物層と銀合金層とからなるものとし、かつその積層数を５層、すなわち銀合金層を２層とすることにより達成することができる。
【００４５】
また、フィルム付きガラス１１は、例えばＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される紫外線透過率が１％以下であることが好ましい。このような紫外線透過率とすることで、紫外線による室内の人体や物品における日焼けを抑制し、また人体への悪影響を効果的に抑制することができる。なお、このような紫外線透過率についても、上記したように日射調整フィルム１に紫外線吸収剤を含有する粘着層６を設けることにより達成することができる。
【００４６】
次に、日射調整フィルム１の製造方法について説明する。
日射調整フィルム１は、ポリエステルフィルム２の一方の主面に熱硬化性樹脂等を塗布および硬化させてハードコート層３を形成するとともに、他方の主面にスパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、化学的気相成長法等により日射反射積層膜４を形成し、必要に応じて日射反射積層膜４上に保護層５、粘着層６を形成することにより製造することができる。
【００４７】
日射反射積層膜４の形成は、品質、特性の安定性が良好であることから、特にスパッタ法により行うことが好ましい。スパッタ法としては、ＤＣスパッタ法、ＡＣスパッタ法、高周波スパッタ法等が挙げられる。スパッタ法による日射反射積層膜４の形成は、例えば以下のようにして行うことができる。
【００４８】
まず、酸素ガスを混合したアルゴンガスを導入しながら、ポリエステルフィルム２の表面に亜鉛およびチタンの酸化物からなる混合ターゲットを用いてＤＣスパッタを行い、第１の亜鉛酸化物層４１を形成する。また、アルゴンガスを導入しながら、銀合金ターゲットを用いてＤＣスパッタを行い、第１の銀合金層４２を形成する。このような操作を繰り返して行い、第１の銀合金層４２上に、第２の亜鉛酸化物層４３、第２の銀合金層４４、第３の亜鉛酸化物層４５を順に形成することで日射反射積層膜４を形成することができる。
【００４９】
亜鉛酸化物層、銀合金層の各層の厚みは、ＤＣスパッタを行う際の電力密度とスパッタ時間とにより調整することができる。また、上記した混合ターゲットは、各金属単独の酸化物の高純度（通常９９．９％）粉末を混合し、冷間静水圧プレス等を用いて成形し焼結することにより製造できる。
【実施例】
【００５０】
以下に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されない。なお、実施例における膜厚は光学特性あるいはスパッタ成膜レートとスパッタ時間とから求めた値であり、実際に測定した膜厚ではない。実施例における各特性は、以下のよう測定した。
【００５１】
（可視光線透過率（Ｔｖ）、日射透過率（Ｔｅ）、日射反射率（Ｒｅ）の測定）
日射調整フィルムを５０ｍｍ×５０ｍｍのサイズに切断し、その粘着層を介して５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ３ｍｍのソーダライムガラス板に気泡の入らないように均一に貼り付けてフィルム付きガラスを作製した。このフィルム付きガラスについて、ＪＩＳ Ａ５７５９に準拠して島津製作所社製のＵＶ−３１５０分光光度計により測定した。光源はガラス側より入射させた。
【００５２】
（遮蔽係数、熱貫流率の測定）
日射調整フィルムを５０ｍｍ×５０ｍｍのサイズに切断し、その粘着層を介して５０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ３ｍｍのソーダライムガラス板に気泡の入らないように均一に貼り付けてフィルム付きガラスを作製した。このフィルム付きガラスについて、ＪＩＳ Ｒ３１０６に準拠して日本分光株式会社製のＦＴ／ＩＲ−４２０フーリエ変換赤外分光光度計により垂直放射率を測定し、ＪＩＳ Ａ５７５９に準拠して計算により求めた。
【００５３】
（耐侯性試験）
日射調整フィルムを７０ｍｍ×１５０ｍｍのサイズに切断し、その粘着層を介して７０ｍｍ×１５０ｍｍ、厚さ２ｍｍのソーダライムガラス板に気泡の入らないように均一に貼り付けてフィルム付きガラスを作製した。このフィルム付きガラスについて、ＪＩＳ Ａ５７５９に準拠してサンシャインカーボンアーク灯式の耐侯性試験機を用いて１，０００時間および２，０００時間の耐侯性試験を行い、目視によるフィルムの異常の有無と、可視光線透過率、日射透過率、日射反射率の測定を行った。
【００５４】
（シート抵抗値の測定）
日射調整フィルムを１００ｍｍ×１００ｍｍのサイズに切断し、Ｎａｇｙ社製の渦電流型抵抗測定器（商品名：ＳＲＭ１２）を用いてシート抵抗値（表面抵抗値）を測定した。
【００５５】
［試料１］
ロールコータを用いて以下のようにして日射調整フィルムを作製した。
まず、ハードコート層が形成されたＰＥＴフィルム（ＰＥＴフィルムの厚さ：１００μｍ）のハードコート層が形成されていない表面（日射反射積層膜の形成面）の洗浄を目的としてイオンビームによる乾式洗浄を行った。この乾式洗浄は、アルゴンガスに約３０％の酸素を混合した混合ガスを導入しながら１００Ｗの電力を投入し、イオンビームソースによりイオン化されたアルゴンイオンおよび酸素イオンを照射して行った。
【００５６】
次いで、上記形成面に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに１０体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．１Ｐａの圧力で、ＡＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３９ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率２.０２、第１の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００５７】
第１の亜鉛酸化物層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、０．３Ｐａの圧力で周波数１００ｋＨｚ、反転パルス幅５μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間とを調整して厚さ１０ｎｍの金属膜（第１の銀合金層）を形成した。
【００５８】
第１の銀合金層上に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに１０体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．１Ｐａの圧力で、ＡＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ７８ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率屈折率２.０２、第２の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００５９】
第２の亜鉛酸化物層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、０．３Ｐａの圧力で周波数１００ｋＨｚ、反転パルス幅５μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間とを調整して厚さ１３ｎｍの金属膜（第２の銀合金層）を形成した。
【００６０】
第２の銀合金層上に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに１０体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．１Ｐａの圧力で、ＡＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３４ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率屈折率２.０２、第３の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００６１】
さらに、この日射反射積層膜（第３の亜鉛酸化物層）上に、ガリウム、インジウム、およびスズの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＧＩＴターゲット）を用いてアルゴンガスに７体積％の酸素ガスを混合した混合ガスを導入しながら、０．１Ｐａの圧力で周波数１００ｋＨｚ、反転パルス幅１μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ５ｎｍの保護層（屈折率２.０８）を形成した。さらに、保護層上に紫外線吸収剤を含む粘着フィルム（リンテック社製、商品名：ＰＵ−Ｖ）を貼り合わせて粘着層とし、日射調整フィルムとした。
【００６２】
［試料２］
ＰＥＴフィルムの厚さを７５μｍに変更した以外は試料１と同様に日射調整フィルムを作製した。
【００６３】
［試料３］
ＰＥＴフィルムの厚さを５０μｍに変更した以外は試料１と同様に日射調整フィルムを作製した。
【００６４】
［試料４］
試料１と略同様にして、ハードコート層が形成されたＰＥＴフィルム上に、第１の亜鉛酸化物層（厚さ３９ｎｍ）、第１の銀合金層（厚さ１０ｎｍ）、第２の亜鉛酸化物層（厚さ３４ｎｍ）の３層を順に形成して日射反射積層膜とした。その後、試料１と同様にして、日射反射積層膜上に保護層、粘着層を順に形成して、日射調整フィルムとした。なお、この試料４は、日射反射積層膜が３層（銀合金層が１層）のものであり、本発明の比較例となるものである。
【００６５】
［試料５］
試料１と略同様にして、ハードコート層が形成されたＰＥＴフィルム上に、第１の亜鉛酸化物層（厚さ３６ｎｍ）、第１の銀合金層（厚さ１０ｎｍ）、第２の亜鉛酸化物層（厚さ７２ｎｍ）、第２の銀合金層（厚さ１１ｎｍ）、第３の亜鉛酸化物層（厚さ７２ｎｍ）、第３の銀合金層（厚さ１０ｎｍ）、第４の亜鉛酸化物層（厚さ３１ｎｍ）の７層を順に形成して日射反射積層膜とした。その後、試料１と同様にして、日射反射積層膜上に保護層、粘着層を順に形成して、日射調整フィルムとした。なお、この試料５は、日射反射積層膜が７層（銀合金層が３層）のものであり、本発明の比較例となるものである。
【００６６】
［試料６］
バッチ式スパッタ装置を用いて以下のように日射調整フィルムを作製した。
まず、試料１と同様に洗浄が行われたハードコート層を有するＰＥＴフィルムの表面（日射反射積層膜の形成面）に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３９ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率２.０２、第１の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００６７】
第１の亜鉛酸化物層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、１．０Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅１０μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間とを調整して厚さ１０ｎｍの金属膜（第１の銀合金層）を形成した。
【００６８】
第１の銀合金層上に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ７８ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率２.０２、第２の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成した。
【００６９】
第２の亜鉛酸化物層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、１．０Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅１０μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間とを調整して厚さ１２ｎｍの金属膜（第２の銀合金層）を形成した。
【００７０】
第２の銀合金層上に、酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化チタン＝９０：１０（質量比））を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３４ｎｍの亜鉛およびチタンの酸化物膜（屈折率２.０２、第３の亜鉛酸化物層、組成略称：ＴＺＯ）を形成して、日射反射積層膜とした。
【００７１】
さらに、この日射反射積層膜（第３の亜鉛酸化物層）上に、ガリウム、インジウム、およびスズの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＧＩＴターゲット）を用いてアルゴンガスに７体積％の酸素ガスを混合した混合ガスを導入しながら、０．１Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ５ｎｍの保護層（屈折率２.０８）を形成した。さらに、保護層上に紫外線吸収剤を含む粘着フィルムを貼り合わせて粘着層とし、日射調整フィルムとした。
【００７２】
［試料７］
パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットの代わりに金を１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いて、第１の銀合金層を８ｎｍ、第２の銀合金層を１０ｎｍとした以外は試料６と同様に日射調整フィルムを作製した。
【００７３】
［試料８］
酸化亜鉛および酸化チタンを混合し焼成して得たターゲットの代わりに、酸化亜鉛および酸化アルミニウムを混合し焼成して得たターゲット（酸化亜鉛：酸化アルミニウム＝９７：３（質量比））を用いて亜鉛およびアルミニウムの酸化物膜（屈折率１．９５、亜鉛酸化物層、組成略称：ＡＺＯ）を形成した以外は試料６と同様に日射調整フィルムを作製した。
【００７４】
［試料９］
試料６と同様のバッチ式スパッタ装置を用いて日射調整フィルムを作製した。
まず、試料１と同様に洗浄が行われたハードコート層を有するＰＥＴフィルムの表面（日射反射積層膜の形成面）に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ２５ｎｍの酸化チタン膜（屈折率２.４、第１の酸化チタン層、組成略称：ＴｉＯｘ）を形成した。
【００７５】
第１の酸化チタン層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、１．０Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅１０μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ１０ｎｍの金属層（第１の銀合金層）を形成した。
【００７６】
第１の銀合金層上に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスを導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３ｎｍの第１のバリア膜を形成した。
【００７７】
第１のバリア膜上に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ４７ｎｍの酸化チタン膜（屈折率２.４、第２の酸化チタン層、組成略称：ＴｉＯｘ）を形成した。
【００７８】
第２の酸化チタン層上に、パラジウムを１．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いてアルゴンガスを導入しながら、１．０Ｐａの圧力で周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅１０μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ１２ｎｍの金属層（第２の銀合金層）を形成した。
【００７９】
第２の銀合金層上に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスを導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ３ｎｍの第２のバリア膜を形成した。
【００８０】
第２のバリア膜上に、チタンの酸化物ターゲット（ＡＧＣセラミックス社製、商品名：ＴＸＯターゲット）を用いてアルゴンガスに６体積％の酸素ガスを混合して導入し、０．２Ｐａの圧力で、周波数５０ｋＨｚ、反転パルス幅２μｓｅｃのＤＣマグネトロンスパッタを行い、電力密度とスパッタ時間を調整して厚さ２２ｎｍの酸化チタン膜（屈折率２.４、第３の酸化チタン層、組成略称：ＴｉＯｘ）を形成して日射反射積層膜とした。
【００８１】
さらに、この日射反射積層膜（第３の酸化チタン層）上に、紫外線吸収剤を含む粘着フィルムを貼り合わせて粘着層とし、日射調整フィルムとした。なお、この試料９は、日射反射積層膜が酸化チタン層と銀合金層とからなるものであり、本発明の比較例となるものである。
【００８２】
［試料１０］
第１の銀合金層を１２ｎｍ、第２の銀合金層を１５ｎｍとした以外は試料９と同様に日射調整フィルムを作製した。なお、この試料１０についても、日射反射積層膜が酸化チタン層と銀合金層とからなるものであり、本発明の比較例となるものである。
【００８３】
［試料１１］
第１の銀合金層を１２ｎｍ、第２の銀合金層を１４ｎｍとし、第１および第２の銀合金層の形成に用いたターゲットをパラジウムを５．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いたこと、並びに保護層を形成しなかったこと以外は試料１と同様にして日射調整フィルムを作製した。
【００８４】
［試料１２］
第１の銀合金層を１３ｎｍ、第２の銀合金層を１６ｎｍとし、第１および第２の銀合金の形成に用いたターゲットをスズを５．０質量％ドープした銀合金ターゲットを用いたこと以外は試料１１と同様にして日射調整フィルムを作製した。なお、この試料１２は、銀合金に、パラジウムおよび金から選ばれる１種以上の金属が含有されていないものであるので、本発明の比較例となるものである。
【００８５】
［試料１３］
第１の銀合金層を１０ｎｍ、第２の銀合金層を１２ｎｍとし、第１および第２の銀合金の形成に用いたターゲットを、パラジウムを２質量％および金を３質量％ドープした銀合金ターゲットを用いたこと以外は試料１１と同様にして日射調整フィルムを作製した。
【００８６】
【表１】
【００８７】
【表２】
【００８８】
【表３】
【００８９】
このようにして得られた日射調整フィルムについて、上記方法により測定を行った。表４に電気特性および光学特性の結果を、表５に遮蔽係数および熱貫流率の結果を、表６に耐候性試験の結果をそれぞれ示す。
【００９０】
【表４】
【００９１】
【表５】
【００９２】
【表６】
【００９３】
表４から明らかなように、亜鉛酸化物層と銀含有層とからなる５層構造の日射反射積層膜を有する日射調整フィルムは、いずれも可視光線透過率（Ｔｖ）が７０％以上、日射反射率（Ｒｅ）が３０％以上となることが認められた。また、表６から明らかなように、亜鉛酸化物層と銀含有層とからなる日射反射積層膜を有する日射調整フィルムは、耐久性も良好となることが認められた。
【符号の説明】
【００９４】
１…日射調整フィルム１
２…ポリエステルフィルム
３…ハードコート層
４…日射反射積層膜
４１…第１の亜鉛酸化物層
４２…第１の銀合金層
４３…第２の亜鉛酸化物層
４４…第２の銀合金層
４５…第３の亜鉛酸化物層
５…保護層
６…粘着層
１１…フィルム付きガラス
１２…ガラス板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリエステルフィルムの一方の主面にハードコート層を有し、他方の主面に日射反射積層膜を有するフィルムであって、
前記日射反射積層膜は、前記ポリエステルフィルム側から順に、
亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、前記亜鉛と前記亜鉛以外の金属元素とにおいて前記亜鉛が主たる酸化物構成元素となる第１の亜鉛酸化物層、
パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなる第１の銀合金層、
亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、前記亜鉛と前記亜鉛以外の金属元素とにおいて前記亜鉛が主たる酸化物構成元素となる第２の亜鉛酸化物層、
パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなる第２の銀合金層、および
亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、前記亜鉛と前記亜鉛以外の金属元素とにおいて前記亜鉛が主たる酸化物構成元素となる第３の亜鉛酸化物層
が積層されてなることを特徴とする日射調整フィルム。
【請求項２】
前記日射反射積層膜上に酸化スズを主成分とする保護層を有することを特徴とする請求項１記載の日射調整フィルム。
【請求項３】
前記保護層上に紫外線吸収剤を含有する粘着層を有することを特徴とする請求項２記載の日射調整フィルム。
【請求項４】
前記第１の亜鉛酸化物層および前記第３の亜鉛酸化物層は２５〜４５ｎｍの厚みを有し、
前記第２の亜鉛酸化物層は６０〜９０ｎｍの厚みを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の日射調整フィルム。
【請求項５】
前記第１の銀合金層および前記第２の銀合金層は１０〜２５ｎｍの厚みを有し、
前記第１の銀合金層よりも前記第２の銀合金層が厚いことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の日射調整フィルム。
【請求項６】
前記亜鉛以外の金属元素は、アルミニウム、チタン、またはガリウムであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の日射調整フィルム。
【請求項７】
前記日射反射積層膜の表面抵抗値が２〜４Ω／ｓｑであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の日射調整フィルム。
【請求項８】
ガラス板にフィルムが貼着されてなるフィルム付きガラスであって、
前記フィルムが請求項１乃至７のいずれか１項記載の日射調整フィルムであることをフィルム付きガラス。
【請求項９】
ＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される可視光線透過率が７０％以上、日射反射率が３０％以上であることを特徴とする請求項８記載のフィルム付きガラス。
【請求項１０】
ＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される紫外線透過率が１％以下であることを特徴とする請求項８または９記載のフィルム付きガラス。
【請求項１】
ポリエステルフィルムの一方の主面にハードコート層を有し、他方の主面に日射反射積層膜を有するフィルムであって、
前記日射反射積層膜は、前記ポリエステルフィルム側から順に、
亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、前記亜鉛と前記亜鉛以外の金属元素とにおいて前記亜鉛が主たる酸化物構成元素となる第１の亜鉛酸化物層、
パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなる第１の銀合金層、
亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、前記亜鉛と前記亜鉛以外の金属元素とにおいて前記亜鉛が主たる酸化物構成元素となる第２の亜鉛酸化物層、
パラジウムおよび金から選ばれる少なくとも１種の金属を含有する銀合金からなる第２の銀合金層、および
亜鉛および亜鉛以外の金属元素の酸化物からなり、前記亜鉛と前記亜鉛以外の金属元素とにおいて前記亜鉛が主たる酸化物構成元素となる第３の亜鉛酸化物層
が積層されてなることを特徴とする日射調整フィルム。
【請求項２】
前記日射反射積層膜上に酸化スズを主成分とする保護層を有することを特徴とする請求項１記載の日射調整フィルム。
【請求項３】
前記保護層上に紫外線吸収剤を含有する粘着層を有することを特徴とする請求項２記載の日射調整フィルム。
【請求項４】
前記第１の亜鉛酸化物層および前記第３の亜鉛酸化物層は２５〜４５ｎｍの厚みを有し、
前記第２の亜鉛酸化物層は６０〜９０ｎｍの厚みを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の日射調整フィルム。
【請求項５】
前記第１の銀合金層および前記第２の銀合金層は１０〜２５ｎｍの厚みを有し、
前記第１の銀合金層よりも前記第２の銀合金層が厚いことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の日射調整フィルム。
【請求項６】
前記亜鉛以外の金属元素は、アルミニウム、チタン、またはガリウムであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の日射調整フィルム。
【請求項７】
前記日射反射積層膜の表面抵抗値が２〜４Ω／ｓｑであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の日射調整フィルム。
【請求項８】
ガラス板にフィルムが貼着されてなるフィルム付きガラスであって、
前記フィルムが請求項１乃至７のいずれか１項記載の日射調整フィルムであることをフィルム付きガラス。
【請求項９】
ＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される可視光線透過率が７０％以上、日射反射率が３０％以上であることを特徴とする請求項８記載のフィルム付きガラス。
【請求項１０】
ＪＩＳ Ａ５７５９に準じて測定される紫外線透過率が１％以下であることを特徴とする請求項８または９記載のフィルム付きガラス。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１２−３７６３４（Ｐ２０１２−３７６３４Ａ）
【公開日】平成２４年２月２３日（２０１２．２．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１７５９８０（Ｐ２０１０−１７５９８０）
【出願日】平成２２年８月５日（２０１０．８．５）
【出願人】（０００００００４４）旭硝子株式会社 (2,665)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月２３日（２０１２．２．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年８月５日（２０１０．８．５）
【出願人】（０００００００４４）旭硝子株式会社 (2,665)
【Ｆターム（参考）】
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