【課題】検出部から出力される原点パターンの関与を受けた出力電圧信号のＤＣ成分の変動があっても、確実に原点信号の検出位置の再現性の向上が可能となる。
【解決手段】原点を示す原点パターン１１２が設けられたスケール１１０と、スケール１１０に対して相対変位可能である検出ヘッド１２０と、を備えるエンコーダ１００で、検出ヘッド１２０の受光部１２６から出力される原点パターン１１２の関与を受けた出力電圧信号φＺから原点の位置を示す原点信号ＰＺを生成するためのコンパレータ１３２を有する原点位置検出回路であって、出力電圧信号φＺを平滑化するＤＣ電圧検出回路１２８と、出力電圧信号φＺとＤＣ電圧検出回路１２８から出力されるＤＣ電圧信号Ｚｄｃとの差動増幅を行う差動増幅回路１３０と、を備え、差動増幅回路１３０の差動増幅信号Ｚｏｕｔがコンパレータ１３２に入力される。 （もっと読む）

【課題】 検出素子の配置誤差や環境の、温度変動があっても、全周にわたり高精度に角度検出ができるロータリーエンコーダを得ること。
【解決手段】 回転軸を中心に半径方向に等間隔で、また回転方向に連続的に半径が変化し、反射率または透過率が変化する一定幅の螺旋パターンが形成されたロータリースケールと螺旋パターンを照明する光源と螺旋パターンを介した光を検出する第１の受光部を含むセンサユニットを有し、第１の受光部は２組以上のセンサアレイから成る第１のセンサアレイ群より成り、螺旋パターンを読み取るときの第１読み取り領域は螺旋パターンの回転方向の全周にわたり半径方向に１周期以上の螺旋パターンが含まれており、螺旋パターンの半径方向の周期に対応した正弦波状信号を出力し第１のセンサアレイ群より出力された信号に基づく２相の正弦波状信号から求めた第１の位相信号に基づいてロータリースケールの回転角度信号を得ること。 （もっと読む）

【課題】発光素子に過大な電流が流れることを防ぎ、角度変換精度を最大限維持したままエンコーダの長寿命化を図れる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】アナログ原信号を生成する光学回路と、発光素子の駆動電流を制御する光量制御部と、前記アナログ原信号を増幅しアナログ正弦波信号を生成する信号増幅部と、前記アナログ正弦波信号を２相ディジタル正弦波信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、前記２相ディジタル正弦波信号を補正して変換用２相正弦波信号を生成する信号補正部と、前記アナログ原信号をディジタルパルス信号に変換するパルス変換部と、前記変換用２相正弦波信号の角度変換値と前記ディジタルパルス信号から位置情報を生成する位置情報生成部とを備え、前記光量制御部は前記発光素子の光量を一定量に維持し、且つ駆動電流が許容電流値を許容電流値で制限すると共に許容電流到達信号を出力し、前記許容電流到達信号で信号補正動作を切替える。 （もっと読む）

【課題】発光素子に過大な電流が流れることを防ぎ、角度変換精度を最大限維持したままエンコーダの長寿命化を図ることができる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】アナログ原信号を生成する光学回路と、発光素子の駆動電流を制御する光量制御部と、前記アナログ原信号を増幅しアナログ正弦波信号を生成する信号増幅部と、前記アナログ正弦波信号を２相ディジタル正弦波信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、前記２相ディジタル正弦波信号を補正して変換用２相正弦波信号を生成する信号補正部と、前記アナログ原信号をディジタルパルス信号に変換するパルス変換部と、前記変換用２相正弦波信号の角度変換値と前記ディジタルパルス信号から位置情報を生成する位置情報生成部とを備え、前記光量制御部は前記発光素子の光量を一定量に維持し、且つ駆動電流が許容電流値を許容電流値で制限すると共に許容電流到達信号を出力し、前記信号増幅部の増幅率を制御する。 （もっと読む）

【課題】検出器に設けられたレンズアレイの線膨張係数が検出器の受光部とスケールのうちのいずれかと異なっても、動作温度範囲を拡大しつつ、スケールに対する検出器の位置を正確に求めることが可能となる。
【解決手段】第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２がスケール１０２と受光部１２４とは異なる線膨張係数α_ＬＡを備え、第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２の特定の一箇所Ｘｓｔで第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２と受光部１２４とが一体的に固定され、周期信号Ｆｉから求められる位相信号φｉはそれぞれ、異なる線膨張係数α_ＬＡに起因する位相ずれが解消されるように補正され、更に、補正された補正位相信号Ｃφｉを平均して平均位相信号φａｖが求められ、スケール１０２に対する検出器１１０の位置が求められる。 （もっと読む）

【課題】測定ヘッドが小型で、構造の簡単な位置決定デバイスを提供すること。
【解決手段】マーカー１１、１２を備える測定スケール１０と、測定スケール１０に対して移動可能な測定ヘッド２１を備え、測定ヘッド２１は、測定スケール１０の画像を生成するテレセントリック光学系３０と、この画像を捕獲し、測定ヘッド２１の位置決定を可能とする信号を提供するセンサ４０を備え、テレセントリック光学系３０は、光軸３４を含む第１のレンズ要素３３と、レンズ要素３３の測定スケール１０とは逆側に面する焦点Ｆ１に配置されるアパーチャ３５を含む。テレセントリック光学系３０は、レンズ要素３３と一体のブロック３１を備え、ブロック３１の表面３２の第１の領域３２．１がレンズ要素３３の表面を形成し、アパーチャは、表面３２の第２の領域３２．２に設けられ、光軸３４に対して鋭角で傾斜した第１のミラー表面３５として実現される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、接着によって互いに接続された複数の部分部材（１０，２０）から構成された基準尺に関する。
【解決手段】 接着が、部分部材（１０，２０）の互いに対向する境界面（１１，２１；１２，２２）で行われる。そのために、二つの部分部材（１０，２０）のそれぞれ互いに対向する境界面（１１，２１；１２，２２）が、測定方向（Ｘ）に延びており、それらの間に有る、測定方向（Ｘ）に対して垂直な方向を向いた隙間（３１，３２）を形成し、その隙間内に接着剤（４）が配備される。そのような措置によって、接着剤（４）が、膨張又は収縮して体積を変化させた時に、測定方向（Ｘ）を向いた力が部分部材（１０，２０）に加わることができないという作用効果が実現される。 （もっと読む）

【課題】常にアナログ−デジタル変換部の性能を最大に使い切るように、増幅部が電気信号を増幅するように設定することできる計測器と計測システムを提供する。
【解決手段】受光部１１と、増幅部１２と、アナログ−デジタル変換部１３と、演算部１４と、増幅率算出部１５とを有し、受光部は、受光する光強度に応じて電気信号を生成し、増幅部は、受光部から電気信号を入力され、外部から設定可能な所定の増幅率に応じて電気信号を増幅し、アナログ−デジタル変換部は、増幅部で増幅されたアナログの電気信号をデジタル信号に変換し、演算部は、デジタル信号を入力され、デジタル信号に対して所定の信号処理を行い、増幅率算出部は、増幅部において設定するべき増幅率をデジタル信号に応じて算出し、増幅率算出部で算出された増幅率が増幅部に入力されて増幅部の増幅率として設定される構成とする。 （もっと読む）

【課題】複数の光ファイバを接続した光ファイバケーブルを介してエンコーダヘッドから検出器へ出力ビームを接続損失なく送る。
【解決手段】エンコーダから出力ビームを検出器へ送る一系統の受光用ファイバとして、エンコーダ側に位置する光ファイバＦ１のコアＣＲ１の端面（射出端面）と該射出端面より大きな検出器側に位置する光ファイバＦ２のコアＣＲ２の端面（受光端面）とを対向して継がれた光ファイバケーブルを用いる。これにより、光ファイバの継ぎ部において光の漏れが生じることがなく、エンコーダの高い計測精度を確保することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高温動作時の信頼性を向上できるエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダ（１）は、パターンを有する符号板（１０）と、符号板（１０）に光を照射する光源（２０）と、複数の受光素子を有し、パターンを検出するセンサ（３０）と、複数の受光素子のうち少なくとも一部が光を受光していない第１状態においてセンサ（３０）から得られる第１のセンサ信号を用いて、受光素子がパターンを検出する第２状態においてセンサ（３０）から得られる第２のセンサ信号に対して補正を行う演算処理部（９０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】物差しが保持体に安定且つ偏差なしに保持され、保持体に固定された物差しを備える配列装置を提供すること。
【解決手段】この発明によると、物差し（１）が球（３）の二次元的配列によって保持体（２）に固定される。球（３）が一方で直接に保持体（２）に載置し、他方で物差し（１）が直接に球（３）上に載置する。保持体（２）と物差し（１）の間の保持力は、保持体（２）に球（３）の固定式保持によって或いは物差し（１）に球（３）の固定式保持によって保証される。球（３）の配列は、それらの球の間に自由空間（４）が残留し、その自由空間が外方に案内する通路を形成するようになる。 （もっと読む）

【課題】箱体で一体化されていて高温環境での使用にも適う光ファイバセンサを実現。
【解決手段】 箱体１１と、一対のファイバ保持具２０，３０と、両保持具間に張られた部分が内部空間１２に収容されその張設部分にＦＢＧ８ａが形成されている光ファイバ８とを備え、ファイバ保持具２０，３０が離接方向への相対移動を許容する形で箱体１１に装着されており、巻付部材からなるファイバ係止部２１，３１と被測定物に対する取付部２６，３６との間の中継部２３〜２５，３３〜３５に断熱材が組み込まれており、箱体１１には冷却手段１５が付設されている。中継部２３〜２５が上層断熱板２３と中層連結板２４と下層断熱板２５とを具備し、ファイバ係止部２１と中層連結板２４とが上層断熱板２３を挟んで断熱性締結具２８にて連結され、中層連結板２４と取付部２６とが下層断熱板２５を挟んで耐熱性締結具２７にて連結される。ファイバ保持具３０も同様である。 （もっと読む）

【課題】主信号および副信号を検出可能で、かつ使用温度範囲を拡大できる光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】第１受光素子３は、基板５を介して筐体４に固定される。基板５は、筐体４に前記所定方向に移動可能に支持されるので、使用温度変化に対する第１受光素子３の所定方向の移動量は、基板５の線膨張係数に基づく。第２受光素子２は、筐体４に直接固定されるので、使用温度変化に対する所定方向の移動量は、筐体４の線膨張係数に基づく。よって、筐体４に固定される基板５の固定部５３から第１受光素子３までの所定方向に沿った距離Ａと、固定部５３から第２受光素子２までの所定方向に沿った距離Ｂとの比を、筐体４の線膨張係数と、基板５の線膨張係数との比と等しくすることで、使用温度変化による第１、第２受光素子３、２の位置関係の変化を抑制でき、測定精度を向上できる。従って、使用温度範囲を拡大できる。 （もっと読む）

【課題】ハンドリング及び作業性に優れる光電式エンコーダ及びそれを用いた真空装置を提供することである。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで形成された回折格子１１を有するスケール１０と、スケール１０に照射された光の反射光を伝搬する第１ファイバ２０を備える検出ヘッド３０と、第１ファイバ２０を伝搬した反射光を集光する第１レンズ６０，６２と、集光された反射光を受光し、電気信号に変換する受光素子５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】絶対位置検出及び相対位置検出の何れにおいても分解能及び安定性を高いレベルで維持しつつ、絶対位置の検出感度の向上及び検出範囲の拡大を実現する光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】第１の変調コードパターン53aと第２の変調コードパターン53bとが形成されたスケール4と、光源1から射出された光ビームを第１の変調コードパターン53aを介して検出して第１の信号を生成する第１の光検出器21と、第２の変調コードパターン53bを介して検出して第２の信号を生成する第２の光検出器22と、を有するセンサヘッド30と、第１の信号と第２の信号とに基づいて変位を算出する物理量検出回路210と、を光学式変位検出装置に具備させる。第１の信号及び第２の信号は、所定演算により相殺される第１成分と、前記所定演算後に残存する第２成分と、を含む。第１の検出器21による検出と、第２の検出器22による検出と、は関連付けて実行される。 （もっと読む）

本発明は、センサユニットを有する格子手段を備えた干渉式の距離測定装置及び／又は回転測定装置に関する。センサユニットは格子手段の直線及び／又は回転運動を検出するために、光導体ユニットから出射され格子手段へと配向される二つの部分ビームが受光ユニットによって検出可能であり、且つ格子手段の直線又は回転運動及び／又は格子手段の位置に依存する重畳信号を形成するように光導体ユニット並びに受光ユニットと協働する。光導体ユニットには二つの部分ビームにビームを分割する手段と、二つの部分ビームの内の一方に対して、部分ビームの光学的なコヒーレンス長よりも長い光学的な遅延区間を生じさせる第１の光学的な遅延手段とを有する変調干渉計ユニットが接続されている。変調干渉計ユニットは、二つの部分ビームが共通して供給される光導体を介してセンサユニットと接続されている。受光ユニットはセンサユニットに設けられている。
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【課題】
走査ユニット１０が、光源１３を有する。この光源１３の損失熱が、熱伝導路を経由してヒートシンク１１に向かって伝導される。この熱伝導路は、導体基板１４によって形成される。当該光源１３が、この導体基板１４に固定されていて且つ当該ヒートシンクとして機能するベース本体１１に向かってさらに延在している。
【解決手段】
導体基板１４からベース本体１１に向かう熱伝導を最適にするため、半田材４１，４２が、この導体基板１４上に被覆されている。中間構成要素６１，６２が、押圧構成要素７１，７２によってこの半田材４１，４２に対して押圧される。半田材４１，４２と中間構成要素６１，６２との間の密接する接触が、当該押圧によって得られる。当該密接する接触は、小さい熱伝導抵抗を保証する。また、中間構成要素６１，６２は、ベース本体１１に接合されている。
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【課題】様々な環境下において使用でき常に安定した検出動作を行うことができるエンコーダ用検出部およびエンコーダを提供する。
【解決手段】検出部１２のケース１２０２内に、第１、第２の目盛板４４、４６を設ける。ケース１２０２内外にわたって設けられた第２の光ファイバ４８によって第１、第２の可動スリット５６、５８を介して第１、第２、第３の反射板５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃに互いに波長成分が異なる第１、第２、第３の光を照射させる。第１、第２、第３の反射板５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃで反射された各反射光をケース１２０２内外にわたって設けられた第２の光ファイバ４８によってケース１２０２の外に導く。 （もっと読む）

【課題】光学エンコーダシステムへのファイバによって基板テーブルの力学的挙動および熱的挙動が悪化することがない、改良された光学エンコーダシステムを備えるリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置が光学エンコーダ測定システムを備え、このシステムは、照射ビーム１０４を第１スケール５に向けて送る照射システムを有する。このシステムは、照射ビームによる照射で第１スケール５から回折された１次回折ビーム９を第２スケール１１に向けて送るための光学部品７と、第２スケール１１に対する第１スケール５の位置を測定するために、第２スケール１１上での１次回折照射ビーム９の干渉および第２の回折後に２次回折ビーム１５を検出するディテクタ１３１とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型の検出器ユニットを可能とすると共に、光源による検出器ユニットの熱ひずみを回避して、ロバストで高精度な測定を可能とする。
【解決手段】第１の光学格子１３２が設けられたスケール１１０と、該スケール１１０に対峙して配置される検出器ユニット１４０と、を有する光電式エンコーダ１００において、前記スケール１１０に、前記第１の光学格子１３２で変調されて前記検出器ユニット１４０で受光される光を発光する面状光源１２０を一体的に備える。 （もっと読む）