【課題】 フィルムの膜厚測定に関するものであり、フィルムの製膜上に起因するフィルムの波状の撓みによる影響を解消し、フィルムにキズを付けることなく高精度な測定方法、及び測定装置を実現する。
【解決手段】フィルムの厚みを連続的に非接触で測定する方法において、膜厚を計測するセンサーで前記フィルムの膜厚を測定する範囲周辺の表面に、表と裏側、またはどちらか片側より空気を吹き付けるノズルを備え、フィルムの幅方向の膜厚を測定する際に該膜厚測定センサーと該吹き出しノズルをその位置や速度を同期させてフィルムの幅方向に移動させることを特徴とするフィルム厚み測定方法、およびフィルム厚み測定装置。 （もっと読む）

【課題】 ３次元的に塑性変形する複雑形状部品の加工において、加工性の検討や成形品の欠陥の原因を解明するため成形品内部変形の様子を可視化する方法及び装置を提供する。
【解決手段】 標点を埋め込んだ金属材料の変形特性と類似したモデル材料を用いて、前記モデル材料をモデル型に装填し、所定の加工量だけ工具で加圧すると同時に、単一焦点から放射線を照射することにより前記標点を放射線用ＴＶカメラで撮像する。次に、視差を形成するために前記モデル型を放射線用ＴＶカメラの撮像面の縦方向を軸方向とし、モデル型中心軸を軸中心として回転させ、その位置で単一焦点から放射線を照射することにより前記標点を放射線用ＴＶカメラで撮像する。これらの操作を加圧終了まで繰り返した後、撮像画像から標点の２次元座標を演算し、これらの視差を形成する２次元座標から３次元座標を演算し、標点の３次元データとモデル型の形状データとを重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】試料分析の精度を向上させる。
【解決手段】本発明の試料分析装置１は、基板上に薄膜が形成された試料１２に、例えば、Ｘ線あるいは中性子線を照射し、薄膜の構造パラメータを解析する試料分析装置１であり、試料１２を反射したＸ線あるいは中性子線の強度を測定する測定手段と、試料１２を透過したＸ線あるいは中性子線の強度を測定する測定手段と、を備えたことを特徴とする。このような試料分析装置１によれば、測定データとして、試料１２を反射したＸ線あるいは中性子線の反射率が測定されると共に、試料１２を透過したＸ線あるいは中性子線の透過率が測定されるので、測定データの数が増加し、残差二乗和によって導出される構造パラメータの精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】 リムとタイヤの組付け状態を、タイヤの一周に渡り短時間で連続的に測定できる、リム組付けタイヤの組付け状態測定方法を提供する。
【解決手段】 タイヤ内部構造測定装置１０に、リム３０にタイヤ５６を組み付けたリム組付けタイヤ１２を回転可能に支持し、リム組付けタイヤ１２を、押圧負荷のない無負荷状態で回転させ、Ｘ線照射装置２０からＸ線をリム３０の接線方向に照射し、Ｘ線検知装置２２により、リム３０とタイヤ５６との組付部のＸ線透過情報を所定のタイミングで取り込み、取り込んだＸ線透過情報に基づいて、画像形成処理部２８で接線方向透過画像を形成し、得られた接線方向透過画像を用いて、リム３０とタイヤ５６の特定部位の位置情報を得る。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を用いて物品の形状の異常を簡易かつ高精度に検査する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、画像生成部２１ａと検査領域抽出部２１ｂと包絡図形導出部２１ｃと検査部２１ｄ，２１ｅとを備える。画像生成部２１ａは、ソーセージＳ１，Ｓ２のＸ線画像６１を生成する。検査領域抽出部２１ｂは、Ｘ線画像６１から検査領域Ｂ１，Ｂ２を抽出する。検査領域Ｂ１，Ｂ２とは、ソーセージＳ１，Ｓ２に対応する領域である。包絡図形導出部２１ｃは、包絡図形Ｃ１，Ｃ２を導出する。包絡図形Ｃ１，Ｃ２とは、検査領域Ｂ１，Ｂ２全体を包含し、かつ、外周が凸の線のみで表される図形のうち、面積が最小となる図形である。検査部２１ｄ，２１ｅは、包絡図形Ｃ１，Ｃ２に基づいてソーセージＳ１，Ｓ２の形状を検査する。 （もっと読む）

【課題】現像剤担持体の表面に現像剤が存在し、磁気穂立ちを形成している状態においても、適切に現像ギャップ長を測定することが可能な現像ギャップ長測定装置及び現像ギャップ長測定方法を提供する。
【解決手段】現像ユニットの現像ギャップＧの上方に設置されたＸ線発生装置２０から現像ローラ２と現像ギャップＧと感光体ドラム１に対してＸ線を照射し、これらの物質を透過した透過Ｘ線を対向する図示しないシンチレータに照射される。透過Ｘ線を検出することによってシンチレータで発光した光は、微弱のためイメージインテンシファイヤー２１を用いて光を増幅させ、この増幅光は、更に対向するＣＣＤ等の撮像装置２２によって画像データとして取得し、この画像データから現像ギャップ長を測定する。 （もっと読む）

【課題】高炉の炉内状況の推測は温度計測に依存しているのが現状で、耐火レンガの損耗を推定するのに利用された宇宙線ミュオンを用いて炉内状況の推定を行う。
【解決手段】宇宙線ミュオンを計測する計測装置により高炉を透過して飛来する高炉透過の宇宙線ミュオン強度と、該高炉透過の宇宙線ミュオンの飛来方向の判別情報と、高炉を非透過の非透過宇宙線ミュオン強度とを一定時間蓄積し、該実測による蓄積データに基づいて、高炉の状態を密度として炉底透過の宇宙線ミュオン強度と非透過宇宙線ミュオン強度との強度比で表し、特定箇所における強度比より当該箇所に存在する炉内充填物の密度を求め、該密度より炉内を構成する充填物を推定する。 （もっと読む）

【課題】ＳＴＥＭ等の走査型荷電粒子顕微鏡を用いた断面形状計測を１回のサンプル作成で複数の断面について行うことができるようにしたパターン寸法計測方法及びそのシステムを提供することにある。
【解決手段】走査型荷電粒子線顕微鏡を用いて、計測対象パターンの３次元断面形状計測を行うパターンの計測方法であって、収束荷電粒子線の焦点位置を前記計測対象パターンの所望の断面に合せてｚ方向に対して順次変化させ、それぞれの焦点位置での前記計測対象パターンの透過電子画像若しくは散乱電子画像を取得し、それぞれの焦点位置で取得した透過電子画像若しくは散乱電子画像を処理して、該それぞれの焦点位置での電子画像内での計測対象パターンのエッジ位置を算出し、該算出されたそれぞれの焦点位置での電子画像内の計測対象パターンのエッジ位置とそれぞれの焦点位置との組み合わせに基づいて、計測対象パターンの３次元断面形状計測を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 通電状態でターゲット電流設定値を自動的に最適な値に変更することができるＸ線厚さ測定装置を提供する
【解決手段】 駆動回路１３によって電流駆動されるＸ線源１４から出射されたＸ線が、被測定体３０を通過した透過量をＸ線検出器２１で検出し、透過量から被測定体２１の厚さを測定するＸ線厚さ測定装置において、Ｘ線源１４と検出器２１との間の空気層による透過量が目標値と等しくなるように駆動回路１３を制御する制御手段７１と、制御手段７１から出力される信号を保持し、厚さ測定時に駆動回路１３の電流設定信号として出力する保持手段７３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】物理量検査領域の各区画毎に、物理量算出結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源２と、Ｘ線検出部４と、データ処理部６と、表示部２０とを備えたＸ線検査装置において、被検査物の質量検査領域を複数の区画Ａ，Ｂ，Ｃに分割し、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報を複数の区画の各区画毎に抽出して質量測定領域のＸ線画像をＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出処理部８と、この領域抽出処理部８で抽出された検出情報に基づいてワークＷの質量を算出する質量算出部１３と、複数の区画における質量測定領域のＸ線画像と質量算出部１３で算出された質量を示す複数のグラフ表示要素４３，４４，４５とをそれぞれ関連付けて表示部２０に表示させる表示データ生成部１５とを設ける。 （もっと読む）

特にコンクリート内の棒鋼に適する、放射線を使用したトモグラフィ決定を改善する方法および配置。この方法には、物体を透過性放射線で照射し、前記物体を通過した前記放射線を記録手段に記録し、高密度の放射線吸収材料ででき独立して識別され個別化された複数の基準要素を備え、この基準要素を規則的に配置し、前述の測定を識別し、照射時間を決定し、測定に使用した記録手段に記録された情報に基づいて物体内の対象物の位置および寸法を決定することが含まれる。 （もっと読む）

【課題】複数の検査対象を検査する際の検査速度を高速化することができなかった。
【解決手段】放射線発生器によって放射線を複数の検査対象に照射し、前記放射線発生器の焦点を通る直線を回転軸とした回転軌道上に設定された複数の撮影位置における放射線検出器の静止と当該回転軌道上における前記放射線検出器の回転とを実施し、前記撮影位置のそれぞれにおいて前記複数の検査対象を逐次前記放射線検出器の視野に移動させ、前記複数の検査対象のそれぞれについて透過放射線の強度を取得する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、円筒部材上の外被部材を破壊しないことは勿論のこと、円筒部材の発錆部位と減肉量を容易に検出できる表面が被覆された円筒部材の錆検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、放射線を円筒部材（１）の表面の接線方向に沿って照射する放射線照射部（７）と、照射された放射線により前記円筒部材の表面の透過像を結像する放射線撮像部（８）と、これら放射線照射部（７）と放射線撮像部（８）とを一体的に支持する筐体６とを備え、かつ前記放射線撮像部（８）での結像を処理して前記円筒部材の減肉量を判定する透過像処理部１０を設けたのである。 （もっと読む）

本発明は、内側空間を囲む少なくとも１つの壁を備える中空の物体に対して透過性放射線を用いて測定を実行する方法に関するものであり、前記壁は内面と外面を備え、前記方法は壁の内面の少なくとも一部の位置および形状を決定するために少なくとも実行される。
（もっと読む）

【課題】本発明は、発錆部位の検出と共に、発錆部位の補修の要否を判定できる表面が被覆された円筒部材の錆検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、表面が外被部材２被覆された円筒部材（１）の錆検査方法として、外被部材２の上から円筒部材（１）の表面の発錆部位を検出し、その後、外被部材２の上から発錆部位における円筒部材（１）の減肉量を測定するようにしたのである。
このように、発錆部位を検出した後、発錆部位における円筒部材（１）の減肉量を測定することで、発錆部位の補修の要否を判断することができ、外被部材を不用意に撤去する無駄な作業を無くすことができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、従来の技術が有する上記問題点を解決し、管状物の内外径および肉厚を簡便かつ精度よく測定可能とする測定方法を提供すること
【解決手段】
本発明の解決手段は、放射線源から照射され、管状物を透過した放射線の強度を測定して認識された管状物の内径および外径についてのエッジ位置の情報を用いて算出することにより、管状物の内外径および肉厚を求めることを特徴とする、管状物の断面径および肉厚の測定方法である。 （もっと読む）

【課題】部品が両面に実装された基板を検査するための検査装置を提供する。
【解決手段】基板の検査装置が実行する処理は、片面のみに電子部品が実装された基板の第１の光学画像とＸ線透過画像との各位置確認マークを一致させて、電子部品の基準画像を生成するステップ（Ｓ８２０）と、両面に電子部品が実装された基板の第２の光学画像と第２のＸ線透過画像との入力を受けるステップ（Ｓ８３０）と、第１の光学画像と第２の光学画像とを比較して位置ずれ量を算出するステップ（Ｓ８４０）と、位置ずれ量を用いて第１の光学画像を補正して第３のＸ線透過画像を作成するステップ（Ｓ８５０）と、第２のＸ線透過画像から第３のＸ線透過画像を差し引いて第４のＸ線透過画像を導出するステップ（Ｓ８６０）と、第４のＸ線透過画像に基づいてはんだ付け部の合否を判定するステップ（Ｓ８７０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 検査対象とすべき最適な断層像を特定することが困難であり、結果として高精度の検査を行うことができなかった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、Ｘ線を基板上の検査対象品に照射して異なる方向から撮影した複数のＸ線画像を取得し、上記複数のＸ線画像に基づいて再構成演算を実行し、当該再構成演算によって得られた再構成情報に含まれる上記基板の配線パターンの情報に基づいて上記検査対象品の検査位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の厚さプロファイル測定装置において、測定空間に置かれる窓の厚さムラの影響を補正して、窓厚さムラの影響をなくした厚さプロファイル測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 被測定物１１を挟んで対向する一方のＣフレーム５腕部に設けられるＸ線発生器１と、他方の前記Ｃフレーム腕部に設けられ、被測定物を透過した透過Ｘ線を検出する多チャンネルＸ線検出器２と、Ｘ線発生器及び多チャンネル検出器を予め所定の被測定物の端部位置に設定する検出器設定手段（３、７、８）と、被測定物の公称厚さに相当する校正サンプル板を有しる厚さ校正サンプル板設定手段（４、６、８）と、予め所定の校正サンプル板を幅方向の測定端部位置に設定して、Ｃフレームの幅方向の窓厚さを予め求め、測定した前記被測定物の厚さプロファイルから窓厚さを補正する測定部９とを備える。 （もっと読む）

【課題】管径の異なる多数種類の配管に対して線源と検出部とを結ぶ線が配管のほぼ中心を通るような正確な装着を実現し、使い勝手の向上および計測精度の向上を共に図るような配管用厚さ測定装置を提供する。
【解決手段】線源取付部１００とセンサ取付部３００とはそれぞれ二箇所のローラを介して配管１０と当接させ、締結ベルト２００で配管１０の外周を締め付けて固定する。締結ベルト２００は、凹凸面で嵌め合わせ可能に形成されており、先端部が一致していれば、配管１０との接触箇所の長さが同じ長さとなり、このとき放射線は配管１０の中心を経てセンサの検出部へ到達し、正確な配管１０の厚さを測定できる配管用厚さ測定装置１となる。 （もっと読む）