【課題】 高温高圧に耐えることができ、毒性がなく安全で、酸化雰囲気で酸化されにくく、回折Ｘ線の影響が少なくＸＡＦＳ測定を高い信頼性で行うことができ、Ｘ線透過性に優れ、平坦な形状とすることができ、しかも安価なＸ線透過窓を用いた高性能なＸ線吸収微細構造測定用セルを提供する。
【解決手段】 Ｘ線吸収微細構造測定用セルのＸ線透過窓２、４に、立方晶窒化ホウ素を主成分とし、Ｘ線吸収微細構造測定に支障を生じる不純物を実質的に含まない多結晶体からなるものを用いる。この多結晶体は、最も好ましくは、立方晶窒化ホウ素を主成分とし、窒化ホウ素以外の不純物を含まない多結晶体である。Ｘ線透過窓２、４に、ポリベンズイミダゾールからなるものを用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】従来の４軸ゴニオメータよりも簡素な３軸ゴニオメータを用いて格子定数の測定を可能にし，かつ，従来よりも試料表面上のＸ線照射面積の変化を小さくする。
【解決手段】試料ホルダー３６とＸ線検出器４８の間に，開口幅可変の第１スリット５０と第２スリット５２を配置する。第１スリットの開口は，回折平面（入射Ｘ線と回折Ｘ線とを含む平面）に平行に延びている。第２スリットの開口は回折平面に垂直に延びている。Ｘ線検出器と第１スリットと第２スリットは２Θ軸の周りに２θ回転する。試料ホルダー３６は，２Θ軸と同軸のΩ軸の周りにω回転でき，かつ，回折平面内に存在するΦ軸の周りにφ回転できる。この３軸ゴニオメータと二つのスリット５０，５２を用いて，少なくとも三つのミラー指数について，回折Ｘ線が検出できる三つの角度２θ，ω，φを測定し，それに基づいて格子定数を算出する。 （もっと読む）

【課題】金属材料からなる鋳型における鋳造中の溶湯の挙動を精度良く把握することが可能な溶湯挙動可視化装置を提供する。
【解決手段】溶湯挙動可視化装置１に、エックス線を照射するエックス線照射手段２と、金属材料からなり、該エックス線照射手段により照射されたエックス線が透過可能な所定の肉厚を有する試験用の鋳型３と、照射されたエックス線の強度を可視光の強度に変換して透過画像を結像する撮像管４と、該透過画像を撮像する撮像手段５と、該試験用の鋳型の内部に溶湯を供給する溶湯供給手段６と、該試験用の鋳型の温度を調整する鋳型温度調整手段７・８・９と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ装置について、従来における中間コリメータとポストコリメータの位置合せといった困難な問題を招くことなく、空間分解能の向上を可能とする。
【解決手段】被検体Ｍに放射線を照射する放射線源１ｔ、被検体を載置するテーブル４、および被検体を透過した放射線を検出する放射線検出装置７を備えたＣＴ装置について、一体型コリメータ２を設けるようにしている。一体型コリメータ２は、テーブル配置空間部２１が中間位置に形成されるとともに、放射線源の側に位置する前側貫通孔２２と放射線検出装置の側に位置する後側貫通孔２３がそれぞれ複数で、テーブル配置空間部を挟んで対向する状態に形成された構成とされている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は分析方法及び装置に関し、試料の構成元素及び組成比が未知な場合においても正確な定量分析を行なうことができる分析方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 軽元素を主成分とする試料中に含まれる微量元素を分析する分析装置において、Ｘ線を放出する励起線源１と、該励起線源より放出される特性Ｘ線又はγ線の内の何れか一方が試料２によって弾性散乱された特性Ｘ線又はγ線の内の何れか一方と非弾性散乱されたコンプトン散乱線の強度比を算出する算出手段４ａと、予め用意されている複数の種々の材質に対する検量線から実測された強度比に対応したものを読み出し、この検量線を用いて目的元素の定量を行なう定量手段４ａとを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】 多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたＸ線源から所定の立体角の範囲にＸ線を出力し、上記Ｘ線の出力範囲内で平面的に検査対象品を移動させ、上記立体角に含まれる位置に配設されるとともに上記検査対象品の移動平面に対して略平行の検出面でＸ線を検出し、上記立体角に含まれる位置であるとともに上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸を中心にした複数の回転位置において、上記軸に対して傾斜した検出面でＸ線を検出し、上記平行Ｘ線検出工程によって検出したＸ線と上記傾斜Ｘ線検出工程によって検出したＸ線とのいずれかまたは組み合わせに基づいて上記検査対象品の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 樹脂封止された電子部品内部の軽元素異物の位置や形状を非破壊で調べる。
【解決手段】 Ｘ線源１６と、第１の結晶２、第２の結晶４及び第３の結晶６を備えるＸ線干渉計７と、Ｘ線検出器２０を備えたＸ線撮像装置１において、第１のビームの光路上であって、第１の結晶２と第２の結晶４の間もしくは第２の結晶４と第３の結晶６の間に、第１の集光用ゾーンプレート２６とそれと対になる第１の平行化用ゾーンプレート２８が設定され、第２のビームの光路上であって、第１の結晶２と第２の結晶４の間もしくは第２の結晶４と第３の結晶６の間に、第２の集光用ゾーンプレート３０とそれと対になる第２の平行化用ゾーンプレート３２が設定されたことを特徴とするＸ線撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 予備的情報を用いず、超格子サテライト次数の情報を考慮することなく、超格子構造の完全性を簡便かつ決定論的に解析する結晶の構造解析方法を提供する。
【解決手段】 所定の結晶面の基板上に形成された超格子構造結晶を、Ｘ線回折により測定して、該超格子構造結晶の異なる面指数の複数の反射プロファイルを取得し、測定された各反射プロファイルにおいて、該反射プロファイル中に観測されるサテライト次数の異なる複数のサテライトピーク同士を、該サテライトピークの頂点を揃えて重ね合わせて、該サテライトピーク同士の拡がり形状を比較し、前記各反射プロファイルにおける前記サテライトピーク同士が、サテライト次数に依らず、全て同一の拡がり形状を有しているか否かを判定して、超格子構造の完全性を確認する。 （もっと読む）

【課題】 成膜製品の製造工程に組み込み、製品を製造ラインから抜き取ることなく、薄膜検査を実施可能とする。
【解決手段】 検査対象を配置する試料台１０と、試料台１０を移動する位置決め機構２０と、第１，第２の旋回アーム３２，３３を備えたゴニオメータ３０と、第１の旋回アーム３１に搭載され、かつシールドチューブ内にＸ線管およびＸ線光学素子を内蔵したＸ線照射ユニット４０と、第２の旋回アーム３３に搭載されたＸ線検出器５０と、試料台１０に配置された検査対象を画像認識するための光学カメラ７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 任意の測定データを抽出して以前に得られた解析データと同一の解析データが得られることを証明できる分析装置を提供する。
【課題を解決するための手段】 画像を表示する表示装置４と、測定データを記憶する測定データファイル２１と、測定データファイル２１に記憶された測定データに対して解析を行う解析ソフト１８と、解析によって得られた解析データを記憶する解析データファイル２２と、解析に関する解析条件を記憶する解析データファイル２２と、解析データファイル２２に記憶された解析条件を表示装置４に表示させる解析条件表示ソフト１９と、解析データファイル２２に記憶された解析条件に基づいて解析ソフト１８によって解析を行わせる解析再現ソフト２０とを有する分析装置１である。既に存在する解析データと同一の解析データを再現でき、さらに同一であることを証明できる。 （もっと読む）

【課題】 テストピースの投入を伴う検出感度調整や選別確認作業を短時間で行なうことのできる異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物の搬送路１１ｐｗが形成された搬送パイプ１１と、被検査物に含まれる異物を搬送方向所定位置で検出する異物検出手段１２、１３とを備えた異物検出装置において、被検査物が搬送路に供給される供給位置と前記検査位置との間の搬送パイプ１１に装着され、検査位置１１ａより搬送方向上流側で搬送路１１ｐｗから分岐する分岐路５１ｐｗを形成するとともにテストピース投入口５１ｅを形成する分岐パイプ５１と、分岐路５１ｐｗを搬送路１１ｐｗに連通および遮断させるよう分岐パイプ５１に装着されたバルブ５２と、バルブ５２が開弁したとき、投入口５１ｅに投入されたテストピースを搬送路１１ｐｗ側に付勢する付勢手段５５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ＣＴ装置などのコンピュータ断層像撮像装置について、空間分解能の向上とアーチファクトの低減を同時に可能とする。
【解決手段】放射線２を照射する放射線源１、複数の放射線センサ６ｓを配列して形成された放射線検出器６、および回転走査のための回転を行う回転手段を備え、放射線源から照射されて被検体を透過した放射線を放射線検出器で検出して得られる透過データをもとに再構成画像を生成させるようになっているコンピュータ断層像撮像装置について、回転手段の回転中心を、放射線源と放射線検出器それぞれの中心を結ぶ線分に対して一方の側と他方の側のそれぞれに所定量だけオフセットさせ、一方の側へのオフセット状態での３６０度回転走査と他方の側へのオフセット状態での３６０度回転走査を対にして行い、この対の回転走査で得られる透過データを用いて再構成画像の生成を行えるようにしている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線画像撮像において、より明瞭な画像を得ること。
【解決手段】Ｘ線を対象物２２に照射するＸ線源２１と、この透過照射線を感受し画像化するＸ線撮像器１３と、対象物を複数方向から撮像した画像に関する３次元位置情報やパターン情報を元にこれらを比較し、鮮鋭化画像を構成する画像処理装置１４とを備えており、単に透視方向を複数にするだけでなく、複数画像の部分画像を比較することにより、明瞭なＸ線画像を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、超音波探傷画像の寸法位置を一致させて精度の高い欠陥判定を行うことができる。
【解決手段】 本発明の検査処理方法によれば、Ｘ線探傷画像を得る際被検査部の任意に設定した検査開始位置を走査通過して検出するため検査開始位置を通過した通過分の画像を含んだＸ線探傷画像に対して、任意に設定した終端開始位置及び被検査部に対して走査した検査走査長から設定した仮の終端終了位置における前後であって所定長の位置間の画像をそれぞれ切り取る。そして、切り取った２つの画像に含まれる通過分の画像が一致するように切り取った２つの画像を張り合わせる。更には、張り合わせた画像上での終端開始位置で切り離す。次に、切り離した各終端画像を、終端開始位置及び仮の終端終了位置から前後の所定の位置間の画像を切り取った残りのＸ線探傷画像の各終端にそれぞれ連結する。 （もっと読む）

【課題】パラメトリックＸ線発生装置において、１つの高エネルギー電子ビームから複数のＸ線を取り出す。
【解決手段】高エネルギー電子線加速器１で、高エネルギー電子ビームを発生する。高エネルギー電子ビームを当ててパラメトリックＸ線を発生するための複数個のＸ線発生用の薄板単結晶２、４、６、８を、高エネルギー電子ビームの方向に沿って直線状に並べる。１つのＸ線発生用単結晶から、１つまたは複数のパラメトリックＸ線を発生する。それぞれのパラメトリックＸ線を、Ｘ線選択用の反射単結晶３、５、７、９、10で選択的に反射させて取り出す。このようにして、小型でＸ線エネルギーを変えることができるとともに、単色でコヒーレントなＸ線を発生できるパラメトリックＸ線発生装置において、１つの高エネルギー電子ビーム１から複数のＸ線を取り出せる。 （もっと読む）

【課題】測定ヘッド下の検出器以外、クレードル（円弧）又はその他の構造体がなく、測定距離は、ソフトウェアにより自由に選択可能であり、ほとんどの部品が購入できるくらいに簡易な設計のため、複雑、不正確、さらにコスト高な構造を避けることができるゴニオメータを提供する。
【解決の手段】ゴニオメータ（１）は、応力測定及び粒子の微細構造の特定を行い、フレーム（４）と、測定位置（３１）において測定を実行するため、第１の線形移動装置（５）、第２の線形移動装置（６）及び傾動装置（１６）により移動可能にフレーム（４）に設けられた測定ヘッド（７，８，９，１０）とを備え、傾動装置（１６）の回転軸（１２）が測定位置（３１）に一致せず、測定中に、前記移動装置（５，６，１６）により、測定ヘッド（７，８，９，１０）の円弧形（３０）の移動を作り出す手段を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一台の装置で、小角散乱、Ｘ線回折、反射率測定等を容易に行える装置を提供する。
【解決手段】試料分析装置は、第１のＸ線収束ビームを試料表面に向け、第２のＸ線平行ビームを試料表面に向けるように構成された照射源を含む。動作アセンブリは、照射源を、Ｘ線が試料表面にかすめ角で向けられる第１の光源位置と、Ｘ線が表面に試料のブラッグ角近傍で向けられる第２の光源位置との間で移動させる。検出素子アセンブリは、照射源が、第１および第２の光源構成のいずれか、および第１および第２の光源位置のいずれかにあるときに、試料から散乱したＸ線を角度の関数として感知する。信号処理部は、検出素子アセンブリからの出力信号を受けてこれを処理し、試料の特性を判定する。 （もっと読む）

複数の個別のコンポーネントを有するプリント配線アセンブリにおいてマイクロ蛍光Ｘ線分光分析法を用いて有害物質を識別する方法に関する。検出分析計としてマイクロ蛍光Ｘ線分光分析法（μ−ＸＲＦ）及びＸ線吸収微細構造（ＸＡＦＳ）分光を用いて、電子デバイスにおいて問題の材料を識別する。検査されるデバイス又はアセンブリは、参照データベースにおける情報に応じて、プローブ下、そのデバイス又はアセンブリをＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動させ、アセンブリ上の選択された位置の元素組成を決定することによって分析される。プローブは分析のための各選択位置から最適な分析距離に位置する。各選択位置の決定された元素組成は参照データベースと関連付けられ、検出された元素はアセンブリにおける様々なコンポーネントに対し割り当てられる。
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【課題】被検体のスキャンデータ自身からエラーしにくく回転中心を求めることが可能なＣＴスキャナの提供。
【解決手段】回転軸１３をＸ線管１の方向に相対移動させるｘシフト機構８により回転軸１３をｘ移動したとき、透過データ上で移動する回転中心位置を回転中心予想部２１により予想し、被検体４の多数の透過データを回転の間に加算した加算透過データ上で前記予想された回転中心位置を反映して回転中心位置を回転中心求出部２２により求める。 （もっと読む）

【課題】 汚染土壌や粉状の食品などの中に不均一に分布する金属の分析を高精度、高感度に行える方法を提供する。
【解決手段】 汚染土壌中金属分析用試料の混合工程を湿式化し、湿式篩い下成分中の水または有機液体を耐熱性プラスチックフィルム上で乾燥除去することを特徴とする前処理方法及び前記前処理方法を用いた蛍光Ｘ線分析法。 （もっと読む）