【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 退避位置から適切な位置まで検査対象物及び探針を互いに接近させる際の操作性を向上させた走査型プローブ顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物が載置される載置台１１と、カンチレバーに取り付けられた探針を載置台１１上の検査対象物へ押圧しながら走査させ、検査対象物の表面形状を示す形状データを生成するプローブ顕微鏡５と、検査対象物を撮影し、カンチレバーの後方から見た顕微鏡画像を生成する光学顕微鏡１３とからなる走査型プローブ顕微鏡装置であって、載置台１１及びカンチレバーを相対的に移動させ、検査対象物及び探針を互いに接近させるアプローチ制御部１１２と、検査対象物及びカンチレバーを撮影し、カンチレバーの側方から見たサイドビュー画像を生成するサイドビューカメラ制御部１４０と、顕微鏡画像及びサイドビュー画像を画像処理し、モニター３１上に表示する画像処理部３０により構成される。 （もっと読む）

【課題】広範囲に渡る試料の観察を容易に行うことができるとともに、迅速かつ正確な観察を行うことが可能な顕微鏡システム、観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】試料上の走査単位領域および観察対象領域を設定する。ＣＰＵは観察対象領域内の走査単位領域の個数および位置を設定し、各走査単位領域の形状情報を取得する（ステップＳ２１）。ＣＰＵは、取得した形状情報に基づいて全ての走査単位領域の上面視画像を表示装置に表示させる（ステップＳ２２）。複数の走査単位領域の上面視画像を使用者が手動で連結する場合、ＣＰＵは選択された上面視画像に対するオフセット処理を行う（ステップＳ２７）。オフセット処理は、隣接する走査単位領域の上面視画像の重複領域の画像のピクセルの階調がほぼ等しくなるように一方の上面視画像のピクセルの階調をオフセットすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】光学素子の光学面と円筒基準形状の相対位置を高精度で評価する。
【解決手段】３つの球４を有する測定用の治具２に、非球面レンズ１のレンズ第１面７およびレンズ第２面８の外周部に形成された円筒基準形状９を三次元形状測定用のプローブによって測定するための基準形状測定空間３を設ける。まず、非球面レンズ１のレンズ第１面７およびレンズ第２面８の表面形状を測定し、治具２の３つの球４を基準とした座標の点列データを得る。次いで、非球面レンズ１の円筒基準形状９を測定し、３つの球４を基準とした座標の点群データを得て、円筒基準形状９とレンズ第１面７およびレンズ第２面８の相対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】装置構成の小型化・簡素化を可能としつつ、高い信頼性を有する荷重から変形量を算出するための変換行列を生成可能な荷重変位算出装置を提供する。
【解決手段】荷重変位算出装置１に、対象物を第一の姿勢、第二の姿勢、第三の姿勢で支持する支持手段１６・２０と、対象物を互いに直交する三つの軸の軸線方向および該三つの軸のいずれか一つの軸の周方向に変形させる変形手段１３・１４・１７・２２と、対象物の互いに直交する三つの軸の軸線方向の変形量および該三つの軸のいずれか一つの軸の周方向の変形量を検出する変形量検出手段２３・２４・２５・２６と、対象物の互いに直交する三つの軸の軸線方向の荷重および周方向の荷重を検出する荷重検出手段１９と、対象物の変形量に係る情報および荷重に係る情報に基づいて対象物の荷重から変形量を算出するための変換行列を生成する変換行列生成手段４ａと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】位置決めおよび測定精度に及ぼす工作物の重量の影響を低減する単純かつコスト効率の高い代案を提供する。
【解決手段】測定対象物３０についての測定可能な変数を決定する装置は、複数の機械脚部３８、４２上に取り付けられた底板１２を有している。測定ヘッド２８は、底板に対して移動させることができる。工作物テーブル４６は、測定対象物３０を支持するために底板１２上に設置することができる。本発明の一局面によれば、底板１２は、垂直方向に調節することができるように機械脚部３８、４２に取り付けられている。機械脚部３８、４２は、工作物テーブル４６を保持するために第１の調節位置で底板１２から上方に突出している。第２の調節位置においては、機械脚部３８、４２は、底板１２内に後退されている。 （もっと読む）

【課題】 製品ばらつきが小さく、製品歩留まりが高い櫛歯型プローブを提供すること。
【解決手段】 櫛歯型プローブ１０は、静止部１、可動部２、探針３および支持部４を備えている。櫛歯ドライブ１０ａは、静止部１の櫛歯状凹凸部と可動部２の櫛歯状凹凸部とが非接触で噛合し、交流電源７によって与えられる静電力により可動部２がＺ方向に振動する。櫛歯型プローブ１０は、可動部２を励振するのに圧電体層のような機能性薄膜を用いないので、製品歩留まりが高い。可動部２が外力（探針３−試料Ｓ間の原子間力）の影響を受けると、櫛歯ドライブ１０ａのアドミッタンスが変化する。アドミッタンス検出器２０によりアドミッタンスを検出し、この検出値から可動部２の変位量を求める。 （もっと読む）

【課題】測長干渉計の測定基準となる基準ミラーを保持する構造体に、ベースの変形や振動が伝播するのを防ぐ。
【解決手段】三次元形状測定のためのプローブ等を保持する移動ステージ７の三次元位置を測長干渉計１〜６によって計測する。測長干渉計１〜６に対向するＸ、Ｙ、Ｚ方向の基準ミラー８、９、１０は、一本の根幹支柱１４から三股に分岐する片持ち梁１１、１２、１３の先端に支持される。この構造体（１１、１２、１３、１４）は、根幹支柱１４とベース１５の接触面積が小さいため、ベース１５の変形や振動が基準ミラー８、９、１０に伝播するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】 従来、検査測定機に於いての検査時、測定部品を固定するのに不安定な状態であったのを簡単に正確に固定する。
【解決手段】 Ｖブロックにクリップをつけワンタッチで挟み、測定部品をすばやく正確に固定する。 （もっと読む）

【課題】 大型・重量化した基板の表面および裏面の両面形状を、作業性に優れ簡便にしかも高精度に測定できる基板の両面形状測定システムを提供する。
【解決手段】 基板の両面形状測定システムは、主要な構成装置として、基板形状測定装置１、基板ハンドリング・ロボット２およびコンピュータ３を備える。基板形状測定装置１は、垂直状態に配置した縦型定盤４と、それに平行に被測定基板Ｐを保持する基板保持機構５と、変位計走査コラム６とを有し、被測定基板Ｐの両面形状を同時に測定する。基板ハンドリング・ロボット２は、未測定の被測定基板Ｐを垂直状態にして上記基板保持機構５に装着し、あるいは測定済みの被測定基板Ｐを基板保持機構５から取り外す。ここで、基板形状測定装置１および基板ハンドリング・ロボット２は、コンピュータ３により一括制御される。 （もっと読む）

【課題】 石材定盤を備え、かつ石材定盤の少なくとも一面を可動部材のガイド面として使用する装置において、周囲温度の変化に伴って定盤のガイド面の真直度低下を防止する。
【解決手段】 石材定盤２４を備える座標測定機１において、可動部材１２Ａ、１２Ｂのガイド面として使用される側面２４Ａ、２４Ｂと直交する異なる側面２４Ｃ、２４Ｄに、これらをそれぞれ覆う断熱部材６０Ａ、６０Ｂを設ける。 （もっと読む）

板ガラスを測定する装置である。この装置は安定したベースを含み、ベース上には複数の再配置可能な支持部材が配列されている。シート状ガラスは支持部材上に配置され、ｘ−ｙ軸及びｚ軸に沿って測距装置を平行移動させるシステムに連結されたレーザ測距装置等の従来の測距装置が、シート状ガラスの上方に懸下される。複数の距離測定が行われ、その後、平面からのシート状ガラスのずれが決定される。各支持部材と測定されるシート状ガラスとの接触は点接触であるのが好ましい。
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【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 部品を搭載したシャーシの基準面に対する部品の測定面の相対的な高さを正確に求めることが可能な高さ測定装置を提供する。
【解決手段】 シャーシ１を三箇所で支持する支持ピン３２ａ，３２ｃと、シャーシ１を位置決めする位置決めピン３３ａと、基準面９および測定面１０の高さを計測する計測器３５とが設けられ、部品２の荷重Ｗが作用する荷重作用部１４に、部品２の荷重Ｗと同等の押上げ力Ｆａをシャーシ１の下方から上向きに付与することによって、シャーシ１の下方への変形を矯正する矯正手段３９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 基板が大型化した場合においても基板を正確に測定することができる基板測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 測長機は、基部１０と、この基部１０から応力を受けることなく、その表面が鉛直方向に対して微小角度傾斜した状態で、基部１０に支持されるステージ部１４と、測定を行うべき基板１００の下端部を支持するためのガイドローラ４２および昇降ローラ４３と、ステージ部の上部と下部とに設けられたガイドレール４５に案内されることにより、ステージ部１４の表面に沿って左右方向に移動可能な架台１５と、この架台１５に設けられたガイドレール５３に案内されることにより、架台１５に沿って上下方向に移動可能な撮像部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 底面を持ち、かつ配列制御を自由に行うことのできる微小穴の配列形成方法を提供すること。
【解決手段】 （０００１）面、または（０００１）面から１０度以内のオフ角度を持った面を主面として有する単結晶サファイヤ基板１の表面に対して、所望の位置にアレイ状にエッチングの起点となる微小欠陥２を形成し、該微小欠陥２にエッチングを行ってエッチピット２ａを形成し、該エッチピット２ａに熱処理を行うことを特徴とする、アレイ状に微小穴を配列形成する方法である。 （もっと読む）

【課題】 非接触三次元測定装置を用いて製缶構造物の寸法測定を行う方法と装置を提供する。
【解決手段】 寸法測定装置１は、マスト１０とターンテーブル３０を備え、レーザビームを用いた三次元測定機２２はマスト１０に昇降自在に取付けられる。ターンテーブル３０上にはワーク１００が取付けられ、基準点位置に複数のスチールボールＢ_１，Ｂ_２・・・が置かれる。三次元測定機２２は、複数のスチールボールの位置を測定するとともに、ワークの各部の座標位置の測定データを得る。測定データで作成されたワーク形状をＣＡＤデータに重ね合わせて、ベストフィットを得る。ベストフィットに基づいてワークの各部品の寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】 厳格な位置決めを必要とせず、ワークを測定できる三次元ワーク測定方法を提供する
【解決手段】 測定対象であるワーク４０を、測定用ロボット２０により三次元測定するための三次元ワーク測定方法であって、ワーク４０上に設定された基準点のうち一点を位置決めピン１２ａに位置合わせして、基準点を測定する第１測定工程（ステップＳ５、Ｓ９、Ｓ２１〜Ｓ３７）と、ワーク４０と同様の基準点が設定された設計値通りの理想ワークを、該基準点のうちの一点を位置決めピン１２ａに合わせた所定の姿勢で配置したと想定して、該理想ワーク上の基準点とワーク４０の基準点の測定結果とを比較する比較工程（ステップＳ３８）と、比較結果に基づいて、ワーク４０上の測定点を測定するための前記ロボットの測定位置を補正する補正工程（ステップＳ６、Ｓ１０、Ｓ４１）と、補正した測定位置から、ワーク４０上の測定点を測定する第２測定工程（ステップＳ４２〜Ｓ４８）と、を有する三次元ワーク測定方法。 （もっと読む）

【課題】走査に用いる走査系の運動誤差を除去できる形状計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状計測装置は、走査系を構成している回転スピンドル１１２及び直動スライド１４２と、スライド１４２上に設置されている変位センサ類で構成されている。回転スピンドル１１２により、計測試料１２０とその外周に設けられた補助試料１１４とが回転している。直線上に動く直動スライド１４２上では、計測試料形状計測用変位プローブ１３２と、その両側に補助試料１１４の表面形状及び走査系の運動誤差を計測できる２台の変位センサ１３４，１３６を設置している。試料外周部に設けた補助試料１１４を変位センサ１３４，１３６で２点測定して、表面形状を求めておくことにより、直動スライド１４２の真直度誤差、回転スピンドル１１２の回転運動誤差、熱膨張などによる系統誤差を全て除去できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用の迅速平行移動ステージが提供される。該ステージは、平行移動ステージの自然の共振周波数にて駆動される少なくとも１つの平行移動の軸線を有し、走査方向の急速な変化に関係した歪みが回避される。１つの実施の形態において、該ステージは、好ましくは１つ又はより多くのピエゾアクチュエータ要素により駆動され、その共振周波数にて迅速走査周波数に沿って平行移動する試料板又は支持体を有している。
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