【課題】ランドの仕様および部品電極の仕様によって良品の半田形状にばらつきが生じている場合にも、精度良く半田付け状態の良否判定を行う。
【解決手段】基板２０にＸ線を照射するＸ線照射ステップと、Ｘ線照射ステップにおいて照射し基板を透過したＸ線を検出するＸ線検出ステップと、Ｘ線検出ステップにおいて検出したＸ線に基づいて、ランド２２と半田４０間の水平断面画像、及び半田４０の水平断面画像を生成する断面画像生成ステップと、断面画像生成ステップにおいて生成したランド２０と半田４０間の水平断面画像、及び半田４０の水平断面画像のコントラスト差に基づいて、半田付け状態を判定する判定ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】画像処理時間を短縮して短時間で溶接部を検出することができる溶接部検出装置及び溶接部検出方法を提供する。
【解決手段】溶接部を有する測定対象に対して放射線を照射する放射線源と、該放射線源から前記測定対象を透過した放射線を所定範囲で撮影し、撮影画像信号を出力する放射線撮影手段と、該放射線撮影手段から出力される撮影画像信号を処理して溶接部を検出する溶接部検出手段とを備えた溶接部検出装置であって、前記溶接部検出手段は、前記放射線撮影手段から出力される撮影画像信号から溶接線方向に所定距離離れた少なくとも２個所の当該溶接線方向と交差する線画像情報を切り出す画像情報切り出し手段と、該画像情報切り出し手段で切り出した各線画像情報を２値化処理する２値化処理手段と、該２値化処理手段で処理された２値化処理画像に基づいて溶接部を特定する溶接部特定手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスや校正時に生産ラインのフットプリントを最小限にするような測定装置の待避手段を提供する。
【解決手段】所定の幅を有する被測定物（試料）に対して略直行方向に配置され、前記試料の全幅の物理量を同時に測定可能なＣ型フレームを有する放射線測定装置において、前記Ｃ型フレームを前記試料幅の略2/3を前記試料に対して直角方向に移動させた後、連続して残りの略1/3を移動させながら旋回させ、試料の幅方向に対して略90度向きを変えて前記試料の長手方向に対して略平行に待避させる旋回機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】カバー範囲の広いコンピュータ断層撮影に適したＸ線管を提供する。
【解決手段】本発明に従った、Ｘ線（４４）を発生するための管（３２）は、電子を放出するように構成された陰極（４２）と、自身の表面（４８）上に陰極（４２）からの電子を受け取るように配置されたターゲット（４０）と、陰極（４２）とターゲット（４０）との間に配置されて、ターゲット（４０）へ向かって電子を加速するように構成された、開口（５２）を持つ陽極（４３）と、軸（５４）を中心にしてターゲット（４０）を回転させるように構成されていて、ターゲット（４０）の前記表面に面している位置に位置決めされた回転システム（５６）とを含む。 （もっと読む）

【解決課題】散乱法や遮光法における気泡による計測誤差、異種元素によるカウントロス、乳化による計測不能などの問題を解決し、低コストで簡易に、流体中の微粒子の数量及び粒子径などを正確に測定できる方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を流すフローセル１０と、フローセル１０の側面からＸ線を照射するＸ線源２０と、Ｘ線源２０から照射されたＸ線が流体中の微粒子によって減弱された透過Ｘ線量を検出するＸ線検出器３０と、Ｘ線源から照射されたＸ線により流体中の微粒子によって放出される蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出器４０と、透過Ｘ線量及び蛍光Ｘ線量の各基準量からの変動量に基づいて流体中の微粒子及び気泡を識別して微粒子の量及び粒径を算出する演算処理装置と、を具備する流体中微粒子の検出装置。 （もっと読む）

【課題】複数本のＸ線ラインセンサを被検査物の搬送方向に備える構成であっても、各Ｘ線ラインセンサからの検出信号から生成される被検査物の画像の境界を一致させることができるＸ線異物検出装置およびＸ線異物検出方法を提供すること。
【解決手段】搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器９と、被検査物Ｗの搬送方向に複数配置され、被検査物Ｗを透過するＸ線に応じた検出信号を出力するＸ線ラインセンサと、Ｘ線ラインセンサからの検出信号が入力され、Ｘ線ラインセンサの間隔および被検査物Ｗの搬送速度に基づいて、搬送方向の上流側のＸ線ラインセンサほどＸ線ラインセンサの検出信号を遅延させて出力する遅延部４４と、遅延部４４からの検出信号を合成して被検査物Ｗに対応する画像データとして出力する合成部４６と、合成部が出力する画像データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高解像度かつＳ／Ｎ特性に優れた画像に基づいて物品の検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】第１Ｘ線センサ２２０ａと第２Ｘ線センサ２２０ｂとは、互いに水平に並んで配設される。第１Ｘ線センサ２２０ａは、フォトダイオードで構成され、例えばＳｉ（珪素）を含んでなる検出部２２３を有する。検出部２２３は主に可視光を検出するとともにＸ線２１０を検出する。第２Ｘ線センサ２２０ｂは、シンチレータ２２１およびフォトダイオード２２２により構成される。シンチレータ２２１は、検出したＸ線２１０を光に変換する変換層２２４を備える。フォトダイオード２２２は、第１Ｘ線センサ２２０ａと同様に、Ｓｉを含んでなる検出部２２５を備える。 （もっと読む）

【課題】サンプリングレートを低減した多重エネルギー撮像を提供すること。
【解決手段】本開示は、単一エネルギー撮像で利用されるレートに匹敵するデータサンプリングレートを用いた２重エネルギーＸ線データ（６２、６４）の生成に関する。本技法によれば、従来の２重エネルギー撮像と比較して利用するｋＶｐ切替速度が低速となる。作成した画像において全角度分解能が達成される。 （もっと読む）

【課題】基本的にはインクリメンタル型エンコーダを基本とする簡単で扱い易い構成を有し、アブソリュート型エンコーダのような複雑で高価な構成を用いることなく回転体の基準となる角度位置を認識できる測角器を提供する。
【解決手段】ウオームホイール２２，２３の回転角度を測定するための測角器２において、ウオームホイール２２，２３に設けられた測角用の第１識別用マーク３３と、第１識別用マーク３３を読取る第１検出部３６と、ウオームホイール２２，２３に設けられた第２識別用マーク３４と、第２識別用マーク３４を読取る第２検出部３７とを有しており、第１識別用マーク３３及び第２識別用マーク３４はウオームホイール２２の表面上に直接に形成されており、第２識別用マーク３４はウオームホイール２２，２３の回転中心線Ｘ１を中心とした一部の角度範囲に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分光性能が良好なＸ線モノクロメータを提供する。
【解決手段】 Ｘ線モノクロメータ１１は、凹面を有する基板１８と、凹面上に形成された複数の細孔を有する無機酸化物膜と、を備える。無機酸化物膜の複数の細孔は、凹面の法線方向に周期的に積層されている。 （もっと読む）

【課題】異物の高さ方向の位置を計測することができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、固設された１個のＸ線照射装置２００から照射されるＸ線を固設された２個のＸ線ラインセンサ４００ａ，４００ｂにより検出し、照射されるＸ線内に商品９００を移送させることにより商品９００内の異物９１０を検出するものである。Ｘ線検査装置１００の制御部６１０は、Ｘ線ラインセンサ４００ａ，４００ｂにより作成された画像データＤ９００ａ，Ｄ９００ｂに基づいて商品９００内の異物９１０の高さ方向の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】試料透過後の線束を減ずる事無く、放射線検出素子に入力させることでＳ／Ｎを改善した放射線検出装置を提供する。
【解決手段】放射線源と、該放射線源からの放射線を被検査物を介して受光する第１放射線検出素子と、該第１放射線検出素子の近傍に配置された前記第１放射線検出素子と同等の第２放射線検出素子を少なくとも一つ設けるとともに、前記第２放射線検出素子を前記放射線から隔離する隔離手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】規則構造を有する材料の規則構造を評価する方法を提供する。
【解決手段】被撮像物の原子配列を認識可能な画像データを用いる規則構造評価方法において、前記画像データに対し、フーリエ変換処理、空間周波数フィルタリング処理、及び逆フーリエ変換処理を行い、評価対象の規則構造の像強度の分布を示すデータを生成する工程と、前記画像データから前記規則構造を有する領域の境界の画素位置を得る工程と、前記像強度の分布を示すデータから、前記工程で得られた画像位置に対応する像強度を得る工程とを有することを特徴とする規則構造評価方法。 （もっと読む）

【課題】撮像対象被検体の任意の指定された特定領域のみ高い空間分解能で撮像可能であるとともに、簡便に高精度で画像合成が可能な産業用Ｘ線ＣＴ装置および撮像方法を提供することにある。
【解決手段】制御手段２０は、Ｘ線焦点サイズ調整手段９と検出器ピクセル積算処理手段５とを制御して、被検体全体を粗い空間分解能で撮像した画像と、前記被検体の一部に指定された領域に対して、細かい分解能で撮像した画像を得る。合成画像作成手段４Ａは、全体領域の粗い画像データの中に特定の指定領域の細かい画像データを組み込み合成させて一体画像データを合成する。 （もっと読む）

【課題】複数の検出器からの検出信号をパターン配置に応じた適切な配分比を用いて合成して、多層レイヤにおける下層パターンのコントラストを向上する技術を提供する。
【解決手段】複数の検出器から得られた検出画像を用いて画質改善を図ることを可能とする荷電粒子線装置およびその画質改善方法において、配置場所の異なる各検出器の出力に対応する検出画像を用いて、１枚以上の出力画像を生成する方法を、設計データや検出画像から算出したパターン方向あるいはエッジ強度の情報等を用いて制御するものである。このように、複数の検出器を用いることで検出信号範囲を拡大し、設計データや検出画像から算出したパターン方向あるいはエッジ強度を用いて検出信号を合成することで、コントラスト等の画質の改善を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線分光性能が良好で、かつ比較的小型に設計可能なＸ線モノクロメータを提供する。
【解決手段】ローランド円１４の直径を曲率半径として湾曲する凹面を有する基板１８の前記凹面上に形成された、有機物と無機酸化物が交互に積層した有機−無機層状膜から構成されるＸ線モノクロメータ１１であって、前記有機−無機層状膜へローランド円の円周上から入射するＸ線１６の入射角が１０°以上であり、前記有機−無機層状膜の表面粗さの最大高さＲｙが１００ｎｍ以下であり、かつ前記有機−無機層状膜の有機物と無機酸化物が交互に前記基板の湾曲した凹面の法線方向に構造周期を有して積層されている。 （もっと読む）

【課題】微細な周期的構造について高精度かつ高スループットでの形状計測を実現するための基板計測方法を提供すること。
【解決手段】周期的構造を構成する単位構造体の形状に関する形状パラメータから注目パラメータを選択し、単位構造体の形状を計測するための計測条件を注目パラメータに応じて決定する工程と、決定された計測条件に従い、周期的構造が形成された基板上の基準面に平行な面内における方位角を変化させながら、周期的構造へ電磁波を入射させる工程と、周期的構造での反射により、基準面に平行な方向である方位角方向と、基準面に垂直な方向である仰角方向とへ散乱した電磁波を検出する工程と、を含み、計測条件は、周期的構造での反射による電磁波の散乱強度の分布を表す散乱プロファイルの算出と、注目パラメータの値を変化させるごとの散乱プロファイルを比較した比較結果に応じた最適化と、を経て決定される。 （もっと読む）

【課題】量産品で安価なＸ線管を用いて、高いＸ線管電圧にて高出力線量の白色Ｘ線を発生させると共に、白色Ｘ線からローパスフィルタ手段により低エネルギー域の軟Ｘ線を高線量で抽出して試料に照射可能なＸ線測定装置を実現する。
【解決手段】Ｘ線源から出射される軟Ｘ線を含むＸ線を試料に照射し、試料の透過線量をＸ線検出器で検出するＸ線測定装置において、
前記Ｘ線源より円錐状に出射されたＸ線ビームを、スライスした扇状ビームＸ線に生成するコリメータと、
前記扇状ビームＸ線を所定の角度で入射し、反射した前記軟Ｘ線を前記試料に照射する反射ミラーと、
を備える。 （もっと読む）

【課題】単一の高出力Ｘ線発生装置を用いて、簡易に被検査物の材質を識別することができ、これにより装置を小型かつ安価にでき、かつマルチチャンネル化が容易である高出力Ｘ線用の２段Ｘ線検出器を提供する。
【解決手段】入射Ｘ線３を透過させる低エネルギー用シンチレータ１２を有し、所定のエネルギー範囲のＸ線エネルギーを吸収し検出する低エネルギーＸ線検出器１０と、低エネルギー用シンチレータ１２を透過した透過Ｘ線４を再度透過させる高エネルギー用フィルタ２２とその後方の高エネルギー用シンチレータ２４を有し、前記エネルギー範囲のＸ線エネルギーを吸収し検出する高エネルギーＸ線検出器２０とを備える。低エネルギーＸ線検出器１０は、さらに、低エネルギー用シンチレータ１２の前面に位置し、低エネルギー用シンチレータ内の発光を９０度全反射する全反射プリズム１４と、全反射プリズムで反射された発光光量に比例する電気信号を出力する低エネルギー用光電素子１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】水分または湿気の多い環境下であっても、表示部の視認性低下を防止することができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線照射装置２００によりＸ線が照射される。また、筐体内にＸ線照射装置２００が収納され、筐体の一部に少なくとも鉛直上斜め方向に向けた第１面７１１が形成される。そして、タッチパネル画面７００が筐体の第１面７１１に設けられ、タッチパネル画面７００により商品９００に関する検査情報が表示および操作される。保護カバー６００は、筐体の第１面７１１に沿って設けられる。 （もっと読む）