【課題】物品の製造日や製造ロット等の違いに起因して良品の画像に関する特徴値が変動する場合であっても、規定量に対する物品の過不足を適切に判定することが可能な物品検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品１２に対してＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品１２を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、Ｘ線検出部８の検出結果に基づいて物品のＸ線透過画像を作成し、当該画像に関する代表階調値と、上限しきい値ＴＨ２及び下限閾値ＴＨ１とを比較することにより、規定量に対する物品の過不足を判定する処理部９とを備え、処理部９は、直近の複数回の検査によって得られた複数の代表階調値に基づいて、現在設定されている上限しきい値ＴＨ２及び下限閾値ＴＨ１を変更する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の形状異常を容易かつ迅速な方法で判断することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】形状異常判断部は、一の領域における濃淡情報として変化線ＫＨ１と、他の領域における濃淡情報として変化線ＫＨ２とを比較することにより、被検査物の形状異常を判断する。具体的には、同一の検出位置における変化線ＫＨ１の濃淡値と変化線ＫＨ２の濃淡値とが比較される。例えば、検出位置Ａ１における変化線ＫＨ１の濃淡値Ｋ１と変化線ＫＨ２の濃淡値Ｋ２との差Ｓ１が所定範囲内か否かが形状異常判断部により判断される。この場合、差Ｓ１が所定範囲を超えるものであれば、形状異常が存在すると判断される。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギー弁別ができ、かつ高エネルギーＸ線がパルスで発生しても、パイルアップが生じにくい高エネルギーＸ線のエネルギー弁別検査装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 被検査物６に向けて１ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線１ａを照射するＸ線発生装置１１と、被検査物を透過して入射する入射Ｘ線１をコンプトン散乱させる散乱体１２と、コンプトン散乱された散乱Ｘ線２の入射Ｘ線に対する散乱角を所定の範囲に制限する遮蔽体１３と、遮蔽体で制限された散乱Ｘ線のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象試料を実条件に近い状態で計測でき、且つ、単純な構成のイオンビーム分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料３に向けてイオンビーム６を照射するイオンビーム照射手段１と、該イオンビーム照射手段１に接続され、前記イオンビーム６の通路となる低圧部２と、該低圧部２の外部に配置されて、前記試料３に前記イオンビーム６が照射されるよう試料３を保持する試料保持手段と、前記イオンビーム６によって前記試料３から放射された放射エネルギーを検出する検出手段４とを備え、前記低圧部２が、イオンビーム６の出口部分となる開口部を有し、該開口部には、隔壁部材５が前記低圧部２の内部を気密保持可能に設けられ、前記隔壁部材５が、イオンビーム透過性を有し、且つ、前記低圧部２の内外の圧力差に耐えうる強度を有する材料からなるイオンビーム分析装置１０。 （もっと読む）

【課題】受光素子列に対する放射線遮蔽部材の位置決めを、簡易かつ確実に行うことが可能な物品検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検出部８は、基台２１と、基台２１の上面上に配置された基板２６と、基板２６の上面上に配置された受光素子列２７と、受光素子列２７の受光面を覆って配置されたシンチレータ２８と、貫通孔３５Ａ，３５Ｂ及びスリット３４を有するコリメータ３３と、基台２１の上面の所定箇所から起立する円柱部材２２Ａ，２２Ｂとを有し、貫通孔３５Ａ，３５Ｂ内に円柱部材２２Ａ，２２Ｂを挿通するとともに、基板２６の側面を円柱部材２２Ａ，２２Ｂに当接することにより、受光素子列２７がスリット３４の下方においてスリット３４に平行に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】ＢＧＡやＣＳＰなど、半田ボール等の複数の特定部位が対象物の表面ないしは内部に平面に沿って存在している回路基板等の対象物の検査において、半田ボール等が並ぶ平面による切断のための設定作業を不要としたＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＣＴ撮影により得られた投影データを逆投影処理して求めた対象物Ｗの３次元画像情報から、対象物の表面または内部に平面に沿って存在するあらかじめ設定された複数の特異部位の像を捜し出し、その各特異部位の像の中心が通る平面Ｐを求める特異部位像配列平面算出手段と、その平面Ｐでスライスした断層像を３次元画像情報に基づいて作成して自動的に表示器に表示する表示手段を備えることで、半田ボール等が並ぶ平面でスライスした断層像を、オペレータによるスライス位置の設定作業を必要とすることなく直ちに表示することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】測定値からノイズの影響を除去する。
【解決手段】測定対象物上に複数の測定点Ｐ₁〜Ｐ_Nを設定し、測定点Ｐ₁〜Ｐ_Nの並ぶ方向に沿って振動させながら測定ビームを照射する。測定ビームの振幅Ｗの範囲にＭ個の測定点Ｐ₄〜Ｐ₈が含まれているとすると、Ｍ個の測定点Ｐ₄〜Ｐ₈から得られる２Ｍ個の測定値ｆ₁〜ｆ_2Mから、下記(７ａ）（７ｂ)式、


に従って、フーリエ係数ｂ₁(振幅が測定ビーム径の１／２の場合)、又はｂ₂(振幅が測定ビーム径と等しい場合)を求め各測定点のフーリエ係数ｂ₁又はｂ₂の推移を求め、微小領域の分析を行なう。 （もっと読む）

本発明は、いわゆるラジオシンセティック検査による、非破壊で且つ連続的な試料検査方法に関するものであり、この試料のライフサイクルマネージメントプロセスに組み込むことができる。この方法は、少なくとも１つのＸ線源と、このＸ線源と一対をなす少なくとも１つのデジタルセンサとを用いて行われ、このＸ線源とセンサとは、各試料の少なくとも１つの断面をリアルタイムでそれぞれ生成するように、移動空間内部において、向かい合い且つ相似な軌道の上を移動する。 （もっと読む）

【課題】試料の上下方向の搬送振れを減少させることで、放射線源とシート状試料の間隔を一定に保ちながら厚さ測定、欠陥検査をし、一定の透過線量を試料に透過する検査装置を提供する。
【解決手段】搬送手段によって搬送されるシート状試料と、該シート状試料を挟んで対向して配置され、前記シート状試料の物理的特性を測定する放射線源およびラインセンサと、該ラインセンサの少なくとも一方の側面に近接して配置され、前記シート状試料の張力によって発生する上下方向の搬送振れを軽減し、エアーベアリングとして機能するための気体噴出手段を備えた。 （もっと読む）

チェックポイントシステムと、チェックポイントシステム用のホイール付容器と、ホイール付容器に入った物品をチェックポイントシステムに通して搬送する方法である。各容器は、当該容器の平坦な底面の下に延在しない４つのホイールを具える。これにより、容器は中身が入れられるときに、その底部で浅い樋が設けられた取り外しテーブルに沿ってスライドされ、その底部でチェックポイントを通して搬送され、そのホイールでより深い樋を有する取り出しレーンに沿って転がる。取り出しレーンの下の容器返却部が、容器を取り外しテーブルの下の容器保存キューに戻す。チェックポイントの出力側のソータが、例えば容器の内容物が問題のないレーンと怪しいレーンといった１またはそれ以上の取り出しレーンに容器を選択的に偏向させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、現地プラント配管を撮影する際に、配管周囲が狭隘な状況においても、装置の動作範囲を小さくしつつ、広範囲の投影データを取得し、配管内部の微小欠陥などを画像化できる高画質な断層画像を作成することにある。
【解決手段】本発明は、放射線源と、検査対象物の着目点、さらに放射線検出器とを結ぶ直線と、放射線源から放射線検出器の検出面に対しておろした垂線とが為す投影角度は、再構成領域の両端が中央よりも小さいことを特徴とする。
【効果】本発明によれば、現地プラント配管を撮影する際に、配管周囲が狭隘な状況においても、装置の動作範囲を小さくしつつ、広範囲の投影データを取得し、配管内部の微小欠陥などを画像化できる高画質な断層画像を作成できる。 （もっと読む）

【課題】大口径の配管を現地で非破壊検査ができる配管の断層撮影装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】配管検査装置本体１００は、放射線源１と２次元放射線検出器２を対向配置する支持装置３と、軸方向駆動機構１９と、支持装置３を介して、放射線源１と２次元放射線検出器２を、配管横方向に並進移動させる横方向駆動機構１７，１８を備えている。制御コンソール２３において、軸方向駆動機構１９による並進走査の距離を設定するとともに、横方向駆動機構１７，１８の並進移動の横方向最大移動距離を設定する。また、横方向駆動機構１７，１８による配管横方向の並進移動の間隔を、２次元放射線検出器２の配管横方向の幅と、放射線源１と２次元放射線検出器２間の距離と、放射線源１と配管１５の放射線源１側表面までの所定距離とにもとづいて決定する。 （もっと読む）

【課題】リサイクル樹脂の臭素濃度を精度良く測定する。
【解決手段】少なくとも樹脂片を含む分別対象物を重ならずに移動させる搬送装置と、複数の分別対象物に同時にＸ線あるいは電子線を照射する照射線発生装置と、複数の樹脂片中の臭素から同時に放出される蛍光Ｘ線を検出する検出装置と、検出された蛍光Ｘ線のデータを処理するデータ処理部と、該データ処理部からの信号に基づいて臭素濃度を測定する臭素濃度測定装置であって、前記データ処理部は、検出された蛍光Ｘ線のデータを樹脂片の所定単位毎に積算するように構成する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の搬送装置上への供給の仕方を変更することなく、従来のこの種の検査装置に比して被検査物の重なりの影響を可及的に少なくすることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１とＸ線ラインセンサ２を収容するＸ線防護箱３の入口３ａに配置され、被検査物Ｗの通過により押し上げられて搬送経路を開くＸ線遮蔽部材７ａ〜７ｃを、その自重により、搬送装置４上で重なった被検査物Ｗを均すように構成することで、被検査物Ｗが重なった状態で搬送されてきても、これをＸ線源１とＸ線ラインセンサ２の手前で自動的に解消し、Ｘ線透視画像上に、被検査物が重なった像が存在することをなくし、正確な異物判定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 屈折コントラスト法の問題点を解決することのできるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生手段から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子を有する。また、分割されたＸ線が入射する第１の蛍光体が複数配列された蛍光体アレイを有する。この第１の蛍光体は、Ｘ線の入射位置に応じてＸ線による蛍光の発光量が変化するように構成されている。また、蛍光体アレイから発光した蛍光の強度を検出するための検出手段を有する。 （もっと読む）

【課題】各Ｘ線センサからのＸ線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができるＸ線検出器およびＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】センサモジュール群１０２の各センサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・およびセンサモジュール群１０１の各センサモジュール１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・は、それぞれ所定間隔でそれぞれ一列に配置されていて、この所定間隔は、センサモジュール群１０２の各センサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・と、これらのセンサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・のそれぞれに対応させたセンサモジュール群１０１の各センサモジュール１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・と、の各対応点をそれぞれ結んだ各方向線が集束領域で集束するようにそれぞれ決定された。 （もっと読む）

【課題】粒子ビームを用いて試料の構造に関する情報を得るための検査方法において、試料から放出された電子およびｘ線から試料に関する情報を得ることができる検出方法および検査装置を提案する。
【解決手段】検査方法は、試料に粒子ビームを集束するステップと、試料に隣接して配置した少なくとも１つの検出器を作動するステップと、少なくとも１つの検出器によって生成した検出信号を異なった強度間隔に割り当てるステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射した電子に関連した少なくとも１つの第１信号成分を決定するステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射したＸ線に関連した少なくとも１つの第２信号成分を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】搬送中の商品の揺れを抑制して、安定したＸ線検出画像を得ることによって、従来よりも検査精度が向上したＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置はガイド部材１８を有したコンベアを備えている。ガイド部材１８は、一対の曲面支持部１８ａ、１８ｂと、曲面支持部１８ａの搬送方向上流側に設けられた水平支持部１８ｃと、水平支持部１８ｃと同様のものであって、曲面支持部１８ｂの搬送方向下流側に設けられた水平支持部１８ｅと、曲面支持部１８ａと同構成の曲面支持部１８ｂとの間に設けられた切り目１８ｄと、を有しているものである。曲面支持部１８ａは、搬送ベルト１２ｅを幅方向に湾曲させつつ支持する曲面を有した第１支持部１８ａ_１と、第１支持部１８ａ_１の搬送方向上流側に設けられている第２支持部１８ａ_２とを有しているものである。 （もっと読む）

【課題】 試料の材料分析と内部構造分析とを省力的に短時間で行うことができ、また大型試料にも対応可能で、しかも、持ち運んで屋外で使用することもできる大型試料用のＸ線複合分析装置、及び当該装置を利用したＸ線複合分析方法を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線光源に面光源である焦電結晶を用いたＸ線面状照射器１と；Ｘ線を照射する試料Ｓを配置するための試料セッティング部２と；この試料セッティング部２に対して、前記Ｘ線面状照射器１と同じ側、またはＸ線面状照射器１の反対側に配置され、かつ、Ｘ線が照射された試料Ｓから放出される蛍光Ｘ線を検出可能な蛍光Ｘ線検出器３と；前記試料セッティング部２に対し前記Ｘ線面状照射器１の反対側に配置され、かつ、Ｘ線が照射された試料ＳのＸ線透過像を撮影可能なＸ線撮像器４とを含んでＸ線複合分析装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】従来のエリアディテクタ方式の３軸応力測定法の問題点を解決し、より精度の高い測定方法を提供すること。
【解決手段】被検物にＸ線を照射して得られる回折環に基いて３軸応力を測定する方法である。第一の態様では、４つの入射方向(φ₀ ＝ 0°、90°、180°、270°)にてＸ線を斜めに照射して各々回折環を得、φ₀ ＝(0°、180°)では（σ_x −σ_z ）、τ_yzを求め、φ₀ ＝(90°、270°)では（σ_y−σ_z ）、τ_xz を求め、これらの回折環からτ_xyσ_z を求め、もって６個の３軸応力成分を得る。第二の態様では、垂直入射と２つの斜め入射φ₀ ＝(0°、90°)によって回折環を得、垂直入射ではτ_xz、τ_yz を、φ₀ ＝ 0°では（σ_x−σ_z ）、τ_xy を、φ₀ ＝ 90°では（σ_y −σ_z ）、τ_xy を求め、これらの回折環からσ_z を求め、もって６個の３軸応力成分を得る。 （もっと読む）