【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 対物レンズ５７が、ガラス管Ｇに照射されるレーザ光を集光させて、その反射光を回折格子３５及びラインセンサ３６で受光してガラス管Ｇの厚さを測定する。対物レンズ５７をＸ軸線方向の焦点距離Ｆｘと、Ｙ軸線周りに回転するガルバノミラー５２から対物レンズ５７までの光学的距離ａと、対物レンズ５７からガラス管Ｇの表面までの光学的距離ｂとの関係が、(１／ａ)＋(１／ｂ)＝１／Ｆｘの関係になるようにする。レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸に垂直になるようにＹ軸線周り角度のサーボ制御を行っても、Ｘ軸線方向におけるレーザ光のガラス管Ｇへの照射位置を変化させないように１点に固定することができて、ガラス管ＧのＺ軸線周りの傾きの度合によりサーボが不安定になることを抑制する。 （もっと読む）

【課題】光源からの光を回折格子が設けられた領域で反射させて、被測定面の変位を検出する変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１は、光源２と、対物レンズ３と、分離光学系４と、コリメータレンズ７と、非点収差発生部８と、受光部９と、位置情報生成部１０と、絞り部材１１とを備えている。そして、対物レンズ３から出射され、被測定面に向けて集光される光の光軸に対する角度をθ、光源２の波長をλ、被測定面１０１に形成された回折格子のピッチをｄ、回折格子による回折光の次数をｎとした場合に、遮蔽部１１は、


を満たす反射光を遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】安価で小型の変位・ひずみ分布計測光学系と計測手段を提供すること。
【解決手段】複数の撮像素子を使用することで、光学素子の数を減らし、２次元の変位・ひずみ分布計測を行うことができる装置を小型にすることができる。さらに、計測対象物の近傍に鏡を設置することにより、撮像素子の数を減らし、さらに小型の装置とすることができる。 （もっと読む）

【課題】トロリ線以外の構造物の影響を無くしトロリ線の摩耗量や偏位量を正確に測定する。
【解決手段】架線検測車屋根上にトロリ線へ投光する光を照射する投光ユニットを設け、トロリ線より反射した光を受光する受光ユニットを設ける。受光ユニットより受光した信号を二値化回路によってある閾値で二値化し、エッジ検出回路でパルス波形の立ち下がりから次の立ち上がりまでの距離に基づいて、剛体やイヤーなどのノイズ信号とトロリ線の信号を判別し、トロリ線摺面の検出信号を得る。エッジ検出回路から得られた検出信号は、演算装置によって前回の偏位データと今回の偏位データが比較され、前回のものと最も近い信号をトロリ線データとして検出し、トロリ線摩耗量（残存直径）に変換される。これによって、ノイズによる誤検出を低減させ、トロリ線の外形を正確に求める。 （もっと読む）

【課題】液浸法で露光を行う露光装置の液体に接する部分に異常があるかどうかを効率的に判定する。
【解決手段】露光光ＥＬで投影光学系ＰＬと液体１とを介して基板Ｐを露光する露光方法において、液体１に接する接液部を光学的に観察し、得られる第１画像データを記憶する第１工程と、接液部の液体１との接触後、例えば液浸露光後に接液部を光学的に観察して第２画像データを得る第２工程と、第１画像データと第２画像データとを比較して、その観察対象部の異常の有無を判定する第３工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、容易に光学系の調整を行うことができる機構を備えた光学装置及び光学式測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源１１と、レーザ光源１１により出射されたレーザ光を平行光とするコリメータレンズ１２と、コリメータレンズ１２により平行光とされたレーザ光をライン形状の光に変形する光形状変形手段１３と、を備え、光形状変形手段１３を内部に保持するとともに、突起部が形成されたホルダ１６と、ホルダ１５に固定され、突起部と対向する位置にＶ字状の第１のＶ溝が形成されたＶ溝ブロック１７と、を有する光学系調整機構１８を備え、ホルダ１５にＶ溝ブロック１７が固定される際、ホルダ１５に設けられた突起部に、Ｖ溝ブロック１７に設けられた第１のＶ溝が係合する。 （もっと読む）

【課題】細胞内で起こる高速現象を測定する装置を提供する。
【解決手段】ヒルベルト位相顕微鏡を使用し、透光性物体に関連した高解像度位相情報から、一フレーム毎の形状、体積のようなパラメータを得、ミリ秒の時間スケールで取得した多数の画像をもとに、ダイナミックな変動をナノメートルオーダーの分解能で定量化する。 （もっと読む）

【課題】プローブにおける撮像素子の位置決め精度を向上させ、組み立て工程・調整工程の工数を低減することのできる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源と、光を直線状の光に変換する光学手段と、ワークからの反射光を撮像する撮像素子１１０と、ワークからの反射光を結像させる結像レンズ１２１とを備え、光源の光照射面と、結像レンズ１２１の主点を含む主平面と、撮像素子１１０の撮像面とが、シャインプルーフの条件を満たした形状測定装置であって、撮像素子１１０の撮像面が光源の光照射面に対して成す角度を調整する第１調整手段と、撮像素子１１０の撮像面が光源の光照射面に対して成す角度が一定の状態において、撮像素子１１０の撮像面上の測定位置を調整する第２調整手段と、結像レンズ１２１を光軸方向に移動させて、当該結像レンズ１２１の光軸方向の位置を調整する第３調整手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で、精度よく他車両の位置を測定することが可能な周辺監視装置を提供する。
【解決手段】他車両２２が光を照射することにより路面上に形成された光投影パターンを検出することによって他車両２２の位置を測定する周辺監視装置であって、自車両２１進行方向の路面上の所定領域を検出領域Ｒとして、該検出領域Ｒに、他車２２両が路面上の所定の領域に形成した前記光投影パターンを検出する検出手段と、前記検出手段で検出された、自車両２１から見た前記光投影パターンに基づいて、自車両２１の進行方向に対する他車両２２の進行方向の角度を測定する測定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】広い視野に渡る計測対象の三次元形状情報を迅速かつ容易に計測する。
【解決手段】三次元形状測定装置１０は、計測対象に投影された光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する装置である。ここで、三次元形状測定装置１０は、光パタンが投影された計測対象を画像として読み取るためのラインセンサ１６と、ラインセンサ１６により読み取られた画像における光パタンを空間縞解析法に基づいて解析して、計測対象の三次元形状の情報を算出する画像解析部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法による３次元計測を可能にしながらも、液晶シャッタにおける隣接する画素の透過率を連続的に変化させる場合に比べて応答時間を短縮する。
【解決手段】投影装置１は、光源１１と、処理装置３からの制御信号により透過率が個別に制御される画素が２次元格子上に配列された液晶シャッタ１２と、光源１１から出力され液晶シャッタ１２を透過した光束の少なくとも一部を混合して計測対象４の表面に照射させるレンズ１３とを備える。処理装置３は、液晶シャッタ１２にそれぞれ複数列の画素からなり平均透過率が周期的に変化する複数の帯領域を形成させるように制御信号を出力し、レンズ１３は、帯領域を透過した光束を混合して計測対象４の表面に縞状の光パターンを形成させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置であって、光の波長による、計測対象物の変位を計測する精度の変動を抑えた共焦点計測装置を提供する。
【解決手段】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置である。共焦点計測装置１００は、白色ＬＥＤ２１と、白色ＬＥＤ２１から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ１と、回折レンズ１より計測対象物２００側に配置され、回折レンズ１で色収差を生じさせた光を計測対象物２００に集光する対物レンズ２と、対物レンズ２で集光した光のうち、計測対象物２００において合焦する光を通過させるピンホールと、ピンホールを通過した光の波長を測定する波長測定部とを備えている。回折レンズ１の焦点距離は、回折レンズ１から対物レンズ２までの距離と、対物レンズ２の焦点距離との差より大きい。 （もっと読む）

【課題】記録紙の種類を詳細に判別することのできる小型の光学センサを低コストで提供する。
【解決手段】第１の偏光方向の直線偏光の光を、記録媒体に照射する光照射系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において正反射された光を検出する正反射光検出系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において拡散反射された光を検出する前記第１の偏光方向に直交する第２の偏光方向の光を透過する光学素子を備えた拡散反射光検出系と、を有する測定系を複数有していることを特徴とする光学センサを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】トロリ線以外の構造物の影響を無くしトロリ線の偏位量を正確に測定する。
【解決手段】トロリ線測定装置は、トロリ線に向けて光を投光し、その反射光を受光することによってトロリ線の外形を測定する。このトロリ線の外形を測定する際に、剛体電車線区間では剛体部やイヤー部からのノイズが多く正確に測定することが困難である。そこで、このトロリ線測定装置は、剛体電車線区間でトロリ線及びその近傍の電車線設備（剛体部及びイヤー部）の画像を撮影し、撮影された画像に基づいて電車線設備の偏位を測定し、その測定結果をトロリ線の外形の測定に反映させるようにした。 （もっと読む）

【課題】液晶光学素子の光軸を対物レンズの光軸に位置合わせできる光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子（１０３、１０）は、対物レンズ（１０４）よりも光源（１０１）側に配置され、液晶分子が含まれる液晶層と、その液晶層を挟んで対向するように配置された二つの第１の透明電極とを有し、その液晶層を透過する光源から発した所定の波長を持つ直線偏光の位相または偏光面を、二つの第１の透明電極の間にその所定の波長に応じた電圧を印加することにより制御する液晶光学素子（３、１２、１３）と、液晶光学素子（３、１２、１３）の光軸を対物レンズ（１０４）の光軸と位置合わせ可能なように液晶光学素子（３、１２、１３）を対物レンズ（１０４）に対して相対的に移動可能な光軸調整機構（４、１４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】回折格子の輪郭を再構築するＣＳＩアルゴリズムを開示する。
【解決手段】電流密度Ｊの体積積分式を解くには、Ｊの近似解を求めるように、Ｅ及びＪの連続成分を選択することにより、電場Ｅ^Ｓ及び電流密度Ｊに関連するベクトル場Ｆ^Ｓの暗示的構築を使用し、Ｆは１つ又は複数の材料境界にて連続している。Ｆは、少なくとも１つの方向ｘ、ｙに関して少なくとも１つの有限フーリエ級数で表され、体積積分式を数値的に解くステップは、Ｆの畳み込みによってＪの成分を決定することを含み、畳み込み演算子Ｍは、両方向の材料及び幾何構造の特性を含む。Ｊは、両方向に関して少なくとも１つの有限フーリエ級数で表すことができる。連続成分は、Ｅ及びＪに作用する畳み込み演算子Ｐ_Ｔ及びＰＮを使用して抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】照射部の発光ムラがムラ検査用画像に与える影響を抑制する。
【解決手段】ムラ検査用画像取得装置１１は、基板９が載置されるステージ２、基板９の検査表面９１に向けて照明光を照射する照射部３、検査表面９１にて反射した照明光を受光する撮像部４１を備える。撮像部４１は、ラインセンサ４１１および撮像光学系４１２を備える。ラインセンサ４１１の各受光素子には、ムラ検査に必要な強度の光が入射する。撮像光学系４１２は、物体側において非テレセントリックであり、ラインセンサ４１１の位置と光学的に共役な合焦位置は、検査表面９１から撮像部４１側にずれて位置する。ムラ検査用画像取得装置１１では、照射部３と検査表面９１との間の光軸Ｊ１に沿う方向における距離が１００ｍｍ以上である。これにより、照射部３の発光ムラがムラ検査用画像に与える影響を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ズーム機能を用いた場合であっても、精度よく三次元モデルを作成する。
【解決手段】画像取得部１１は、ペア画像を取得する。特徴点対応抽出部１２Ｂは、画像取得部１１が取得したペア画像のそれぞれの画像から、特徴点対応の組を抽出する。誤対応除去部１２Ｃは、特徴点対応抽出部１２Ｂによって抽出された特徴点対応の組において、垂直座標の差が所定値以上ある組を誤対応として除去する。第１補正部１２Ｄは、誤対応が除去された後の特徴点対応の組の垂直座標に基づいて、画像取得部１１が取得したペア画像を、三次元モデル作成に適した画像に補正する。三次元モデル生成部１３は、画像取得部１１が取得し、画像補正部１２が補正したペア画像から、被写体の三次元モデルを生成する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 シリンドリカルレンズ５９が、ガラス管Ｇに出射されるレーザ光をＹ軸線方向に集光させて、ガラス管ＧにＸ軸線方向に延びたライン状のレーザ光を照射する。Ｙ軸方向サーボ回路１１９は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸方向エラー信号生成回路１１８によって検出されたＹ軸方向エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に照射されるようにガルバノミラー５６を回転駆動するモータ５７をサーボ制御する。また、Ｙ軸周り角度サーボ回路１２２は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸周り角度エラー信号生成回路１２１によって検出されたＹ軸周り角度エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に垂直に照射されるようにガルバノミラー５４を回転駆動するモータ５５をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】光学試験表面の誤差と適合光学系の誤差とを分離することを可能にする方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学試験表面１４の形状を判定する方法は、測定ビーム３０の波面を適合光学系２０により光学試験表面１４の所望の形状に適合させ、光学試験表面１４の形状を適合済測定ビームにより干渉測定するステップと、適合済測定ビームを光学試験表面に種々の入射角で照射し、測定ビームの波面を光学試験表面１４との相互作用後にそれぞれ測定するステップと、個々の入射角ごとに測定された波面からの干渉測定結果に対する適合光学系２０の影響を確定するステップと、光学試験表面の形状を、適合光学系２０の確定された影響を干渉測定結果から除去することにより判定するステップとを含む。 （もっと読む）