【課題】プリント配線板等のそり測定において、測定精度の向上と測定時間の短縮が可能なそり測定方法を提供するとともに、量産機として使用できるそり測定装置を提供する。
【解決手段】平面度が３００μｍ以下である平滑板上に、測定対象物を積載して、測定対象物の平面度を測定するそり測定方法。また、このそり測定方法により、測定対象物の平面度を測定する、好ましくはインライン化されたそり測定装置。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の断面積を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、測定対象物が載置されている断面形状出力範囲の複数の測定点における変位を測定し、測定された変位から測定対象物の形状データを算出する際に、複数の測定点に対応する複数の変位情報を大きさで順番付けした場合に、最も大きい側から予め定められた第１割合に含まれる変位と、最も小さい側から予め定められた第２割合に含まれる変位と、を除いた中間変位情報を選出し、この中間変位情報を圧縮係数を用いて圧縮処理した圧縮変位情報を加算して測定対象物の断面積を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の断面積を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、測定対象物が載置されている範囲を含む変位測定範囲の変位を測定し、測定された変位に平準化処理を実行して第１処理情報を生成し、第１処理情報から断面積測定範囲を決定する。変位測定装置は、断面積測定範囲における前記変位情報から測定対象物の断面積を検出する。第１処理情報から断面積測定範囲を決定することで、配線パターン等などによって生じるノイズを除去することができ、断面積測定範囲を正確に決定することができる。 （もっと読む）

【課題】試料表面の変位量が大きくても、フェーズラッピングの問題が生ずることなく、試料の微細な表面形状を高分解能で測定できる形状測定装置を実現する。
【解決手段】白色光源から出射した照明光は、入射光をシャーリングする第１の光路と入射光に対して可変光路長ないし可変位相量を導入してフリンジスキャンを行う第２の光路とを有する干渉光学系及び対物レンズを経て試料に入射する。試料上には、シャーリングされた参照ビームにより形成される第１の照明領域とフリンジスキャンされた測定ビームにより形成される第２の照明領域が形成される。第１及び第２の照明領域から出射した反射光は、対物レンズ及び干渉光学系を介して２次元撮像装置に入射し、２つの照明領域の画像が合成された干渉画像が形成される。フリンジスキャンにより、２つの画像を構成する反射光間に白色干渉が発生し、干渉信号を検出することで、試料の形状又は孔の深さが測定される。 （もっと読む）

【課題】移動体の移動量と、移動体の移動方向と直交する方向におけるずれ量との測定にかかる測定時間を短くすることができるとともに、測定にかかるコストを低減できる追尾式レーザ干渉計を提供する。
【解決手段】追尾式レーザ干渉計１は、レトロリフレクタＲで反射される測定光Ｌ２２を用いて移動体Ｍまでの距離を測定する測長部２１と、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を受光する検出器２２２を備える追尾用光学部２２とを有する本体２と、検出器２２２からの受光信号に基づいて本体２の姿勢を制御し、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させる制御手段３とを備え、制御手段３は、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させることを停止させた状態で、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１の検出器２２２における受光位置Ｑ２に基づいて、移動体Ｍの移動方向に対して直交する方向における移動体Ｍのずれ量を測定するずれ量測定部３２を備える。 （もっと読む）

【課題】ラインカメラの画像からラインカメラの視野範囲が移動した軌跡を特定し、路面全体の画像を正確に生成することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明の路面画像処理システムは、車両と、車両に搭載されており、一方向に長い第１視野範囲内の路面を撮影する第１ラインカメラと、車両に搭載されており、一方向に長く、第１視野範囲と交差する第２視野範囲内の路面を撮影する第２ラインカメラと、車両の走行距離に応じて第１ラインカメラと第２ラインカメラに繰り返し撮影を指示する手段と、第１ラインカメラが撮影した画像系列にアフィン変換を施した画像と、第２ラインカメラが撮影した画像系列にアフィン変換を施した画像について、最も高い一致度を与えるアフィン変換パラメータを探索する手段と、探索されたアフィン変換パラメータに基づいて、第１視野範囲と第２視野範囲が交差する点の進行方向を算出する手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の変位情報を精度良く測定する。
【解決手段】変位測定装置では、ガラス板及び測定対象物に対して垂直方向に光を出射し、当該光と同軸方向に反射される反射光を複屈折性のクリスタル及び偏光板を用いて受光し、反射光に含まれる各反射光成分に応じた反射面の変位の複数個を、各反射光成分の反射強度に関連付けて検出する。変位測定装置では、検出される変位のうち、最も高い反射強度の得られた変位Ｚ１と、変位Ｚ１の次に高い反射強度の得られた変位Ｚ２と、の差である差分変位をガラス板の同軸方向の厚さに設定された基準変位ＺＫと比較し、差分変位が基準変位ＺＫよりも小さい場合、変位Ｚ１を測定対象物までの変位Ｚと判断し、差分変位が基準変位ＺＫ以上である場合、変位Ｚ１と変位Ｚ２のうちの短いものを測定対象物までの変位Ｚと判断する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定装置は、光を発生する光源ユニットおよび光源ユニットから発生された光を格子パターンを有する格子パターン光に変更する格子ユニットを含み、格子パターン光を所定方向から測定対象物に照射する照明部、および格子ユニットを格子パターンの延長方向および格子パターンの配置方向に対して所定の傾斜方向に移送させる格子移送ユニットを含む。よって、製造コストを低減して、３次元形状測定装置は容易に管理することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物２の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置１００である。マクロ検査装置１００は、被検査物２を乗せるためのステージ１と、被検査物２の表面に対して所定の角度方向から被検査物２側に光を照射する拡散光源５と、被検査物２の表面からの反射光を受光可能なラインセンサ９と、被検査物２とラインセンサ９との間に設けられ、反射光のうち拡散光源５のエッジ部からの光束に起因する反射光束が、ラインセンサ９の両端の少なくとも一方に設けられた所定領域でのみ受光されるように、反射光をラインセンサ９に導くための光学系と、を備える。 （もっと読む）

【課題】１つまたは複数の物体の画像から得ることができる、距離測定の予測精度を反映している信号を提供する。
【解決手段】物体１４までの距離１２を測定するためのシステム１０が、ある位置に配置されたカメラ１６と、カメラ１６の設定を反映した信号３０，３２，３４とを備える。カメラ１６に作動可能に接続された制御装置１８が、信号を受信し、信号に基づいて精度信号３６を生成する。精度信号３６は、距離測定の予測精度を反映している。制御装置１８に作動可能に接続された表示器３８，４２が、精度信号３６を反映している表示を提供する。距離測定の方法は、カメラを配置するステップ、距離測定の予測精度を反映している信号を生成するステップ、信号を反映している表示を提供するステップ、その位置で物体の１つまたは複数の画像を撮影するステップと、その１つまたは複数の画像に基づいて、物体までの距離を計算するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化アルミナの状態（微細凹凸構造の形状、欠陥等）を簡易に検査できる検査装置および検査方法、ならびに陽極酸化アルミナの微細凹凸構造の形状等のムラや表面の欠陥が抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド１００に光を照射するライン状照明装置１０（第一の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するカラーラインＣＣＤカメラ１２（第一の撮像手段）と；モールド１００に光を照射するライン状照明装置２０（第二の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するモノクロラインＣＣＤカメラ２２（第二の撮像手段）と；２つのカメラによって撮像された画像から得られた色情報および輝度情報に基づいて陽極酸化アルミナの状態の良否を判定する画像処理装置３０（画像処理手段）とを有する検査装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】被検物（例えば、基板の裏面と表面とに形成されたマーク）の位置を高精度に検出することができる技術を提供する。
【解決手段】被検体の位置を検出する検出装置であって、前記被検体を第１波長帯域及び前記第１波長帯域とは異なる第２波長帯域を含む光で照明する照明系と、前記被検体からの光により前記被検体の像を形成する結像系と、前記被検体の像を撮像する撮像素子と、前記照明系又は前記結像系の光路における前記第１波長帯域の光に対する透過率と前記第２波長帯域の光に対する透過率とを異ならせることで、前記撮像素子で撮像される前記被検体の像を形成する前記第１波長帯域の光の強度と前記撮像素子で撮像される前記被検体の像を形成する前記第２波長帯域の光の強度との強度差を低減する光学部材と、を有することを特徴とする検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】地盤変位の測定に於いて拡散レーザ光を用い、レーザ光の単位面積当たりの光量を減少し、人、動物への眼に対する影響を減少する。また、雨、霧、雪等の影響を少なくした観測を可能とする。また、地盤変位の発生が予測される位置への設置作業を迅速にし作業者の安全性を確保できる。また、測定機構により測定した位相のズレが一定の許容範囲を超えたときに警報発生機構によって警報を発生させる。
【解決手段】照射先のビーム直径を照射元のビーム直径よりも大きくした拡散レーザ光４を発振するレーザ光発振部１と、地盤変位の発生予測位置に設置するレーザ光反射板６と、反射される反射波７を受光する検出器８と、この検出器８によって受光した反射波７とレーザ光発振部１の照射波１０の位相のズレからレーザ光発振部１とレーザ光反射板６の距離を計測する測定機構１１と、位相のズレが設置時における基準値の許容範囲を超えたときに警報を発生させる警報発生機構１４とから成るものである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で距離を測定可能なレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源部１１、出射光の光束径を拡張し、拡張後の出射光が反射手段３０で反射された反射光を集光する光束径変更部１４、反射光を受光する受光部１６、出射光と反射光を用い、反射手段３０までの距離を算出する算出部１８、その距離の変位を検出する変位検出部２１、検出された変位に関する出力を行う変位出力部２２、拡張前の出射光と、光束径変更部１４からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させることによって、光源部１１からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部１４に透過または反射させ、光束径変更部１４からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部１６に反射または透過させる反射部１７ａを備え、光束径変更部１４は、反射光に対する有効口径が出射光の光束径より大きい。 （もっと読む）

【課題】取得された複数の画像間の位置ずれを抑えることができる内視鏡装置を提供すること。
【解決手段】第一光源からの照明光の出射が開始されてから照明光の光量が安定するまでの時間ｗａと、第二光源からの投影光の出射が開始されてから投影光の光量が安定するまでの時間ｗｂとに基づいて、照明部と縞投影部とのうち光量が安定するまでの時間が長い方を先に動作させて被検物の第一の画像を撮像部に取得させ、照明部と縞投影部とのうち光量が安定するまでの時間が短い方を第一の画像の取得後に動作させて被検物の第二の画像を撮像部に取得させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】配置の制約が少なく、かつ照度不足および照度ムラが生じにくい投影装置を提供する。
【解決手段】撮像部の撮像対象物に対して光を投影する投影装置２００であって、放射する光の波長帯が互いに異なる赤色ＬＥＤ２４０Ｒ、緑色ＬＥＤ２４０Ｇおよび青色ＬＥＤ２４０Ｂと、撮像対象物の特性に基づき、各ＬＥＤが放射する光の光量を制御する投影制御部２３０と、複数のＬＥＤから放射される光を、同一の光軸上に導くことにより、撮像対象物に対して光を投影するリレー部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】第１の径を有する軸部分と、軸部分の一端に設けられた第１の径より大きな第２の径を有する頭部分とを含む検出対象物について、頭部分の位置および軸部分の方向をより高速に算出する方法、装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】本方法は、少なくとも１つの検出対象物を撮像した入力画像を取得するステップと、入力画像から、軸部分に相当する領域を軸領域として抽出するステップと、入力画像内の明るさの変化から頭部分の候補位置を抽出するステップと、軸領域および候補位置についての高さ情報を取得するステップと、軸領域との間の相対的な位置関係から、軸領域に対応する検出対象物の頭部分に相当する位置を候補位置から抽出するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定機の被測定体保持位置補正方法において、曲率半径測定機に発生する被測定体保持位置のずれを精度よく迅速に補正することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定機の被測定体保持位置補正方法であって、保持工程と、校正用光学部材の校正面の面頂を測定光束の集光位置に位置合わせし、位置合わせ後の干渉縞画像に基づく干渉縞画像情報を記憶する基準調整工程（ステップＳ３）と、この位置を基準位置として、基準位置から位置ずれ測定位置に被測定体を相対移動して干渉縞画像を記憶する位置移動工程と、各位置での干渉縞画像に基づいて干渉計の光軸に対する位置ずれ量を測定する位置ずれ算出工程（ステップＳ６、Ｓ１３）と、この位置ずれ量に基づいて、位置補正量を算出する位置補正工程（ステップＳ１５）と、を備え、被測定面の曲率半径の測定を行う際に、位置補正量に基づいて保持台の位置補正を行う。 （もっと読む）

【課題】 被検者に負荷をかけることなく角膜眼鏡間距離等の測定を行う眼鏡用測定装置を提供する。
【解決手段】 眼鏡用測定装置（１０）は、指標マーク（ＳＣ）が眼鏡フレーム（２３）に取り付けられた眼鏡（２０）をかけた被検者を撮影する撮影部（１２）と、撮影部で撮影された被検者の眼球の頂点を求めるとともに、指標マーク（ＳＣ）に基づいて眼鏡の眼鏡レンズ（２１）と被検者の眼球の頂点（ＫＰ）との角膜眼鏡間距離（ＫＧ）を演算する演算部（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】計測に適した条件であるかを短時間で判定できる内視鏡装置および計測方法を提供する。
【解決手段】本発明の内視鏡装置１は、第一光源４１からの照明光の出射状態を所定の周期で変化させ、第一光源４１から照明光が出射されている状態では第二光源５１からの投影光の出射を停止させ、第一光源４１からの照明光の出射が停止されている状態では第二光源５１から投影光を出射させ、照明光により被検物が照明された明視野画像を第一光源４１から照明光が出射されている状態で撮像部３０に取得させ、被検物に縞パターンが投影されたパターン投影画像を投影光が出射されている状態で撮像部３０に取得させ、撮像部３０が取得したパターン投影画像を用いて被検物の三次元形状を計測し、パターン画像を用いた計測によって得られた情報を明視野画像とともにモニター２８に表示させるメイン制御部２２を備える。 （もっと読む）