【課題】電池ケースの変位量に基づいて電池の内圧を精度良く測定することができる電池の内圧測定方法を提供すること。
【解決手段】電池ケース１２内に捲回電極体１１及び電解液を収容して密閉したリチウムイオン二次電池１０の内圧を測定する方法において、電池ケース１２に所定の外部圧力を加えた後、その電池１０を真空チャンバ２０内に配置して減圧雰囲気下にて電池ケース１２の変位量及び真空チャンバ２０内の圧力変化を検出し、それら検出した変位量及び圧力変化に基づいて電池１０の内圧を推定する。 （もっと読む）

【課題】センサを防舷材袋部の内部に設置する作業およびセンサを交換する作業を容易にする空気式防舷材用のセンサ収納容器および空気式防舷材を提供する。
【解決手段】口金具４を貫通する貫通孔４ａに、所定の突出位置で保持される容器本体８を防舷材袋部２の外部に突出移動可能に取り付け、貫通孔４ａを塞ぐ蓋部１１と、容器本体８と貫通孔４ａとのすき間をシールする第１シール材１２と、容器本体８が防舷材袋部２の内部に設置された時に、容器本体８の内部と外部とを連通させる連通孔９と、容器本体８が所定の突出位置で保持された時に、連通孔９を通じた防舷材袋部２の内部と外部との連通を遮断する第２シール材１３とを設け、容器本体８にセンサ１４を収納した後、蓋部１１によって貫通孔４ａを塞ぐことにより、センサ１４をセンサ収納容器７に収納した状態で防舷材袋部２の内部に設置する。 （もっと読む）

【課題】 構造が単純で安価な真空度センサと、コストの上昇を抑えながら、吸着力の確認ができる吸着装置とを提供することである。
【解決手段】 内部と外部との圧力が等しい通常状態で所定の形状を保つ形状保持能力を有する一方、内部が真空になったときその真空度に応じて変形するとともに、真空状態から通常状態になったとき上記所定の形状に復帰する復帰能力を備えたエア収容体１９と、このエア収容体１９に設け、真空検出空間に連通させる連通口１９ｂと、上記連通口に連通させた真空検出空間の真空度に応じて上記エア収容体１９が変形したとき、その変形に追随する接点を有するスイッチ２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】熱変形や自重により熱電子放出領域が変動してもイオン化率の低下を抑制でき、長時間に亘って感度の安定性が良い熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】熱陰極電離真空計ＩＧは、ヘアピン状に成形されたフィラメント２と筒状の輪郭を有するグリッド３とイオンコレクタ４とを備える。フィラメントを前記グリッド内にヘアピン状に折り返す頂部側から挿設し、このフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させる。そして、フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンをイオンコレクタで捕集し、このときのイオン電流から圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来例の三極管形の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有すると共に、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできるようにした熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、このフィラメント２を囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッド３と、板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されるイオンコレクタ４_１、４_２とを備える。フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出する （もっと読む）

【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を求める。特に冷陰極形電離真空計は生産現場においても校正が容易な方法を求める。
【解決方法】表示が正確な計測器と誤差をもつ計測器の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され，両者のセンサーが同一雰囲気中にあれば誤差の校正は容易に行えた。また冷陰極形電離真空計の校正もスポット式で簡単に行えた。 （もっと読む）

【課題】真空環境において環境を乱さずに圧力値を正確に計測する。
【解決手段】真空装置内の必要な箇所に配置される熱伝導型方式の圧力センサ部２と真空装置外壁に配置される制御部３からなるマイクロ圧力センサである。圧力センサ部２は、底面と円筒状または四角状の枠で形成され空洞部を有する高分子フィルム支持体と、高分子フィルム支持体の枠の上面に、高分子フィルム２１が接着剤で貼られ、高分子フィルム２１の中央部に一つの圧力センサ２２と、圧力センサ２２の周辺に、一つ又は複数の温度センサ２３を備え、各圧力センサ２２と、温度センサ２３はそれぞれ、電極を介して制御部３に接続される。制御部３は圧力センサ２２に、加熱電力を与え一定温度に加熱制御し、温度センサ２３で圧力センサ２２の周りの温度を抵抗変化で計測し、抵抗変化で加熱電力に対応する真空装置内の圧力値を補正することで正確な真空装置内の圧力値を測定する。 （もっと読む）

【課題】真空計内部における皮膜形成を抑制すること。
【解決手段】真空処理装置にバルブ２を介して取り付けられ、該真空処理装置内の圧力を計測する冷陰極電離真空計１と、バルブ２の開閉制御を行う第１制御機器２１と、冷陰極電離真空計１と通信線及び電源用ケーブルを介して接続されるとともに第１制御機器２１と信号線を介して接続され、第１制御機器２１からバルブ２の開閉制御信号が入力される第２制御機器２２とを備え、バルブ２が開状態にあるときに、冷陰極電離真空計１の放電が開始されて計測が実施され、バルブ２が閉状態にあるときに、冷陰極電離真空計１の放電が停止されて計測が終了される真空計システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】不調または故障の原因を容易に割り出すことができる周囲のガス圧を測定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】周囲のガス圧を測定するための装置は、ゲージ・アセンブリーにおいて、真空ゲージ１６５と、真空ゲージ１６５に結合された不揮発性メモリ１４０と、計器の故障後に故障の原因を調査できるように、真空ゲージ１６５によって検出された測定データを不揮発性メモリ１４０に保存してエラー事象に応答するマイクロコントローラ３８０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】複数の送信ユニット間の通信のみで自動的に各送信ユニットにおける送信タイミングの設定を行って所定の時間間隔で順番に電波の発射を行うことができる送信装置を提供する。
【解決手段】複数の送信ユニットのそれぞれに送信の順番を表す数値ａと送信ユニットの総数を表す数値Ｎを設定する。自己の送信の順番を表す数値ａが１に設定されている送信ユニット100は、起動時にトリガー値をＮに設定するとともにセンサ部から入力した検出情報と自己の数値ａの情報を送信し、受信信号から数値Ｎを検出したときに検出情報と自己の数値ａの情報を送信する。自己の送信の順番を表す数値ａが１以外に設定されている送信ユニット100は、受信信号から数値ａ−１を検出したときに検出情報と自己の数値ａの情報を送信する。 （もっと読む）

【課題】 より信頼性が高い測定が可能な圧力測定装置及び圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 第１抵抗素子１３を有し、気体の圧力に対応した電気信号を出力する第１検知部４と、前記第１検知部４に近接配置され、前記第１抵抗素子１３より表面積が小さい第２抵抗素子１４を有し、前記気体の圧力に対応した電気信号を出力する第２検知部５と、前記第１検知部４の出力値から前記第２検知部５の出力値を差し引いて前記気体の圧力を算出する演算部８とを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】電子刺激離脱（ＥＤＳ）によるガス放出量を一層低減することができる電離真空計を提供する。
【解決手段】軸状のイオンコレクタ１と、イオンコレクタ１の径方向の周囲に設けられたコイル状のグリッド２と、グリッド２の外側に設けられた熱電子放出フィラメント３と、グリッド２と導通を確保しつつ支持する支柱部６とを有する電離真空計であって、イオンコレクタ１の径方向において、グリッド２及びフィラメント３に対向する支柱部６の表面を被覆し、フィラメント３よりも低い電位に保たれるコーティング１６ａを備えることで、支柱部６の表面からのＥＤＳによるガス放出を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】静電容量型圧力センサを小径化する。
【解決手段】ダイアフラムが接合される本体部２１と、本体部２１に形成された電極固定孔２１１に挿入される固定電極２２と、小径部２３ａ及び大径部２３ｃを有するガード電極２３と、ガード電極２３の大径部２３ｃ及び固定電極２２を連結する第１封止ガラス２４と、ガード電極２３の小径部２３ａ及び本体部２１を連結する第２封止ガラス２５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】１つの真空計で測定が不連続になること無く、広い範囲の圧力を測定可能な真空計を提供する。
【解決手段】振動体と、振動体を静電力により駆動する加振電極部と、振動体を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、駆動信号を加振電極部に印加して振動体を共振状態に保持し、振動体の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えてなり、前記振動体を共通の雰囲気内に複数個備え、各振動体により測定可能な圧力範囲をそれぞれ異ならせ，かつ，前記圧力範囲を一部オーバーラップさせて構成し、各振動体に対応させて前記圧力測定部を複数個設け、各圧力測定部の圧力測定信号同士を組合せて演算する演算部を有する演算処理ユニットを備え、常時各圧力測定部による各圧力測定を行なうとともに、演算部による組合せ演算値に基づく演算処理ユニットの出力信号を真空計の圧力測定信号とする。 （もっと読む）

【課題】圧力容器に封入されている流体の圧力を、簡易的な構成で高精度に測定可能とする圧力容器内の流体圧力の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】アキュムレータ１００の内部に隔壁を介して隔てられる液室とガス室が設けられており、液室内に液体を一定流量で供給しつつ、液室内に供給される液体の圧力を測定する工程と、経過時間と測定値との関係を記憶させる工程と、記憶された前記関係のうち、経過時間に対する液体の圧力の上昇勾配が急激に変化する変曲点に達する前の一定範囲の複数のデータを用いて、第１近似式を導出する工程と、変曲点に達した後の一定範囲の複数のデータを用いて、第２近似式を導出する工程と、第１近似式と第２近似式との交点を算出し、該交点の圧力を、液体の非供給時の気体の圧力として決定する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来より広い範囲の気体の圧力を十分な精度で測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】振動体４と、振動体４と対向して静電力により振動体４を駆動する加振電極５と、振動体４と対向する検出電極６と、振動体４と検出電極６との間の静電容量を検知することにより振動体４の振動を検出する振動検出部と、振動体４を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、前記駆動信号を加振電極５に印加し振動体４を共振状態に保持して、振動体４の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えた真空計において、圧力測定部の測定出力信号による測定圧力レベルを基準圧力レベルと比較する圧力レベル判定部を有するとともに、圧力レベル判定部の判定出力信号に応じて振動体４と検出電極６との間の電位差を可変する電位差変更手段を備えてなる構成とする。 （もっと読む）

【課題】静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を単一のシリコン基板上に製造することが可能で、これにより製品の小型化と大量生産による製造コストの低減が可能となる。
【解決手段】複合型圧力計の製造方法は、静電容量型隔膜真空計とピラニ真空計を含む複合型圧力計の製造方法であって、エッチングにより、シリコン基板の第一面側に第一溝部と第二溝部を形成する溝形成工程と、シリコン基板の第一面側で第一溝部と第二溝部を覆うように、シリコン基板にガラス基板を接合する接合工程と、を含む。 （もっと読む）

バリア特性及び圧電特性を有する少なくとも１層から成る壁を含む高圧媒体貯蔵容器。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材として永久磁石を用い、この永久磁石をポールピースに配置することにより放電が生じ易い冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】この冷陰極電離真空計１は、一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、前記陰極の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、前記陽極と前記陰極との間の電界に直交する磁界を形成し、該陽極と該陰極との間に放電を起こす磁性手段４５ａ，４５ｂと、前記陰極の開口縁に着脱自在に嵌合され、前記開口を覆うポールピース１４と、前記ポールピース１４に配置された永久磁石４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御することにより、電子衝撃方法および通電加熱方法の脱ガス運転中に熱陰極電離真空計を運転する。
【解決手段】脱ガス電力レベルを上げながら、ゲージ圧の変化率を監視する。監視変化率からゲージ圧が圧力上限を超える可能性があると判断された場合、脱ガス電力の増加を停止あるいは脱ガス電力を減少させる。この運転を所定の最終的脱ガス条件を満たすまで継続する。脱ガス運転が無事終了した後、ディスプレイにその旨を表示する。 （もっと読む）