【課題】低コストのマイクロ電気機械システムセンサを提供する。
【解決手段】マイクロ電気機械システムセンサ２０は、基板２１、基板２１に位置するマイクロ電気機械システム部品エリア２７、薄膜層２９、接着層２２、および、複数のＳｉ貫通電極２６を備える。基板２１は、第一表面２１１および第二表面２１２、ならびにマイクロ電気機械システム部品エリア２７を有する。薄膜層２９は、マイクロ電気機械システム部品エリア２７に被さってチャンバを密閉することによって密閉空間を形成する。キャップ２４は、接着層２２によってマイクロ電気機械システム部品エリア２７に固着する。複数のＳｉ貫通電極２６は、第二表面２１２まで伸びるようにマイクロ電気機械システム部品エリア２７に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】被測定圧力の変化を静電容量の変化として検出するダイアフラム構造を備えた圧力センサにおいて、圧力センサのパッケージにリードピンを気密封止するハーメチックシール部に作用する応力を大幅に低減する。
【解決手段】筒状のハウジング１２及びハウジング１２の端部に接合される板状のカバー１３を有するパッケージ１０と、パッケージ１０の内部に形成される基準真空室１０Ｂと圧力導入部１０Ａとを隔絶する圧力検出用のセンサチップ３０と、センサチップ３０に電気的に接続されるとともにカバー１３の挿通孔１３ａを介してパッケージ１０の外部に露出するリードピン４１と、挿通孔１３ａとリードピン４１との間を気密的に封止する封着用ガラスで構成されるハーメチックシール部４３・６０と、を備える圧力センサ１０であって、カバー１３の内側面に凹部１３ｂを形成することにより応力吸収用の薄肉部１３ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】圧力導入孔から光の照射又は異物の混入を防止し、延いては圧力センサの特性の低下を防止し得る圧力センサパッケージを提供する。
【解決手段】圧力センサパッケージ１Ａは、圧力センサ１０を実装した箱状のパッケージ本体２０と、圧力センサ１０の上側に設けられたダイアフラム１１の上方に空間２１を確保した状態でパッケージ本体２０を覆うリッド３０とを備えている。パッケージ本体２０は、樹脂からなっている。パッケージ本体２０には、外部から空間２１に連通する圧力導入孔２９が形成されている。圧力導入孔２９は、圧力センサ１０に接続されてパッケージ本体２０の外側まで延びる金属配線パターンに少なくとも一部が沿って設けられている。 （もっと読む）

【課題】内蔵する電池のメンテナンスに要する作業負担を軽減する。
【解決手段】電池１１を収納するとともに、開口部から機器ケース２１に挿入されて、機器ケース２１の内側に取り付けられる電池ケース１１Ｘと、機器ケース２１の内側に設けられて、電池１１が予め設定されている正規取付方向となるよう、機器ケース２１の設置方向に応じて電池ケース１１Ｘの取付方向を変更可能に取り付けるための複数の取付部２１Ｉ，２１Ｊとを備える。 （もっと読む）

【課題】検出精度が低下することを抑制することができる力学量センサを提供する。
【解決手段】物理量に応じたセンサ信号を出力するセンシング部２１が形成されたセンサチップ２０と、センシング部２１を露出させつつセンサチップ２０を片持ち支持する支持部材４０と、を有する力学量センサにおいて、センサチップ２０の平面形状を矩形状において隣接する二つの角の除去により構成される角部２３ａを有する形状とし、センサチップ２０のうち角部２３ａ側の端部を支持部材４０に封止する。 （もっと読む）

【課題】ケース体の組立作業性を向上させることにある。
【解決手段】圧力計１０は、背面側に開口部３６が設けられた樹脂製の正面側ケース半体２４と、圧力計本体１２の固定板１３が取り付けられ正面側ケース半体２４の開口部３６に組み込まれる樹脂製の背面側ケース半体２５とを有している。背面側ケース半体２５が正面側ケース半体２４に組み込まれるときに正面側ケース半体２４の内部に入り込む係合舌片３０ａ，３０ｂを背面側ケース半体２５に設け、固定板１３が背面側ケース半体２５に取り付けられたときに固定板１３に係合する係合突起３１を係合舌片３０ａ，３０ｂの内面に設ける。この係合舌片３０ａ．３０ｂの外面を正面側ケース半体２４により覆うようにする。 （もっと読む）

【課題】検出器に対して容易に変換器を回転させることができる検出器と変換器の回転構造を提供する。
【解決手段】 検出器と変換器の回転構造において、大径部と小径部からなる断面凸状に形成された検出器と、該検出器の小径部が挿入され、一端が前記検出器の大径部に接触した状態で他端が前記小径部の端部と略面一になる程度に形成され、かつ前記他端側から所定の深さに形成され前記検出器の小径部との間に円筒状の空間を有する変換器と、前記空間に前記小径部を巻き回して配置されたコイルばねと、前記コイルばねを押圧するばね押圧部材を備えると共に、前記検出器の大径部と前記変換器の接触部を噛合い構造とし、前記コイルばねは前記変換器を持ち上げて前記コイルばねを押圧したときに前記噛合いが外れる程度に形成されている。 （もっと読む）

【課題】温度依存性を小さくできるとともに、製造が容易なピエゾ抵抗体等を提供する。
【解決手段】半導体材料に外力が作用したときの抵抗値の変化を利用するピエゾ抵抗体である。半導体材料として、表面の終端の少なくとも一部が水素終端とされたｐ型半導体特性を持つダイヤモンドを用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。
【解決手段】真空室３３内に設けられ基板３１に対して引張の応力が付与され基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有し基板に平行に且つ互いに平行に設けられた第１，第２のシリコン単結晶の振動梁３２ａ、３２ｂと、基板面に平行に設けられ第１，第２の振動梁の一端に接続される板状の第１の電極板３４ａと、基板面に平行に設けられ第１，第２の振動梁の間に設けられた第２の電極板３４ｂと、第１，第２の振動梁の両側に第１，第２の振動梁を挟んで且つ第１，第２の振動梁と第１，第２の電極板と共に基板面に平行な一平面状をなす板状の第３，第４の電極板３４ｃ、３４ｄと、振動梁と第２、第３，第４の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部３７とを具備した。 （もっと読む）

【課題】従来技術を改善する装置および方法を提供することである。
【解決手段】半導体本体（８０）の上側の面で垂直ベクトル方向に、プラスチック部材（３０）が開口部（２０）の外の領域では壁（１１０）よりも大きな高さを有し、壁（１１０）の基面と半導体本体（８０）の上側との間に固定層（１０５）が形成されており、壁（１１０）は開口部（２０）内に形成されたセンサ面から離間している。 （もっと読む）

【課題】特に複数の感圧素子の一方が他方の圧力変化に影響されることがない流速センサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の流速センサー１０は、筐体の収容空間の第１の開口部を封止する第１のダイアフラム２０ａと、収容空間の第２の開口部を封止する第２のダイアフラム２０ｂと、感圧部と一対の基部を有して一対の基部を結ぶ方向を検出軸とする感圧素子４０と、を有し、感圧素子４０は、一対の基部を前記ダイアフラムの支持部に接続し、検出軸はダイアフラムの受圧面に平行であり、第１のダイアフラム２０ａは、流体の流れる方向に向けた動圧導入口から導入された圧力を受圧し、第２のダイアフラム２０ｂは、流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けた静圧導入口から導入された圧力を受圧し、第１及び第２のダイアフラム２０ａ，２０ｂの受圧面側に断熱部６０が設けられたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】絶対圧力センサの全体厚みを小さくし得る絶対圧力センサを提供する。
【解決手段】絶対圧力センサ１は、ダイアフラム１１の周縁に複数のピエゾ抵抗１２・１２子を形成し、該ピエゾ抵抗１２・１２の形成面とは反対側の面にキャビティ１３を形成したセンサ基板１０に、キャビティ１３を閉じるようにキャップ基板２０を接合してなる。キャビティ１３の厚みＴ２は、キャップ基板２０の厚みＴ３以上となっている。 （もっと読む）

【課題】絶縁体層において基板の一方の面と同じ側の面に電極層を形成した際に基板と電極層との間（絶縁体層）で発生する寄生容量を従来よりも低減できるセンサ用構造体、該センサ構造体を用いたセンサ及びアクチュエータを得る。
【解決手段】基板１は、ケイ素などの半導体からなるものであり、一方の面に形成された矩形状の凹部１ａと、他方の面において、絶縁体層２における基板１の一方の面と同じ側の面と反対側の面が露出するように形成された開口部１ｂと、を有したものである。絶縁体層２は、二酸化ケイ素などの絶縁体からなる層であり、基板１の凹部１ａの内部に形成されているものである。また、絶縁体層２の厚さは、２μｍより大きい寸法を有したものである。このような構成のセンサ構造体は、センサ及びアクチュエータに用いることができる。 （もっと読む）

【課題】リフロー等の高温処理による圧力検出値のドリフトが生じるのを低減する力検出器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧力センサー１の枠部１０８とダイアフラム層２０とは第１接合材４０で接合され、感圧素子層１０の一対の基部１６ｂと一対の支持部２１０とは、第１接合材４０の融点よりも高い融点を有する第２接合材５０で接合されている。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。
【解決手段】シリコン単結晶の基板に設けられた振動梁と、振動梁の周辺に隙間が維持されるように振動梁を囲み基板と共に真空室を構成するシリコン材よりなるシェルと、振動梁を励振する励振手段と、振動梁の振動を検出する振動検出手段とを具備する振動式トランスデューサにおいて、真空室内に設けられ基板に対して引張の応力が付与され基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有するシリコン単結晶の振動梁と、基板面に平行に設けられ振動梁に一端が接続される板状の第１の電極板と、基板面に平行に振動梁に対向して設けられ振動梁と第１の電極板と共に基板面に平行な一平面状をなす板状の第２電極板と、振動梁と第２の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部と、を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】特定周波数帯の圧力を検出することが可能な圧力検知装置を提供する。
【解決手段】圧力検知装置１は、流体の圧力に応じて変位するダイアフラム１１ａを有し、当該ダイアフラム１１ａの変位に基づいて信号を出力する圧力センサ１０と、圧力センサ１０の周囲を覆って空間部２５を形成するパッケージ２０と、を備え、パッケージ２０は、ダイアフラム１１ａの下部に流体を導入する導入孔２３ａと、導入孔２３ａよりも小径とされダイアフラム１１ａの上部に流体を導入する小孔２３ｂとが形成されている。 （もっと読む）

【課題】フランジを介した外部ケースとの固定に起因するダイアフラムの撓み感度の劣化を抑制し、安定的な物理量が得られる力検出器を提供する。
【解決手段】筒状の外形を有する容器と、前記容器の端面に配置され、力を受けて前記容器の内側または外側に変位するダイアフラム（ダイアフラム４４Ａ）と、力検出部（振動腕６０）と前記力検出部の両端に接続された一対の基部（第１の基部６２、第２の基部６４）とを有し、一方の基部が前記ダイアフラム側に接続され、他方の基部が前記容器側に接続され、前記基部同士を結ぶ線と平行な方向を検出軸とし、前記ダイアフラムの変位により生じた力を検出する力検出素子５８と、前記容器の側面から前記側面の外周側に突出し、前記側面の外周と同心となるフランジ部２２と、を備え、前記フランジ部２２は、前記ダイアフラムが配置された前記端面が前記フランジ部２２から前記フランジ部２２の厚み方向に突出するように配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特定周波数帯の圧力を検出することが可能な圧力検知素子を提供する。
【解決手段】圧力検知素子１は、貫通孔１１から気体を導入して基板表面に形成された流路１２に導き、流路１２を介して圧力を検出する圧力センサ部３０まで気体を導くものである。この圧力検知素子１の圧力センサ部３０は、気体の圧力に応じて変位するダイアフラム１３と、当該ダイアフラム１３の変位により一対の電極３１間の距離が増減する空間部２１と、電極３１間の距離の増減に応じた信号を出力するセンサ部３１とを有している。また、流路１２の長さｌ及び流路径ｄとにより、検出対象となる周波数域が設定されている。 （もっと読む）

【課題】溶接後の受圧面に及ぶ残留応力を抑制し、経年劣化を改善した圧力センサー用のダイアフラム、およびこれを搭載した圧力センサーを提供する。
【解決手段】外面が外部圧力を受けて変形し、内面がハウジング１２内部の感圧素子３８に力を伝達する中央部（ダイアフラム本体）４０と、前記中央部（ダイアフラム本体）４０の外側であって、ハウジング１２に形成された口金２２の外周と溶接される周縁部（フランジ）４４と、を一体として同心円状に有し、前記口金２２を封止する圧力センサー１０用のダイアフラム３２であって、前記中央部（ダイアフラム本体）４０と前記周縁部（フランジ）４４との間に段差を形成する緩衝部４２を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】溶接部の耐食性が損なわれることが抑制された圧力センサを提供する。
【解決手段】センサ素子（２０）が固定された第１ハウジング（１０）と、圧力流体の導入孔（５１）が形成された第２ハウジング（５０）とが接合されて成る圧力センサであって、第１ハウジング（１０）と第２ハウジング（５０）とが、メタルダイヤフラム（６０）を介して互いに対向しており、第１ハウジング（１０）は鉄製、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）はステンレス製であり、第１ハウジング（１０）、メタルダイヤフラム（６０）、及び、第２ハウジング（５０）は、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）の形成材料の単位体積当たりに含まれるＣｒよりも多くのＣｒを単位体積当たりに含むステンレス部材（７１）を媒体として、溶接接合されている。 （もっと読む）