液滴吐出装置
【課題】ワークの搬送精度を向上させた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、前記ワークの位置を補正する補正部と、制御部と、を備え、前記検出部は、前記ワークを介して前記液滴吐出ヘッドと対向して配置され、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出結果に基づいて、前記補正部に前記ワークの位置を補正させる。
【解決手段】ノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、前記ワークの位置を補正する補正部と、制御部と、を備え、前記検出部は、前記ワークを介して前記液滴吐出ヘッドと対向して配置され、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出結果に基づいて、前記補正部に前記ワークの位置を補正させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークに向けて液滴を吐出させ、ワーク上に機能液を塗布する液滴吐出装置は、例えば、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、ワークを副走査方向に移動させるワーク移動手段等を備えている。このような液滴吐出装置では、ワークの搬送量のばらつきに起因する白スジ等の発生を低減させるため、ワークの搬送精度を向上させる必要がある。そこで、液滴吐出ヘッドのノズル孔からワークに向けて液滴を吐出して、ワーク上に所定のアライメントマークを形成するマーク記録手段と、ワーク上に形成されたマークを検出するマーク検出手段と、を備え、マーク検出手段が検出したマークの位置をワークの移動量としてワークを移動させるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１８８９５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の液滴吐出装置では、マーク検出手段が、液滴吐出ヘッドと並列して配置され、かつ、ワーク上に形成されたアライメントマークの位置よりも、ワークの搬送方向の下流側に配置されているため、アライメントマークの位置が正しいか否かの判断が、ワークを搬送した後に判明することになる。すなわち、ワークを搬送した後に、ワークの搬送距離が正しかったのか否かが判明し、この後で、ワーク位置を補正することになるので、補正処理に時間がかかってしまったり、アライメントマークを検出するまでに要したワークの搬送分が無駄になってしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、ノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、前記ワークの位置を補正する補正部と、制御部と、を備え、前記検出部は、前記ワークを介して前記液滴吐出ヘッドと対向して配置され、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出結果に基づいて、前記補正部に前記ワークの位置を補正させることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ワークに向けて液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させることにより、ワーク上にアライメントマークが形成される。形成されたアライメントマークは、検出部によって検出され、当該検出結果に基づいて、ワークの位置が補正される。その後、ワークの搬送が行われる。ここで、検出部は、ワークを介して液滴吐出ヘッドと対向して配置されている。すなわち、検出部は、形成されるアライメントマークの近傍に配置されている。これにより、アライメントマークが形成された段階で、アライメントマーク位置の検出が可能となる。すなわち、素早くアライメントマークの位置を検出することができるとともに、検出結果に基づいて、ワークの位置を補正することが可能となる。従って、ワーク位置の補正処理時間を短縮させることができる。さらに、アライメントマークの検出位置までのワーク搬送量が少なくなるため、ワークの無駄を削減することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記検出部が、平面視において、前記アライメントマークと重複する位置に配置されたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、アライメントマークを検出するために検出部を移動させる必要が無くなり、さらにワーク位置の補正処理時間を短縮させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、互いに異なる前記ノズル孔から前記液滴を吐出させ、前記ワーク上に前記アライメントマークを形成することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、互いに異なるノズル孔から吐出された液滴により、ワーク上にアライメントマークが形成される。つまり、一つのアライメントマークが、複数のノズル孔を用いて形成される。このため、各ノズル孔から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークへの着弾位置の誤差が分散（平均化）される。そして、アライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、ワークの搬送精度を向上させることができる。これにより、ワークの搬送精度の向上に伴い、描画解像度を高めることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記ワークの搬送方向に対して上流側に配置された第１ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第１マークを形成させるとともに、前記第１ノズル孔に対して前記ワークの搬送方向の下流側に配置された第２ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第２マークを形成させつつ、前記ワークの搬送方向に前記ワークを搬送させる過程において、前記第１マークと前記第２マークとで前記アライメントマークを形成することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、アライメントマークが、互いに異なるノズル孔（第１ノズル孔、第２ノズル孔）から液滴吐出して形成された第１マークと第２マークとで形成される。このため、各液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークへの着弾位置の誤差が分散（平均化）される。そして、アライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、ワークの搬送精度を向上させることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記アライメントマークにおける前記第１マークと前記第２マークとの比率が半々となるように、前記第１マークと前記第２マークとを形成することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、第１マークと第２マークとが、それぞれ略均等に形成されるので、液滴の着弾位置の誤差を平均化させることができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの幅方向における前記ワークの両端部に前記アライメントマークを形成させ、前記検出部に前記両端部に形成された前記アライメントマークを検出させることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、ワークの両端部にアライメントマークが形成され、当該両方のアライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、ワークの搬送精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図。
【図３】液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャート。
【図４】アライメントマークの形成方法及びワークの搬送方法を示す説明図。
【図５】アライメントマークの形成方法及びワークの搬送方法を示す説明図。
【図６】第１マーク、第２マーク及びアライメントマークの形状を示す説明図。
【図７】他のアライメントマークの形状を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮尺を異ならせて図示している。
【００２０】
（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。液滴吐出装置は、ノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、ワークの位置を補正する補正部と、制御部と、を備えている。検出部は、ワークを介して前記液滴吐出ヘッドと対向して配置され、制御部は、液滴吐出ヘッドのノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、検出部に検出させたアライメントマークの検出結果に基づいて、補正部に前記ワークの位置を補正させる。
【００２１】
以下、具体的な構成について説明する。図１（ａ）は、液滴吐出装置の構成を示す概略図である。なお、本実施形態では、いわゆるリール・ツー・リール形式で除給材される薄いフィルム状のワークＷに対して、例えば、機能液としての紫外線硬化インク（ＵＶインク）を液滴吐出ヘッドにより吐出することにより、所望の画像等を印刷する液滴吐出装置について説明する。また、以下の説明において、ワークＷの搬送方向（ワークの長手方向）をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向に直交する方向（液滴吐出ヘッドの走査（移動）方向）をＹ軸方向とし、さらにワークＷと平行な平面内における回転方向をθ方向とする。
【００２２】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、ロール状に巻かれた長尺のワークＷを繰出す繰出し装置３と、印刷済みのワークＷを巻取る巻取り装置４と、機台２上に配設され、給材されたワークＷを吸着セットするワークステージ５と、ワークステージ５をθ方向に回転させる補正部としてのステージ回転部６と、Ｘ軸方向に延在し、ステージ回転部６およびワークステージ５を介してワークＷをＸ軸方向に搬送するＸＹ軸テーブル（副走査移動テーブル）７と、ＸＹ軸テーブル７を跨ぐようにＹ軸方向に架け渡されたＹ軸テーブル（主走査移動テーブル）８と、Ｙ軸テーブル８に移動自在に搭載された複数のキャリッジユニット９と、キャリッジユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５１を備えている。また、液滴吐出ヘッド５１によって形成されたアライメントマークＭを検出する検出部１２を備えている。そして、これらの装置等は、制御部６０によって制御されている。
【００２３】
本実施形態における液滴吐出装置１では、繰出し装置３により繰出されたワークＷをワークステージ５で吸着した後、液滴吐出ヘッド５１を用いてアライメントマークＭを形成させ、さらに、当該アライメントマークＭを検出部１２で検出させ、検出されたアライメントマークＭの検出位置に基づいて、ワークＷの位置を補正させる。そして、キャリッジユニット９を往復動（主走査）させながら液滴吐出ヘッド５１からインクを吐出して印刷処理を行う。また、ワークステージ５の大きさに対応する印刷領域に対して印刷している間、繰出し装置３および巻取り装置４により、ワークＷを順次繰出すと共に、順次巻取るように構成されている。
【００２４】
その他に、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド５１からインクを強制的に排出させる吸引ユニット１４、および吸引後のノズル面５７を払拭するワイピングユニット１５からなる保守装置１１を備えている。保守装置１１は、ＸＹ軸テーブル７およびＹ軸テーブル８が交差する印刷領域からＹ軸方向に外れた保守領域に配設されており、保守領域に臨ませた液滴吐出ヘッド５１の保守を行うものである。
【００２５】
ワークステージ５は、表面（セット面）に吸着孔（図示省略）が複数個形成されており、繰出し装置３から送られてきたワークＷを吸着する。ワークステージ５は、ワークＷを吸着した状態で、ＸＹ軸テーブル７により所定の位置までＸ軸方向（上流側から下流側）に搬送移動される（副走査）。そして、１画像領域分の描画が終了する下流端位置（描画終了位置）に達すると、ワークＷの吸着を解除し、且つ送込みローラー２３および送出しローラー２７のニップ状態を解いた後、ＸＹ軸テーブル７によって上流端位置（描画開始位置）に復帰移動する。
【００２６】
また、ワークステージ５の一部に、ワークステージ５の表面から裏面に貫通する貫通孔５ａが設けられている。そして、図１（ｂ）に示すように、ワークステージ５の裏面側に、貫通孔５ａを介して検出部１２が配置されている。検出部１２は、ワークＷ上に形成されたアライメントマークＭを検出するものであり、検出部１２は、平面視において、ワーク上に形成されたアライメントマークＭと重複する位置に配置される。また、本実施形態では、２つの検出部１２ａ，１２ｂが配置されている。検出部１２は、単数、或いは、複数個設けることが可能である。すなわち、検出するアライメントマークＭの数に対応させた数の検出部１２が設けられている（本実施形態では、アライメントマークＭが２つ形成される）。なお、例えば、検出するアライメントマークＭの数が２つの場合であっても、検出部１２を１つ設置して、当該検出部１２を移動させて、２つのアライメントマークＭを検出させる構成であってもよい。
【００２７】
ステージ回転部６は、ワークステージ５を下面から支持すると共に、ワークステージ５をワークＷのセット面と平行な面内においてθ方向に微小回転させる。具体的には、アライメントマークＭの検出結果に基づいて、ワークステージ５上のワークＷが、所定位置に対してθずれを起こしている場合に、ステージ回転部６を駆動させ、ワークステージ５を微小回転調整（θ補正）させる。
【００２８】
ＸＹ軸テーブル７は、機台２上に配設され、ステージ回転部６を介してワークステージ５をＸ及びＹ軸方向に移動させるものである。すなわち、アライメントマークＭの検出結果に基づいて、ＸまたはＹ方向におけるワークＷの位置ずれを補正するととともに、液滴吐出ヘッド５１の往復動（主走査）と並行して、ワークＷを搬送（副走査）させるものである。ＸＹ軸テーブル７の駆動系は、例えば、リニアモーターや、モーターおよびリードねじ機構等で構成することが好ましい。
【００２９】
Ｙ軸テーブル８は、機台２をＹ軸方向に跨ぐように架け渡された門形のベースフレーム３３と、ベースフレーム３３上に配設され、Ｙ軸方向に延在する一対のＹ軸ガイドレール３４ａ，３４ｂと、キャリッジユニット９と、キャリッジユニット９をＹ軸方向にスライド自在に支持するモーター駆動のＹ軸スライダー３６と、を有している。Ｙ軸テーブル８は、各キャリッジユニット９を介して印刷時に液滴吐出ヘッド５１をＹ軸方向に往復動させるほか、液滴吐出ヘッド５１を保守装置１１に臨ませる。なお、主走査移動軸は、一対のＹ軸ガイドレール３４およびＹ軸スライダー３６で構成されている。この場合も、その駆動系は、リニアモーターや、モーターおよびリードねじ機構等で構成することが好ましい。また、キャリッジユニット９のＹ軸方向両端部には、一対の紫外線ランプ４５が搭載されている。
【００３０】
次に、液滴吐出ヘッドの構成について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図である。液滴吐出ヘッド５１は、ワークＷに向けてインクを液滴として吐出し、ワークＷ上に画像を形成したり、アライメントマークＭを形成するものである。図２に示すように、キャリッジユニット９には、ヘッドユニット５０が構成されている。そして、ヘッドユニット５０は、複数個の液滴吐出ヘッド５１で構成されている。本実施形態のヘッドユニットでは、９個の液滴吐出ヘッド５１で構成されている。
【００３１】
本実施形態の液滴吐出ヘッド５１は、多数のノズル孔５６を有するノズル面５７を有している。そして、各ノズル孔５６に対応して設けられたキャビティ（図示せず）と、各キャビティに対応して設けられた圧電素子（図示せず）と、を備えている。そして、圧電素子に電圧が印加され、キャビティの容積が減少した際、ポンプ作用により、ノズル孔５６から液滴（インク滴）が吐出される。なお、各液滴吐出ヘッド５１には任意の色が異なるインクが導入されるため、各液滴吐出ヘッド５１から異なる色のインクを吐出することができる。
【００３２】
本実施形態におけるインクは、いわゆる紫外線硬化インクであり、紫外線ランプ４５から照射された紫外線によって紫外線硬化インクを硬化・定着させることができる。紫外線ランプ４５は、例えば、ＬＥＤなどで構成されている。なお、一対の紫外線ランプ４５を、液滴吐出ヘッド５１の往復動（主走査）に対応して交互に点灯してもよい。すなわち、往動時には、液滴吐出ヘッド５１を後追いする側の一方の紫外線ランプ４５を点灯し、復動時には、液滴吐出ヘッド５１を後追いする側の他方の紫外線ランプ４５を点灯してもよい。
【００３３】
次に、液滴吐出装置の制御方法について説明する。図３は、液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャートである。また、図４及び図５は、アライメントマークの形成方法及びワークの搬送方法を示す説明図である。
【００３４】
まず、ステップＳ１では、ワークステージ５上にワークＷを給材させるとともに、ワークＷを吸着させる。具体的には、繰出し装置３および巻取り装置４を駆動させ、ワークＷを順次繰り出させるとともに、ワークステージ５の吸着機構を駆動させ、ワークステージ５上にワークＷを吸着させる。
【００３５】
次に、ステップＳ２では、図４（ａ）に示すように、キャリッジユニット９を主走査方向に移動させ、液滴吐出ヘッド５１に設けられた複数のノズル孔５６のうち、ワークＷの搬送方向（Ｘ軸方向）に対して上流側に配置された第１ノズル孔５６ａから液滴を吐出させてワークＷ上に第１マークＭａ１を形成させるとともに、第１ノズル孔５６ａに対してワークＷの搬送方向の下流側に配置された第２ノズル孔５６ｂから液滴を吐出させてワークＷ上に第２マークＭｂ１を形成させる。この場合、ワークＷの搬送方向に直交するワークＷの幅方向におけるワークＷの両端部近傍に第１及び第２マークＭａ１，Ｍｂ１を形成させる。この際の第１及び第２マークＭａ１，Ｍｂ１の形状は、特に限定されず、例えば、本実施形態では、図６（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５１の主走査方向に沿った略直線状の第１マークＭａ１が形成される。また、同様に、図６（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５１の主走査方向に沿った略直線状の第２マークＭｂ１が形成される。
【００３６】
次に、ステップＳ３では、ワークＷを吸着させたワークステージ５を搬送方向（Ｘ軸方向）に移動させ、検出部１２によって第１マークＭａ１を検出させる。そして、検出部１２による第１マークＭａ１の検出結果に基づいて、所定の位置までワークＷを副走査方向（Ｘ方向）に搬送（移動）させる。例えば、図４（ｂ）に示すように、検出された第１マークＭａ１の中心位置を基準として、ワークＷを移動させる。すなわち、本実施形態の本ステップＳ３では、第１ノズル孔５６ａと第２ノズル孔５６ｂとのピッチ間の長さ分を搬送方向に移動させることになる。従って、第１マークＭａ１は、第２ノズル孔５６ｂの走査上付近に移動することになる。なお、本ステップＳ３の直後では、ワークＷ上に描画を行わない。なぜならば、第１マークＭａ１は、第１ノズル孔５６ａのみから形成されたものである。このため、第１マークＭａ１を基準位置としてワークＷを搬送した場合、第１ノズル孔５６ａから吐出された液滴の飛行曲がり等に起因して、ワークＷの搬送位置精度が低下しているおそれがある。従って、ワークＷに描画した場合には、白スジやスジむら等が発生してしまう、という問題が生じるからである。
【００３７】
次に、ステップＳ４では、互いに異なるノズル孔から液滴を吐出させ、ワークＷ上にアライメントマークＭを形成させるとともに、形成されたアライメントマークＭを検出させる。すなわち、各ノズル孔（第１及び第２ノズル孔５６ａ，５６ｂ）に起因する液滴の着弾位置ずれ誤差が分散化（平均化）されたアライメントマークＭ１が検出される。具体的には、図４（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５１に設けられた複数のノズル孔５６のうち、ワークＷの搬送方向（Ｘ軸方向）に対して上流側に配置された第１ノズル孔５６ａから液滴を吐出させてワークＷ上に第１マークＭａ２を形成させるとともに、第１ノズル孔５６ａに対してワークＷの搬送方向の下流側に配置された第２ノズル孔５６ｂから液滴を吐出させてワークＷ上に第２マークＭｂ２を形成させる。そうすると、ステップＳ３で説明したように、先に形成された第１マークＭａ１が、第２ノズル孔５６ｂの走査付近に移動されているので、第１マークＭａ１上に第２マークＭｂ２が形成され、図６（ｃ）に示すように、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２とでアライメントマークＭ１が形成される。このように、アライメントマークＭ１は、互いに異なるノズル孔５６、すなわち、本実施形態では、第１ノズル孔５６ａと第２ノズル孔５６ｂのそれぞれからから吐出された液滴によって形成される。なお、アライメントマークＭ１における第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２との比率が半々となるように、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２とが形成される。そして、先と同様に、ワークＷの搬送方向に直交するワークＷの幅方向におけるワークＷの両端部近傍にアライメントマークＭ１を形成させる。そして、検出部１２ａ，１２ｂを駆動させ、形成されたアライメントマークＭ１を検出させる。
【００３８】
次いで、ステップＳ５では、アライメントマークＭ１の検出結果に基づいて、ワークＷの位置補正を行うか否かを判断させる。補正が必要な場合（ＹＥＳ）には、ステップＳ６に移行し、補正が不要な場合（ＮＯ）の場合には、ステップＳ７に移行する。
【００３９】
ステップＳ６では、ワークＷの位置補正を行う。具体的には、図５（ｄ）に示すように、アライメントマークＭ１の検出結果に基づいて、ＸＹ軸テーブル７やステージ回転部６を駆動させてワークＷの位置を補正する。そして、両方のアライメントマークＭ１が所定の位置に到達したら終了する。
【００４０】
ステップＳ７では、ワークＷ上に画像Ｐを形成させる。具体的には、図５（ｅ）に示すように、キャリッジユニット９及び液滴吐出ヘッド５１を駆動させ、ワークＷに向けて液滴を吐出させることにより、ワークＷ上に画像Ｐを形成させる。
【００４１】
ステップＳ８では、描画を終了するか否かを判断させる。描画を終了させる場合（ＹＥＳ）の場合には、液滴吐出装置１の駆動が終了し、描画を終了させず、描画を続行させる場合（ＮＯ）の場合には、ステップＳ９に移行する。
【００４２】
ステップＳ９では、ワークＷを搬送方向に移動させる。この場合、第１マークＭａ２が検出部１２によって検出されるまで移動させる。その後、ワークステージ５からワークＷの吸着を解除させる。そして、ワークステージ５を所定の位置（原点位置）まで移動させる。次いで、ステップＳ１に移行する。
【００４３】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００４４】
（１）アライメントマークＭの形成位置の下側に検出部１２が配置され、アライメントマークＭが形成された時点で、素早くアライメントマークＭを検出することができる。そして、当該検出結果に基づいて、ワークＷの位置補正を効率よく行うことができる。
【００４５】
（２）互いに異なる第１及び第２ノズル孔５６ａ，５６ｂから液滴を吐出させ、アライメントマークＭを形成した。すなわち、複数のノズル孔５６を用いて一つのアライメントマークＭを形成することにより、各ノズル孔５６から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークへの着弾位置の誤差が分散化される。そして、アライメントマークＭの形成位置を検出させ、検出結果に基づいてワークＷが搬送されるので、ワークＷの搬送精度を向上させることができる。
【００４６】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００４７】
（変形例１）上記実施形態では、互いに異なる第１及び第２ノズル孔５６ａ，５６ｂを用いてアライメントマークＭを形成したが、これに限定されない。第１ノズル孔５６ａまたは第２ノズル孔５６ｂのいずれかを用いてアライメントマークＭを形成してもよい。この場合、いずれか一方のノズル孔によって形成されるアライメントマークＭの位置の付近に検出部を配置すればよい。このようにすれば、ワークＷを搬送することなく、アライメントマークＭを検出することができる。
【００４８】
（変形例２）上記実施形態では、１個の第１ノズル孔５６ａから液滴を吐出させて第１マークＭａ１を形成し、１個の第２ノズル孔５６ｂから液滴を吐出させて第２マークＭｂ１を形成したが、これに限定されない。複数のノズル孔５６（所定のノズル群）を用いて第１マークＭａ１または第２マークＭｂ１を形成してもよい。このようにすれば、さらに、各ノズル孔に起因する液滴の着弾位置ずれ誤差が平均化され、ワークＷの搬送精度を向上させることができる。
【００４９】
（変形例３）上記実施形態では、一の液滴吐出ヘッド５１を用いてアライメントマークＭを形成したが、これに限定されない。例えば、互いに異なる液滴吐出ヘッド５１のノズル孔５６から液滴を吐出して、ワークＷ上にアライメントマークＭを形成してもよい。このようにしても、アライメントマークＭが互いに異なるノズル孔５６から吐出される液滴によって形成されるので、上記同様、ワークＷの搬送精度を向上させることができる。
【００５０】
（変形例４）上記実施形態では、アライメントマークＭ１は、主走査方向に略平行（副走査方向に略垂直）に直線形状を有したが、これに限定されず、例えば、図７（ａ）に示すように、主走査方向に略垂直（副走査方向に略平行）に直線形状であってもよい。また、図７（ｂ）に示すように、十字型の形状であってもよい。さらには、図７（ｃ）に示すように、円形状であってもよい。この例では、アライメントマークＭ１が、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ１とをそれぞれ形成するドットが互いに入り交じって形成される。また、この場合、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ１との比率は略５０％ずつである。このようにすれば、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ１とが、それぞれ略均等に形成されるため、液滴の着弾位置の誤差を平均化させることができる。
【００５１】
（変形例５）上記実施形態では、同じ色のインクによって第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２とを形成したが、異なる色のインクによって第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２とを形成してもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【００５２】
（変形例６）上記実施形態における液滴吐出装置の制御方法では、図３に示すように、ステップＳ７において描画する毎にアライメントマークＭ１を形成させたが、これに限定されない。例えば、液滴吐出ヘッド５１とワークＷとが改行される毎にアライメントマークＭ１を形成させ、改行毎にアライメントマークＭを検出させ、必要に応じて位置補正を行うようにしてもよい。具体的には、図３においてステップＳ９の後に、ステップＳ５に移行させればよい。このようにすれば、連続描画することができ、生産性を向上させることができる。
【符号の説明】
【００５３】
１…液滴吐出装置、５…ワークステージ、６…ステージ回転部、７…ＸＹ軸テーブル、８…Ｙ軸テーブル、９…キャリッジユニット、１２…検出部、５１…液滴吐出ヘッド、５６…各ノズル孔、５６ａ…第１ノズル孔、５６ｂ…第２ノズル孔、６０…制御部。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークに向けて液滴を吐出させ、ワーク上に機能液を塗布する液滴吐出装置は、例えば、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、ワークを副走査方向に移動させるワーク移動手段等を備えている。このような液滴吐出装置では、ワークの搬送量のばらつきに起因する白スジ等の発生を低減させるため、ワークの搬送精度を向上させる必要がある。そこで、液滴吐出ヘッドのノズル孔からワークに向けて液滴を吐出して、ワーク上に所定のアライメントマークを形成するマーク記録手段と、ワーク上に形成されたマークを検出するマーク検出手段と、を備え、マーク検出手段が検出したマークの位置をワークの移動量としてワークを移動させるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１８８９５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の液滴吐出装置では、マーク検出手段が、液滴吐出ヘッドと並列して配置され、かつ、ワーク上に形成されたアライメントマークの位置よりも、ワークの搬送方向の下流側に配置されているため、アライメントマークの位置が正しいか否かの判断が、ワークを搬送した後に判明することになる。すなわち、ワークを搬送した後に、ワークの搬送距離が正しかったのか否かが判明し、この後で、ワーク位置を補正することになるので、補正処理に時間がかかってしまったり、アライメントマークを検出するまでに要したワークの搬送分が無駄になってしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、ノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、前記ワークの位置を補正する補正部と、制御部と、を備え、前記検出部は、前記ワークを介して前記液滴吐出ヘッドと対向して配置され、前記制御部は、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出結果に基づいて、前記補正部に前記ワークの位置を補正させることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ワークに向けて液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させることにより、ワーク上にアライメントマークが形成される。形成されたアライメントマークは、検出部によって検出され、当該検出結果に基づいて、ワークの位置が補正される。その後、ワークの搬送が行われる。ここで、検出部は、ワークを介して液滴吐出ヘッドと対向して配置されている。すなわち、検出部は、形成されるアライメントマークの近傍に配置されている。これにより、アライメントマークが形成された段階で、アライメントマーク位置の検出が可能となる。すなわち、素早くアライメントマークの位置を検出することができるとともに、検出結果に基づいて、ワークの位置を補正することが可能となる。従って、ワーク位置の補正処理時間を短縮させることができる。さらに、アライメントマークの検出位置までのワーク搬送量が少なくなるため、ワークの無駄を削減することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記検出部が、平面視において、前記アライメントマークと重複する位置に配置されたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、アライメントマークを検出するために検出部を移動させる必要が無くなり、さらにワーク位置の補正処理時間を短縮させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、互いに異なる前記ノズル孔から前記液滴を吐出させ、前記ワーク上に前記アライメントマークを形成することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、互いに異なるノズル孔から吐出された液滴により、ワーク上にアライメントマークが形成される。つまり、一つのアライメントマークが、複数のノズル孔を用いて形成される。このため、各ノズル孔から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークへの着弾位置の誤差が分散（平均化）される。そして、アライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、ワークの搬送精度を向上させることができる。これにより、ワークの搬送精度の向上に伴い、描画解像度を高めることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記ワークの搬送方向に対して上流側に配置された第１ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第１マークを形成させるとともに、前記第１ノズル孔に対して前記ワークの搬送方向の下流側に配置された第２ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第２マークを形成させつつ、前記ワークの搬送方向に前記ワークを搬送させる過程において、前記第１マークと前記第２マークとで前記アライメントマークを形成することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、アライメントマークが、互いに異なるノズル孔（第１ノズル孔、第２ノズル孔）から液滴吐出して形成された第１マークと第２マークとで形成される。このため、各液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークへの着弾位置の誤差が分散（平均化）される。そして、アライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、ワークの搬送精度を向上させることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記アライメントマークにおける前記第１マークと前記第２マークとの比率が半々となるように、前記第１マークと前記第２マークとを形成することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、第１マークと第２マークとが、それぞれ略均等に形成されるので、液滴の着弾位置の誤差を平均化させることができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの幅方向における前記ワークの両端部に前記アライメントマークを形成させ、前記検出部に前記両端部に形成された前記アライメントマークを検出させることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、ワークの両端部にアライメントマークが形成され、当該両方のアライメントマークの検出位置に基づいてワークが搬送されるので、ワークの搬送精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図。
【図３】液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャート。
【図４】アライメントマークの形成方法及びワークの搬送方法を示す説明図。
【図５】アライメントマークの形成方法及びワークの搬送方法を示す説明図。
【図６】第１マーク、第２マーク及びアライメントマークの形状を示す説明図。
【図７】他のアライメントマークの形状を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮尺を異ならせて図示している。
【００２０】
（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。液滴吐出装置は、ノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、検出部と、ワークを搬送させるワーク搬送部と、ワークの位置を補正する補正部と、制御部と、を備えている。検出部は、ワークを介して前記液滴吐出ヘッドと対向して配置され、制御部は、液滴吐出ヘッドのノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、検出部に検出させたアライメントマークの検出結果に基づいて、補正部に前記ワークの位置を補正させる。
【００２１】
以下、具体的な構成について説明する。図１（ａ）は、液滴吐出装置の構成を示す概略図である。なお、本実施形態では、いわゆるリール・ツー・リール形式で除給材される薄いフィルム状のワークＷに対して、例えば、機能液としての紫外線硬化インク（ＵＶインク）を液滴吐出ヘッドにより吐出することにより、所望の画像等を印刷する液滴吐出装置について説明する。また、以下の説明において、ワークＷの搬送方向（ワークの長手方向）をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向に直交する方向（液滴吐出ヘッドの走査（移動）方向）をＹ軸方向とし、さらにワークＷと平行な平面内における回転方向をθ方向とする。
【００２２】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、ロール状に巻かれた長尺のワークＷを繰出す繰出し装置３と、印刷済みのワークＷを巻取る巻取り装置４と、機台２上に配設され、給材されたワークＷを吸着セットするワークステージ５と、ワークステージ５をθ方向に回転させる補正部としてのステージ回転部６と、Ｘ軸方向に延在し、ステージ回転部６およびワークステージ５を介してワークＷをＸ軸方向に搬送するＸＹ軸テーブル（副走査移動テーブル）７と、ＸＹ軸テーブル７を跨ぐようにＹ軸方向に架け渡されたＹ軸テーブル（主走査移動テーブル）８と、Ｙ軸テーブル８に移動自在に搭載された複数のキャリッジユニット９と、キャリッジユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５１を備えている。また、液滴吐出ヘッド５１によって形成されたアライメントマークＭを検出する検出部１２を備えている。そして、これらの装置等は、制御部６０によって制御されている。
【００２３】
本実施形態における液滴吐出装置１では、繰出し装置３により繰出されたワークＷをワークステージ５で吸着した後、液滴吐出ヘッド５１を用いてアライメントマークＭを形成させ、さらに、当該アライメントマークＭを検出部１２で検出させ、検出されたアライメントマークＭの検出位置に基づいて、ワークＷの位置を補正させる。そして、キャリッジユニット９を往復動（主走査）させながら液滴吐出ヘッド５１からインクを吐出して印刷処理を行う。また、ワークステージ５の大きさに対応する印刷領域に対して印刷している間、繰出し装置３および巻取り装置４により、ワークＷを順次繰出すと共に、順次巻取るように構成されている。
【００２４】
その他に、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド５１からインクを強制的に排出させる吸引ユニット１４、および吸引後のノズル面５７を払拭するワイピングユニット１５からなる保守装置１１を備えている。保守装置１１は、ＸＹ軸テーブル７およびＹ軸テーブル８が交差する印刷領域からＹ軸方向に外れた保守領域に配設されており、保守領域に臨ませた液滴吐出ヘッド５１の保守を行うものである。
【００２５】
ワークステージ５は、表面（セット面）に吸着孔（図示省略）が複数個形成されており、繰出し装置３から送られてきたワークＷを吸着する。ワークステージ５は、ワークＷを吸着した状態で、ＸＹ軸テーブル７により所定の位置までＸ軸方向（上流側から下流側）に搬送移動される（副走査）。そして、１画像領域分の描画が終了する下流端位置（描画終了位置）に達すると、ワークＷの吸着を解除し、且つ送込みローラー２３および送出しローラー２７のニップ状態を解いた後、ＸＹ軸テーブル７によって上流端位置（描画開始位置）に復帰移動する。
【００２６】
また、ワークステージ５の一部に、ワークステージ５の表面から裏面に貫通する貫通孔５ａが設けられている。そして、図１（ｂ）に示すように、ワークステージ５の裏面側に、貫通孔５ａを介して検出部１２が配置されている。検出部１２は、ワークＷ上に形成されたアライメントマークＭを検出するものであり、検出部１２は、平面視において、ワーク上に形成されたアライメントマークＭと重複する位置に配置される。また、本実施形態では、２つの検出部１２ａ，１２ｂが配置されている。検出部１２は、単数、或いは、複数個設けることが可能である。すなわち、検出するアライメントマークＭの数に対応させた数の検出部１２が設けられている（本実施形態では、アライメントマークＭが２つ形成される）。なお、例えば、検出するアライメントマークＭの数が２つの場合であっても、検出部１２を１つ設置して、当該検出部１２を移動させて、２つのアライメントマークＭを検出させる構成であってもよい。
【００２７】
ステージ回転部６は、ワークステージ５を下面から支持すると共に、ワークステージ５をワークＷのセット面と平行な面内においてθ方向に微小回転させる。具体的には、アライメントマークＭの検出結果に基づいて、ワークステージ５上のワークＷが、所定位置に対してθずれを起こしている場合に、ステージ回転部６を駆動させ、ワークステージ５を微小回転調整（θ補正）させる。
【００２８】
ＸＹ軸テーブル７は、機台２上に配設され、ステージ回転部６を介してワークステージ５をＸ及びＹ軸方向に移動させるものである。すなわち、アライメントマークＭの検出結果に基づいて、ＸまたはＹ方向におけるワークＷの位置ずれを補正するととともに、液滴吐出ヘッド５１の往復動（主走査）と並行して、ワークＷを搬送（副走査）させるものである。ＸＹ軸テーブル７の駆動系は、例えば、リニアモーターや、モーターおよびリードねじ機構等で構成することが好ましい。
【００２９】
Ｙ軸テーブル８は、機台２をＹ軸方向に跨ぐように架け渡された門形のベースフレーム３３と、ベースフレーム３３上に配設され、Ｙ軸方向に延在する一対のＹ軸ガイドレール３４ａ，３４ｂと、キャリッジユニット９と、キャリッジユニット９をＹ軸方向にスライド自在に支持するモーター駆動のＹ軸スライダー３６と、を有している。Ｙ軸テーブル８は、各キャリッジユニット９を介して印刷時に液滴吐出ヘッド５１をＹ軸方向に往復動させるほか、液滴吐出ヘッド５１を保守装置１１に臨ませる。なお、主走査移動軸は、一対のＹ軸ガイドレール３４およびＹ軸スライダー３６で構成されている。この場合も、その駆動系は、リニアモーターや、モーターおよびリードねじ機構等で構成することが好ましい。また、キャリッジユニット９のＹ軸方向両端部には、一対の紫外線ランプ４５が搭載されている。
【００３０】
次に、液滴吐出ヘッドの構成について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す概略図である。液滴吐出ヘッド５１は、ワークＷに向けてインクを液滴として吐出し、ワークＷ上に画像を形成したり、アライメントマークＭを形成するものである。図２に示すように、キャリッジユニット９には、ヘッドユニット５０が構成されている。そして、ヘッドユニット５０は、複数個の液滴吐出ヘッド５１で構成されている。本実施形態のヘッドユニットでは、９個の液滴吐出ヘッド５１で構成されている。
【００３１】
本実施形態の液滴吐出ヘッド５１は、多数のノズル孔５６を有するノズル面５７を有している。そして、各ノズル孔５６に対応して設けられたキャビティ（図示せず）と、各キャビティに対応して設けられた圧電素子（図示せず）と、を備えている。そして、圧電素子に電圧が印加され、キャビティの容積が減少した際、ポンプ作用により、ノズル孔５６から液滴（インク滴）が吐出される。なお、各液滴吐出ヘッド５１には任意の色が異なるインクが導入されるため、各液滴吐出ヘッド５１から異なる色のインクを吐出することができる。
【００３２】
本実施形態におけるインクは、いわゆる紫外線硬化インクであり、紫外線ランプ４５から照射された紫外線によって紫外線硬化インクを硬化・定着させることができる。紫外線ランプ４５は、例えば、ＬＥＤなどで構成されている。なお、一対の紫外線ランプ４５を、液滴吐出ヘッド５１の往復動（主走査）に対応して交互に点灯してもよい。すなわち、往動時には、液滴吐出ヘッド５１を後追いする側の一方の紫外線ランプ４５を点灯し、復動時には、液滴吐出ヘッド５１を後追いする側の他方の紫外線ランプ４５を点灯してもよい。
【００３３】
次に、液滴吐出装置の制御方法について説明する。図３は、液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャートである。また、図４及び図５は、アライメントマークの形成方法及びワークの搬送方法を示す説明図である。
【００３４】
まず、ステップＳ１では、ワークステージ５上にワークＷを給材させるとともに、ワークＷを吸着させる。具体的には、繰出し装置３および巻取り装置４を駆動させ、ワークＷを順次繰り出させるとともに、ワークステージ５の吸着機構を駆動させ、ワークステージ５上にワークＷを吸着させる。
【００３５】
次に、ステップＳ２では、図４（ａ）に示すように、キャリッジユニット９を主走査方向に移動させ、液滴吐出ヘッド５１に設けられた複数のノズル孔５６のうち、ワークＷの搬送方向（Ｘ軸方向）に対して上流側に配置された第１ノズル孔５６ａから液滴を吐出させてワークＷ上に第１マークＭａ１を形成させるとともに、第１ノズル孔５６ａに対してワークＷの搬送方向の下流側に配置された第２ノズル孔５６ｂから液滴を吐出させてワークＷ上に第２マークＭｂ１を形成させる。この場合、ワークＷの搬送方向に直交するワークＷの幅方向におけるワークＷの両端部近傍に第１及び第２マークＭａ１，Ｍｂ１を形成させる。この際の第１及び第２マークＭａ１，Ｍｂ１の形状は、特に限定されず、例えば、本実施形態では、図６（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５１の主走査方向に沿った略直線状の第１マークＭａ１が形成される。また、同様に、図６（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５１の主走査方向に沿った略直線状の第２マークＭｂ１が形成される。
【００３６】
次に、ステップＳ３では、ワークＷを吸着させたワークステージ５を搬送方向（Ｘ軸方向）に移動させ、検出部１２によって第１マークＭａ１を検出させる。そして、検出部１２による第１マークＭａ１の検出結果に基づいて、所定の位置までワークＷを副走査方向（Ｘ方向）に搬送（移動）させる。例えば、図４（ｂ）に示すように、検出された第１マークＭａ１の中心位置を基準として、ワークＷを移動させる。すなわち、本実施形態の本ステップＳ３では、第１ノズル孔５６ａと第２ノズル孔５６ｂとのピッチ間の長さ分を搬送方向に移動させることになる。従って、第１マークＭａ１は、第２ノズル孔５６ｂの走査上付近に移動することになる。なお、本ステップＳ３の直後では、ワークＷ上に描画を行わない。なぜならば、第１マークＭａ１は、第１ノズル孔５６ａのみから形成されたものである。このため、第１マークＭａ１を基準位置としてワークＷを搬送した場合、第１ノズル孔５６ａから吐出された液滴の飛行曲がり等に起因して、ワークＷの搬送位置精度が低下しているおそれがある。従って、ワークＷに描画した場合には、白スジやスジむら等が発生してしまう、という問題が生じるからである。
【００３７】
次に、ステップＳ４では、互いに異なるノズル孔から液滴を吐出させ、ワークＷ上にアライメントマークＭを形成させるとともに、形成されたアライメントマークＭを検出させる。すなわち、各ノズル孔（第１及び第２ノズル孔５６ａ，５６ｂ）に起因する液滴の着弾位置ずれ誤差が分散化（平均化）されたアライメントマークＭ１が検出される。具体的には、図４（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５１に設けられた複数のノズル孔５６のうち、ワークＷの搬送方向（Ｘ軸方向）に対して上流側に配置された第１ノズル孔５６ａから液滴を吐出させてワークＷ上に第１マークＭａ２を形成させるとともに、第１ノズル孔５６ａに対してワークＷの搬送方向の下流側に配置された第２ノズル孔５６ｂから液滴を吐出させてワークＷ上に第２マークＭｂ２を形成させる。そうすると、ステップＳ３で説明したように、先に形成された第１マークＭａ１が、第２ノズル孔５６ｂの走査付近に移動されているので、第１マークＭａ１上に第２マークＭｂ２が形成され、図６（ｃ）に示すように、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２とでアライメントマークＭ１が形成される。このように、アライメントマークＭ１は、互いに異なるノズル孔５６、すなわち、本実施形態では、第１ノズル孔５６ａと第２ノズル孔５６ｂのそれぞれからから吐出された液滴によって形成される。なお、アライメントマークＭ１における第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２との比率が半々となるように、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２とが形成される。そして、先と同様に、ワークＷの搬送方向に直交するワークＷの幅方向におけるワークＷの両端部近傍にアライメントマークＭ１を形成させる。そして、検出部１２ａ，１２ｂを駆動させ、形成されたアライメントマークＭ１を検出させる。
【００３８】
次いで、ステップＳ５では、アライメントマークＭ１の検出結果に基づいて、ワークＷの位置補正を行うか否かを判断させる。補正が必要な場合（ＹＥＳ）には、ステップＳ６に移行し、補正が不要な場合（ＮＯ）の場合には、ステップＳ７に移行する。
【００３９】
ステップＳ６では、ワークＷの位置補正を行う。具体的には、図５（ｄ）に示すように、アライメントマークＭ１の検出結果に基づいて、ＸＹ軸テーブル７やステージ回転部６を駆動させてワークＷの位置を補正する。そして、両方のアライメントマークＭ１が所定の位置に到達したら終了する。
【００４０】
ステップＳ７では、ワークＷ上に画像Ｐを形成させる。具体的には、図５（ｅ）に示すように、キャリッジユニット９及び液滴吐出ヘッド５１を駆動させ、ワークＷに向けて液滴を吐出させることにより、ワークＷ上に画像Ｐを形成させる。
【００４１】
ステップＳ８では、描画を終了するか否かを判断させる。描画を終了させる場合（ＹＥＳ）の場合には、液滴吐出装置１の駆動が終了し、描画を終了させず、描画を続行させる場合（ＮＯ）の場合には、ステップＳ９に移行する。
【００４２】
ステップＳ９では、ワークＷを搬送方向に移動させる。この場合、第１マークＭａ２が検出部１２によって検出されるまで移動させる。その後、ワークステージ５からワークＷの吸着を解除させる。そして、ワークステージ５を所定の位置（原点位置）まで移動させる。次いで、ステップＳ１に移行する。
【００４３】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００４４】
（１）アライメントマークＭの形成位置の下側に検出部１２が配置され、アライメントマークＭが形成された時点で、素早くアライメントマークＭを検出することができる。そして、当該検出結果に基づいて、ワークＷの位置補正を効率よく行うことができる。
【００４５】
（２）互いに異なる第１及び第２ノズル孔５６ａ，５６ｂから液滴を吐出させ、アライメントマークＭを形成した。すなわち、複数のノズル孔５６を用いて一つのアライメントマークＭを形成することにより、各ノズル孔５６から吐出される液滴の飛行曲がり等に起因するワークへの着弾位置の誤差が分散化される。そして、アライメントマークＭの形成位置を検出させ、検出結果に基づいてワークＷが搬送されるので、ワークＷの搬送精度を向上させることができる。
【００４６】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００４７】
（変形例１）上記実施形態では、互いに異なる第１及び第２ノズル孔５６ａ，５６ｂを用いてアライメントマークＭを形成したが、これに限定されない。第１ノズル孔５６ａまたは第２ノズル孔５６ｂのいずれかを用いてアライメントマークＭを形成してもよい。この場合、いずれか一方のノズル孔によって形成されるアライメントマークＭの位置の付近に検出部を配置すればよい。このようにすれば、ワークＷを搬送することなく、アライメントマークＭを検出することができる。
【００４８】
（変形例２）上記実施形態では、１個の第１ノズル孔５６ａから液滴を吐出させて第１マークＭａ１を形成し、１個の第２ノズル孔５６ｂから液滴を吐出させて第２マークＭｂ１を形成したが、これに限定されない。複数のノズル孔５６（所定のノズル群）を用いて第１マークＭａ１または第２マークＭｂ１を形成してもよい。このようにすれば、さらに、各ノズル孔に起因する液滴の着弾位置ずれ誤差が平均化され、ワークＷの搬送精度を向上させることができる。
【００４９】
（変形例３）上記実施形態では、一の液滴吐出ヘッド５１を用いてアライメントマークＭを形成したが、これに限定されない。例えば、互いに異なる液滴吐出ヘッド５１のノズル孔５６から液滴を吐出して、ワークＷ上にアライメントマークＭを形成してもよい。このようにしても、アライメントマークＭが互いに異なるノズル孔５６から吐出される液滴によって形成されるので、上記同様、ワークＷの搬送精度を向上させることができる。
【００５０】
（変形例４）上記実施形態では、アライメントマークＭ１は、主走査方向に略平行（副走査方向に略垂直）に直線形状を有したが、これに限定されず、例えば、図７（ａ）に示すように、主走査方向に略垂直（副走査方向に略平行）に直線形状であってもよい。また、図７（ｂ）に示すように、十字型の形状であってもよい。さらには、図７（ｃ）に示すように、円形状であってもよい。この例では、アライメントマークＭ１が、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ１とをそれぞれ形成するドットが互いに入り交じって形成される。また、この場合、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ１との比率は略５０％ずつである。このようにすれば、第１マークＭａ１と第２マークＭｂ１とが、それぞれ略均等に形成されるため、液滴の着弾位置の誤差を平均化させることができる。
【００５１】
（変形例５）上記実施形態では、同じ色のインクによって第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２とを形成したが、異なる色のインクによって第１マークＭａ１と第２マークＭｂ２とを形成してもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【００５２】
（変形例６）上記実施形態における液滴吐出装置の制御方法では、図３に示すように、ステップＳ７において描画する毎にアライメントマークＭ１を形成させたが、これに限定されない。例えば、液滴吐出ヘッド５１とワークＷとが改行される毎にアライメントマークＭ１を形成させ、改行毎にアライメントマークＭを検出させ、必要に応じて位置補正を行うようにしてもよい。具体的には、図３においてステップＳ９の後に、ステップＳ５に移行させればよい。このようにすれば、連続描画することができ、生産性を向上させることができる。
【符号の説明】
【００５３】
１…液滴吐出装置、５…ワークステージ、６…ステージ回転部、７…ＸＹ軸テーブル、８…Ｙ軸テーブル、９…キャリッジユニット、１２…検出部、５１…液滴吐出ヘッド、５６…各ノズル孔、５６ａ…第１ノズル孔、５６ｂ…第２ノズル孔、６０…制御部。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、
検出部と、
ワークを搬送させるワーク搬送部と、
前記ワークの位置を補正する補正部と、
制御部と、を備え、
前記検出部は、前記ワークを介して前記液滴吐出ヘッドと対向して配置され、
前記制御部は、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出結果に基づいて、前記補正部に前記ワークの位置を補正させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記検出部が、平面視において、前記アライメントマークと重複する位置に配置されたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
互いに異なる前記ノズル孔から前記液滴を吐出させ、前記ワーク上に前記アライメントマークを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記ワークの搬送方向に対して上流側に配置された第１ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第１マークを形成させるとともに、前記第１ノズル孔に対して前記ワークの搬送方向の下流側に配置された第２ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第２マークを形成させつつ、前記ワークの搬送方向に前記ワークを搬送させる過程において、前記第１マークと前記第２マークとで前記アライメントマークを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記アライメントマークにおける前記第１マークと前記第２マークとの比率が半々となるように、前記第１マークと前記第２マークとを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの幅方向における前記ワークの両端部に前記アライメントマークを形成させ、前記検出部に前記両端部に形成された前記アライメントマークを検出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１】
ノズル孔を有する液滴吐出ヘッドと、
検出部と、
ワークを搬送させるワーク搬送部と、
前記ワークの位置を補正する補正部と、
制御部と、を備え、
前記検出部は、前記ワークを介して前記液滴吐出ヘッドと対向して配置され、
前記制御部は、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から液滴を吐出させ、ワーク上にアライメントマークを形成し、前記検出部に検出させた前記アライメントマークの検出結果に基づいて、前記補正部に前記ワークの位置を補正させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記検出部が、平面視において、前記アライメントマークと重複する位置に配置されたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
互いに異なる前記ノズル孔から前記液滴を吐出させ、前記ワーク上に前記アライメントマークを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記ワークの搬送方向に対して上流側に配置された第１ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第１マークを形成させるとともに、前記第１ノズル孔に対して前記ワークの搬送方向の下流側に配置された第２ノズル孔から前記液滴を吐出させて前記ワーク上に第２マークを形成させつつ、前記ワークの搬送方向に前記ワークを搬送させる過程において、前記第１マークと前記第２マークとで前記アライメントマークを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記アライメントマークにおける前記第１マークと前記第２マークとの比率が半々となるように、前記第１マークと前記第２マークとを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記ワークの搬送方向に直交する前記ワークの幅方向における前記ワークの両端部に前記アライメントマークを形成させ、前記検出部に前記両端部に形成された前記アライメントマークを検出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−２４５７７９（Ｐ２０１１−２４５７７９Ａ）
【公開日】平成２３年１２月８日（２０１１．１２．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１２２４０５（Ｐ２０１０−１２２４０５）
【出願日】平成２２年５月２８日（２０１０．５．２８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月８日（２０１１．１２．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年５月２８日（２０１０．５．２８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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