【課題】回転駆動機構を用いることなく試料の断層像が得られるようなＣＴ法およびＣＴ装置を提供する。
【解決手段】試料の一方の側に実質上点状の光源を配置するとともに、試料に対して光源の反対側に光源からの放射線を検出する検出器を配置する（ステップＳ１）。光源および検出器の相対的な位置関係を保持したまま、光源および検出器の対と試料とを相対的に平行移動させつつ、光源から放射線を試料に照射し、試料を通過後の放射線を検出器によって検出する（ステップＳ２）。検出器によって検出した放射線の強度データをシノグラムデータに変換する（ステップＳ３）。シノグラムデータに基づいてＣＴ再構成演算を行い、試料の断層像を構成する（ステップＳ４）。 （もっと読む）

関心領域３２を持つサンプル３０を通過するペンシルビーム４０、４２、４４及び４６を利用するＣＳＩシステムが記載される。関心領域を通過するサンプルビーム４０及び４４の各コヒーレント散乱スペクトルは、それぞれの基準ビーム４２及び４６を利用したスペクトルによって減算される。関心領域３２の特徴を決定しつつ、サンプル３０の残りの領域における特徴の影響を最小化するために、測定が組み合わせられる。
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【課題】欠陥検査の検査情報に基づいて行なう欠陥の詳細検査の検査効率を高める。
【解決手段】例えば、欠陥検査装置１で検出された異物や欠陥を、ＳＥＭなどを用いた詳細検査装置３で詳細に検査してその発生原因などを解明するのであるが、詳細検査する前に、欠陥検査装置１で検出された異物や欠陥を光学顕微鏡などを用いた属性検査装置で検査して夫々の属性を求め、この属性に基づいて、これら欠陥や異物を詳細検査を必要とするものと、詳細検査を必要としないものあるいは詳細検査ができないものとに区分し、詳細検査を必要とする異物や欠陥のみ詳細検査装置３で検査するようにする。 （もっと読む）

【課題】 結晶子の方位や結晶の配向の程度等を極点図を用いて視覚的に明確、簡単且つ迅速に把握できるようにする。
【解決手段】 極点図のためのデータを得るＸ線測定装置と、そのＸ線測定装置によって得られた測定データを記憶するメモリと、画像を表示する表示装置と、メモリに記憶されたデータに基づいて表示装置に表示するための画像データを生成する画像データ生成回路とを有するＸ線回折装置である。画像データ生成回路は、メモリに記憶された極点図のためのデータに基づいて、極点図に対応した球面表示データであって球の中心が方位の原点である球面表示データを生成する。表示装置はその球面表示データに基づいて極点図を３次元球面図３４によって球体表示する。極点図を本来の姿である球面分布で表示するので見易くて正確な判定ができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ビームを形成する装置において、そのスリットの心合わせは重大な困難を生じ、そのサイズが小さく、かつ複数の場合は特にそうである。
【解決手段】プレートと、該プレートに形成された開口とを備え、該開口は頂点に収束する輪郭を有し、さらに、その頂点から既知の距離で前記プレートに形成された口と、Ｘ線ビームを配向する際にフィードバックとして使用されるＸ線検出器とを備え、Ｘ線ビームは、前記開口を通過してＸ線検出器へ至るよう配置され、Ｘ線ビームおよび前記開口が相互に対して移動され、Ｘ線ビームは、Ｘ線検出器のフィードバックを使用して前記頂点まで移動し、Ｘ線ビームは、前記口まで前記既知の距離を移動するＸ線ビームを形成する装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、結晶表面層における結晶の歪みを、直接かつ確実に評価することができる結晶表面層の結晶性評価方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線回折法を用いて、結晶１の表面１ｓから深さ方向への結晶性の変化を評価することにより、結晶表面層の結晶性を評価する方法であって、結晶の一つの結晶格子面に対する回折条件を満たすように、連続的にＸ線侵入深さを変えて結晶にＸ線を照射して、この結晶格子面についての回折プロファイルにおける面間隔および回折ピークの半価幅ならびにロッキングカーブにおける半価幅のうち少なくともいずれかの変化量を評価することを特徴とする結晶表面層の結晶性評価方法。 （もっと読む）

【課題】 検査条件を規定するパラメータの自動設定を行う際の、Ｘ線異物検出装置からのＸ線の漏洩を防止できるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】 搬送部１１０と、Ｘ線発生器１２０と、Ｘ線ラインセンサ１３０と、筐体２０と、複数の遮蔽カーテンと、被検査物１がＸ線ラインセンサ１３０上を通過したことを検知する通過検知手段と、異物混入判定を行う制御処理部１４０とを備えたＸ線異物検出装置１００において、制御処理部１４０が、前記搬送部１１０が搬送する搬送方向を反転させる制御を含む所定の搬送制御を行う搬送制御手段１４４を有し、搬送制御手段１４４は、検査条件を規定するパラメータの自動設定において、被検査物１がＸ線ラインセンサ１３０上を通過したことを通過検知手段が検知したときから所定時間以内に搬送速度の減速を開始し、遮蔽カーテンが被検査物１によって開けられないように搬送制御を行う構成を有している。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分析装置のＸ線検出器としてＣＣＤセンサ等といった半導体センサであってＸ線直接検出型の半導体センサを用いる場合に、半導体センサの損傷を長期間にわたって防止できるようにする。
【解決手段】 試料Ｓを支持する試料台１９と、試料Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源２４と、複数の半導体素子を並べることによって形成されていて試料Ｓから出たＸ線をそれらの半導体素子によって直接に受光する半導体センサ４３と、試料ＳのＸ線出射側の領域であって回折角度０°の近傍である低角度領域γに配置されたＸ線ストッパ３３とを有するＸ線分析装置である。半導体センサ４３が低角度領域γの領域内まで２θ回転移動によって運ばれたとき、Ｘ線源２４からのＸ線のダイレクトビームがその半導体センサ４３に直接に入ることをＸ線ストッパ３３によって防止する。 （もっと読む）

【課題】 試料の厚みに特定した所定の試料の補正を考慮した場合に、複雑な工程を不要としながらも精度の高い蛍光Ｘ線分析方法を可能とする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析方法による分析対象試料の形状を補正するための試料形状補正方法であって、試料の蛍光Ｘ線スペクトルにおけるピークの出ない高エネルギー領域ＡＲ−Ｈのバックグラウンド強度ＢＧ１、ＢＧ２に基づいて試料の厚みを補正する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線画像における背景の部分を正確に特定して補正を行うことで高精度な異物検出を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１０では、制御コンピュータ２０が、Ｘ線ラインセンサ１４における検出結果に基づいてＸ線画像を形成し、このＸ線画像に基づいて異物混入の検査を行う装置において、全体のＸ線画像における各部の明るさを抽出して背景部分と思われる部分を特定する。制御コンピュータ２０は、背景部分として特定された部分と、Ｘ線ラインセンサ１４の１ライン分に相当するＸ線画像の部分の最大明るさとを比較して、その１ライン分に相当するＸ線画像の部分の補正の可否を決定する。 （もっと読む）

従来のＣＴ又はＸ線手法を利用して関心領域が特定される。次いで、複数のペンシルビーム２８を利用して関心領域がスキャンされ、複数の異なる散乱Ｘ線スペクトルが得られる。次いで、スペクトルが関心領域の特徴のみによるものであるかの如く、各スペクトルに対して幾何補正が適用される。前記ビームを利用して記録された種々のスペクトルは組み合わせられ関連付けられ、関心領域３２の特徴を決定し、一方でサンプル３０中の他の部分における特徴の影響を最小限にする。
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【課題】
非破壊検査などでは、物体の透過データを測定して、画像処理により物体の２次元もしくは３次元の画像を作成、画像から物体上での対象物の位置、あるいは大きさなどの計測を行う。透過データを検出する検出面には幾何学歪がある場合、透過データに幾何学歪が内在する。従来の手法はこの検出面の幾何学歪を測定する手段と物体座標―画像座標を関連づける測定を個別に行っていたため、測定が煩雑でより誤差を含む課題があった。
【解決手段】
本発明では、物体座標を測定する物体基準治具と、検出面幾何学歪および検出座標と物体座標を同時に関連図ける検出面基準治具との組み合わせで、検出面の幾何学歪の計測と物体座標―画像座標との関連づけを同時に測定することを実現するため、より簡便で高精度な補正パラメータの測定とその補正パラメータを用いた幾何学補正を達成する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体に含まれる物質を効率良く検査することができる分析システム、分析装置、コンピュータプログラム、及び記録媒体を提供する。
【解決手段】 コンピュータ３０は、発注した部品の受入時に部品発注用のコンピュータ４０から入力された電子部品の品目に基づいて、検査要件情報データベース（４１２）を検索し、前記品目に関連付けて記憶された検査要件情報に基づいて、検査内容を示す検査内容情報を作成し、検査内容情報データベース（３６１）に記憶するととともに、検査内容情報を表示部（３５）に表示する。検査内容情報に応じて電子部品の検査部位にＸ線を照射し、検出した検出データに基づいて検査対象元素の濃度を分析し、検査結果を検査結果データベース（３６２）に記録する。 （もっと読む）

【課題】 検査条件を規定するパラメータの自動設定において、Ｘ線がＸ線異物検出装置の外部に漏洩することを防止できるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線を照射して被検査物１内の異物を検査するＸ線異物検出装置１００であって、搬送部１１０と、Ｘ線発生器１２０と、Ｘ線ラインセンサ１３０と、筐体と、複数の遮蔽カーテンと、被検査物１を搬送部１１０で繰り返し搬送させて検査条件を規定するパラメータの自動設定を行うときに、搬送部１１０の搬送方向を反転させる制御を含む所定の搬送制御を行う搬送制御手段１４４とを備えるＸ線異物検出装置１００において、被検査物１の有無を検知する物品検知手段と、物品検知手段からの情報に基づいて、少なくとも搬送制御手段１４４によって搬送方向が反転するために搬送が停止する間、Ｘ線発生器１２０からのＸ線照射を一時停止させるＸ線照射制御手段１４３とを備えた構成を有している。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の二層膜シートの各層の単位面積当たり重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】二層膜シート１０の走行状態において二層膜シートの各層１０ａ，１０ｂを測定する際、高エネルギーのＸ線源１１と低エネルギーのＸ線源１２を用いて二層膜シートのほぼ同一部分の透過Ｘ線量を測定し、各測定出力を演算部３０でデータ処理して各層の単位面積当たり重量および／または厚みをほぼ連続的に算出する。 （もっと読む）

【課題】 製品出荷時における製品の状態を、高い信憑性のもとに証明することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物品Ｗを特定できる特徴部分もしくは全体像を撮影する光学撮影手段５を設け、この光学撮影手段５により撮影した検査対象物品Ｗの光学像と、検査対象物品ＷにＸ線を照射して得たＸ線透視像とを相互に関連づけて記憶する記憶手段１３を備えることにより、製品出荷時におけるＸ線透視像と実際の製品とを高い客観性および信憑性のもとに関連づけることを可能とし、公正なトレーサビリティを実現する。 （もっと読む）

【課題】農作物の等級をより正確に判別する。
【解決手段】農作物Ａの内側の良否と農作物Ａの外側の良否とを総合して等級を判別する。 （もっと読む）

【課題】 荷役搬送効率を低下させることなく検査条件を良好に保つことが可能な、検査装置付クレーンを提供することを目的とする。
【解決手段】 コンテナクレーンのコンテナＣの搬送経路Ｗ上に、この搬送経路Ｗを横切る方向に移動可能な台車２１（位置調整装置）を設ける。この台車２１上に、コンテナＣを検査する検査装置２２を設ける。台車２１に、検査装置２２の上方に張り出す上部フレーム２６ｃと、サブフレーム２６ｂの下方に張り出す下部フレーム２６ｄとを設ける。上部フレーム２６ｃの検査装置２２よりも上方位置に、台車２１の移動方向に沿ったコンテナＣと検査装置２２との相対位置を検出する上側位置検出器３６ａを設ける。上側位置検出器３６ａの検出結果に基づいて、検査装置２２とコンテナＣとが検査に適した位置関係となるように台車２１の動作を制御する制御装置３７を設ける。 （もっと読む）

【課題】
缶詰の被検査物に混入した異物を確実に検出できる異物検出方法、異物検出プログラム及び異物検出装置を提供する。
【解決手段】
缶詰の被検査物を透過したＸ線画像を処理して前記被検査物内の混入異物の有無検出を行う異物検出方法において、前記Ｘ線画像から周縁部及び周縁部に隣接した異物を示す周縁部異物画像と周縁部から孤立した異物を示す孤立異物画像からなる異物候補画像を生成する異物候補画像生成段階（Ｓ３）と、前記異物候補画像から前記孤立した異物を抽出する第１の異物抽出段階（Ｓ４）と、前記異物候補画像から前記周縁部異物画像の内周における突出した凸部を検出することにより前記周縁部に隣接した異物を抽出する第２の異物抽出段階（Ｓ５）と、抽出された前記孤立した異物と前記周縁部に隣接した異物を合成して出力する異物合成出力段階（Ｓ６）とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 導通体の導通不良の検査において、シンプルで高速で信頼性の高い検査を行えるようにする。
【解決手段】 ３次元Ｘ線ＣＴスキャンにより多層基板における導通体の導通不良を検査するものであって、３次元画像処理用の３次元縮小処理とラベリングの繰り返しを行い、３次元２値画像の導通体がこの導通体のギャップ部によって分裂表示するまでの３次元縮小処理回数から分裂パラメータを計測し、導通体の不良の程度を定量化した。さらに、不良の程度を判断するための２つの補助パラメータ、導通体に存在する穴（欠陥）の体積とギャップ部共通部分幅を計算し、分裂パラメータと組み合わせて解析することで、導通体の不良の判断の信頼性を向上するようにした。 （もっと読む）