【課題】概ね一定の形状を有する物品だけでなく、不定形状の物品についても適切に欠品あるいは割れ欠けの検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線源１３と、Ｘ線検出部１４と、検査部２１ｂとを備える。Ｘ線源１３は、Ｘ線を照射する。Ｘ線検出部１４は、Ｘ線源１３からのＸ線を受ける。検査部２１ｂは、Ｘ線検出部１４で受けたＸ線に基づいて生成されるＸ線画像６１ａ，６１ｂに対して画像処理を施し、Ｘ線源１３とＸ線検出部１４との間を通る物品Ｇについての欠品あるいは割れ欠けの検査を行う。また、検査部２１ｂは、画像処理あるいは検査において、Ｘ線画像６１ａ，６１ｂに基づいて物品Ｇの体積を算出し、所定の基準体積と比較する。 （もっと読む）

【課題】試料の厚さや材料種類などに依存することなく、前記試料の内部欠陥や内部構造を十分な精度で観察することができる新規な方法及び装置を提供する。
【解決手段】所定の陽電子源から陽電子を放出し、所定の試料に対して照射し、前記陽電子の、前記試料を透過して得た像を透過画像として得る。この透過画像は前記試料の内部構造などを反映しているので、この透過画像を分析することにより、前記試料の内部構造などを知ることができるようになる。 （もっと読む）

【課題】熱電対を利用して高炉炉底の耐火レンガの残厚を推定する方法において、耐火レンガ残存厚を一層高精度に推定できる高炉炉底管理方法を提供する。
【解決手段】宇宙線ミュオンを利用して耐火物と炉内との境界位置を判定する。境界位置の判定は、宇宙線ミュオンを計測する計測部１２により高炉炉底２を透過して飛来する炉底透過の宇宙線ミュオン強度と、該炉底透過の宇宙線ミュオンの飛来方向の判別情報と、高炉を非透過の非透過宇宙線ミュオン強度とを一定時間蓄積し、該蓄積データに基づいて炉底の状態を炉底透過の宇宙線ミュオン強度と非透過宇宙線ミュオン強度との強度比で表し、該強度比に基づいて行う。この判定基準として高炉炉底耐火物内に配置された温度計測手段９ａ、９ｂにより計測した計測温度の変動から耐火物への付着物厚みの増減を推定し、短期的な炉内状況変動も管理する。 （もっと読む）

【解決手段】基板に重ねられた材料の層の積重ねにおける１つの層の元素組成の面密度を確立するための方法及びコンピュータプログラムソフトウェア製品である。入射する透過性放射線は、１又は複数の元素のそれぞれに関連した複数の線の特性蛍光Ｘ線放射を励起する。連続する元素の特性蛍光の強度比に関する方程式の自己一致した解によって、連続した層の面密度が決定される。 （もっと読む）

【課題】
反射装置において、低角（０°近く）における表面反射率が高角における表面反射率より著しく大きい。
【解決手段】
反射装置であって、試料の表面に対して一定範囲の角度に渡って放射線を前記試料に照射するように構成された放射線源と、前記範囲の角度に渡って前記試料から反射された放射線を受け取るように配置され、前記放射線に応答する信号を生成するための検出アセンブリと、前記放射線を遮断するように調節可能に配置されたシャッターであって、前記範囲の角度の低角領域の放射線を遮断し、それによって前記範囲の高角領域の反射された放射線のみが前記アレイに到達できるようにする遮断位置と、前記範囲の低角領域の放射線が遮断されずに実質的に前記アレイに到達する開放位置とを有する、該シャッターとを含む。 （もっと読む）

【課題】従来、定量基準となるハンダ試料が存在しないため、蛍光Ｘ線分析装置によるハンダ材料の定量分析が行えない。また、溶融ハンダは冷却固化の際に含有成分が偏析するため、表面分析装置では、十分な分析精度が得られない。
【解決手段】溶融状態のハンダ材料を冷却固化してハンダ試料とする工程と、冷却固化したハンダ試料を折畳んで重ね合わせる工程と、前記ハンダ試料を圧延する工程により、含有成分の偏析の少ないハンダ試料が作製でき、前記ハンダ試料を表面分析装置で定量分析することにより、簡便かつ高精度な分析ができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の塗工シートの塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】Ｘ線源１１とＸ線検出器１２を用いて未乾燥状態の塗工シート１０の走行状態において塗工シートの乾燥後における塗工膜を測定する際、塗工シートの透過Ｘ線量を測定したデータを演算部３０で処理して塗工シート１０の塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みをほぼ連続的に算出する。この際、未乾燥状態における塗工膜中の溶剤の含有率が一定であれば、未乾燥状態の塗工膜の溶質と溶剤のＸ線吸収量の比率は一定になる。この関係から、未乾燥時のＸ線吸収量と乾燥時のＸ線吸収量との間に一定の関係式が生じる。この関係式を用いて、未乾燥時の単位面積当り重量の測定値から乾燥後の単位面積当り重量を求めることが可能になる。溶剤の含有率が変化した場合は、含有率の変化に応じて関係式を補正すればよい。 （もっと読む）

【課題】増強された分解能をもつＸ線散乱測定を用いた試料の検査方法を提供する。
【解決手段】その試料の検査方法は、試料に向かってＸ線ビームを誘導する段階と、試料から散乱させられたＸ線を捕捉すべく検出器素子のアレイを構成する段階とを含む。試料は、アレイのピッチの整数倍数でない増分だけ相互に分離された少なくとも第１および第２の位置との間で該アレイの軸に平行な方向にシフトされる。試料がそれぞれ少なくとも該第１および第２の位置のそれぞれにあるときに検出器素子が捕捉したＸ線に応答して、該検出器素子により少なくとも第１および第２の信号が生成される。この第１および第２の信号は、前記軸に沿った位置の関数として、試料のＸ線散乱プロファイルを決定すべく合成される。 （もっと読む）

【解決手段】 封入物検査装置１１において、封書投入ステーションＡに封書２が投入されると、外観検査手段２７及びＸ線検査手段３３により、封書の厚さと、封書に封入された封入物が所定の擬似対象物であるか否かが判定される。
所定厚さ以上の封書は第１選別ステーションＤでリジェクトされ、所定厚さ以下で擬似対象物の検出されなかった封書は第２選別ステーションＧまでそのまま搬送され、所定厚さ以下で擬似対象物の検出された封書は位置決めステーションＥにおいて封書内の擬似対象物の位置が位置決めされた後、擬似対象物査ステーションＦではテラヘルツ波を用いて上記擬似対象物が爆薬や麻薬などの所定の対象物であるか否かが判定される。
【効果】 大量の封書であっても、迅速に対象物の有無を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体を破壊、加工することなく、連続して検査することのできるＥＰＭＡ法による検査装置および検査方法を提供することである。
【解決手段】試料に電子線を照射する電子線光学手段が接続され、所定の真空度に保持された試料室と、真空排気手段および給気手段とが接続され、前記試料室との間で試料の出し入れを行う第１開口部および外部との間で試料の出し入れを行う第２開口部を有する予備排気室と、前記第１開口部を開閉するための第１仕切り弁と、前記第２開口部を開閉するための第2仕切り弁と、試料を保持して外部と予備排気室と試料室との間を移動する試料台と、この試料台の移動に対応して、前記第１仕切り弁および第２仕切り弁の開閉、予備排気室の給・排気を行う制御手段とを備えたことを特徴とするＥＰＭＡ法による検査装置である。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡で観察するための試料の作製方法に関し、元のサンプルの表面近くの変化が少ない透過型電子顕微鏡用の試料の作製方法を提供する。
【解決手段】薄片状に加工する前のサンプルにＯｓ（オスミウム）からなる膜をサンプルの表面に形成し、その後に加工して薄片状とすることを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。Ｏｓ膜を形成する前に、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ−Ｐｄ、Ａｕ−Ｐｄからなる群から選ばれる１種以上からなる予備保護膜を真空蒸着法により形成する前記記載の作製方法。 （もっと読む）

本発明の一実施形態に従えば、基板上の単層もしくは多層構造体における１以上の層の厚さを決定するために、光電子分光法が使用される。この厚さは、光子が衝突したときに当該構造体により放出される二つの光電子種、または他の原子特異的な特徴的電子種の強度を測定することによって決定されてよい。層の厚さに依存する予測強度関数が、各光電子種について決定される。二つの予測強度関数の比が定式化され、構造体の層の厚さを決定するために、この比が反復される。一実施形態に従えば、当該層の厚さを決定するために、一つの層からの二つの光電子種が測定されてよい。もう一つの実施形態に従えば、層の厚さを決定するために、異なる層または基板からの二つの光電子種が測定されてよい。 （もっと読む）

【課題】 複数種類の検査結果を同時に見易く表示することのできる物品検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷに対応する所定の物理量を特定してその物理量を表わす測定信号を出力する物理量測定部１３と、ワークＷについての所定の品質検査を実行してその品質検査の結果を表わす検査結果信号を出力する品質検査部１５とを備えた物品検査システムであり、更に、測定信号および検査結果信号に基づいて、測定信号で表わされる物理量および検査結果信号で表わされる品質検査結果を含む検査結果情報を、表示画面上の時間軸方向に各ワークＷの測定順に並べて表示する表示部２１を備える。 （もっと読む）

【課題】 高分解能のマイクロ蛍光Ｘ線測定を実行するための、改善された方法およびシステムを提供する。
【解決手段】 試料の表面に適用された材料を試験する方法は、既知のビーム幅および強度断面を有する励起ビームを試料の領域に方向付けることを包含する。励起ビームに応答して領域から放射された蛍光Ｘ線の強度が測定される。測定された蛍光Ｘ線強度および励起ビームの強度断面に応答して、ビーム幅よりも微細な空間分解能で、領域内の材料の分布が概算される。 （もっと読む）

【課題】 膜厚測定方法及び膜厚測定装置に関し、簡便かつ迅速に薄膜の厚さおよび組成変化を測定する。
【解決手段】 薄膜の表面に加速したイオン４を照射し、その表面から放出される二次電子５に起因する試料電流により薄膜の厚さを測定する。 （もっと読む）

本発明は、船のデッキの上の水素を含む物質を検出するための装置であって、船のデッキの表面の下に位置して、高速／高エネルギー中性子を放射する中性子源と、前記船のデッキの表面の下に位置して、熱中性子を検出するための検出器デバイスとを含む装置に関する。本発明はさらに、船のデッキの上の水素を含む物質を検出するための対応する方法にも関する。これによって、船のデッキの上における水の出現を検出するための装置と方法が提供される。このような水の出現は特に荒天条件下の航行の際に発生する。この装置は船のデッキの下に位置し、この結果、これは荒天条件による摩耗にさらされることはない。
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【課題】 マッピング測定を行う全反射蛍光Ｘ線分析装置において、十分正確な測定強度の分布を短時間で求められるものを提供する。
【解決手段】 以下のように動作する制御手段２４Ａを備える。基準試料９について、測定点３２ごとに適切なステージ角度を補正ステージ角度φ_ｍとして記憶しておき、分析対象試料１については、各測定点３２で、その測定点３２に対応させて記憶した補正ステージ角度φ_ｍに調整し、その状態での基準Ｘ線５ａの強度を基準点３１での基準強度と比較して、補正ステージ角度φ_ｍに調整することが適切でないと判断される場合にのみ、改めて適切なステージ角度に調整して、蛍光Ｘ線５ｂの強度を測定し、測定強度の分布を求める。 （もっと読む）

集束イオンビーム３１２のスパッタリングエッチング加工を行って薄片を作製すると同時に、薄片の側壁に対して平行な方向から電子ビーム３１４の照射を行って走査電子顕微鏡観察をし、薄片の厚さを測定する。そして、薄片の厚さが所定の厚さになったことを確認して、集束イオンビーム３１２による加工を終了する。
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【課題】 金属帯の表面に形成されるＰなどの軽元素を含む表面処理皮膜について、該皮膜中に含まれる軽元素の付着量を、蛍光Ｘ線分析装置を用いてオンライン分析できる付着量測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】 表面に皮膜が形成された走行中の金属帯の皮膜付着量測定装置であって、走行中の金属帯に近接して配置され、該金属帯表面にＸ線を照射し、励起・放射される蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線測定ヘッドと、前記蛍光Ｘ線測定ヘッドを該金属帯幅方向に往復動可能に支持する支持装置と、前記蛍光Ｘ線測定ヘッドの該金属帯走行方向上流に配置され、該金属帯の形状を検出する形状センサと、前記形状センサで検出した金属帯の形状が閾値を超えたときに前記蛍光Ｘ線測定ヘッドを該金属帯幅方向端部外方または板面から離れる方向に退避させる退避装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線反射率測定等において、試料から散乱されるＸ線ビームを限定するアパーチャの位置、サイズを容易に決定することができる。
【解決手段】試料（２０４）からの偏向Ｘ線ビーム（２０６）を検出するためのＸ線検出システム（４００）であって、検出器（４０２）でＸ線ビームエリアを受信可能とされた画素アレイを有する検出器（４０２）と、試料画像を検出器（４０２）から読み出す画像処理手段（４０４）と、第１のエリアのサブ画像を試料画像から抽出する対象領域抽出手段（４０６、４０８）とを備える。サブ画像は、一般に「仮想アパーチャ」画像を得るための画素アレイの狭い細片か、あるいは「仮想アパーチャ」画像を得るための画素アレイの円形エリアである。検出器（４０２）から取り込んだ試料画像から複数のサブ画像を抽出することができる。 （もっと読む）