膜形成方法、膜形成装置、液晶装置の製造方法、及び液晶装置の製造装置

【課題】インクを配置するための作業時間が長くなることを抑制すると共に、不良となった吐出ノズルが所定の位置に液滴を吐出するように設定された時点と、代替の吐出ノズルが所定の位置に、実際に液滴を吐出する時点とが、ずれることを抑制する、膜形成方法、膜形成装置、液晶装置の製造方法、及び液晶装置の製造装置を提供する。
【解決手段】膜形成方法は、複数の吐出ノズルから膜の材料を含む液状体を吐出することで、基材上に液状体を配置する膜形成方法であって、吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程と、検査結果に応じて、複数の吐出ノズルと基材との一回の相対移動の間に、膜形成領域に吐出される液状体の総量が所定量となるように、吐出ノズルの吐出量を決定する吐出量決定工程と、を有する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材上の任意の位置に膜を形成する膜形成方法、膜を形成するための膜形成装置、液晶装置を構成する膜を形成する液晶装置の製造方法、及び液晶装置を構成する膜を形成する液晶装置の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、液状体を吐出して描画対象物上の任意の位置に塗布することによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する吐出装置が知られている。中でも、液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置を用いることによって、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜の材料を含む液状体を、任意の位置に任意の量だけ、精度良く塗布することが可能である。塗布された液状体を乾燥させることによって、任意の厚さ及び形状の機能膜を形成することができる。
【０００３】
吐出ノズルからの吐出量の精度が高いことによって、液状体を任意の量だけ精度良く塗布することが可能になっている。従って、吐出ノズルからの吐出量の精度が損なわれることによって、塗布される液状材料の量の精度が損なわれ、形成される機能膜において目標の機能が得られない可能性があった。このため、多数の吐出ノズルを有する吐出ヘッドにおいては、一部の吐出ノズルのみが損なわれることで、吐出ヘッド全体を交換しなければならないという課題もあった。
特許文献１には、吐出状態が正常でない不良の吐出ノズルを停止し、当該不良の吐出ノズルがインクを配置するべき位置に、別の正常な吐出ノズルを用いてインクを配置することによって、形成されるカラーフィルタの着色部を正常ならしめると共に、吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを、吐出ノズルの一部が不良になっても使用できるようにすることで、インクジェットヘッドを効率良く使用することができるカラーフィルタの製造方法が開示されている。
不良の吐出ノズルがインクを配置するべき位置に、別の正常な吐出ノズルを用いてインクを配置するためには、個々の画素に対して、複数回の走査を実施して、不良の吐出ノズルが或一つの画素に対向する走査とは別の走査の際に、当該画素に対向する正常な吐出ノズルを用いてインクを配置している。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−７２６１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されているような方法では、個々の画素に対して、複数回の走査を実施することが必須であるという課題があった。複数回の走査を実施することが必須であることに起因して、インクを配置するための作業時間が長くなるという課題があった。
また、複数回の走査のそれぞれにおいてインクを配置することに起因して、不良となった吐出ノズルがインクを配置するべき所定の位置において、当該所定の位置の周囲にインクが配置される時点に対して、不良となった吐出ノズルが当該所定の位置に液滴を吐出するように設定された時点と、代わりの吐出ノズルが当該所定の位置に、実際に液滴を吐出する時点とが、ずれるという課題もあった。
液状体を配置して乾燥させて膜を形成する場合、配置された液状体の塊が濡れ広がり、当該塊どうしが互いに接触して一体となり、乾燥して一体の膜となる。液状体は、配置された時点で、濡れ広がり始めると共に乾燥を開始しており、配置される時点がずれることで、適正な形状の膜が形成されない可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる膜形成方法は、複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させながら、前記基材上の膜形成領域に前記複数の吐出ノズルから膜の材料を含む液状体を吐出し前記液状体を配置する膜形成方法であって、前記各吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程と、前記ノズル検査工程における検査結果に応じて、前記各吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定する吐出量決定工程とを有し、前記吐出量決定工程では、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記膜形成領域に吐出される前記液状体の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする。
【０００８】
この膜形成方法によれば、吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程を有することで、吐出ノズルから液状体が正常に吐出されているか否かを検出することができることから、吐出量決定工程において、吐出状態が不良の吐出ノズルが有った場合に対応した吐出量を決定することができる。
吐出量決定工程において、それぞれの吐出ノズルが吐出する液状体の吐出量を、複数の吐出ノズルと基材との一回の相対移動の間に、複数の吐出ノズルが基材上の膜を形成する領域に向けて吐出する液状体の総量が、所定量となる吐出量に決定する。所定量は、一回の相対移動の間に複数の吐出ノズルによって領域に向けて吐出することが必要な液状体の総量である。これにより、正常な吐出ができない吐出ノズルが存在しても、適正な量の液状体を、基材に配置することができる。一回の相対移動の間に吐出する液状体の総量が適正な量となるため、異なる走査において吐出量を決定して、当該吐出量を吐出する場合に比べて、予め定められた適切なタイミングを損なうことなく、適正な量の液状体を配置することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが前記液状体を吐出する吐出数を決定することが好ましい。
【００１０】
この膜形成方法によれば、吐出数を決定することによって、吐出ノズルが液状体を吐出する吐出数と吐出一回あたりの吐出量との積である吐出ノズルが吐出する液状体の吐出量を決定することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが前記液状体を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量を決定することが好ましい。
【００１２】
この膜形成方法によれば、吐出一回あたりの吐出量を決定することによって、吐出ノズルが液状体を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量と吐出数との積である吐出ノズルが吐出する液状体の吐出量を決定することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記吐出量決定工程は、前記ノズル検査工程において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置と隣接する位置に前記液状体を配置する吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することが好ましい。
【００１４】
この膜形成方法によれば、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体が配置される予定の位置に隣接する位置に液状体を配置する吐出ノズルの吐出量を決定する。隣接した位置に配置された液状体は互いに混じり合い易いため、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体と、吐出量決定工程において吐出量が決定された吐出ノズルから吐出された液状体とが互いに混じり合い、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルからの吐出量の過不足を補って均等な膜を形成し易くすることができる。
単一の吐出ノズルにおいて吐出量を決定するため、多くの吐出ノズルについて吐出量を決定し、それを実現する吐出を実施する場合に比べて、吐出ノズルを制御する制御装置の負荷を小さくすることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記吐出量決定工程は、前記ノズル検査工程において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置を挟んで隣接する位置に前記液状体を配置する２個の吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することが好ましい。
【００１６】
この膜形成方法によれば、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体が配置される予定の位置に隣接する位置に液状体を配置する吐出ノズルの吐出量を決定する。隣接した位置に配置された液状体は互いに混じり合い易いため、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体と、吐出量決定工程において吐出量が決定された吐出ノズルから吐出された液状体とが互いに混じり合い、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルからの吐出量の過不足を補って均等な膜を形成し易くすることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記吐出量決定工程は、前記ノズル検査工程において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置を中心にして隣接する位置に前記液状体を配置する３個以上の吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することが好ましい。
【００１８】
この膜形成方法によれば、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体が配置される予定の位置に隣接する位置に液状体を配置する吐出ノズルの吐出量を決定する。隣接した位置に配置された液状体は互いに混じり合い易いため、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体と、吐出量決定工程において吐出量が決定された吐出ノズルから吐出された液状体とが互いに混じり合い、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルからの吐出量の過不足を補って均等な膜を形成し易くすることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記３個以上の吐出ノズルそれぞれが前記液状体を配置する位置と、前記吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置との距離によって按分し前記液状体の吐出量を決定することが好ましい。
【００２０】
この膜形成方法によれば、３個以上の吐出ノズルのそれぞれにおける吐出量を決定することで、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから配置された液状体とより混じり合い易くすることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を、吐出状態が適正ではないと判定された前記吐出ノズルが前記液状体を吐出しない状態で、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記膜形成領域に吐出される前記液状体の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することが好ましい。
【００２２】
この膜形成方法によれば、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルは、描画吐出に際して吐出量がゼロになる。これにより、吐出量を決定するために、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルの実際の吐出量を測定することを不要にすることができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記ノズル検査工程は、前記各吐出ノズルが吐出する吐出量を測定する吐出量測定工程を含み、前記吐出量決定工程は、前記吐出量測定工程における前記各吐出ノズルの吐出量に応じて、前記各吐出ノズルの吐出量を決定することが好ましい。
【００２４】
この膜形成方法によれば、吐出量測定工程を実施することによって、それぞれの吐出ノズルの吐出量を測定して、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルの吐出量の過不足量を明確にすることができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記ノズル検査工程は、前記各吐出ノズルから吐出された液滴が着弾した状態を判断する工程を含むことが好ましい。
【００２６】
この膜形成方法によれば、着弾液滴円の面積によって、一回の吐出量が適切であるか否かを判定することができる。適切な吐出量の場合における着弾液滴円の面積と比べて、着弾液滴円の面積が小さい場合は吐出量が過少であり、大きい場合は吐出量が過多であると判定できる。在るべき位置に着弾液滴円がない場合には、吐出ノズルから液状体が吐出されない状態になっていると判定できる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかる膜形成方法において、前記ノズル検査工程は、前記各吐出ノズルから吐出された液滴の重量を測定する重量測定工程を含むことが好ましい。
【００２８】
この膜形成方法によれば、吐出された液状体の重量を測定することによって、適正な量の液状体が吐出されているかを検証することができる。
【００２９】
［適用例１２］本適用例にかかる膜形成装置は、複数の吐出ノズルと、前記複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させる相対移動装置とを備え、前記相対移動装置によって前記複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させながら、前記複数の吐出ノズルから膜の材料を含む液状体を吐出して、前記基材上の膜形成領域に前記液状体を配置する膜形成装置であって、前記各吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査手段と、前記ノズル検査手段による検査結果に応じて、前記各吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定する吐出量決定手段と、を備え、前記吐出量決定手段は、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記膜形成領域に吐出される前記液状体の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする。
【００３０】
この膜形成装置によれば、吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査手段によって、吐出ノズルから液状体が正常に吐出されているか否かを検出することができることから、吐出量決定手段は、吐出状態が不良の吐出ノズルが有った場合に対応した吐出量を決定することができる。
吐出量決定手段は、それぞれの吐出ノズルが吐出する液状体の吐出量を、複数の吐出ノズルと基材との一回の相対移動の間に、複数の吐出ノズルが基材上の膜を形成する領域に向けて吐出する液状体の総量が、所定の量となる吐出量に決定する。所定の量は、一回の相対移動の間に第一の複数の吐出ノズルによって第一の領域に向けて吐出することが必要な液状体の総量である。これにより、正常な吐出ができない吐出ノズルが存在しても、適正な量の液状体を、基材に配置することができる。一回の相対移動の間に吐出する液状体の総量が適正な量となるため、異なる走査において吐出量を決定して、当該吐出量を吐出する場合に比べて、予め定められた適切なタイミングを損なうことなく、適正な量の液状体を配置することができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記吐出量決定手段は、前記各吐出ノズルが前記液状体を吐出する吐出数を決定することことが好ましい。
【００３２】
この膜形成装置によれば、吐出数を決定することによって、吐出ノズルが液状体を吐出する吐出数と吐出一回あたりの吐出量との積である吐出ノズルが吐出する液状体の吐出量を決定することができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記吐出量決定手段は、前記各吐出ノズルが前記液状体を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量を決定することが好ましい。
【００３４】
この膜形成装置によれば、吐出一回あたりの吐出量を決定することによって、吐出ノズルが液状体を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量と吐出数との積である吐出ノズルが吐出する液状体の吐出量を決定することができる。
【００３５】
［適用例１５］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記吐出量決定手段は、前記ノズル検査手段において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置と隣接する位置に前記液状体を配置する吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することが好ましい。
【００３６】
この膜形成装置によれば、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体が配置される予定の位置に隣接する位置に液状体を配置する吐出ノズルの吐出量を決定する。隣接した位置に配置された液状体は互いに混じり合い易いため、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体と、吐出量決定手段によって吐出量が決定された吐出ノズルから吐出された液状体とが互いに混じり合い、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルからの吐出量の過不足を補って均等な膜を形成し易くすることができる。
単一の吐出ノズルにおいて吐出量を決定するため、多くの吐出ノズルについて決定し、それを実現する吐出実施する場合に比べて、吐出ノズルを制御する制御装置の負荷を小さくすることができる。
【００３７】
［適用例１６］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記吐出量決定手段は、前記ノズル検査手段において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置を挟んで隣接する位置に前記液状体を配置する２個の吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することが好ましい。
【００３８】
この膜形成装置によれば、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体が配置される予定の位置に隣接する位置に液状体を配置する吐出ノズルの吐出量を決定する。隣接した位置に配置された液状体は互いに混じり合い易いため、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体と、吐出量決定手段によって吐出量が決定された吐出ノズルから吐出された液状体とが互いに混じり合い、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルからの吐出量の過不足を補って均等な膜を形成し易くすることができる。
【００３９】
［適用例１７］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記吐出量決定手段は、前記ノズル検査手段において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置を中心にして隣接する位置に前記液状体を配置する３個以上の吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することが好ましい。
【００４０】
この膜形成装置によれば、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体が配置される予定の位置に隣接する位置に液状体を配置する吐出ノズルの吐出量を決定する。隣接した位置に配置された液状体は互いに混じり合い易いため、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから吐出された液状体と、吐出量決定手段によって吐出量が決定された吐出ノズルから吐出された液状体とが互いに混じり合い、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルからの吐出量の過不足を補って均等な膜を形成し易くすることができる。
【００４１】
［適用例１８］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記３個以上の吐出ノズルそれぞれが前記液状体を配置する位置と、前記吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置との距離によって按分し前記液状体の吐出量を決定することが好ましい。
【００４２】
この膜形成装置によれば、３個以上の吐出ノズルのそれぞれにおける吐出量を決定することで、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルから配置された液状体とより混じり合い易くすることができる。
【００４３】
［適用例１９］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記吐出量決定手段は、前記各吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を、吐出状態が適正ではないと判定された前記吐出ノズルが前記液状体を吐出しない状態で、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記膜形成領域に吐出される前記液状体の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することが好ましい。
【００４４】
この膜形成装置によれば、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルは、描画吐出に際して吐出量がゼロになる。これにより、吐出量を決定するために、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルの実際の吐出量を測定することを不要にすることができる。
【００４５】
［適用例２０］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記ノズル検査手段は、前記各吐出ノズルが吐出する吐出量を測定する吐出量測定手段を含み、前記吐出量決定手段は、前記吐出量測定手段によって測定された前記各吐出ノズルの吐出量に応じて、前記各吐出ノズルの吐出量を決定することが好ましい。
【００４６】
この膜形成装置によれば、吐出量測定工程を実施することによって、それぞれの吐出ノズルの吐出量を測定して、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルの吐出量の過不足量を明確にすることができる。
【００４７】
［適用例２１］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記ノズル検査手段は、前記各吐出ノズルから吐出された液滴が着弾した状態を判断する手段を含むことが好ましい。
【００４８】
この膜形成装置によれば、着弾液滴円の面積によって、一回の吐出量が適切であるか否かを判定することができる。適切な吐出量の場合における着弾液滴円の面積と比べて、着弾液滴円の面積が小さい場合は吐出量が過少であり、大きい場合は吐出量が過多であると判定できる。在るべき位置に着弾液滴円がない場合には、吐出ノズルから液状体が吐出されない状態になっていると判定できる。
【００４９】
［適用例２２］上記適用例にかかる膜形成装置において、前記ノズル検査手段は、前記各吐出ノズルから吐出された液滴の重量を測定する重量測定手段を含むことが好ましい。
【００５０】
この膜形成装置によれば、吐出された液状体の重量を測定することによって、適正な量の液状体が吐出されているかを検証することができる。
【００５１】
［適用例２３］本適用例にかかる液晶装置の製造方法は、複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させながら、前記複数の吐出ノズルから液晶装置を構成する機能膜の材料を含む機能液を吐出し、前記基材上の機能膜形成領域に機能膜を形成する液晶装置の製造方法であって、前記各吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程と、前記ノズル検査工程における検査結果に応じて、前記各吐出ノズルが吐出する前記機能液の吐出量を決定する吐出量決定工程とを有し、前記吐出量決定工程では、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記機能膜形成領域に吐出される前記機能液の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする。
【００５２】
この液晶装置の製造方法によれば、吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程を有することで、吐出ノズルから機能液が正常に吐出されているか否かを検出することができることから、吐出量決定工程において、吐出状態が不良の吐出ノズルが有った場合に対応した吐出量を決定することができる。
吐出量決定工程において、それぞれの吐出ノズルが吐出する機能液の吐出量を、複数の吐出ノズルと基材との一回の相対移動の間に、複数の吐出ノズルが基材上の機能膜形成領域に向けて吐出する機能液の総量が、所定量となる吐出量に決定する。所定量は、一回の相対移動の間に複数の吐出ノズルによって機能膜形成領域に向けて吐出することが必要な機能液の総量である。これにより、正常な吐出ができない吐出ノズルが存在しても、適正な量の機能液を、基材に配置することができる。一回の相対移動の間に吐出する機能液の総量が適正な量となるため、異なる走査において吐出量を決定し、当該吐出量を吐出する場合に比べて、予め定められた適切なタイミングを損なうことなく、適正な量の機能液を配置することができる。適切なタイミングで、適正な量の機能液を配置することによって、液晶装置において、適切な膜厚と平面形状とを有する液晶装置の機能膜を形成することができる。
【００５３】
［適用例２４］上記適用例にかかる液晶装置の製造方法において、前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが前記機能液を吐出する吐出数を決定することが好ましい。
【００５４】
この液晶装置の製造方法によれば、吐出数を決定することによって、吐出ノズルが機能液を吐出する吐出数と吐出一回あたりの吐出量との積である吐出ノズルが吐出する機能液の吐出量を決定することができる。
【００５５】
［適用例２５］上記適用例にかかる液晶装置の製造方法において、前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが前記機能液を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量を決定することが好ましい。
【００５６】
この液晶装置の製造方法によれば、吐出一回あたりの吐出量を決定することによって、吐出ノズルが機能液を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量と吐出数との積である吐出ノズルが吐出する機能液の吐出量を決定することができる。
【００５７】
［適用例２６］上記適用例にかかる液晶装置の製造方法において、前記機能膜は、前記液晶装置を構成する配向膜であることが好ましい。
【００５８】
この液晶装置の製造方法によれば、適切なタイミングで、適正な量の機能液を配置することによって、液晶装置において、適切な膜厚と平面形状とを有する液晶装置の配向膜を形成することができる。
【００５９】
［適用例２７］本適用例にかかる液晶装置の製造装置は、複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させる相対移動装置とを備え、前記相対移動装置によって前記複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させながら、前記複数の吐出ノズルから液晶装置を構成する機能膜の材料を含む機能液を吐出して、前記基材上の機能膜形成領域に前記機能液を配置する液晶装置の製造装置であって、前記各吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査手段と、前記ノズル検査手段による検査結果に応じて、前記各吐出ノズルが吐出する前記機能液の吐出量を、決定する吐出量決定手段とを備え、前記吐出量決定手段は、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記機能膜形成領域に吐出される前記機能液の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする。
【００６０】
この液晶装置の製造装置によれば、吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査手段によって、吐出ノズルから機能液が正常に吐出されているか否かを検出することができることから、吐出量決定手段は、吐出状態が不良の吐出ノズルが有った場合に対応した吐出量を決定することができる。
吐出量決定手段は、それぞれの吐出ノズルが吐出する機能液の吐出量を、複数の吐出ノズルと基材との一回の相対移動の間に、複数の吐出ノズルが基材上の膜を形成する領域に向けて吐出する機能液の総量が所定量となる吐出量に決定する。所定量は、一回の相対移動の間に複数の吐出ノズルによって機能膜形成領域に向けて吐出することが必要な機能液の総量である。これにより、正常な吐出ができない吐出ノズルが存在しても、適正な量の機能液を、基材に配置することができる。一回の相対移動の間に吐出する機能液の総量が適正な量となるため、異なる走査において吐出量を決定し、当該吐出量の吐出を実施する場合に比べて、予め定められた適切なタイミングを損なうことなく、適正な量の機能液を配置することができる。適切なタイミングで、適正な量の機能液を配置することによって、液晶装置において、適切な膜厚と平面形状とを有する液晶装置の機能膜を形成することができる。
【００６１】
［適用例２８］上記適用例にかかる液晶装置の製造装置において、前記機能膜は、前記液晶装置を構成する配向膜であることが好ましい。
【００６２】
この液晶装置の製造装置によれば、適切なタイミングで、適正な量の機能液を配置することによって、液晶装置において、適切な膜厚と平面形状とを有する液晶装置の配向膜を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６３】
以下、膜形成方法、膜形成装置、液晶装置の製造方法、及び液晶装置の製造装置の一実施形態について図面を参照して、説明する。実施形態は、膜形成装置又は液晶装置の製造装置の一例である液滴吐出装置を例に説明する。
【００６４】
（第一の実施形態）
本実施形態に係る液滴吐出装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、樹脂を含む機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用い、描画対象物上に当該機能液を配置することで、液晶装置の配向膜などを形成するものである。
【００６５】
＜液滴吐出法＞
最初に、配向膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ²程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００６６】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成などに影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式を用いる。
【００６７】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。
【００６８】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図４参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０（図６参照）と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６（図６参照）とを備えている。
吐出ユニット２は、液状体である機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を１２０個備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。給液ユニット６０は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。吐出装置制御部６は、これら各機構部などを総括的に制御する。後述する重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６による制御に基づいて実施される。吐出装置制御部６が、吐出量決定手段、又は描画制御手段に相当する。
【００６９】
液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。Ｙ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、それぞれ１２個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を、１０個備えている。１０個のキャリッジユニット５１は、１０個のブリッジプレート５２のそれぞれに吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させ、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを描画する。
【００７０】
吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２（図２参照）とを有している。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられたブロックを、吐出検査ブロック４ａと表記する。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３（図２参照）と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４（図２参照）と、を有している。カメラ移動機構１６４は、Ｙ軸支持ベース７に固定されている。２個の検査カメラ１６３は、カメラ移動モータ（図２では図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。
【００７１】
メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、液滴吐出ヘッド１７を吸引して、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８（図４参照）から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図４参照）を拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るための保守作業を実施する。
【００７２】
次に、液滴吐出装置１の各構成要素について、図１に加えて、図２及び図３を参照して説明する。図２及び図３は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。図２は、Ｘ軸方向に延在する側面の側面図であり、図３は、Ｙ軸方向に延在する側面の側面図である。
図１、図２、又は図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている。
【００７３】
Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられた吐出検査ブロック４ａが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。
【００７４】
ワーク載置台２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２などを有している。図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させる。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。また、吸着テーブル３１には、給材されたワークＷをＸ軸方向及びＹ軸方向に寄せこむようにして、これをプリアライメントする機構（図示省略）が組み込まれている。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２を用いて、給除材位置において実施される。ワーク載置台２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１，１２１が添設されている。
【００７５】
画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１，８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）（図示省略）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１，８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。
【００７６】
各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記ロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が実施される。
【００７７】
Ｙ軸テーブル１２は、１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。２０個（１０組）のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１０個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる１組のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２は、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。
【００７８】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００７９】
キャリッジユニット５１は、１２個の液滴吐出ヘッド１７と、１２個の液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するサブキャリッジ５３と、を有するヘッドユニット５４（図５参照）を備えている。また、キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット５４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット５４をブリッジプレート５２に支持させる吊設部材６２と、を備えている。
【００８０】
＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、液滴吐出ヘッド１７について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図である。
【００８１】
図４に示すように、この液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１に連なる方形のヘッド本体７４と、液体導入部７１とヘッド本体７４との間から側方に突出するヘッド基板７３と、を備えている。ヘッド本体７４は、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズル形成プレート７６と、を有している。ノズル形成プレート７６には、ノズル形成面７６ａに開口する吐出ノズル７８が形成されている。液滴吐出ヘッド１７においては、一列あたり１８０個の吐出ノズル７８からなるノズル列７８ｂが２列形成されている。ポンプ部７５には、ピエゾ圧電素子が設けられており、当該ピエゾ圧電素子を駆動することによって、液体導入部７１から供給されてきた機能液を吐出ノズル７８から吐出する。１個の吐出ノズル７８に対応して１個のピエゾ圧電素子が設けられており、それぞれの吐出ノズル７８ごとに独立して機能液を吐出することができる。ヘッド基板７３には、一対のコネクタ７７，７７が設けられている。このコネクタ７７が、ＦＦＣケーブルなどによって、吐出装置制御部６と接続されている中継基板と接続されることで、液滴吐出ヘッド１７が吐出装置制御部６と接続される。
【００８２】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８ｂをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれしている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００８３】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッドユニット５４について、図５を参照して説明する。図５は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。図５に示すように、ヘッドユニット５４は、サブキャリッジ５３と、サブキャリッジ５３に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、サブキャリッジ５３に固定されており、ヘッド本体７４がサブキャリッジ５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル形成面７６ａが、サブキャリッジ５３の面より突出している。図５は、ノズル形成面７６ａ側から見た図である。１２個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ６個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド群５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在している。
【００８４】
一つのヘッド群５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド群５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。即ち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。この直線をノズル群線と表記する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド群５５を構成している。
【００８５】
ヘッドユニット５４が有する二つのヘッド群５５は、Ｙ軸方向に一つのヘッド群５５のＹ軸方向の長さに相当する間隔を隔てて配置されている。即ち、一つのヘッドユニット５４の吐出ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、ノズル群線一本の長さ分の間隔を隔てて、２本のノズル群線が形成される。ヘッドユニット５４を、Ｙ軸方向に、一つのヘッド群５５のＹ軸方向の長さに相当する距離だけ移動させて、同様に２本のノズル群線を形成することで、ノズル群線が４本連なった直線が形成される。当該直線は、設計上では、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８の数の４８倍の数の点が、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８のノズルピッチの半分の間隔で、連なっている。１ノズル列あたり１８０個の吐出ノズル７８が、１４０μｍのノズルピッチで形成されている液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット５４の場合は、８６４０個の点が７０μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
【００８６】
隣合うヘッドユニット５４も、それぞれのヘッド群５５が、互いにＹ軸方向に一つのヘッド群５５分の間隔を隔てて配置されるように位置することが可能である。従って、ノズル群線の長さ相当のＹ軸方向の移動を挟んで、それぞれ、吐出ユニット２が有する各吐出ノズル７８に一滴ずつ機能液を吐出させることで、Ｙ軸方向に延在する一直線を形成することができる。この、吐出ユニット２が有する全１２０個の液滴吐出ヘッド１７が各二回の吐出で描画できるラインの長さは、ワーク載置台２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。
【００８７】
なお、ノズル列７８ｂの端の方における吐出ノズル７８のいくつかを使用しない場合には、使用しない吐出ノズル７８が、使用する吐出ノズル７８と、Ｙ軸方向において重なるように、液滴吐出ヘッド１７を配置する。
【００８８】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
【００８９】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ２ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００９０】
インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶したりしている。
【００９１】
ヘッドドライバ２ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ２ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、θ回転機構６１の駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ２ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００９２】
メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６と、フラッシングユニット１４とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、又はフラッシングユニット１４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。
【００９３】
検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。
【００９４】
給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを含む検出部４２が接続されている。検出部４２の各種センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
【００９５】
＜吐出検査ユニット＞
次に、吐出検査ユニット１８について、図７を参照して説明する。図１を参照して説明したように、吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。図７は、検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図である。
【００９６】
吐出検査ユニット１８は、吐出ユニット２を構成する全液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル７８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものである。検査描画ユニット１６１は、吐出ユニット２を構成する全ヘッドユニット５４が備える全液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル７８から検査吐出された機能液を受けられるように構成されている。撮像ユニット１６２は、検査描画ユニット１６１に描画された検査パターン（着弾ドットのパターン）を撮像して検査する。上述したように、検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、Ｘ軸第２スライダ２３を介してＸ軸テーブル１１に搭載されている。撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２直下で、Ｙ軸支持ベース７に固定されて検査位置に固定的に設けられており、２個の検査カメラ１６３，１６３は、それぞれ独立してＹ軸方向に移動可能である。
【００９７】
図７に示すように、検査描画ユニット１６１は、検査シート１７１と、検査ステージ１７２と、シート送り手段１７３と、シート送り支持部材１７４と、ユニットベース１７５と、真空センサ（図示省略）と、を備えている。検査シート１７１は、液滴吐出ヘッド１７から検査吐出された機能液の液滴を着弾させるための帯状のシートで、Ｙ軸方向に延在している。検査ステージ１７２はＹ軸方向に延在しており、検査ステージ１７２の上に検査シート１７１が載っている。シート送り手段１７３が、非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように、かつ検査シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２から送り出すように、検査シート１７１を移動させる。シート送り手段１７３は、シート送り支持部材１７４に支持されており、シート送り支持部材１７４は、ユニットベース１７５に支持されている。真空センサは、検査ステージ１７２上に載置される検査シート１７１のセット不良を検出する。
【００９８】
図２を参照して説明したように、撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３，１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。検査カメラ１６３は、検査シート１７１に検査吐出された着弾ドットを画像認識するもので、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨む姿勢で、Ｙ軸支持ベース７に固定されたカメラ移動機構１６４を介して、Ｙ軸方向にスライド自在にＹ軸支持ベース７に支持されている。
【００９９】
検査描画ユニット１６１は、吸着テーブル３１が給除材位置に移動したときに、検査シート１７１が撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３に臨む位置に移動して当該位置に位置することが可能である。即ち、撮像ユニット１６２は、ワークＷの載換え中及びアライメント中に、検査パターンの撮像を実施することができる。２個の検査カメラ１６３による撮像結果は、吐出装置制御部６に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル７８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判定される。また、着弾した液滴の相対位置が規定された位置であるか否かが判定される。これらの判定もワーク載換え中及びアライメント中に行われる。吐出検査ユニット１８が、ノズル検査手段、又は吐出検査手段に相当する。
【０１００】
＜重量測定ユニット＞
次に、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４について、図８を参照して説明する。図８は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの図である。図８（ａ）は、重量測定ブロックの平面図であり、図８（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図である。上述したように、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１から構成されている吐出検査ブロック４ａが、Ｘ軸第２スライダ２３に取り付けられており、一体に移動するように構成されている。
【０１０１】
図８に示すように、重量測定ブロック９１Ａは、４つの重量測定装置９１と、支持フレーム９２とを備えている。支持フレーム９２は、４つの重量測定装置９１を支持しており、支持フレーム９２がＸ軸第２スライダ２３に固定されて、重量測定ブロック９１ＡがＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。吐出検査ブロック４ａは、５つの重量測定ブロック９１Ａを有し、合計２０個の重量測定装置９１が、Ｙ軸方向に並んで、Ｘ軸第２スライダ２３に搭載されている。一つの重量測定装置９１が一つのヘッド群５５に対応しており、並列する二つの重量測定装置９１が、一つのヘッドユニット５４に対応している。
【０１０２】
重量測定装置９１は、定期フラッシングボックス９３と、受液容器９４と、電子天秤９９（図８（ａ）では受液容器９４の下に隠れている）と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８と、これらを収容するケース９６と、を有している。定期フラッシングボックス９３と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８とは、フラッシングユニット１４に含まれる。フラッシングユニット１４には、２０個の重量測定装置９１のそれぞれに形成されている、それぞれ２０個の、定期フラッシングボックス９３と、重量測定時フラッシングボックス９５とが含まれる。受液容器９４と、電子天秤９９とは、重量測定ユニット１９に含まれる。重量測定ユニット１９には、２０個の重量測定装置９１のそれぞれに形成されている、それぞれ２０個の、受液容器９４と、電子天秤９９とが含まれる。
【０１０３】
受液容器９４は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１個の液滴吐出ヘッド１７のみに対向して、当該液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。受液容器９４は、電子天秤９９の上に載っており、電子天秤９９は受液容器９４の重量を測定することで、受液容器９４内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した受液容器９４の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて受液容器９４内に着弾した機能液の重量である。
【０１０４】
吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、測定した機能液の重量を積算してＲＡＭ４６に記憶させておき、積算重量が一定量に達すると、受液容器９４の交換指示情報を出す。
【０１０５】
重量測定時フラッシングボックス９５は、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとを有し、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとは、Ｘ軸方向において受液容器９４を挟んで配置されている。ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち１個の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨む位置にあるとき、ヘッド群５５を構成する他の５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂのいずれかに臨む位置に位置する。重量測定対象の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨んで重量測定のための吐出を実施する時に、測定対象外の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂに臨んで、捨て吐出を実施する。
【０１０６】
１個の重量測定装置９１でヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について重量測定を行うため、１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を行っている際に、その他の５個の液滴吐出ヘッド１７はその重量測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態後に重量測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
【０１０７】
定期フラッシングボックス９３は、定期フラッシング時に捨て吐出された機能液を受けるものである。
重量測定時フラッシングボックス９５及び定期フラッシングボックス９３内には、機能液吸収材９７が、その両長辺部を一対の押えプレート９８，９８により押え付けた状態で敷設されている。なお、受液容器９４は、各液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。
【０１０８】
電子天秤９９は、受液容器９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を吐出装置制御部６に出力する。吐出装置制御部６は、電子天秤９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ２ｄから液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。即ち、重量測定結果が目標範囲内の場合は、電圧値を変更することなく、次のワークＷに対する描画を行う。他方、重量測定結果が目標範囲外の場合は、予め求めた印加電圧値と重量測定値との分解能データに基づいて電圧値を変更し、変更後の電圧値で、再度吐出重量測定を行う。この吐出重量測定及び電圧値変更は、重量測定結果が目標の範囲内になるまで、予め定められた繰り返し回数を超えない範囲で、繰り返し行われる。
【０１０９】
＜吐出重量測定＞
次に、図９、及び図１０を参照して、吐出重量測定を実施する一連の動作について説明する。図９は、ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図である。図１０は、液滴吐出ヘッドと重量測定装置との位置関係を示す平面図である。
【０１１０】
図９（ａ）及び図１０（ａ）に示したように、吐出重量測定の開始に際して、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させると共に、Ｙ軸リニアモータによって吐出ユニット２を構成する１０個のヘッドユニット５４をＹ軸方向に移動させる。この操作によって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各受液容器９４を、ヘッドユニット５４の各ヘッド群５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７ａに臨ませる。
次に、各受液容器９４に向けて、各ヘッド群５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７ａの全ノズルから、重量測定吐出を実施する。このとき、各ヘッド群５５の２番目から６番目の液滴吐出ヘッド１７ｂ〜１７ｆは、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。
【０１１１】
液滴吐出ヘッド１７ａの重量測定吐出が終わると、重量測定装置９１をＸ軸方向に移動させて、図９（ｂ）に示したように、各受液容器９４を、重量測定装置９１の移動軌跡上に設けられた風防部材１０１の直下に移動させる。この状態で、電子天秤９９により、受液容器９４に着弾した吐出液滴の重量の測定を行う。重量測定装置９１が風防部材１０１の直下に位置することにより、気流（例えばチャンバルームにおけるダウンフローや乱流など）が風防部材１０１により遮断されるため、電子天秤９９は、気流の影響を受けることなく、正確に吐出重量測定を行うことができる。
【０１１２】
液滴吐出ヘッド１７ａの吐出液滴の吐出重量測定を実施後、２番目の液滴吐出ヘッド１７ｂを受液容器９４に臨ませて、同様にして、重量測定吐出を行う。以下同様にして、各ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について、順次吐出された液滴の重量を測定する。最後に、図１０（ｂ）に示したように、６番目の液滴吐出ヘッド１７ｆを受液容器９４に臨ませて、重量測定吐出を実施し、吐出された液滴の重量を測定する。
重量測定ユニット１９が、ノズル検査手段、又は吐出量測定手段に相当する。
【０１１３】
＜液晶表示パネル＞
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される液晶装置として、液晶表示パネル２００（図１１参照）の構成およびその製造方法について説明する。
【０１１４】
＜液晶表示パネルの構成＞
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図１１を参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【０１１５】
図１１に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１３（ｅ）参照）とを備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０には、貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１と偏光板２３２とが、配設されている。
【０１１６】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、画素電極２１７や、走査線２１２及び信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層を挟んで互いに交差する状態で形成されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４に信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【０１１７】
素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【０１１８】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０５が形成されている。ＣＦ層２０５は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成され、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形の色要素領域２２５が形成されている。色要素領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【０１１９】
ＣＦ層２０５の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【０１２０】
対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
【０１２１】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１２２】
＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１３は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程を示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。
【０１２３】
図１２に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
図１２のステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を形成する。これにより、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形の色要素領域２２５が形成される。
【０１２４】
次に、ステップＳ２では、色要素領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料をそれぞれ充填して、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０５を形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂと、の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。
【０１２５】
次に、ステップＳ３では、ＣＦ層２０５の上に、平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０５の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、ステップＳ４では、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０５の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。
【０１２６】
次に、ステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０５の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ａ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｂ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。
配向膜液２４２は、溶剤に溶解又は分散されたポリイミドを含む液状体である。溶剤としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチルラクトン、ブチルセルソルブ、又はこれらの混合液などを用いる。
【０１２７】
図１２に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
図１２のステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合された状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。
【０１２８】
次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合された状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。
【０１２９】
次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｃ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｄ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。
【０１３０】
次に、ステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせ、図１３（ｅ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。
【０１３１】
＜配向膜の描画パターン＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する過程において、液滴吐出装置１を用いて、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する工程における、描画パターンについて、図１４を参照して説明する。図１４は、マザー対向基板の模式平面図である。図１４に示したＸ軸及びＹ軸は、マザー対向基板２０１Ａが液滴吐出装置１に載置された状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【０１３２】
多数の液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１を用いる際には、一回の相対移動で使用可能な液滴吐出ヘッド１７の割合が多い方が効率的に描画を実施することができる。一回の相対移動で使用可能な液滴吐出ヘッド１７の割合を多くするためには、描画対象物の描画対象領域の副走査方向の幅は、液滴吐出装置１の副走査方向の描画可能範囲に近いことが好ましい。図１４に示したマザー対向基板２０１Ａは、４個のガラス基板２０１を含んでおり、Ｙ軸方向（副走査方向）の幅は、液滴吐出装置１に載置可能なワークの最大幅である。図１４（ａ）に示した配向膜領域２２８ａに配向膜液２４２を着弾させて配向膜２２８を形成する。
【０１３３】
上述したように、液滴吐出装置１は、それぞれのヘッド群５５が、互いにＹ軸方向に一つのヘッド群５５分（ノズル群線の長さ相当）の間隔を隔てて配置されるように位置することが可能である。配向膜領域２２８ａに対向する全ての液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８から配向膜液２４２を吐出しながら、マザー対向基板２０１ＡをＸ軸方向（主走査方向）に移動させることによって、図１４（ｂ）に示したように、幅が概ねノズル群線の長さ相当の幅であるストライプ状配向膜帯２２８ｂが形成される。次に、吐出ユニット２の全ての液滴吐出ヘッド１７をノズル群線の長さ相当だけＹ軸方向に移動させる。その状態で、マザー対向基板２０１ＡをＸ軸方向に移動させることによって、図１４（ｃ）に示したように、ストライプ状配向膜帯２２８ｃが形成される。ストライプ状配向膜帯２２８ｂとストライプ状配向膜帯２２８ｃとで、配向膜２２８が形成される。
ストライプ状配向膜帯２２８ｂ又はストライプ状配向膜帯２２８ｃを形成するために、マザー対向基板２０１Ａ上のそれらを形成する予定位置に配置することが必要な配向膜液２４２は、一回の主走査の間に、一つのヘッド群５５の吐出ノズル７８から吐出されることによって配置される。
素子基板２１０の配向膜２１８も、対向基板２２０の配向膜２２８と同様にして、形成することができる。
素子基板２１０のガラス基板２１１、及び対向基板２２０のガラス基板２０１（マザー対向基板２０１Ａ）が、基材に相当する。素子基板２１０の配向膜２１８、及び対向基板２２０の配向膜２２８が、膜又は機能膜に相当する。
【０１３４】
＜配向膜の描画工程＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する過程において、液滴吐出装置１を用いて、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程について、図１５を参照して説明する。図１５は、描画工程を示すフローチャートである。
【０１３５】
図１５のステップＳ２１では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７から、吐出検査のための検査吐出が実施される。より詳細には、ワーク載置台２１が給除材位置の方向に移動されることによって、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に、吐出検査ブロック４ａが移動可能となる。吐出検査ブロック４ａは、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３を駆動することによって、Ｘ軸方向に移動させられる。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、移動させられるため、吐出検査ブロック４ａとワーク載置台２１とは、それぞれ独立して移動させることができる。
移動中の吐出検査ブロック４ａにおける検査描画ユニット１６１の検査シート１７１が、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれと対向した時点で、当該液滴吐出ヘッド１７から検査シート１７１に向けて、検査吐出が実施される。それぞれの液滴吐出ヘッド１７の吐出タイミングは、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれから吐出されて検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴（以降、「液滴円」と表記する。）が、検査シート１７１上にＹ軸方向に延在する一直線を形成するよう規定されている。吐出検査ブロック４ａは、検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円が形成した一直線が、吐出検査ユニット１８の検査カメラ１６３によって撮像可能となる位置に位置するように移動させられる。
【０１３６】
次に、ステップＳ２２では、検査カメラ１６３によって、検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像を取得する。画像は、それぞれの液滴円について取得され、この画像から、それぞれの液滴円の大きさや着弾位置の情報が得られる。また、検査カメラ１６３による画像取得に並行して、液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７内の配向膜液２４２の状態を一定の状態に維持するための捨て吐出を実施する。検査カメラ１６３が、検査シート１７１に臨むような位置に位置している状態では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に対向している。そのため、液滴吐出ヘッド１７から吐出された配向膜液２４２は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に着弾する。
【０１３７】
次に、ステップＳ２３では、検査カメラ１６３によって取得された検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像から、それぞれの吐出ノズル７８から良好な吐出がなされているか否かを判定する。配向膜液２４２の液滴が着弾して形成された液滴円の有無から、それぞれの吐出ノズル７８が配向膜液２４２を吐出しているか否かが判定できる。液滴円の大きさから、それぞれの吐出ノズル７８からの配向膜液２４２の吐出量が適切か否かが判定できる。ステップＳ２１からステップＳ２３の工程がノズル検査工程に相当する。
なお、本実施形態においては、多数の吐出ノズル７８から一斉に配向膜液２４２を吐出して平面をいわゆる「ベタ塗り」する。「ベタ塗り」状態においては、液滴吐出装置１において発生する可能性があるような大きさの着弾位置のずれが発生しても、着弾した配向膜液２４２が流動することによって配置量が略均等となるため、当該配向膜液２４２を乾燥させることで、適正な配向膜２２８又は配向膜２１８を形成することができる。
【０１３８】
全ての吐出ノズル７８からの吐出が良好であった（ステップＳ２３でＹＥＳ）場合には、ステップＳ３３に進む。ステップＳ２３の次に、ステップＳ３３では、全ての吐出ノズル７８が通常の吐出量の配向膜液２４２を吐出する、通常の描画吐出を実施する。
【０１３９】
吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在した、即ち、全ての吐出ノズル７８からの吐出が、少なくとも一部の吐出ノズル７８では良好ではなかった（ステップＳ２３でＮＯ）場合には、ステップＳ２４に進む。
【０１４０】
ステップＳ２３の次に、ステップＳ２４では、吐出検査ブロック４ａを移動して、重量測定ユニット１９が液滴吐出ヘッド１７に対向するように、重量測定ユニット１９（吐出検査ブロック４ａ）を、位置合わせする。より詳細には、図９及び図１０を参照して説明したように、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させる。それと共に、Ｙ軸リニアモータとＹ軸スライダとによって、吐出ユニット２を構成する１０個のヘッドユニット５４を、Ｙ軸テーブル１２に沿って、Ｙ軸方向に移動させる。これによって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各受液容器９４を、各ヘッド群５５における１個の液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。受液容器９４を臨ませる液滴吐出ヘッド１７は、ステップＳ２３において、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８を有する液滴吐出ヘッド１７である。
【０１４１】
次に、ステップＳ２５では、各ヘッド群５５において受液容器９４に臨んでいる１個の液滴吐出ヘッド１７の吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８から、受液容器９４に向けて、重量測定吐出を実施する。吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８が複数ある場合には、各吐出ノズル７８ごとに個別に重量測定吐出を実施する。受液容器９４に着弾した配向膜液２４２の重量が、電子天秤９９によって測定される。受液容器９４に着弾して電子天秤９９によって測定された配向膜液２４２の重量が、吐出重量である。
このとき、図９及び図１０を参照して説明したように、各ヘッド群５５における受液容器９４に臨んでいない各５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。
【０１４２】
次に、ステップＳ２６では、測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較して、吐出重量の誤差を求め、当該誤差を誤差の規格値と比較して、測定された吐出重量の誤差が規格値に適合するか否かを判定する。
吐出状態が良好ではないと判定され、吐出重量が適正であると判定される場合としては、吐出された液滴が分散して着弾する場合がある。液滴が分散することで、複数の小さい液滴となるため、着弾した液滴からは良好な吐出状態ではないと判定される。しかし、着弾した複数の小さい液滴の総重量は適正な液滴の重量と略等しいため、吐出重量は適正であると判定される。
【０１４３】
吐出重量の誤差が規格値に適合しない場合（ステップＳ２６でＮＯ）には、ステップＳ２７に進む。
ステップＳ２６の次に、ステップＳ２７では、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８について、回復処置を実施することが有効であるか否かを判定する。より詳細には、吐出検査及び吐出重量測定の結果から、吐出状態が良好ではない原因を推定し、有効な回復処置の有無を判定する。
吐出検査において、液滴が着弾して在るべき位置及び当該位置の近傍に液滴円が無い場合は、吐出ノズル７８が詰まっている可能性がある。この場合の近傍は、液滴吐出装置１において、着弾位置がずれる可能性がある範囲である。液滴円が小さい場合は、吐出ノズル７８が詰まりかけている（以降、この状態を「細り」と表記する。）可能性がある。吐出ノズル７８の詰まりや細りは、クリーニングによって解消できる可能性が高い。ノズル詰まりや細りが無い場合は、吐出重量が規定の量からずれて、吐出重量異常が発生していると判定する。吐出重量異常の場合には、液滴吐出ヘッド１７の駆動電圧を調整することで正常な吐出重量にできる可能性がある。
【０１４４】
回復処置を実施することが有効である場合（ステップＳ２７でＹＥＳ）には、ステップＳ２８に進む。
ステップＳ２７の次に、ステップＳ２８では、回復処置を実施する。
吐出状態が良好ではない原因が吐出ノズル７８の詰まりや細りである可能性が高い場合には、吸引ユニット１５による配向膜液２４２の強制排出や、ワイピングユニット１６によるノズル形成面７６ａの拭取などの、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａや吐出ノズル７８のクリーニングを実施する。吐出状態が良好ではない原因が吐出ノズル７８の吐出重量異常である可能性が高い場合には、吐出重量測定の結果から、吐出重量の誤差が、駆動電圧の調整で回復可能な程度であれば、駆動電圧の調整を実施する。
【０１４５】
ステップＳ２８の次は、ステップＳ２４に戻り、回復処置を実施した吐出ノズル７８について、ステップＳ２４からステップＳ２７を繰り返す。
【０１４６】
回復処置を実施することが有効でない場合（ステップＳ２７でＮＯ）には、ステップＳ２９に進む。回復処置を実施することが有効でないと判定される場合には、ステップＳ２８において回復処置を実施しても、適正な吐出重量が回復できなかった場合も含まれる。ステップＳ２８における回復処置を実施しても、適正な吐出重量が回復できないと判定する回復処置の実施回数は、実験などによって求めて、予め定めておくことが好ましい。
回復処置を実施することが有効でないと判定された場合は、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在する場合である。ステップＳ２７の次に、ステップＳ２９では、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８を、ＲＡＭ４６又はハードディスク４８に記憶させて記録する。
ステップＳ２９の次には、ステップＳ３０に進む。
【０１４７】
ステップＳ２６において、吐出重量の誤差が規格値に適合する場合（ステップＳ２６でＹＥＳ）には、ステップＳ３０に進む。
【０１４８】
ステップＳ２６又はステップＳ２９の次に、ステップＳ３０では、各ヘッド群５５における、ステップＳ２３において吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８を有する液滴吐出ヘッド１７の全てについて、吐出重量測定が終了したか否かを判定する。
【０１４９】
各ヘッド群５５における、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８を有する液滴吐出ヘッド１７において、吐出重量測定が終了していない液滴吐出ヘッド１７があった場合（ステップＳ３０でＮＯ）には、ステップＳ２４に戻り、ステップＳ２４からステップＳ２６、又はステップＳ２４からステップＳ２９を繰り返す。
【０１５０】
各ヘッド群５５において吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８を有する液滴吐出ヘッド１７の全てについて、吐出重量測定が終了していた場合（ステップＳ３０でＹＥＳ）には、ステップＳ３１に進む。
【０１５１】
ステップＳ３１では、適切な描画吐出が可能か否かを判定する。より詳細には、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８の存在を考慮して、描画吐出を実行することによって、図１４を参照して説明したような描画を実施することが可能か否かを判定する。図１４を参照して説明したような、描画吐出に際して、吐出ユニット２の全ての液滴吐出ヘッド１７を使用する可能性がある描画吐出を実施するためには、吐出ユニット２の全ての液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が、適切な描画吐出を実施できることが必要である。
【０１５２】
吐出ユニット２の全てのヘッド群５５において、ヘッド群５５が有する吐出ノズル７８が、ステップＳ２６で吐出重量の誤差が規格値に適合すると判定された吐出ノズル７８のみの場合は、吐出ユニット２の全ての液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が、適切な描画吐出を実施でき、吐出ユニット２は、適切な描画吐出が可能であると判定できる。
【０１５３】
吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の吐出重量の誤差は、良好な吐出状態の吐出ノズル７８の吐出量を調整することで、補正する。ステップＳ２９において記録された吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８に対して、当該吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の吐出量の誤差を解消するために用いる吐出状態が良好な吐出ノズル７８が確保できる場合は、総吐出量の補正が可能な場合であって、吐出ユニット２は、適切な描画吐出が可能であると判定できる。
【０１５４】
ステップＳ２９において記録された吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８に対して、当該吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の吐出量の誤差を解消するために用いる吐出状態が良好な吐出ノズル７８が確保できない場合は、総吐出量の補正が不可能な場合であって、吐出ユニット２は、適切な描画吐出が可能でないと判定する。吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の数が多い場合や、数が少なくても、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の分布密度が高い場合などに、誤差を解消するために用いる吐出状態が良好な吐出ノズル７８が確保できない可能性がある。
【０１５５】
適切な描画吐出を実施できる状態ではないと判定された場合（ステップＳ３１でＮＯ）には、描画吐出を中止して、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程を終了する。
【０１５６】
適切な描画吐出を実施できると判定された場合（ステップＳ３１でＹＥＳ）には、ステップＳ３２に進む。
ステップＳ３２では、各吐出ノズル７８ごとにそれぞれの吐出量を指定する、吐出量指定表を作成する。各吐出ノズル７８のそれぞれの吐出量としては、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８が存在することによって生ずる、各ヘッド群５５における総吐出量の誤差を、各ヘッド群５５ごとに補正できる吐出量を指定する。
なお、吐出ユニット２の全てのヘッド群５５において、ヘッド群５５が有する吐出ノズル７８が、ステップＳ２６で吐出重量の誤差が規格値に適合すると判定された吐出ノズル７８のみの場合は、吐出ユニット２の全ての液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が、適切な描画吐出を実施できる。この場合、各吐出ノズル７８のそれぞれの吐出量としては、補正することなく、通常の吐出量を指定する。ステップＳ３２が、吐出量決定工程に相当する。
【０１５７】
ステップＳ３２の次に、ステップＳ３３では、ステップＳ３２で各吐出ノズル７８ごとに規定されたそれぞれの吐出量の配向膜液２４２を吐出する描画吐出を実施する。ステップＳ２６で吐出重量の誤差が規格値に適合すると判定された吐出ノズル７８のみの場合は、通常の吐出量の配向膜液２４２を吐出する描画吐出を実施する。
吐出検査などを実施することなく、描画吐出を連続して実施する期間は、一定の吐出状態が維持できる期間や一定の吐出状態を維持して描画できるワークＷの描画枚数などを、実験などで求めることによって、予め定める。
【０１５８】
ステップＳ３３を実施して、液滴吐出装置１を用いて、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程を終了する。
【０１５９】
＜吐出量の補正＞
次に、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在することによって生ずる、各ヘッド群５５における総吐出量の誤差を補正するために、良好な吐出状態の吐出ノズル７８の吐出量を調整する際の調整量について、図１６を参照して説明する。図１６は、吐出ノズルごとの吐出状態及び吐出量を示す説明図である。
【０１６０】
図１６において、吐出状態が良好な吐出ノズル７８を丸印で示し、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８である不良吐出ノズル７８ｄを「×」印で示している。吐出ノズル７８とマザー対向基板２０１Ａとの相対移動方向（主走査方向）を矢印ａで示している。
上述したように、液滴吐出ヘッド１７において、副走査方向において隣合う吐出ノズル７８は、互いに異なるノズル列７８ｂにそれぞれ形成されているが、図１６では省略して副走査方向に一列に表記している。副走査方向の位置が吐出ノズル７８の位置と略同じである膜液集合２４２ａが、当該吐出ノズル７８から液滴として吐出されて、マザー対向基板２０１Ａに着弾した配向膜液２４２である。
【０１６１】
図１６（ａ）は、吐出状態が良好な吐出ノズルの吐出状態及び吐出量を示す説明図である。図１６（ａ）に示すように、吐出ノズル７８から吐出された配向膜液２４２がマザー対向基板２０１Ａに着弾した膜液集合２４２ａは、マザー対向基板２０１Ａ上に略均等に配置される。配置された膜液集合２４２ａは、それぞれが濡れ広がることで一体になり、一枚の膜状の塊となる。膜状の配向膜液２４２が乾燥することで、略平坦なストライプ状配向膜帯２２８ｂ又はストライプ状配向膜帯２２８ｃなどが形成される。
【０１６２】
図１６（ｂ）は、不良吐出ノズルがある場合の吐出状態及び吐出量を示す説明図である。説明を簡単にするために、不良吐出ノズル７８ｄからは、配向膜液２４２が吐出されないと仮定する。膜液集合２４２ａは、吐出ノズル７８から吐出された瞬間から乾燥を開始しており、着弾した膜液集合２４２ａは、濡れ広がりながら乾燥している。着弾した膜液集合２４２ａが濡れ広がる範囲は、膜液集合２４２ａが流動可能な状態の間に濡れ広がることが可能な範囲である。図１６（ｂ）に示すように、配置された膜液集合２４２ａは、それぞれが濡れ広がるが、配向膜液２４２が吐出されない不良吐出ノズル７８ｄが膜液集合２４２ａを配置するべき部分には、膜液集合２４２ａが濡れ広がらない部分が生ずる可能性が高い。
【０１６３】
図１６（ｃ）は、不良吐出ノズルがある場合に、不良吐出ノズルの副走査方向における両側の吐出ノズルにおいて吐出量を調整する例を示す説明図である。図１６（ｃ）において、吐出ノズル７８１（吐出ノズル７８）とマザー対向基板２０１Ａとの間に記載した数字は、当該吐出ノズル７８１が吐出する膜液集合２４２ａの量の、調整しない状態で吐出する量に対する割合を示している。図１６（ｃ）に示すように、吐出ノズル７８１は、吐出する液滴の大きさが通常の１．５倍に調整されており、膜液集合２４２ａの１．５倍の体積の膜液集合２４２ｂを、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。吐出ノズル７８１が配置する膜液集合２４２ｂの数は、吐出ノズル７８が配置する膜液集合２４２ａの数と同じであり、吐出ノズル７８１は、通常の吐出ノズル７８がマザー対向基板２０１Ａ上に配置する量の１．５倍の量の配向膜液２４２を、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。
膜液集合２４２ｂは体積が膜液集合２４２ａより大きいため、膜液集合２４２ａより広い範囲に濡れ広がる。また、配向膜液２４２が配置されていない、不良吐出ノズル７８ｄが膜液集合２４２ａを配置するべき部分の方に、より容易に濡れ広がる。これにより、不良吐出ノズル７８ｄが膜液集合２４２ａを配置するべき部分には、両側から膜液集合２４２ｂが濡れ広がるため、当該部分にも、マザー対向基板２０１Ａ上の他の部分と略同等の膜厚の配向膜２２８が形成される。
【０１６４】
図１６（ｄ）は、不良吐出ノズルがある場合に、不良吐出ノズルの副走査方向における両側の吐出ノズルにおいて吐出量を調整する例を示す説明図である。図１６（ｄ）において、吐出ノズル７８２（吐出ノズル７８）とマザー対向基板２０１Ａとの間に記載した数字は、当該吐出ノズル７８２が吐出する膜液集合２４２ａの量の、調整しない状態で吐出する量に対する割合を示している。図１６（ｄ）に示すように、吐出ノズル７８２は、通常の１．５倍の数の膜液集合２４２ａを、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。これにより、吐出ノズル７８２は、通常の吐出ノズル７８がマザー対向基板２０１Ａ上に配置する量の１．５倍の量の配向膜液２４２を、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。
吐出ノズル７８２によって配置された配向膜液２４２の量が、吐出ノズル７８が通常配置する量の１．５倍になるため、通常配置された膜液集合２４２ａより広い範囲に濡れ広がる。また、配向膜液２４２が配置されていない、不良吐出ノズル７８ｄが膜液集合２４２ａを配置するべき部分の方に、より容易に濡れ広がる。これにより、不良吐出ノズル７８ｄが膜液集合２４２ａを配置するべき部分には、両側から、図１６（ｄ）に二点鎖線で示したように、膜液集合２４２ａが濡れ広がるため、当該部分にも、マザー対向基板２０１Ａ上の他の部分と略同等の膜厚の配向膜２２８が形成される。
【０１６５】
図１６（ｅ）は、不良吐出ノズルがある場合に、不良吐出ノズルの副走査方向における両側の６個の吐出ノズルにおいて吐出量を調整する例を示す説明図である。図１６（ｅ）において、吐出ノズル７８３（吐出ノズル７８）、吐出ノズル７８４（吐出ノズル７８）、又は吐出ノズル７８５（吐出ノズル７８）と、マザー対向基板２０１Ａとの間に記載した数字は、当該吐出ノズル７８２が吐出する膜液集合２４２ａの量の、調整しない状態で吐出する量に対する割合を示している。
図１６（ｅ）に示すように、吐出ノズル７８３は、通常の１．２５倍の数の膜液集合２４２ａを、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。これにより、吐出ノズル７８３は、通常の吐出ノズル７８がマザー対向基板２０１Ａ上に配置する量の１．２５倍の量の配向膜液２４２を、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。吐出ノズル７８４は、通常の１．２倍の数の膜液集合２４２ａを、マザー対向基板２０１Ａ上に配置することで、通常の吐出ノズル７８がマザー対向基板２０１Ａ上に配置する量の１．２倍の量の配向膜液２４２を、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。吐出ノズル７８５は、通常の１．０５倍の数の膜液集合２４２ａを、マザー対向基板２０１Ａ上に配置することで、通常の吐出ノズル７８がマザー対向基板２０１Ａ上に配置する量の１．０５倍の量の配向膜液２４２を、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。吐出ノズル７８３と吐出ノズル７８４と吐出ノズル７８５とで、１個の通常の吐出ノズル７８がマザー対向基板２０１Ａ上に配置する量の３．５倍の量の配向膜液２４２を、マザー対向基板２０１Ａ上に配置する。
吐出ノズル７８３と吐出ノズル７８４と吐出ノズル７８５とによって配置された配向膜液２４２の量が、１個の吐出ノズル７８が通常配置する量の３．５倍になるため、通常配置された膜液集合２４２ａより広い範囲に濡れ広がる。また、配向膜液２４２が配置されていない、不良吐出ノズル７８ｄが膜液集合２４２ａを配置するべき部分の方に、より容易に濡れ広がる。さらに、吐出ノズル７８３によって配置された配向膜液２４２の量が、吐出ノズル７８が通常配置する量の１．２５倍になるため、通常配置された膜液集合２４２ａより広い範囲に濡れ広がるが、吐出ノズル７８４によって吐出ノズル７８が通常配置する量の１．２倍の配向膜液２４２が配置された側には濡れ広がり難い。これにより、不良吐出ノズル７８ｄが膜液集合２４２ａを配置するべき部分には、両側から、図１６（ｅ）に二点鎖線で示したように、膜液集合２４２ａが濡れ広がるため、当該部分にも、マザー対向基板２０１Ａ上の他の部分と略同等の膜厚の配向膜２２８が形成される。
【０１６６】
第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）ステップＳ３２では、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８が存在することによって生ずる、各ヘッド群５５における総吐出量の誤差を、各ヘッド群５５ごとに補正できる吐出ノズル７８の吐出量を規定する。ステップＳ３３では、ステップＳ３２で各吐出ノズル７８ごとに規定されたそれぞれの吐出量の配向膜液２４２を吐出する描画吐出を実施する。これにより、ヘッド群５５の吐出ノズル７８に吐出が良好ではないものが発生したことに起因する吐出量の誤差を補正することができる。
【０１６７】
（２）描画吐出に先立って吐出検査を実施し、吐出検査の結果に基づいて吐出ノズル７８の吐出量を規定し、吐出ノズル７８ごとに規定されたそれぞれの吐出量の配向膜液２４２を吐出する描画吐出を実施する。これにより、吐出ノズル７８に吐出が良好ではないものが発生したことに起因する吐出量の誤差を補正した描画吐出を実施することができる。
【０１６８】
（３）不良吐出ノズル７８ｄがある場合に、不良吐出ノズル７８ｄの副走査方向における両側の吐出ノズルにおいて吐出量を調整する。吐出量が調整された吐出ノズル７８から吐出された配向膜液２４２は、不良吐出ノズル７８ｄから吐出された配向膜液２４２が着弾して配置されるべき位置に隣接する位置に、着弾する。このため、吐出量が調整された吐出ノズル７８から吐出されて着弾した配向膜液２４２は、不良吐出ノズル７８ｄから吐出された配向膜液２４２が配置されるべき位置に流入し易くなり、均等な膜厚の配向膜２２８又は配向膜２１８を形成し易くすることができる。
【０１６９】
（４）描画吐出に先立って吐出検査を実施し、吐出検査の結果に基づいて吐出ノズル７８の吐出量を規定し、吐出ノズル７８ごとに規定されたそれぞれの吐出量の配向膜液２４２を吐出する描画吐出を実施する。これにより、吐出量の誤差を補正するための吐出を、吐出が良好ではない吐出ノズル７８が吐出を実施するタイミングと略同じタイミングで実施することができる。これにより、配向膜液２４２が着弾するタイミングが、吐出が良好ではない吐出ノズル７８が正常な場合と略同等となる。このため、着弾した配向膜液２４２の乾燥経過が、吐出が良好ではない吐出ノズル７８が正常な場合と補正を実施した場合とで、略同等となり、吐出が良好ではない吐出ノズル７８が発生したことに起因して、配向膜液２４２が着弾した膜液集合２４２ａの乾燥状態が変わることを抑制することができる。
【０１７０】
（第二の実施形態）
次に、膜形成方法、膜形成装置、液晶装置の製造方法、及び液晶装置の製造装置の第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、第一の実施形態と同様に、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、樹脂を含む機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用い、液晶装置の配向膜などを形成するものである。
本実施形態の液滴吐出装置３０１（図１７参照）は、第一の実施形態の液滴吐出装置１と基本的な構成及び機能は共通である。液滴吐出装置３０１の液滴吐出装置１と異なる構成、及び液滴吐出装置３０１を用いて配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程について説明する。
【０１７１】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置３０１の全体構成について、図１７を参照して説明する。図１７は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。
【０１７２】
図１７に示すように、液滴吐出装置３０１は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１と同様に、液滴吐出ヘッド１７を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６とを備えている。液滴吐出装置３０１は、さらに、補正用の吐出ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７を有する補正ユニット３０２を備えている。
メンテナンスユニット５は、Ｘ軸方向に延在するユニット移動機構３０５の上に設けられており、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に臨むことが可能な位置と、補正ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７に臨むことが可能な位置とに移動可能である。
【０１７３】
＜補正ユニット＞
補正ユニット３０２は、２０個の液滴吐出ヘッド１７と、補正用の吐出ヘッドとしての液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させるための補正軸テーブル３１２とを備えている。補正軸テーブル３１２は、支柱を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された補正軸支持ベース３０７の上に配設され、Ｙ軸テーブル１２に並んで、副走査方向（Ｙ軸方向）に延在している。補正ユニット３０２は、それぞれ１個の液滴吐出ヘッド１７を有する補正キャリッジユニット３５１を、２０個備えている。２０個の補正キャリッジユニット３５１は、２０個の補正軸プレート３５２のそれぞれに吊設されている。補正軸プレート３５２は、補正軸スライダ（図示省略）を介して、補正軸テーブル３１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。補正軸テーブル３１２は、補正軸プレート３５２（補正キャリッジユニット３５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。補正軸プレート３５２を駆動するリニアモータの駆動を制御することにより、補正キャリッジユニット３５１を独立させて個別に移動させることが可能である。
Ｘ軸テーブル１１及び補正軸テーブル３１２の駆動と同期して液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させ、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の位置に機能液を配置することができる。
【０１７４】
補正キャリッジユニット３５１は、１個の液滴吐出ヘッド１７と、１個の液滴吐出ヘッド１７を支持する補正ヘッドプレート３５３（図１８参照）と、を有する補正ヘッドユニット３５４（図１８参照）を備えている。また、補正ヘッドプレート３５３は、補正ヘッドユニット３５４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構（図示省略）と、θ回転機構を介して、補正ヘッドユニット３５４を補正軸プレート３５２に支持させる吊設部材（図示省略）と、を備えている。
【０１７５】
＜補正ヘッドユニット＞
次に、補正ヘッドユニット３５４の概略構成、及びヘッドユニット５４に対する補正ヘッドユニット３５４の位置関係について、図１８を参照して説明する。図１８は、補正ヘッドユニットの概略構成、及び補正ヘッドユニットとヘッドユニットとの位置関係を示す平面図である。図１８に示したＸ軸及びＹ軸は、補正ヘッドユニット３５４及びヘッドユニット５４が液滴吐出装置３０１に取り付けられた状態において、図１７に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
図１８に示すように、補正ヘッドユニット３５４は、補正ヘッドプレート３５３と、補正ヘッドプレート３５３に搭載された１個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、補正ヘッドプレート３５３に固定されており、ヘッド本体７４が補正ヘッドプレート３５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル形成面７６ａが、補正ヘッドプレート３５３の面より突出している。図１８は、ノズル形成面７６ａ側から見た図である。液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在している。
【０１７６】
上述したように、補正ヘッドユニット３５４をＹ軸方向に移動させるための補正軸テーブル３１２は、ヘッドユニット５４をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸テーブル１２に並んで、副走査方向（Ｙ軸方向）に延在している。補正ヘッドユニット３５４が補正軸テーブル３１２に、ヘッドユニット５４がＹ軸テーブル１２に、それぞれ支持されて、図１８に示すように、補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７は、ヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７に対して、主走査方向に一定の距離を隔てて配置されている。
副走査方向において、補正ヘッドユニット３５４同士が互いに干渉しない範囲で、補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７は、ヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７に対して任意の位置に位置することが可能である。
この構成により、補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７を、ヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７と同様に使用することができる。即ち、補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７を、ヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７の一部の代用として使用することができる。
より詳細には、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとの主走査方向の相対移動速度と、補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８とヘッドユニット５４の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８との主走査方向の距離と、に基づいて、補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から液滴を吐出する時点を設定する。即ち、ヘッドユニット５４の吐出ノズル７８から液滴を吐出する時点に対して、補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から液滴を吐出する時点を、補正ヘッドユニット３５４及びヘッドユニット５４の吐出ノズル７８間の主走査方向の距離を液滴吐出ヘッド１７とワークＷとの主走査方向の相対移動速度で除した時間だけずらして設定する。ワークＷを主走査方向に一回相対移動させる間に、設定された吐出する時点において、補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から液滴を吐出する。当該時点で補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から吐出された液滴は、ワークＷの主走査方向における当該相対移動の間に、補正ヘッドユニット３５４の当該吐出ノズル７８と副走査方向において同じ位置に位置するヘッドユニット５４の吐出ノズル７８が液滴を配置する位置に、配置される。
【０１７７】
＜配向膜の描画工程＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する過程において、液滴吐出装置３０１を用いて、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程について、図１９を参照して説明する。図１９は、描画工程を示すフローチャートである。
【０１７８】
図１９のステップＳ４１では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７から、吐出検査のための検査吐出が実施される。より詳細には、ワーク載置台２１が給除材位置の方向に移動されることによって、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に、吐出検査ブロック４ａが移動可能となる。吐出検査ブロック４ａは、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３を駆動することによって、Ｘ軸方向に移動させられる。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、移動させられるため、吐出検査ブロック４ａとワーク載置台２１とは、それぞれ独立して移動させることができる。
移動中の吐出検査ブロック４ａにおける検査描画ユニット１６１の検査シート１７１が、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれと対向した時点で、当該液滴吐出ヘッド１７から検査シート１７１に向けて、検査吐出が実施される。それぞれの液滴吐出ヘッド１７の吐出タイミングは、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれから吐出されて検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円が、検査シート１７１上にＹ軸方向に延在する一直線を形成するよう規定されている。吐出検査ブロック４ａは、検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円が形成した一直線が、吐出検査ユニット１８の検査カメラ１６３によって撮像可能となる位置に位置するように移動させられる。
【０１７９】
次に、ステップＳ４２では、検査カメラ１６３によって、検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像を取得する。画像は、それぞれの液滴円について取得され、この画像から、それぞれの液滴円の大きさや着弾位置の情報が得られる。また、検査カメラ１６３による画像取得に並行して、液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７内の配向膜液２４２の状態を一定の状態に維持するための捨て吐出を実施する。検査カメラ１６３が、検査シート１７１に臨むような位置に位置している状態では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に対向している。そのため、液滴吐出ヘッド１７から吐出された配向膜液２４２は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は定期フラッシングボックス９３に着弾する。
【０１８０】
次に、ステップＳ４３では、検査カメラ１６３によって取得された検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像から、それぞれの吐出ノズル７８から良好な吐出がなされているか否かを判定する。配向膜液２４２の液滴が着弾して形成された液滴円の有無から、それぞれの吐出ノズル７８が配向膜液２４２を吐出しているか否かが判定できる。液滴円の大きさから、それぞれの吐出ノズル７８からの配向膜液２４２の吐出量が適切か否かが判定できる。なお、本実施形態においては、多数の吐出ノズル７８から一斉に配向膜液２４２を吐出して平面をいわゆる「ベタ塗り」する。「ベタ塗り」状態においては、液滴吐出装置３０１において発生する可能性があるような大きさの着弾位置のずれが発生しても、着弾した配向膜液２４２が流動することによって配置量が略均等となるため、当該配向膜液２４２を乾燥させることで、適正な配向膜２２８又は配向膜２１８を形成することができる。
【０１８１】
全ての吐出ノズル７８からの吐出が良好であった（ステップＳ４３でＹＥＳ）場合には、ステップＳ５３に進む。ステップＳ４３の次に、ステップＳ５３では、全ての吐出ノズル７８が通常の吐出量の配向膜液２４２を吐出する、通常の描画吐出を実施する。
【０１８２】
吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在した、即ち、全ての吐出ノズル７８からの吐出が、少なくとも一部の吐出ノズル７８では良好ではなかった（ステップＳ４３でＮＯ）場合には、ステップＳ４４に進む。
【０１８３】
ステップＳ４４では、回復処置を実施する。回復処置は、例えば、吸引ユニット１５による配向膜液２４２の強制排出や、ワイピングユニット１６によるノズル形成面７６ａの拭取などの、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａや吐出ノズル７８のクリーニングである。
吐出検査において、在るべき位置及び当該位置の近傍（液滴吐出装置３０１において、着弾位置がずれる可能性がある範囲）に液滴円が無い場合は、吐出ノズル７８が詰まっている可能性がある。液滴円が小さい場合は、吐出ノズル７８が詰まりかけている「細り」の状態である可能性がある。吐出ノズル７８の詰まりや細りは、クリーニングによって解消できる可能性が高い。
【０１８４】
次に、ステップＳ４５では、回復処置を実施した吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７から、吐出検査のための検査吐出を実施する。
【０１８５】
次に、ステップＳ４６では、ステップＳ４２と同様に、検査カメラ１６３によって、検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像を取得する。また、液滴吐出ヘッド１７は、捨て吐出を実施する。
【０１８６】
次に、ステップＳ４７では、ステップＳ４３と同様に、検査カメラ１６３によって取得された検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像から、それぞれの吐出ノズル７８から良好な吐出がなされているか否かを判定する。
【０１８７】
全ての吐出ノズル７８からの吐出が良好であった（ステップＳ４７でＹＥＳ）場合には、ステップＳ５３に進む。この場合は、回復処置によって、全ての吐出ノズル７８が良好な吐出ができる状態に戻った場合である。ステップＳ４７の次に、ステップＳ５３では、全ての吐出ノズル７８が通常の吐出量の配向膜液２４２を吐出する、通常の描画吐出を実施する。
【０１８８】
吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在した、即ち、全ての吐出ノズル７８からの吐出が、少なくとも一部の吐出ノズル７８では良好ではなかった（ステップＳ４７でＮＯ）場合には、ステップＳ４８に進む。
【０１８９】
ステップＳ４８では、適切な描画吐出が可能か否かを判定する。より詳細には、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８の存在を考慮して、描画吐出を実行することによって、第一の実施形態において、図１４を参照して説明したような描画を実施することが可能か否かを判定する。図１４を参照して説明したような、描画吐出に際して、吐出ユニット２の全ての液滴吐出ヘッド１７を使用する可能性がある描画吐出を実施するためには、吐出ユニット２の全ての液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が、適切な描画吐出を実施できることが必要である。
【０１９０】
吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の吐出量の誤差は、補正用ヘッドとしての、補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７の、代替吐出ノズルとしての吐出ノズル７８から配向膜液２４２を吐出することで、補正する。ステップＳ４７において吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８に対して、当該吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の吐出量の誤差を解消するために用いる補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８が確保できる場合は、総吐出量の補正が可能な場合であって、吐出ユニット２は、適切な描画吐出が可能であると判定できる。
【０１９１】
ステップＳ４７において吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８に対して、当該吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の吐出量の誤差を解消するために用いる補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８が確保できない場合は、総吐出量の補正が不可能な場合であって、吐出ユニット２は、適切な描画吐出が可能ではないと判定する。吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８を有する液滴吐出ヘッド１７の数が補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７の数より多い場合には、誤差を解消するために用いる補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８が確保できない可能性がある。数が少なくても、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８を有する液滴吐出ヘッド１７が一つのヘッド群５５に多数存在する場合にも、誤差を解消するために用いる補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８が確保できない可能性がある。
【０１９２】
適切な描画吐出を実施できる状態ではないと判定された場合（ステップＳ４８でＮＯ）には、描画吐出を中止して、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程を終了する。
【０１９３】
適切な描画吐出を実施できると判定された場合（ステップＳ４８でＹＥＳ）には、ステップＳ４９に進む。
ステップＳ４９では、補正用ヘッドとしての補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７を配置する。詳細には、補正ヘッドユニット３５４の液滴吐出ヘッド１７における任意の吐出ノズル７８の副走査方向の位置を、ステップＳ４７において吐出が良好ではないと判定された吐出ノズル７８の副走査方向の位置に、概ね合致させるように、補正ヘッドユニット３５４を位置決めする。吐出が良好ではないと判定された吐出ノズル７８の副走査方向の位置に位置した補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８は、ヘッドユニット５４の吐出ノズル７８と同じ量の配向膜液２４２を吐出するように決定される。
【０１９４】
次に、ステップＳ５０では、ステップＳ４７において吐出が良好である判定された、ヘッドユニット５４の吐出ノズル７８と、ステップＳ４７において吐出が良好ではないと判定された吐出ノズル７８の副走査方向の位置に位置させられた補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８とから、吐出検査のための検査吐出を実施する。補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から吐出させるタイミングは、当該吐出ノズル７８から吐出された配向膜液２４２が、ヘッドユニット５４の吐出ノズル７８から吐出された配向膜液２４２が着弾して形成する、略副走査方向に延在する略一直線上に着弾するように設定する。吐出が良好ではないと判定された吐出ノズル７８は停止して、検査吐出は実施させない。
【０１９５】
次に、ステップＳ５１では、ステップＳ４２と同様に、検査カメラ１６３によって、検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像を取得する。また、液滴吐出ヘッド１７は、捨て吐出を実施する。
【０１９６】
次に、ステップＳ５２では、ステップＳ４３と同様に、検査カメラ１６３によって取得された検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像から、それぞれの吐出ノズル７８から良好な吐出がなされているか否かを判定する。特に、吐出が良好ではない吐出ノズル７８の代替吐出ノズルとしての補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から良好な吐出がなされているか否かを判定する。
【０１９７】
吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在した、即ち、全ての吐出ノズル７８からの吐出が、少なくとも一部の吐出ノズル７８では良好ではなかった（ステップＳ５２でＮＯ）場合には、ステップＳ４８に戻る。この場合は、代替吐出ノズルとして選択した補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８が良好ではなかった可能性が高い。
ステップＳ４８において、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８の吐出量の誤差を解消するために用いる補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８をさらに確保して、適切な描画吐出が可能か否かを判定する。ステップＳ４９において、補正ヘッドユニット３５４の別の吐出ノズル７８を代替吐出ノズルとして選択して、補正ヘッドユニット３５４を位置決めする。さらに、ステップＳ５０からステップＳ５２を繰り返す。
【０１９８】
全ての吐出ノズル７８からの吐出が良好であり、代替吐出ノズルとして選択した補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８からの吐出が良好であった（ステップＳ５２でＹＥＳ）場合には、ステップＳ５３に進む。この場合は、代替吐出ノズルとして選択した補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８を用いることによって、ヘッドユニット５４全ての吐出ノズル７８が良好な吐出ができる状態と同等の描画ができる状態になった場合である。ステップＳ５２の次に、ステップＳ５３では、代替吐出ノズルとして選択した補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８及び吐出が良好であったヘッドユニット５４の吐出ノズル７８を用いて描画吐出を実施する。
吐出検査などを実施することなく、描画吐出を連続して実施する期間は、一定の吐出状態が維持できる期間や一定の吐出状態を維持して描画できるワークＷの描画枚数などを、実験などで求めることによって、予め定める。
【０１９９】
ステップＳ５３を実施して、液滴吐出装置３０１を用いて、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程を終了する。
【０２００】
第二の実施形態によれば、第一の実施形態によって得られる効果に加えて、以下に記載する効果が得られる。
（１）液滴吐出装置３０１は、吐出ユニット２とは別に、液滴吐出ヘッド１７を備える補正ユニット３０２を備えている。吐出ユニット２の吐出ノズル７８に吐出が良好ではないものが発生した場合には、補正ユニット３０２の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８を代替吐出ノズルとして用いることにより、吐出ユニット２の吐出ノズル７８に吐出が良好ではないものが発生したことに起因する吐出量の誤差を補正することができる。
【０２０１】
（２）補正ユニット３０２が備える液滴吐出ヘッド１７は、吐出ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７と同じ液滴吐出ヘッド１７である。これにより、主走査方向の位置が異なることを補正するために吐出タイミングをずらすこと以外は、吐出ユニット２の吐出が良好ではない吐出ノズル７８を駆動する信号と同様の信号を、補正ユニット３０２が備える液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８に送ることによって、代替吐出ノズルとして使用することができる。
【０２０２】
（第三の実施形態）
次に、膜形成方法、膜形成装置、液晶装置の製造方法、及び液晶装置の製造装置の第三の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、第一の実施形態と同様に、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、樹脂を含む機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用い、液晶装置の配向膜などを形成するものである。
本実施形態の液滴吐出装置４０１（図２０参照）は、第一の実施形態の液滴吐出装置１と基本的な構成及び機能は共通である。液滴吐出装置４０１の液滴吐出装置１と異なる構成、及び液滴吐出装置４０１を用いて配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程について説明する。
【０２０３】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置４０１の全体構成について、図２０を参照して説明する。図２０は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。
【０２０４】
図２０に示すように、液滴吐出装置４０１は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１と同様に、液滴吐出ヘッド１７を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０と、検査ユニット４０４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６とを備えている。検査ユニット４０４が、液滴吐出装置１の検査ユニット４とは異なっている。
検査ユニット４０４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット４１９を有しており、重量測定ユニット４１９にはフラッシングユニット４１４が併設されている。
【０２０５】
＜重量測定ブロック＞
次に、重量測定ユニット４１９及びフラッシングユニット４１４について、図２１を参照して説明する。図２１は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの図である。図２１（ａ）は、重量測定ブロックの平面図であり、図２１（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図である。
第一の実施形態において説明した吐出検査ブロック４ａと同様に、重量測定ユニット４１９、フラッシングユニット４１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられた吐出検査ブロック４０４ａが、Ｘ軸第２スライダ２３に取り付けられており、一体に移動するように構成されている。
【０２０６】
図２１に示すように、重量測定ブロック４９１Ａは、２個の重量測定装置４９１と、図示省略した支持フレームとを備えている。支持フレームは、２個の重量測定装置４９１を支持しており、支持フレームがＸ軸第２スライダ２３に固定されることによって、重量測定ブロック４９１ＡがＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。吐出検査ブロック４０４ａは、１０個の重量測定ブロック４９１Ａを有し、合計２０個の重量測定装置４９１が、Ｙ軸方向に並んで、Ｘ軸第２スライダ２３に搭載されている。１個の重量測定装置４９１が一つのヘッド群５５に対応しており、並列する２個の重量測定装置４９１が、１個のヘッドユニット５４に対応している。
【０２０７】
重量測定装置４９１は、複数ヘッド受液容器４９３と、単ヘッド受液容器４９４と、複数ヘッド天秤４９８と、単ヘッド天秤４９９と、重量測定時フラッシングボックス４９５と、機能液吸収材４９７と、を有している。これらが、図示省略した支持フレームに支持されてＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。
【０２０８】
複数ヘッド受液容器４９３は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７に同時に対向可能であって、定期フラッシング時にヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７が一斉に実施する捨て吐出を受ける定期フラッシングボックスとしても使用される。定期フラッシングボックスとしての複数ヘッド受液容器４９３と重量測定時フラッシングボックス４９５と、機能液吸収材４９７とは、フラッシングユニット４１４に含まれる。フラッシングユニット４１４には、２０個の重量測定装置４９１のそれぞれに形成されている、それぞれ２０個の複数ヘッド受液容器４９３と、重量測定時フラッシングボックス４９５とが含まれる。
【０２０９】
ヘッド群５５から吐出される機能液の重量を測定する場合の複数ヘッド受液容器４９３と、複数ヘッド天秤４９８と、単ヘッド受液容器４９４と、単ヘッド天秤４９９とは、重量測定ユニット４１９に含まれる。重量測定ユニット４１９には、２０個の重量測定装置４９１のそれぞれに形成されている、それぞれ２０個の、複数ヘッド受液容器４９３と、複数ヘッド天秤４９８と、単ヘッド受液容器４９４と、単ヘッド天秤４９９とが含まれる。
【０２１０】
＜重量測定ユニット＞
複数ヘッド受液容器４９３は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７に同時に対向して、当該ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。複数ヘッド受液容器４９３は、複数ヘッド天秤４９８の上に載っており、複数ヘッド天秤４９８は複数ヘッド受液容器４９３の重量を測定することで、複数ヘッド受液容器４９３内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した複数ヘッド受液容器４９３の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて複数ヘッド受液容器４９３内に着弾した機能液の重量である。
【０２１１】
吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、液滴吐出ヘッド１７から複数ヘッド受液容器４９３に向けて吐出された機能液の吐出数を積算してＲＡＭ４６又はハードディスク４８に記憶させておき、積算重量が一定量に達すると、複数ヘッド受液容器４９３の交換指示情報を出す。
【０２１２】
単ヘッド受液容器４９４は、第一の実施形態において説明した受液容器９４と同様に、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１個の液滴吐出ヘッド１７のみに対向して、当該液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。単ヘッド受液容器４９４は、単ヘッド天秤４９９の上に載っており、単ヘッド天秤４９９は、第一の実施形態において説明した電子天秤９９と同様に、単ヘッド受液容器４９４の重量を測定することで、単ヘッド受液容器４９４内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した単ヘッド受液容器４９４の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて単ヘッド受液容器４９４内に着弾した機能液の重量である。
【０２１３】
吐出装置制御部６のＣＰＵ４４は、単ヘッド天秤４９９が測定した機能液の重量を積算してＲＡＭ４６に記憶させておく。ＣＰＵ４４は、積算重量が一定量に達すると、単ヘッド受液容器４９４の交換指示情報を出す。
【０２１４】
単ヘッド天秤４９９は、単ヘッド受液容器４９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を吐出装置制御部６に出力する。吐出装置制御部６は、単ヘッド天秤４９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ２ｄから液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。即ち、重量測定結果が目標範囲内の場合は、電圧値を変更することなく、次のワークＷに対する描画を行う。他方、重量測定結果が目標範囲外の場合は、予め求めた印加電圧値と重量測定値との分解能データに基づいて電圧値を変更し、変更後の電圧値で、再度吐出重量測定を行う。
【０２１５】
＜フラッシングユニット＞
重量測定時フラッシングボックス４９５は、重量測定時フラッシングボックス４９５ａと重量測定時フラッシングボックス４９５ｂとを有し、重量測定時フラッシングボックス４９５ａと重量測定時フラッシングボックス４９５ｂとが、Ｘ軸方向において単ヘッド受液容器４９４を挟んで配置されている。ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち１個の液滴吐出ヘッド１７が単ヘッド受液容器４９４に臨む位置にあるとき、ヘッド群５５を構成する他の５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス４９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス４９５ｂのいずれかに臨む位置に位置する。吐出重量測定を実施する対象の液滴吐出ヘッド１７が単ヘッド受液容器４９４に臨んで吐出重量測定のための吐出を実施する時に、測定対象外の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス４９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス４９５ｂに臨んで、捨て吐出を実施する。
【０２１６】
１個の重量測定装置４９１でヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について吐出重量測定を行うため、１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を行っている際に、その他の５個の液滴吐出ヘッド１７はその重量測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態後に重量測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
重量測定時フラッシングボックス４９５及び複数ヘッド受液容器４９３内には、機能液吸収材４９７が、敷設されている。なお、単ヘッド受液容器４９４は、各液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。
【０２１７】
上述したように、複数ヘッド受液容器４９３は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７に同時に対向可能であって、定期フラッシング時にヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７が一斉に実施する捨て吐出を受ける定期フラッシングボックスとしても使用される。
【０２１８】
＜吐出重量測定＞
次に、図２２を参照して、複数の液滴吐出ヘッド１７について一斉に吐出重量測定を実施する一連の動作について説明する。図２２は、ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す説明図である。図２２（ａ）及び（ｃ）は、ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図であり、図２２（ｂ）は、ヘッドユニットの液滴吐出ヘッドと重量測定装置の複数ヘッド受液容器との位置関係を示す平面図である。
【０２１９】
ワークＷの給材などの描画処理休止時には、図２２（ａ）に示すように、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させることで、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置４９１の各複数ヘッド受液容器４９３を、ヘッドユニット５４に臨ませる。そして、図２２（ｂ）に示すように、ヘッドユニット５４のヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッドが、複数ヘッド受液容器４９３に臨んでいる状態にする。
図２２（ａ）及び（ｂ）に示した位置で、ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７は重量測定吐出を実施し、吐出された機能液は、複数ヘッド受液容器４９３に着弾する。
【０２２０】
ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７の重量測定吐出が終わると、重量測定装置４９１をＸ軸方向に移動させて、図２２（ｃ）に示したように、各複数ヘッド受液容器４９３を、重量測定装置４９１の移動軌跡上に設けられた風防部材１０１の直下に移動させる。この状態で、複数ヘッド天秤４９８により、複数ヘッド受液容器４９３に着弾した吐出液滴の重量の測定を行う。重量測定装置４９１が風防部材１０１の直下に位置することにより、気流（例えばチャンバルームにおけるダウンフローや乱流など）が風防部材１０１により遮断されるため、複数ヘッド天秤４９８は、気流の影響を受けることなく、正確に重量測定を行うことができる。
【０２２１】
なお、定期フラッシングを実施する場合は、ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッドが、複数ヘッド受液容器４９３に臨んでいる状態での液滴吐出ヘッド１７からの機能液の吐出を実施し、複数ヘッド天秤４９８による重量の測定は実施しない。この場合の液滴吐出ヘッド１７からの機能液の吐出は、捨て吐出である。この場合は、複数ヘッド受液容器４９３が、定期フラッシングボックスとして使用されている場合である。
【０２２２】
単ヘッド受液容器４９４及び単ヘッド天秤４９９を用いて個別の液滴吐出ヘッド１７について吐出重量測定を実施する一連の動作は、第一の実施形態において、図９、及び図１０を参照して説明した、受液容器９４及び電子天秤９９を用いて個別の液滴吐出ヘッド１７について吐出重量測定を実施する一連の動作と同様である。
【０２２３】
＜配向膜の描画工程＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する過程において、液滴吐出装置４０１を用いて、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程について、図２３を参照して説明する。図２３は、描画工程を示すフローチャートである。
【０２２４】
図２３のステップＳ６１では、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７から、吐出検査のための検査吐出が実施される。より詳細には、ワーク載置台２１が給除材位置の方向に移動されることによって、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に、吐出検査ブロック４０４ａが移動可能となる。吐出検査ブロック４０４ａは、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３を駆動することによって、Ｘ軸方向に移動させられる。ワーク載置台２１は、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第１スライダ２２を駆動することで、移動させられるため、吐出検査ブロック４０４ａとワーク載置台２１とは、それぞれ独立して移動させることができる。
移動中の吐出検査ブロック４０４ａにおける検査描画ユニット１６１の検査シート１７１が、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれと対向した時点で、当該液滴吐出ヘッド１７から検査シート１７１に向けて、検査吐出が実施される。それぞれの液滴吐出ヘッド１７の吐出タイミングは、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれから吐出されて検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円が、検査シート１７１上にＹ軸方向に延在する一直線を形成するよう規定されている。
【０２２５】
次に、ステップＳ６２では、ステップＳ６１を実施して移動している吐出検査ブロック４０４ａをそのまま移動して、複数ヘッド受液容器４９３がヘッド群５５の液滴吐出ヘッド１７に対向するように、重量測定装置４９１（吐出検査ブロック４０４ａ）を、位置合わせする。
より詳細には、図２２を参照して説明したように、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させる。それと共に、Ｙ軸リニアモータとＹ軸スライダとによって、吐出ユニット２を構成する１０個のヘッドユニット５４を、Ｙ軸テーブル１２に沿って、Ｙ軸方向に移動させる。これによって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置４９１の各複数ヘッド受液容器４９３を、各ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。
複数ヘッド受液容器４９３を、各ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７に臨ませた状態では、検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円が形成した一直線が、吐出検査ユニット１８の検査カメラ１６３によって撮像可能となる位置に位置する状態となる。
【０２２６】
次に、ステップＳ６３では、検査カメラ１６３によって、検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像を取得する。画像は、それぞれの液滴円について取得され、この画像から、それぞれの液滴円の大きさや着弾位置の情報が得られる。
また、検査カメラ１６３による画像取得に並行して、複数の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８について一斉に重量測定吐出を実施する。上述したように、検査カメラ１６３が、検査シート１７１に臨むような位置に位置している状態で、吐出ユニット２の各ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７が、複数ヘッド受液容器４９３に対向している。そのため、液滴吐出ヘッド１７から吐出された配向膜液２４２は、ヘッド群５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７ごとに、１個の複数ヘッド受液容器４９３に着弾する。
図２２を参照して説明したように、複数ヘッド受液容器４９３に着弾した配向膜液２４２の重量が、複数ヘッド天秤４９８によって測定される。ヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７が有する全ての吐出ノズル７８の吐出重量が、１回の測定で測定される。
【０２２７】
次に、ステップＳ６４では、検査カメラ１６３によって取得された検査シート１７１に着弾した配向膜液２４２の液滴円の画像から、それぞれの吐出ノズル７８から良好な吐出がなされているか否かを判定する。配向膜液２４２の液滴が着弾して形成された液滴円の有無から、それぞれの吐出ノズル７８が配向膜液２４２を吐出しているか否かが判定できる。液滴円の大きさから、それぞれの吐出ノズル７８からの配向膜液２４２の吐出量が適切か否かが判定できる。なお、本実施形態においては、多数の吐出ノズル７８から一斉に配向膜液２４２を吐出して平面をいわゆる「ベタ塗り」する。「ベタ塗り」状態においては、液滴吐出装置４０１において発生する可能性があるような大きさの着弾位置のずれが発生しても、着弾した配向膜液２４２が流動することによって配置量が略均等となるため、当該配向膜液２４２を乾燥させることで、適正な配向膜２２８又は配向膜２１８を形成することができる。
【０２２８】
全ての吐出ノズル７８からの吐出が良好であった（ステップＳ６４でＹＥＳ）場合には、ステップＳ７１に進む。ステップＳ６４の次に、ステップＳ７１では、全ての吐出ノズル７８が通常の吐出量の配向膜液２４２を吐出する、通常の描画吐出を実施する。
【０２２９】
吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在した、即ち、全ての吐出ノズル７８からの吐出が、少なくとも一部の吐出ノズル７８では良好ではなかった（ステップＳ６４でＮＯ）場合には、ステップＳ６５に進む。
ステップＳ６５では、ステップＳ６４において、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在すると判定されたヘッド群５５について、ステップＳ６３において測定された吐出重量を吐出重量の規格値と比較して、吐出重量の誤差を求め、当該誤差を誤差の規格値と比較して、測定された吐出重量の誤差が規格値に適合するか否かを判定する。
【０２３０】
吐出重量の誤差が規格値に適合する場合（ステップＳ６５でＹＥＳ）には、ステップＳ７１に進む。ステップＳ６５の次に、ステップＳ７１では、全ての吐出ノズル７８が通常の吐出量の配向膜液２４２を吐出する、通常の描画吐出を実施する。
【０２３１】
吐出重量の誤差が規格値に適合しない場合（ステップＳ６５でＮＯ）には、ステップＳ６６に進む。
ステップＳ６６は、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８を含むヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について、回復処置を実施することが有効であるか否かを判定する。より詳細には、吐出検査及び吐出重量測定の結果から、吐出状態が良好ではない原因を推定し、有効な回復処置の有無を判定する。
吐出検査において、液滴が着弾して在るべき位置及び当該位置の近傍に液滴円が無い場合は、吐出ノズル７８が詰まっている可能性がある。この場合の近傍は、液滴吐出装置４０１において、着弾位置がずれる可能性がある範囲である。液滴円が小さい場合は、吐出ノズル７８が詰まりかけている「細り」の状態である可能性がある。吐出ノズル７８の詰まりや細りは、クリーニングによって解消できる可能性が高い。
ノズル詰まりや細りが無い場合は、吐出重量が規定の量からずれて、吐出重量異常が発生していると判定する。吐出重量異常の場合には、液滴吐出ヘッド１７の駆動電圧を調整することで正常な吐出重量にできる可能性がある。
【０２３２】
回復処置を実施することが有効である場合（ステップＳ６６でＹＥＳ）には、ステップＳ６７に進む。
ステップＳ６７では、回復処置を実施する。
吐出状態が良好ではない原因が吐出ノズル７８の詰まりや細りである可能性が高い場合には、吸引ユニット１５による配向膜液２４２の強制排出や、ワイピングユニット１６によるノズル形成面７６ａの拭取などの、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａや吐出ノズル７８のクリーニングを実施する。
吐出状態が良好ではない原因が吐出ノズル７８の吐出重量異常である可能性が高い場合には、ステップＳ６４において吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８について、駆動電圧の調整を実施する。ステップＳ６３で実施したヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８の吐出重量測定の結果と、ステップＳ６４において吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８の数とから、吐出重量の誤差が、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８の駆動電圧の調整で回復可能な程度であれば、駆動電圧の調整を実施する。この場合、ステップＳ６４において吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８について、ヘッド群５５全体の吐出重量の誤差が規格値に適合するように、駆動電圧の調整を実施する。
ステップＳ６７の次は、ステップＳ７０に進む。
【０２３３】
回復処置を実施することが有効でない場合（ステップＳ６６でＮＯ）には、ステップＳ６８に進む。
【０２３４】
ステップＳ６８では、適切な描画吐出が可能か否かを判定する。より詳細には、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８を含むことで吐出重量の誤差が規格値に適合しないヘッド群５５の吐出重量の誤差は、当該ヘッド群５５の全ての吐出ノズル７８について吐出量を一括調整することで、補正する。
当該吐出量の一括調整を実施した回数が少ない場合は、次の調整で吐出重量の誤差が解消できる可能性が有り、適切な描画吐出が可能であると判定する。当該吐出量の一括調整を実施した回数が規格値を超えた場合は、次の調整を実施しても吐出重量の誤差が解消できる可能性が乏しく、適切な描画吐出が可能ではないと判定する。一括調整を実施すること吐出重量の誤差が解消できると判定する回数の規格値は、実験などによって、予め求める。
【０２３５】
適切な描画吐出を実施できる状態ではないと判定された場合（ステップＳ６８でＮＯ）には、描画吐出を中止して、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程を終了する。
【０２３６】
適切な描画吐出を実施することが可能であると判定された場合（ステップＳ６８でＹＥＳ）には、ステップＳ６９に進む。
ステップＳ６９では、ヘッド群５５の総吐出量を調整する。吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が存在することで、吐出重量の誤差が規格値に適合しないヘッド群５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について、全体の吐出重量の誤差が規格値に適合するように、ヘッド群５５の全ての吐出ノズル７８について、吐出重量の調整を実施する。
ステップＳ６９の次は、ステップＳ７０に進む。
【０２３７】
ステップＳ６７又はステップＳ６９の次に、ステップＳ７０では、回復処置又は総吐出量の調整を実施したヘッド群５５について、ステップＳ６３と同様に、複数ノズル重量測定吐出を実施する。
ステップＳ７０の次には、ステップＳ６５に戻り、ステップＳ７０において複数ノズル重量測定吐出を実施したヘッド群５５ついて、ステップＳ６５、ステップＳ６５からステップＳ６８、又はステップＳ６５からステップＳ７０を繰り返す。
上述したように、ステップＳ６５において、吐出重量の誤差が規格値に適合すると判定された場合は、ステップＳ７１に進む。ステップＳ７１では、全ての吐出ノズル７８が通常の吐出量の配向膜液２４２を吐出する、通常の描画吐出を実施する。吐出検査などを実施することなく、描画吐出を連続して実施する期間は、一定の吐出状態が維持できる期間や一定の吐出状態を維持して描画できるワークＷの描画枚数などを、実験などで求めることによって、予め定める。
【０２３８】
ステップＳ７１を実施して、液滴吐出装置４０１を用いて、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する描画工程を終了する。
【０２３９】
第三の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）液滴吐出装置４０１は、複数ヘッド受液容器４９３及び複数ヘッド天秤４９８を備えており、ヘッド群５５の吐出ノズル７８から吐出される配向膜液２４２の重量を一括して測定できる。ヘッド群５５の吐出ノズル７８の中に吐出量が適正ではない吐出ノズル７８が発生した場合には、一括測定の測定結果に基づいて、ヘッド群５５の吐出ノズル７８の吐出量を一括して調整することによって、吐出量が適正ではない吐出ノズル７８が発生したことに起因する吐出量の誤差を補正することができる。
【０２４０】
（２）ヘッド群５５の吐出ノズル７８から吐出される配向膜液２４２の重量を一括して測定するため、それぞれの吐出ノズル７８から吐出される配向膜液２４２の重量を個別に測定する場合に比べて、全ての吐出ノズル７８について測定するための時間を抑制することができる。
【０２４１】
（３）ヘッド群５５の吐出ノズル７８の吐出量を一括して調整することから、調整可能な吐出量が多いため、吐出量の大きな誤差も補正することができる。
【０２４２】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０２４３】
（変形例１）前記実施形態においては、吐出量を補正される吐出ノズル７８は、不良吐出ノズル７８ｄの両側の２個又は６個の吐出ノズル７８、又はヘッド群５５の全吐出ノズル７８であったが、吐出量を補正される吐出ノズル７８は、副走査方向において不良吐出ノズル７８ｄに隣接する１個の吐出ノズル７８であってもよい。また、副走査方向において、不良吐出ノズル７８ｄの両側のうち、一方の側の複数の吐出ノズル７８であってもよい。このような選択のしかたで吐出量を補正される吐出ノズル７８を選択することで、ノズル列全体の一番端の吐出ノズルが不良吐出ノズル７８ｄとなった場合や、副走査方向で隣合う吐出ノズルが不良吐出ノズル７８ｄとなった場合でも、吐出量を補正される吐出ノズル７８を選択することができる。
【０２４４】
（変形例２）前記実施形態においては、吐出量を補正される吐出ノズル７８は、不良吐出ノズル７８ｄの両側の２個又は６個の吐出ノズル７８、又はヘッド群５５の全吐出ノズル７８であり、いずれかに固定されていた。しかし、吐出量を補正される吐出ノズル７８の選択の仕方が固定されていることは必須ではない。吐出量を補正される吐出ノズル７８は、不良吐出ノズル７８ｄの両側の２個の吐出ノズル７８、又は不良吐出ノズル７８ｄの両側の６個の吐出ノズル７８、又は不良吐出ノズル７８ｄを含むヘッド群５５の全吐出ノズル７８などから選択する方法であってもよい。
【０２４５】
（変形例３）前記実施形態においては、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８が発生した場合の対処として、吐出量が少ない吐出ノズル７８が発生した場合に、副走査方向において隣接する位置に向けて吐出する吐出ノズル７８において吐出量を増やす例について説明した。しかし、吐出ノズルの良好ではない吐出状態は、吐出量が過少の状態に限らない。吐出ノズルの良好ではない吐出状態が、吐出量が過多の状態の場合には、副走査方向において隣接する位置に向けて吐出する吐出ノズルの吐出量を減らす方法を用いてもよい。
【０２４６】
（変形例４）前記実施形態においては、ヘッドユニット５４におけるヘッド群５５は、副走査方向に一つのヘッド群５５のＹ軸方向の長さに相当する間隔を隔てて配置されていた。このヘッドユニット５４を有する、吐出ユニット２の吐出ノズル７８は、主走査方向の位置を同じと仮定すると、一つのヘッド群５５が有する吐出ノズル７８の列が、当該列のＹ軸方向の長さの間隔を隔てて、Ｙ軸方向に連なる吐出ノズル７８の列を有していた。この吐出ユニット２は、一回の副走査を挟む２回の主走査時における配向膜液２４２の吐出によって、配向膜２２８又は配向膜２１８を形成していた。しかし、吐出ユニットは、吐出ノズルが副走査方向に全て等間隔で配置される構成であってもよい。当該吐出ユニットを備える液滴吐出装置を用いて、１回の主走査の間に、基材の全面に液状体を描画吐出してもよい。
【０２４７】
（変形例５）前記実施形態においては、液晶表示装置の一例である液晶表示パネル２００の配向膜２２８又は配向膜２１８を形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、配向膜に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の対向電極や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。形成する膜は、膜を形成するための液状体を供給するために、多数の吐出ノズルを使用することが必要であるような、大面積のいわゆるベタ膜のような膜であれば、どのような膜であってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置に限らない。上記したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。
【０２４８】
（変形例６）前記第二の実施形態においては、描画吐出に際して、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８は停止していたが、吐出状態が良好ではない吐出ノズル７８を停止することは必須ではない。良好ではない吐出ノズル７８は停止することなく、当該吐出ノズル７８の吐出量の誤差分を他の吐出ノズル７８で補正する方法であってもよい。但し、吐出ノズル７８の実際の吐出量を明確にするために、吐出量を測定する工程が必要である。また、良好ではない吐出ノズル７８の吐出量が過多の場合は、当該吐出ノズル７８を停止して、補正ヘッドユニット３５４の吐出ノズル７８から当該吐出ノズル７８の吐出量に相当する配向膜液２４２を吐出する。
【０２４９】
（変形例７）前記実施形態においては、着弾位置のずれが発生しても、着弾した配向膜液２４２が流動することによって配置量が略均等となるため、吐出重量の誤差が規格値に適合していれば、当該吐出ノズル７８の吐出は良好であると判定していた。しかし、着弾位置ずれによって、被吐出領域の端の部分に向けて吐出した液状体が被吐出領域から外れて着弾する可能性を考慮して、所定のずれ量を超えた吐出ノズルは、吐出が良好ではない吐出ノズルとして扱っても良い。この場合、描画吐出に際して、着弾位置ずれが大きいことで吐出状態が良好ではないと判定した吐出ノズルは停止する。これにより、被吐出領域に配置する機能液の量を、より厳密に適正な量に保つことができる。
【０２５０】
（変形例８）前記実施形態においては、吐出ノズル７８のそれぞれの吐出量としては、吐出状態が良好ではないと判定された吐出ノズル７８が存在することによって生ずる、各ヘッド群５５における総吐出量の誤差を、各ヘッド群５５ごとに補正できる吐出量に決定しており、吐出が良好ではない吐出ノズル７８も描画吐出を実施していた。しかし、吐出量が極端に過多の吐出ノズルは、描画吐出を停止してもよい。吐出が良好ではない１個の吐出ノズルにおける吐出量の過多分が吐出ノズル１個分よりさらに多い場合には、当該吐出ノズルの描画吐出を停止することで、補正量を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０２５１】
【図１】第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示すＸ軸方向に延在する側面の側面図。
【図３】液滴吐出装置の概略構成を示すＹ軸方向に延在する側面の側面図。
【図４】液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図。
【図５】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図６】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図７】検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図。
【図８】（ａ）重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの平面図。（ｂ）重量測定ブロックの側面図。
【図９】ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す側面図。
【図１０】液滴吐出ヘッドと重量測定装置との位置関係を示す平面図。
【図１１】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図１２】液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。
【図１３】液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程を示す断面図。
【図１４】マザー対向基板の模式平面図。
【図１５】描画工程を示すフローチャート。
【図１６】吐出ノズルごとの吐出状態及び吐出量を示す説明図。
【図１７】第二の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図１８】補正ヘッドユニットの概略構成、及び補正ヘッドユニットとヘッドユニットとの位置関係を示す平面図。
【図１９】描画工程を示すフローチャート。
【図２０】第三の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２１】（ａ）重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの平面図。（ｂ）重量測定ブロックの側面図。
【図２２】ヘッドユニットと重量測定装置との位置関係を示す説明図。
【図２３】描画工程を示すフローチャート。
【符号の説明】
【０２５２】
１…液滴吐出装置、２…吐出ユニット、４…検査ユニット、４ａ…吐出検査ブロック、５…メンテナンスユニット、６…吐出装置制御部、１４…フラッシングユニット、１５…吸引ユニット、１６…ワイピングユニット、１７…液滴吐出ヘッド、１８…吐出検査ユニット、１９…重量測定ユニット、５４…ヘッドユニット、５５…ヘッド群、７６…ノズル形成プレート、７８…吐出ノズル、７８ｄ…不良吐出ノズル、９１…重量測定装置、９１Ａ…重量測定ブロック、９４…受液容器、９９…電子天秤、１６１…検査描画ユニット、１７１…検査シート、２００…液晶表示パネル、２０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０５…フィルタ層、２１０…素子基板、２１１…ガラス基板、２１８…配向膜、２２０…対向基板、２２８…配向膜、２２８ａ…配向膜領域、２２８ｂ，２２８ｃ…ストライプ状配向膜帯、２４２…配向膜液、２４２ａ，２４２ｂ…膜液集合、３０１…液滴吐出装置、３０２…補正ユニット、３５４…補正ヘッドユニット、４０１…液滴吐出装置、４０４…検査ユニット、４０４ａ…吐出検査ブロック、４１４…フラッシングユニット、４１９…重量測定ユニット、４９１…重量測定装置、４９１Ａ…重量測定ブロック、４９３…複数ヘッド受液容器、４９４…単ヘッド受液容器、４９８…複数ヘッド天秤、４９９…単ヘッド天秤、Ｗ…ワーク。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させながら、前記基材上の膜形成領域に前記複数の吐出ノズルから膜の材料を含む液状体を吐出し前記液状体を配置する膜形成方法であって、
前記各吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程と、
前記ノズル検査工程における検査結果に応じて、前記各吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定する吐出量決定工程とを有し、
前記吐出量決定工程では、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記膜形成領域に吐出される前記液状体の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする膜形成方法。
【請求項２】
前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが前記液状体を吐出する吐出数を決定することを特徴とする請求項１に記載の膜形成方法。
【請求項３】
前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが前記液状体を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量を決定することを特徴とする請求項１に記載の膜形成方法。
【請求項４】
前記吐出量決定工程は、前記ノズル検査工程において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置と隣接する位置に前記液状体を配置する吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の膜形成方法。
【請求項５】
前記吐出量決定工程は、前記ノズル検査工程において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置を挟んで隣接する位置に前記液状体を配置する２個の吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の膜形成方法。
【請求項６】
前記吐出量決定工程は、前記ノズル検査工程において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置を中心にして隣接する位置に前記液状体を配置する３個以上の吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の膜形成方法。
【請求項７】
前記３個以上の吐出ノズルそれぞれが前記液状体を配置する位置と、前記吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置との距離によって按分し前記液状体の吐出量を決定することを特徴とする請求項６に記載の膜形成方法。
【請求項８】
前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を、吐出状態が適正ではないと判定された前記吐出ノズルが前記液状体を吐出しない状態で、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記膜形成領域に吐出される前記液状体の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の膜形成方法。
【請求項９】
前記ノズル検査工程は、前記各吐出ノズルが吐出する吐出量を測定する吐出量測定工程を含み、
前記吐出量決定工程は、前記吐出量測定工程における前記各吐出ノズルの吐出量に応じて、前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の膜形成方法。
【請求項１０】
前記ノズル検査工程は、前記各吐出ノズルから吐出された液滴が着弾した状態を判断する工程を含むことを特徴とする、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の膜形成方法。
【請求項１１】
前記ノズル検査工程は、前記各吐出ノズルから吐出された液滴の重量を測定する重量測定工程を含むことを特徴とする、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の膜形成方法。
【請求項１２】
複数の吐出ノズルと、前記複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させる相対移動装置とを備え、前記相対移動装置によって前記複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させながら、前記複数の吐出ノズルから膜の材料を含む液状体を吐出して、前記基材上の膜形成領域に前記液状体を配置する膜形成装置であって、
前記各吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査手段と、
前記ノズル検査手段による検査結果に応じて、前記各吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定する吐出量決定手段と、を備え、
前記吐出量決定手段は、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記膜形成領域に吐出される前記液状体の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする膜形成装置。
【請求項１３】
前記吐出量決定手段は、前記各吐出ノズルが前記液状体を吐出する吐出数を決定することを特徴とする請求項１２に記載の膜形成装置。
【請求項１４】
前記吐出量決定手段は、前記各吐出ノズルが前記液状体を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量を決定することを特徴とする請求項１２に記載の膜形成装置。
【請求項１５】
前記吐出量決定手段は、前記ノズル検査手段において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置と隣接する位置に前記液状体を配置する吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の膜形成装置。
【請求項１６】
前記吐出量決定手段は、前記ノズル検査手段において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置を挟んで隣接する位置に前記液状体を配置する２個の吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の膜形成装置。
【請求項１７】
前記吐出量決定手段は、前記ノズル検査手段において、吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置を中心にして隣接する位置に前記液状体を配置する３個以上の吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を決定することを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の膜形成装置。
【請求項１８】
前記３個以上の吐出ノズルそれぞれが前記液状体を配置する位置と、前記吐出状態が適正ではないと判定された吐出ノズルが前記液状体を配置する位置との距離によって按分し前記液状体の吐出量を決定することを特徴とする請求項１７に記載の膜形成装置。
【請求項１９】
前記吐出量決定手段は、前記各吐出ノズルが吐出する前記液状体の吐出量を、吐出状態が適正ではないと判定された前記吐出ノズルが前記液状体を吐出しない状態で、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記膜形成領域に吐出される前記液状体の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする請求項１２乃至１８のいずれか一項に記載の膜形成装置。
【請求項２０】
前記ノズル検査手段は、前記各吐出ノズルが吐出する吐出量を測定する吐出量測定手段を含み、
前記吐出量決定手段は、前記吐出量測定手段によって測定された前記各吐出ノズルの吐出量に応じて、前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする請求項１２乃至１９のいずれか一項に記載の膜形成装置。
【請求項２１】
前記ノズル検査手段は、前記各吐出ノズルから吐出された液滴が着弾した状態を判断する手段を含むことを特徴とする請求項１２乃至２０のいずれか一項に記載の膜形成装置。
【請求項２２】
前記ノズル検査手段は、前記各吐出ノズルから吐出された液滴の重量を測定する重量測定手段を含むことを特徴とする請求項１２乃至２０のいずれか一項に記載の膜形成装置。
【請求項２３】
複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させながら、前記複数の吐出ノズルから液晶装置を構成する機能膜の材料を含む機能液を吐出し、前記基材上の機能膜形成領域に機能膜を形成する液晶装置の製造方法であって、
前記各吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程と、
前記ノズル検査工程における検査結果に応じて、前記各吐出ノズルが吐出する前記機能液の吐出量を決定する吐出量決定工程とを有し、
前記吐出量決定工程では、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記機能膜形成領域に吐出される前記機能液の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項２４】
前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが前記機能液を吐出する吐出数を決定することを特徴とする請求項２３に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項２５】
前記吐出量決定工程は、前記各吐出ノズルが前記機能液を吐出する際の吐出一回あたりの吐出量を決定することを特徴とする請求項２３に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項２６】
前記機能膜は、前記液晶装置を構成する配向膜であることを特徴とする請求項２３乃至２５のいずれか一項に記載の液晶装置の製造方法。
【請求項２７】
複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させる相対移動装置とを備え、前記相対移動装置によって前記複数の吐出ノズルと基材とを相対移動させながら、前記複数の吐出ノズルから液晶装置を構成する機能膜の材料を含む機能液を吐出して、前記基材上の機能膜形成領域に前記機能液を配置する液晶装置の製造装置であって、
前記各吐出ノズルの吐出状態を検査するノズル検査手段と、
前記ノズル検査手段による検査結果に応じて、前記各吐出ノズルが吐出する前記機能液の吐出量を、決定する吐出量決定手段とを備え、
前記吐出量決定手段は、前記複数の吐出ノズルと前記基材との一回の相対移動の間に、前記機能膜形成領域に吐出される前記機能液の総量が所定量となるように前記各吐出ノズルの吐出量を決定することを特徴とする液晶装置の製造装置。
【請求項２８】
前記機能膜は、前記液晶装置を構成する配向膜であることを特徴とする請求項２７に記載の液晶装置の製造装置。

【図１】