【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３７で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からガラス管Ｇに対して、サーボ用レーザ光を測定用レーザ光の光軸と測定用レーザ光の反射光の光軸との中心線の方向であるＺ軸方向に照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからの反射光を受光し、Ｙ軸方向サーボ回路１２０が、圧電アクチュエータ２５を駆動することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するように光ヘッド１００をＹ軸方向にサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】 測定精度の悪化を防止し、測定対象を正確に拘束し固定することなく簡易に測定できると共に、部品交換に要する工数等の低減を図ることができる円形状機械部品の測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】 円形状機械部品Ｗにおける円形状部分を成す円の弦となる箇所の幅寸法を測定可能なレーザ変位計２を用い、支持された円形状機械部品Ｗの形状測定対象に対してレーザ変位計２を対向させて、このレーザ変位計２に、それぞれ前記弦となる任意の２箇所以上の箇所の幅寸法を測定させる。演算手段４は、レーザ変位計２で測定された前記任意の２箇所以上の各箇所の幅寸法を、直交座標系における各両端２点の座標点に変換し、これら各座標点から算出される近似円から、形状測定対象となる前記円形状部分の直径および中心位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】 母材が露出する領域が少ない場合でも、フィッティング領域を広く設定することが可能な技術を提供する。
【解決手段】 曲面形状を有する第１板材と曲面形状を有する第２板材とを溶接した構造体の溶接ビードの検査装置であって、溶接ビードに交差する断面における構造体の表面形状を測定した測定形状７０を記述する測定形状データの入力を受ける入力手段と、前記断面における第１板材の溶接前の表面形状の基準形状を記述する第１板材基準形状データ７４を記憶する記憶手段と、測定形状７０の傾斜角度分布と第１板材の基準形状７４の傾斜角度分布に基づいて、測定形状７０の中から、第１板材の表面形状に相当する第１板材領域８０を特定する第１板材領域特定手段を有する。 （もっと読む）

【課題】水圧試験機の一連の試験工程の中に検尺機能を付加することにより、次工程条件の最適化に反映させることを可能にする。
【解決手段】水圧試験時の両ヘッド部１，２の移動距離をパルスジェネレータ方式で計測可能とし、各ヘッド部に前記鋼管の管端位置を検出するためのレーザ式位置センサ４_１，４_２を設置し、鋼管３のセット前に各ヘッド部を移動させてそのレーザ式位置センサのレーザ光路を所定の原点に一致させ、その時点から、水圧試験を経て各ヘッド部を鋼管から離間させる際に各レーザ式位置センサが鋼管の管端位置を検出した時点まで、各ヘッド部の移動距離を計測し、この計測結果を用いて鋼管の管長を算出する。 （もっと読む）

【課題】より小型な空間で実施でき、検査中でも車両周囲で作業を実施できる車載カメラの光軸検査技術を提供することを課題とする。
【解決手段】（ｂ）にて車載カメラ光軸検査は、開状態のフード２１と車載カメラ２０の間にターゲット１２０を位置決めし、ターゲット１２０に設けた赤色発光ダイオード１２１を用いて実施する。
【効果】カメラ光軸検査中に車両１１前方でエンジンルーム２３５内の検査を実施できるため、車両周囲での作業員の動線が制限されない。加えて、フード２１の開状態高さとターゲット１２０の移動距離を含んだ空間があればよく、車両前方に大型の鏡を設けて検査する場合に比べ、検査空間は小型で済む。よって、より小型な空間で実施でき、検査中でも車両周囲で作業を実施できる車載カメラの光軸検査技術を提供できる。 （もっと読む）

【課題】ボイラ設備の装置を分解あるいは開放することなく、フィンチューブの腐食及び減肉状況を評価することができる伝熱管又は蒸発管の減肉状態監視装置を提供する。
【解決手段】伝熱管又は蒸発管の減肉状態監視装置１０Ａは、伝熱管又は蒸発管の減肉状態を監視する監視装置であって、伝熱管又は蒸発管のフィン１１に沿って移動する移動手段１２と、前記移動手段１２に設けられ、伝熱管又は蒸発管の表面の減肉状態をレーザ計測するレーザ計測手段１３と、レーザ計測手段１３にレーザ光を導入する導光路及び反射光を伝達する導出路を備えたケーブル手段１４と、前記レーザ計測のデータを過去のデータ又は標準データと比較して、現在の減肉状態を判定する減肉状態判定手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】被写体の表面に現れている線の幅を短時間に精度よく算出可能な線幅算出装置と算出方法並びに算出プログラムを得る。
【解決手段】記憶手段には、画像データに含まれる画素の大きさと被写体の表面上の大きさとの換算値が記憶されていて、画像処理手段は、画像データに含まれる画素ごとの輝度値を算出する輝度値算出手段と、画像データに含まれる画素ごとに算出された輝度値と所定の基準値とを比較し、比較の結果に基づいて画像データに含まれる画素の中から線が撮像されている可能性の高い線画素を特定する線画素特定手段と、画像データに含まれる画素のうち特定された線画素の周辺に位置する周辺画素を特定する周辺画素特定手段と、特定された周辺画素ごとに線境界を特定する線境界特定手段と、特定された線境界と換算値とに基づいて線幅を算出する線幅算出手段とを有してなる。 （もっと読む）

【課題】パターン要素のエッジ位置を再現性よく求める。
【解決手段】パターン測定装置では、対象物上のパターン要素を示す画像において当該パターン要素の一のエッジに交差するｘ方向における輝度プロファイルが取得される。続いて、輝度プロファイルにおいてエッジを示す傾斜部に含まれる複数の画素位置のうち、ｘ方向に連続するとともに当該複数の画素位置よりも少ない画素位置を対象位置群として、複数通りの対象位置群７１，７２を決定し、各対象位置群７１，７２に含まれる画素位置における輝度プロファイルの輝度から高次の近似式が求められる。そして、複数通りの対象位置群７１，７２にそれぞれ対応する複数の近似式において、所定のエッジ輝度Ｔ０となる傾斜部内の位置を複数のエッジ候補位置として取得し、複数のエッジ候補位置に基づいて最終的なエッジ位置が求められる。これにより、パターン要素のエッジ位置を再現性よく求めることができる。 （もっと読む）

【課題】位置や形状を測定するに際しての校正の簡素化をはかったシートに形成されたパターンの位置および形状測定装置を提供する。
【解決手段】パターンが形成されたシートと、
該シートの搬送方向に直交して配置されたカメラ保持機構と、
該カメラ保持機構の長手方向に沿って移動可能に配置されたカメラと、
該カメラで撮像した画像を処理する画像処理コンピュータと、
を備え、校正に際しては、前記塗工パターンと、校正用基準体の撮像画像に基づいて校正を行う。 （もっと読む）

【課題】測定の省力化及びシステム構成の最小化を可能とする。
【解決手段】浸せき試験用自動測定装置１は、アーム４によりゴム試験片Ｐが供給されゴム試験片Ｐの長さを測定するレーザ測長器６と、レーザ測長器６による測定後にてアーム４によりゴム試験片Ｐが供給されゴム試験片Ｐの質量及び体積を測定する質量体積測定器８と、ターンテーブル３によりゴム試験片Ｐが供給されゴム試験片Ｐの硬さを測定する硬さ測定器９と、各部位の動作を制御プログラムに基づき制御すると共に測定値のそれぞれを取り込んで外部出力するコントローラ２０と、を備えている。ターンテーブル３は、第１及び第２テーブル間で組替可能に構成され、レーザ測長器６は、アーム４によるゴム試験片Ｐの移送中に当該ゴム試験片Ｐの長さを測定し、コントローラ２０は、第１及び第２制御プログラムを制御プログラムとして有している。 （もっと読む）

【課題】対象物の撮影画像から抽出される形状に基づいて、対象物の撮影画像と当該対象物の設計情報とを位置合わせする位置合わせ装置、位置合わせシステム及び位置合わせプログラムを提供する。
【解決手段】位置合わせ装置１は、対象物３を撮影した撮影画像情報１１１から当該対象物３に設けられた孔を選択する特徴点選択受付手段１０１と、特徴点選択受付手段１０１が選択を受け付けた孔の特徴点を抽出する特徴点抽出手段１０２と、対象物３の見本となる対象物三次元情報１１３から特徴点に対応する対応点を選択する対応点選択手段１０３と、対応点を座標変換し、撮影画像の視点と特徴点とを通る直線と、対応点との距離を最小にして、対象物３の撮影画像情報１１１と対象物３の見本となる対象物三次元情報１１３とを位置合わせする位置合わせ手段１０４とを有する。 （もっと読む）

【課題】円形フランジに機器、部材等を取り付けることなく円形フランジの歪量を測定するための円形フランジの歪量測定方法及び円形フランジの歪量測定装置を提供する。
【解決手段】歪を測定しようとする円形フランジ１１の前方に配置されて、特定位置Ｐから軸心１７に対して一定角度θで旋回し円錐面状にスキャンするレーザー光を発して円形フランジ１１の測定面１２に照射し、測定面１２からの反射レーザー光を受光して、特定位置Ｐから測定面１２までの距離を測定するレーザー測定機１３と、レーザー測定機１３を載せて所定方向にレーザー測定機１３の軸心１７を向ける位置決め手段１５と、レーザー測定機１３から取得した特定位置Ｐから測定面１２までの距離の値にｃｏｓθを乗算し距離データを得て、距離データから測定面１２が完全平面と仮定した基準データを算出し、距離データから基準データを引いて、円形フランジ１１の歪量を算出する演算部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な測定作業で任意の多角形の面積を非接触で測定することの可能なレーザ測距装置を提供する。
【解決手段】レーザ測距装置１は、測定対象物１０上の任意の多角形の面積を非接触で測定するレーザレーダ方式の測距装置である。２次元スキャナ３は、レーザダイオード２からのレーザ光を偏向させて測定対象物１０上の任意の多角形の頂点Ａ，Ｂ，…を照射する。フォトダイオード６は、各頂点Ａ，Ｂ，…で反射したレーザ光を受光して信号を出力する。演算制御部７は、フォトダイオード６からの出力信号と２次元スキャナ３の動作情報を用いて多角形の面積を算出する。２次元スキャナ３は、測定対象となる多角形をレーザ光の２次元走査により描画表示する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置の光軸方向に対して高低差がある検査対象の欠陥の寸法を正確に測定する。
【解決手段】平面座標取得部３０２は、画像データに含まれる検査対象の欠陥を示す画素の平面座標を取得する。空間座標変換部３０５は、平面座標取得部３０２が取得した平面座標を、仮想空間に配置された検査対象の外観を表す３次元モデルの表面と平面座標が示す点に対応する仮想空間上の直線との交点を示す空間座標に変換する。仮想寸法算出部３０７は、空間座標変換部３０５が変換した複数の空間座標を用いて仮想空間における前記欠陥の寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】ＳＰＭを用いた観察において、観察者が位相等、高さ以外の物理量について試料上の関心領域を指定する際の作業性を向上させる。
【解決手段】試料観察表示画面３０中のナビゲーションウインドウ３３には試料上の観察可能範囲を示す範囲指示画像３４が表示され、該画像３４には拡大観察範囲を指示するための関心領域設定指示枠３５が重ねて表示される。また、画像履歴一覧表示ウインドウ３２には同試料に対してそれまでに取得された拡大画像のサムネイルが一覧表示され、観察者が任意の画像を選択指示すると、そのサムネイルが範囲指示画像３４上にマッピング表示される。これを参照して観察者がマウス操作により関心領域設定指示枠３５の位置、大きさ、角度を変更すると、それに応じた試料上の拡大画像が新たに取得される。 （もっと読む）

【課題】撮影画像に写っている撮影対象のサイズを簡易な方法で推定することのできる撮影対象サイズ推定装置を提供する。
【解決手段】撮影画像に写っている撮影対象の所望の算出対象サイズを表す算出対象画素の前記撮影画像内において占める画素数を検出する。また、撮影画像内において算出対象画素が占める画素数の代表値により、撮影対象の実空間上での算出対象サイズの代表値を除して、撮影画像内の１画素の実空間上におけるサイズの代表値を算出し、その値に、撮影対象の算出対象画素が撮影画像内において占める画素数を乗じることにより、撮影画像内に写っている撮影対象における算出対象サイズの実空間上のサイズを算出する。 （もっと読む）

【課題】複数方向から計測対象物を計測して取得した３次元点群を自動的に合成することの可能な３次元点群の合成方法を提供する。
【解決手段】計測対象物の近傍または表面に配置された個体識別する複数の計測用ターゲットを、３次元計測手段を用いて計測して３次元の点群として取得する３次元計測ステップ(S2)と、点群から計測用ターゲットに該当するターゲット点群を抽出し、いずれの計測用ターゲットに該当するかを判別する個体点群判別ステップ(S3)と、３次元計測手段の位置を変えて複数の方向から３次元計測ステップと個体点群判別ステップとを繰り返した後、個体点群判別ステップにより一方向において判別した各ターゲット点群及び各他方向において判別したターゲット点群の中で同一性状を示すターゲット点群同士を合成する点群合成ステップ(S4)とを備える。 （もっと読む）

【課題】マスクステージの回転中心の座標を精度良く求め、これによりマスクと基板との位置決めを高精度で行うことができるマスクの位置決め装置及びマスクの回転中心算出方法を提供する。
【解決手段】位置決め装置７０は、回転機構１６ｘを具備するマスクステージ１０と、マスクＭ及び基板Ｗに設けられた複数のアライメントマークＭｍ、Ｗｍを検知するための複数のアライメントカメラ１８と、アライメントカメラ１８により得られた画像を用いて各アライメントマークＭｍ、Ｗｍの位置が合うようにマスクステージ１０の動作を制御する制御装置７１と、を備える。アライメントカメラ１８は、各アライメントカメラ１８にそれぞれ対応するアライメントマークＭｍ、Ｗｍを撮像し、マスクステージ１０を回転させた後、各アライメントマークＭｍ、Ｗｍを再度撮影して、マスクステージ１０の回転中心Ｅの座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】被測定マスク基板に焼き付きを生じさせることなく、非破壊での測定を可能とするとともに、個々の露光条件を考慮して精度良く微細加工処理が施された基板上のパタン幅を露光機における実効的なパタン幅として測定することが可能なパタン幅測定装置を提供する。
【解決手段】空間領域及び／又は時間領域でのコヒーレントな光を、被検パタンを微細加工した被検マスク基板２に照射する照射部１０と、照射部１０により照射された被検マスク基板２上の被検パタンからの回折光を受光する撮像素子１５と、撮像素子１５による受光結果である画像情報を記録する記録部１６ａと、記録部１６ａに記録された受光結果である画像情報を解析して、微細加工処理が施された被検マスク基板２上のパタン幅を測定する測定処理部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】コストを低減しつつ部品の長さを検知することができる部品長さ検知機構および部品供給装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様は、１組の発光手段３４と受光手段３６とからなる光センサ２８と、ネジ３２を移動させるための供給テーブル２２、テーブル台２４、アクチュエータ２６と、を有し、発光手段３４が発する光の照射方向とネジ３２の移動方向とが鋭角に交わり、ネジ３２が移動する経路における上流側検査位置４４と上流側検査位置４４よりも発光手段３４から遠い位置にある下流側検査位置４６の少なくとも２箇所にて光センサ２８がネジ３２を検知した回数をもとにネジ３２の長さを検知すること、を特徴とする部品長さ検知機構１０である。 （もっと読む）