【課題】平面基板の形状測定時に、被測定基板の下端面形状の影響を低減し被測定基板に発生する平面の反りを低減させる支持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】平面基板Ｐの形状測定において、前記平面基板Ｐの下端面２７を支持することにより前記平面基板Ｐを垂直状態に位置決めする支持部材１７であって、上方に凸型形状からなる断面と、該断面が一方向に延在する湾曲面形状１７ｂと、を備え、前記支持部材１７に設けられた湾曲面形状１７ｂの稜線部と、前記平面基板Ｐの下端面２７の板厚方向略中央部が当接するように載置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ作業が簡単で測定機の計測用基台に対する試料載置台の位置が低く機構が簡単で価格が低廉な可動テーブルを提供する。
【解決手段】可動テーブル１０は磁石１２の磁力で不図示の計測用基台に固定される。固定前の位置合わせのときは、指で二つの操作レバー１８がつままれ、開放位置Ｆから移動位置Ｍへ回動される。操作レバー１８に一体なシャフト部２１が回転し、シャフト部２１に形成されているカム部２２が逃げ部２４から下方に回動してその先端が計測用基台の面を押しやり相対的に天板１１を計測用基台から浮き上がらせる。指で二つの操作レバー１８をつまんだまま天板１１を所望の方向へ移動させて位置決めし、指を離すと磁石１２の磁力で天板１１が計測用基台の面に密着して固定される。 （もっと読む）

【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中にインポジション範囲内であることを確認して迅速停止可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】パターンを書き込む際に生じるあらゆる物理的変形に無関係に、オブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法及びパターン生成装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光装置での使用を対象とするオブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法であって、表面を備えた厚さＴのオブジェクトをパターン生成装置のステージの上に配置するステップと、表面を多数の測定ポイントに分割するステップであって、隣接する２つの測定ポイントが所定の最大距離を越えない距離Ｐで間を隔てられているステップと、各測定ポイントにおける表面の勾配を決定するステップと、各測定ポイントのｘ−ｙ平面における二次元局部オフセットｄを勾配及びオブジェクトの厚さＴの関数として計算するステップと、前記表面に書き込むパターンを、二次元局部オフセットｄを使用して修正するステップとを含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 座標測定装置の多座標測定テーブル用前進手段およびそのような前進手段の制御方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、座標軸（ｘ、ｙ）毎に摩擦ロッド（１０、１２）とモータとを有する駆動ユニット（２２）を備える多座標測定テーブル用前進手段に関する。モータは、そのモータシャフト（１９）で摩擦ロッド（１０、１２）の一方側と接触し、少なくとも１つの押圧ローラ（２０）が、摩擦ロッド（１０、１２）の他方側と接触する。押圧ローラ（２０）と、摩擦ロッド（１０、１２）と、モータシャフト（１９）とを互いに対して押圧力で付勢することにより、モータシャフト（１９）を摩擦ロッド（１０、１２）と摩擦係合させ、モータの回転運動を摩擦ロッド（１０、１２）の直線運動に変換する少なくとも１つの押圧手段（２５）が設けられている。そのような前進手段を制御する方法も開示されている。 （もっと読む）

【課題】形状を高精度で信頼性よく測定することが可能な測定システム、測定方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】測定対象物１０の設計形状を規定する第１及び第２形状因子の公差を格納する外部記憶部２６と、測定対象物１０の第１形状因子の測定データを得る測定器１４と、第１形状因子の測定データと外部記憶部２６から読み出した第１形状因子の公差とを比較する比較部３２と、測定データから予測形状を構成して図形として成立するか検証する検証部３４と、検証部３４が構成した予測形状から第２形状因子の予測データを計算する計算部３６と、計算部３６が計算した予測データを外部記憶部２６から読み出した第２形状因子の公差と比較して測定形状を判定する判定部３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】所定の基準面と直角の方向における位置を測定する形状測定において、従来よりも簡易な構成によって、基準面に対して大きな傾斜角をなしかつ任意の方向を向いた測定面における測定を可能とする。
【解決手段】形状測定装置１を、少なくとも２軸方向（Ｘ、Ｙ）に試料Ｗとプローブ２０とを相対運動させて試料Ｗの表面をプローブ２０で走査させる多次元移動手段（１１、３０）と、試料Ｗを置くための、２軸方向（Ｘ、Ｙ）に対して直角な軸Ｚに対して傾斜した傾斜面を有する試料台１２と、傾斜面の垂直軸Ａを回転軸として試料台１２を回転させる回転手段とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】板状体の表面に変形を生じさせることなく、高精度に板状体の表面形状の測定を行う測定方法を提供すること。
【解決手段】板状体を略垂直方向に自立させ、板状体の測定面を略垂直方向に立てることを特徴とする板状体の表面形状の測定方法、及び、この測定方法を好ましく用いることができる測定冶具を提供する。
本発明によれば、板状体の表面に変形を生じさせることなく、高精度に板状体の表面形状の測定を行う測定方法を提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、装置構成を簡素化かつ低コストとすると共に、操作を容易にする。
【解決手段】被測定物である薄板ｇの表面形状測定装置において、基台１０上に薄板を垂直に保持する垂直保持機構２０と、薄板ｇを挟んで平行に配置された一対の固定レール４１と、該一対の固定レール間に架設され薄板ｇを挟み薄板表面に対して一定の間隔をもって平行に配置された一対のスライド軸５１、及び該スライド軸を該固定レールに沿って移動させる駆動装置４５と、変位センサ３２ａ〜ｂが装着され該スライド軸に沿って夫々移動可能に配置された一対の測定台３１、及び該測定台の駆動装置と、該スライド軸の両端部に架設され該スライド軸を連結し該スライド軸間の間隔を位置決めする連結部材５２とからなり、該スライド軸と該連結部材とによって略矩形形状とし、薄板ｇの両面の形状を同時に測定可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク基板の法線が、測定用ステージの回転軸に対しずれているような場合でも、精度よく表面および裏面のマーク等の位置ずれを測定することができる方法・装置を提供する。
【解決手段】回転可能な測定用ステージ１０上にフォトマスク基板１を載置した第１状態で、該測定用ステージ１０の１８０°回転前後の２回の測定によりフォトマスク基板１の表面及び裏面のパターンの第１の位置ずれ量を求める第１位置ずれ量測定ステップと、該第１状態からフォトマスク基板１自身を９０°もしくは１８０°回転させた第２状態で、該測定用ステージ１０の１８０°回転前後の２回の測定によりフォトマスク基板１の表面及び裏面のパターンの第２の位置ずれ量を求める第２位置ずれ量測定ステップと、該第１の位置ずれ量と該第２の位置ずれ量とから真の位置ずれ量を算出するステップと、からなることを特徴とする基板表裏面パターン位置測定方法である。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状測定中に発生する触針子の接触異常を迅速かつ的確に検知することができる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】触針子２を被検物１３に接触させた状態で相対的に水平走査させて、前記被検物１３の表面形状を測定する表面形状測定装置１であって、所定時間内の前記触針子２の変位量の変動に相当する周波数を求める演算部と、前記周波数の相対的時間変化量に基づいて、前記触針子２と前記被検物１３の接触状態を判定する判定部とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの形状計測装置の系統的誤差を判定する。
【解決手段】ウェーハを計測器に対して角度を変えながらその表裏面を計測してセンサデータを収集し、表裏データセットを作る。ウェーハ角度に対して裏側データを表側データから差し引いて二分する事によって、各角度のウェーハ形状の平均を求める。また表裏データを加えて二分することにより各角度における計測シグネイチャを求める。対称的修正値は各角度における計器シグネチャ全てを平均する事によって計算され、該対称的修正値を計測の時と同じ角度毎に引き算し、校正されたウェーハデータセットを生ずる。ウェーハ平均値を、これらの校正ウェーハ形状計測値を平均する事によって計算し、該ウェーハ平均値を修正された形状計測値から差し引いて、それぞれの角度における形状残余マップを作る。残余を平均して非対称性誤差を算出し、対称性誤差と加算して系統的誤差を求める。 （もっと読む）

【課題】ステージのガイドの真直度誤差、テーブルの運動誤差をリアルタイムで補正することができ、これらの誤差による形状測定への影響を最小限に抑えた高精度の形状測定を実現することができ、しかも構造が簡単で、比較的安価に実施できる形状測定用測長装置を提供する。
【解決手段】接触式又は非接触式のプローブを用い、測定物またはプローブのいずれかを可動テーブルに搭載して相対移動させることで、測定物を測長する装置において、端子を測長方向に沿う方向に向けて配置され、測定物をスキャンする第１のプローブと、端子を測長方向に沿う方向に向けて配置され、平面基準面をスキャンする第2のプローブと、前記第2のプローブからの測定情報と第１のプローブからの測定情報を処理して可動テーブルのガイドの真直度誤差および可動テーブルの運動誤差を補正する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】短時間で確実に車両を正対することが可能な車両正対装置および車両正対方法を提供する。
【解決手段】車両正対装置１に、正対位置に進入する乗用車７の車輪（右前輪８Ｒ、左前輪８Ｌ、右後輪９Ｒ、左後輪９Ｌ）をガイドするとともに、正対位置に到達した乗用車７の車輪の両側面を規制するガイド式正対装置２と、正対位置に到達した乗用車７の車輪を回転駆動するランナウト式正対装置４と、ガイド式正対装置２およびランナウト式正対装置４の動作を制御する制御装置６と、を具備し、制御装置６は、ランナウト式正対装置４による乗用車７の車輪の回転駆動が開始されてから車輪の回転速度が所定のランナウト速度となるまでの間にガイド式正対装置２による車輪の規制を解除する。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】測定装置の複雑化を招くことなく、形状測定の信頼性を確保することができる円筒体の形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体９０の両側端部近傍の内周面９２に一対の基準部２０，２０を当接させたまま円筒体９０を回転させ、円筒体９０の外側から基準部２０，２０に対峙する位置３１，３１において、円筒体９０の回転に伴う前記円筒体９０の外周面９１の半径方向の変位量を変位検出器によって検出する。一方、形状測定されるべき円筒体９０が存在しないときに、この円筒体９０の変位量測定を行う変位検出器を用いて基準部の位置検出を行い、形状測定の基準とする基準部２０，２０の位置ずれを未然に検出する。 （もっと読む）

【課題】測定装置の複雑化を招くことなく、形状測定の信頼性を確保することができる円筒体の形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体９０の両側端部近傍の内周面９２に一対の基準部２０，２０を当接させたまま円筒体９０を回転させ、円筒体９０の外側から基準部２０，２０に対峙する位置３１，３１において、円筒体９０の回転に伴う前記円筒体９０の外周面９１の半径方向の変位量を変位検出器によって検出する。一方、形状測定されるべき円筒体９０が存在しないときに、この円筒体９０の変位量測定を行う変位検出器を用いて基準部２０，２０の回転に伴う変位量検出を行い、この一対の基準部２０，２０の変位量に応じて、円筒体９０の変位量検出を補正する。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）