【課題】電車線材料の状態を任意の位置で移動しながら簡単に非破壊で高精度に検査することができる電車線材料の非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】（Ａ）に示すように、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内に収容されて、Ｘ線照射部１４Ｂが電車線材料Ｃ₁の検査箇所Ｐ₁にＸ線を照射し、この電車線材料Ｃ₁を透過する透過Ｘ線を透過Ｘ線測定部１６Ａが測定する。その後に、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内から開放されて、収容部６が所定の間隔Δだけ移動する。次に、図（Ｂ）に示すように、電車線材料Ｃ₁が検査箇所Ｐ₁で収容部６内に収容されて、Ｘ線照射部１５Ｂが電車線材料Ｃ₁の検査箇所Ｐ₁にＸ線を照射し、この電車線材料Ｃ₁を透過する透過Ｘ線を透過Ｘ線測定部１７Ａが測定する。その結果、透過Ｘ線測定部１６Ａ，１７Ａが出力する透過Ｘ線情報が測定結果記録部に記録される。 （もっと読む）

【課題】製造コストの安価な簡単な構造でありながら確実な動作で効果的にＸ線センサを保護して寿命を改善できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、搬送手段４の搬送面５の上方にＸ線源６を有し、搬送面５の下方にセンサ９を有し、照射位置７の手前には、操作部材１１と遮蔽部材１２からなるシャッタ装置１０を備える。ワークＷが操作部材に接触しない状態では遮蔽部材がセンサをＸ線から遮蔽し、ワークが操作部材を押した場合には遮蔽部材が移動してワークを透過したＸ線がセンサ９に到達する。検査中にＸ線を常時照射しても、センサに到達するＸ線は検査に必要な最小限に止まる。センサがＸ線で過剰に損傷し、寿命の劣化が早まる恐れは少ない。 （もっと読む）

【課題】計量手段を備えていても計量精度の低下等の不具合を防止することのできるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】搬送空間Ｓ内のＸ線照射領域である検査位置Ｐ１に被検査物Ｗを搬送するためのＸ線検査用のＸ線コンベア３２と、Ｘ線コンベア３２に隣接し、被検査物Ｗを計量する計量手段１１を有する被検査物Ｗを搬送空間Ｓ内で搬送するための搬送面が水平な計量コンベア３３と、を備え、検査位置Ｐ１が搬入口３０および搬出口３５から見通せないように、搬入口３０から搬出口３５までの搬送空間Ｓが屈曲して形成されている。 （もっと読む）

【課題】複層膜厚の測定のために2つの線源を用いなくても、1つの線源と異なるシンチレータの組み合わせにより高精度にエネルギー弁別が行える安価でコンパクトな装置を用いて複層膜厚の同時独立算出を可能にした放射線測定方法を提供する。
【解決手段】同一線源から照射された放射線を複数の材質からなる被測定物に照射して透過させ、透過した透過線量から被測定物の物理量を測定する放射線測定方法において、透過した放射線を少なくとも２種類の検出器により検出し、それぞれの検出器からの出力を検量線を用いて弁別演算を行う工程と、弁別演算した値を用いて各層の坪量を演算する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】冷却フィンなどの異物による影響を受けずに、実装状態（はんだ付けの状態）を確実に検査することができる透視検査装置を提供する。
【解決手段】放射線Ｘを被検体１０１に向けて放出する放射線源１と、検体を透過した放射線Ｘを検出する放射線検出器４と、被検体１０１への放射線Ｘの入射角度を変化させる入射角度変更手段９と、放射線検出器４により検出された放射線量の二次元分布を画像化する信号処理手段６と、入射角度変更手段９及び信号処理手段６を制御する制御手段１０とを備え、制御手段１０は、被検体１０１に放射線Ｘが第１の角度で入射したときの透過放射線量に基づく画像と、被検体１０１に放射線Ｘが第２の角度で入射したときの透過放射線量に基づく画像とを合成して、被検体１０１に重なっている異物１０２によるノイズ画像を除去する。 （もっと読む）

【課題】包材の外形を精度良く推定できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】取得部は、基準画像として、輝度毎データから例えばジッパー等の開閉部９０２の画像を取得する。基準画像とは、Ｘ線透過画像において映り易い画像（一の領域の厚さよりも厚い他の領域の画像を含む）である。推定部は、取得部により取得された開閉部９０２の画像に係る基準データに基づいて、包材９０３の外形およびシール部９０４を推定する。判定部は、推定部により推定された包材９０３の外形に係る外形データに基づいて内容物９０１の噛み込みを判定する。 （もっと読む）

【課題】各塗工ブロックの同一位置で塗工の厚さを測定し、測定処理装置内で塗工端の開始位置や終了位置や塗工ブロックの左右端を検出することで、塗工サイズを測定する放射線測定装置を提供する。
【解決手段】 放射線源と、この放射線源に対向して配置されたセンサと、前記放射線源と前記センサの間であって、前記センサに近接して搬送されるシートからなり、前記放射線源から前記シートを透過して前記センサに到達する放射線の強度に基づいて前記シートの物理特性を検出する放射線測定装置において、
前記センサとしてラインセンサを用いると共に、前記シートにはシートの長さ方向に間欠的に塗工剤が塗布され、前記ラインセンサは少なくとも前記シートの厚さ、前記塗工剤の塗工端、塗工厚さ、塗工ブロックのいずれか一つを検出するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 膜厚の厚みレベルに応じて効率よく、膜厚測定を行うことができる蛍光Ｘ線膜厚計及び蛍光Ｘ線膜厚測定法を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し、蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、信号を分析する分析器と、検出器に視野制限窓およびその位置調節機構と有し、測定する表面層の厚みレベルに応じてＸ線検出器の検出領域を視野制限窓により調整することを特徴とする蛍光Ｘ線膜厚計及び蛍光Ｘ線膜厚測定法。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームで形成した観察面に荷電粒子ビームを照射し、観察像を取得し、観察面を保持したまま、さらに透過可能になるように薄片化加工を行うことで、同一観察位置のＴＥＭ観察と二次粒子像観察を図ること。
【解決手段】集束イオンビーム３を試料５に照射し観察面を形成し、電子ビーム４を観察面に照射し、観察像を形成し、試料５の観察面と反対側の面を除去し、観察面を含む薄片部５ｔを形成し、薄片部５ｔの透過電子像を取得する試料加工観察方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】容易に短時間で被検査物の検査条件を設定および調整することができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗを検査する検査部３と、被検査物Ｗの属性を特定する属性情報と、被検査物Ｗの検査に用いる検査部３の検査条件を、属性情報と検査条件とを対応付けて記憶する記憶部７と、記憶部７が記憶する属性情報の中から検査部３に検査させる被検査物Ｗの属性情報を選択する選択操作を行う表示操作部４と、記憶部７に記憶された検査条件の中から、表示操作部４で選択された属性情報に一致または類似する属性情報に対応付けられた検査条件を仮検査条件として抽出し、抽出された仮検査条件を用いて検査部３に被検査物Ｗを検査させ、その検査結果に基づいて仮検査条件を更新し、更新された仮検査条件を本検査条件として用いて検査部３に被検査物Ｗを検査させる制御部８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】検査対象の部分領域ごとに異なる分解能で検査することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線が対象物１に複数の方向から入射するようにＸ線を出力するＸ線源１０と、各方向から対象物に入射して対象物を透過したＸ線が届く位置の受像面においてＸ線を撮像するＸ線検出器２３と、対象物の位置を水平面内で移動させるための検査対象駆動機構１１０と、Ｘ線源１０とＸ線検出器２３との間の焦点受像器間距離を保持して、Ｘ線源１０とＸ線検出器２３とを移動させて倍率を変更し、各位置で撮像したＸ線の強度分布データに基づき、対象物の再構成画像データを生成する。 （もっと読む）

【課題】高速検査のためのＸ線検査装置を用いて不良解析検査を実現する。
【解決手段】Ｘ線検査装置が実行する処理は、高速撮像を実行するステップ（Ｓ３１５）と、再構成処理を実行して検査画像を作成するステップ（Ｓ３２０）と、自動検査（Ｓ３２５）が合格の場合に検査結果を表示するステップ（Ｓ３３０）と、自動検査が不合格の場合に、撮像条件を切り換えて不良解析用の撮像を実行するステップ（Ｓ３４０）と、不良解析用の再構成処理を実行して画像を作成するステップ（Ｓ３４５）と、不良解析用の画像を出力するステップ（Ｓ３５０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 試料とＸ線検出器の距離の変化による異物検出についての誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 検査対象試料元素にＸ線を試料に照射するＸ線管球１１と、Ｘ線が試料を透過した際の透過Ｘ線を検出するＸ線検出器１３と、透過Ｘ線の透過像からコントラスト像を得る演算部１７と、試料と検出器間の距離を算出するセンサーと、Ｘ線検出器の位置を調整する機構を備え、試料とＸ線検出器間の距離を一定に保ちながらＸ線透過像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】精度よく基板に塗布されたはんだと部品とのはんだ付け検査を行なうＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、予め基板に塗布されたはんだの厚みとして、クリームはんだ印刷におけるマスク厚を取得し、記憶しておく。検査対象の基板のマスク厚から、基板面に平行な断層のうち検査対象とする高さ方向の範囲を設定し、その断層数Ｎを特定する（Ｓ８０１）。Ｘ線検査装置は、各断層について検査ウィンドウ中のはんだの面積Ｓおよび真円度Ｔを計測し（Ｓ８０７〜Ｓ８１９）、その最小値がいずれも基準値以上である場合にはその検査ウィンドウのはんだ付けが良好と判定し（Ｓ８２１、Ｓ８２３）、一方でも基準値を下回ったら不良と判定する（Ｓ８２１、Ｓ８２３）。 （もっと読む）

【課題】低コストおよび省スペースで、既に構築された搬送ラインに対してＸ線検査を追加するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００においては、受取部６００によりベルトコンベア９００から物品Ｂが受け取られる。次いで、Ｘ線検査部７００により受取部６００から受け取った物品Ｂの異物検査が行われる。そして、受渡部８００によりＸ線検査部７００において検査された物品Ｂがベルトコンベア９００に受け渡される。また、Ｘ線漏洩防止カバー９１０は、Ｘ線検査部７００から照射されるＸ線の漏洩を防止する。受取部６００および受渡部８００は、物品Ｂの載置部が平面のみからなり、かつ物品Ｂを載置しつつ搬送する受取テーブル６１１，受渡テーブル８１１と、物品Ｂの移動を補助する案内ガイド板６２１、補助案内部６２２，６２３、案内ガイド板８２１、補助案内部８２２，８２３とを含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を照射することによるＩＣ等の被検査物の破損を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物ＷへのＸ線の累積照射量を測定もしくは推定して記録するＸ線累積照射量記録手段を備えた構成とすることにより、例えば累積照射量があらかじめ設定している限界量に到達した時点で自動的にＸ線の照射を停止する等によって、検査自体による不良品の発生を防止し、良品に混入することを防止する。 （もっと読む）

【課題】生物試料のＸ線顕微鏡観察に好適なＸ線顕微鏡像観察用試料支持部材を提供すること。
【解決手段】試料支持部材（１０）は、窒化シリコン膜、カーボン膜、ポリイミド膜などの試料支持膜（１１）と、この試料支持膜の一方主面に設けられ荷電粒子の照射を受けて軟Ｘ線領域の特性Ｘ線を放射するＸ線放射膜（１３）と、試料支持膜（１１）の他方主面に設けられた金属膜であって吸着により観察対象試料（１）を固定する試料吸着膜（１２）とを備えている。生物試料の構成物質であるタンパク質は金属イオンに吸着し易い性質があるため、試料吸着膜（１２）を試料支持部膜（１１）の主面の一方に形成してこれに観察試料を吸着させるようにする。このような試料支持部材（１０）を用いれば、生物試料を含む溶液を試料吸着膜（１２）の上に滴下したり試料支持部材（１０）を収容したセル内に注入したりするだけで、観察試料を固定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】良品における半田形状を安定化させて、良品の場合と不良品の場合とで半田形状の差異を顕著にすることによって、検査精度を向上させる。
【解決手段】ランド２２の縁部分がレジスト２４に覆われた基板２０と、ランド２２に半田付けされた電極３２を有する電子部品３０との半田付け状態を検査するＸ線検査方法であって、基板２０にＸ線を照射するＸ線照射ステップと、Ｘ線照射ステップにおいて照射し基板２０を透過したＸ線を検出するＸ線検出ステップと、Ｘ線検出ステップにおいて検出したＸ線に基づいて、半田４０の水平断面画像を生成する断面画像生成ステップと、断面画像生成ステップにおいて生成した水平断面画像の半田形状に基づいて、半田付け状態を判定する判定ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】挿入端子を有する電子部品が実装されたプリント基板に対して、安価に精度良く良否判定を行う。
【解決手段】プリント基板２０にＸ線を照射するＸ線照射ステップと、Ｘ線照射ステップにおいて照射しプリント基板２０を透過したＸ線を検出するＸ線検出ステップと、Ｘ線検出ステップにおいて検出したＸ線に基づいて、スルーホール２１の複数位置での水平断面画像を生成する断面画像生成ステップと、断面画像生成ステップにおいて生成した水平断面画像に基づいて、半田上がり高さを検出する検査ステップと、検査ステップにおいて検出した半田上がり高さに基づいて、半田付け状態を判定する判定ステップとを有する。 （もっと読む）