【課題】薄膜ヒータのオンオフに伴いベースに働く熱応力を、緩和する。
【解決手段】半導体基板のキャビティ８に、中心に孔１１を備えかつ薄膜ヒータを有する絶縁膜７を配置する。孔１１から見た絶縁膜７の一端とその反対側の端部との間に、孔１１の周囲を取り巻きかつ折り返すように薄膜ヒータが配置され、薄膜ヒータの各部は互いに直列に接続されている。孔の一方で他方に比べて薄膜ヒータの配線１２が１本少なく、孔の一方に薄膜ヒータと同材質でかつヒータ電流が流れないダミーの配線１６，１７が１本設けられている。
【効果】薄膜ヒータのオンオフに伴う熱応力を緩和できる。 （もっと読む）

【課題】複数回の使用や高い測定温度の場合であっても、絶縁被膜の劣化による測定値のばらつきが生じない高精度測定可能な熱伝導率測定用プローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】非定常白金細線加熱法による電気伝導性粒子分散液体の熱伝導率測定用プローブについて、白金細線の金属露出部には、該金属露出部にメルカプト基が脱水素結合しているとともに、ケイ素と酸素を骨格とするシロキサン結合の架橋構造を有する有機薄膜が形成されている。こうした有機薄膜は、白金細線の金属露出部に、メルカプト基を有するシランカップリング剤溶液に浸漬させた後、他のシランカップリング剤溶液に浸漬させる方法等により形成できる。 （もっと読む）

【課題】測温抵抗体（ＲＴＤ）を用いたステータ巻線の熱異常の診断システムを提供する。
【解決手段】ステータ巻線内の少なくとも１つのセンサから長時間にわたりＲＴＤ読取り値を得る入力システム（１９）と、各ＲＴＤ読取り値を電機子電流に関して正規化する正規化システム（２０）と、１組の正規化されたＲＴＤ読取り値における傾向を分析して、ステータ巻線の熱挙動を示す分析システム（２４）とを含む、第１のシステム（１０）が提供される。ステータ巻線内の共通の軸方向位置にある複数のセンサから、１組のＲＴＤ読取り値を得る入力システム（１９）と、１組のＲＴＤ読取り値から、最大値と中間値との差値を計算する計算システム（２２）と、１組の差値の長時間にわたる傾向を分析して、ステータ巻線の熱挙動を示す分析システム（２４）とを含む、第２のシステムが提供される。 （もっと読む）

【課題】ラジカルの再結合による結合熱を精度よく算出し、その結合熱を基に再結合係数を算出するラジカルの測定方法を提供すること
【解決手段】
本発明に係るラジカルの測定方法は、生成室５内で原料ガスのプラズマを発生させることで、測定対象であるガスのラジカルを生成する。ラジカルは、生成室５に対し、プラズマの輻射熱を遮蔽する遮蔽部４を介して接続された測定管８に流入させられる。結合熱は、測定管８に配置された温度センサ９によって、温度センサ９との接触によってラジカルが失活することで発生する。測定管８の軸方向に沿った結合熱の変化に関する減衰係数が算出される。測定管８の構成材料のラジカルに対する再結合係数は、測定管８の軸方向および径方向のラジカルの密度分布を含む移流拡散方程式を用いて算出される。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス性がよく且つ簡略な構造でありながら、広い湿度範囲において露点を測定可能な露点計、湿度計、露点導出装置、湿度導出装置、露点測定方法、及び湿度測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、測定空間Ｓ１と当該測定空間Ｓ１に対して断熱部１００で隔てられる外部空間Ｓ２とに跨って配置される伝熱部２を準備し、伝熱部２の測定空間内に位置する部位２ａが結露するように外部空間内に位置する部位２ｂの温度を測定空間内に位置する部位２ａの温度より低温にし、伝熱部温度Ｔ_ｅ、測定空間温度Ｔ_ｉ、及び外部空間温度Ｔ_ｏをそれぞれ測定し、測定空間内に位置する部位２ａに結露が生じた状態の伝熱部２における熱収支に基づく関係式Ｔ_ｄ１を用い、前記の伝熱部温度Ｔ_ｅ、測定空間温度Ｔ_ｉ、及び外部空間温度Ｔ_ｏから測定空間Ｓ１の露点Ｔ_ｄを算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度較正を行う煩雑な工程を必要とせず、コストを抑える。
【解決手段】基板１１上に、相変化物質１５と相変化物質１５を加熱する発熱部１３とが積層されている。更には、相変化物質１５における温度変化に伴う相転移としての相変化物質１５の体積変化を検出する相転移検出層１４を相変化物質１５に当接して積層されている。相転移検出層１４は圧電効果を有しており、温度変化に伴い相変化物質１５の体積が変化するとこの体積変化が相転移検出層１４への圧力変化となる。転移検出層１４によって圧力変化に対する変位電圧を出力する。その変位電圧を検出することで、相変化物質の相転移が起きたことを検出する。そして、検出した相転移が起きたときの温度を既知の相転移温度とする温度較正を素子自身で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】温度較正のための煩雑な工程を必要とせず、コストを抑えることができる。
【解決手段】基板１１上に、導電性の相変化物質１５と相変化物質１５を加熱する発熱部１３とが積層されている。更には、相変化物質１５における温度変化に伴う相転移としての相変化物質１５の粘性変化を検出する。そして、発熱部１３によって加熱していくと、相変化物質１５の粘性が既知の相転移温度にて変化する。具体的には、相変化物質１５の粘性が変化することで通電状態となっていた相変化物質１５が電極から離れ、検出リード１６間は非通電になる。この非通電を検出することで相変化物質１５の相転移が起きたことを検出する。これにより、相転移を検出した時の発熱部１３の温度に基づいて素子自身で温度較正を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】試料温度分布の不均一性や電磁干渉ノイズの問題を解消して任意の温度における比熱容量と半球全放射率の測定値の確度・信頼性を向上させる。
【解決手段】導電性試料に通電して急速加熱し、該試料を目標温度Ｔ_ｍを超えて任意の温度に到達させ、目標温度Ｔ_ｍにおける試料の加熱速度dT/dt、試料を流れる電流Ｉ、試料の電圧降下Ｖの測定データから次の関係式によりＸとＹを算出するステップ、


試料に流す電流を変えることで加熱速度を離散的に変えて上記のステップを繰り返すことにより複数組のＸとＹを算出するステップ、該複数のＸとＹの値に対して、近似的に導出したＸとＹの１次式の傾きと切片の値から比熱容量ｃ_ｐ及び半球全放射率ε_ｔを算出するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】超伝導物質に超伝導遷移を起こさせることが可能な温度を有する流体の流量計測装置を提供する。
【解決手段】流量計測装置は、流体Ｆの温度よりも高い超伝導遷移温度であってそれぞれが有する超伝導遷移温度が同一である複数の超伝導体Ｒと、複数の超伝導体Ｒのそれぞれに対応して設けられており、管路１０に流体Ｆが流れた状態において対応する超伝導体Ｒを加温する複数のヒータＨとを備え、複数のヒータＨからの加温量をそれぞれ異ならせて複数のヒータＨが対応する超伝導体Ｒを加温することにより複数の超伝導体Ｒを常伝導にした後、流体Ｆにより冷却された複数の超伝導体Ｒの中で常伝導から超伝導に遷移している超伝導体Ｒを判定し、この判定がされた常伝導から超伝導に遷移している超伝導体Ｒにおいて、加温量が最も大きいヒータＨにより加温された超伝導体Ｒが、常伝導から超伝導に遷移した時に奪われた熱量Ｑ２を基にして流体Ｆの流量を演算する。 （もっと読む）

【課題】熱電対間の温度差を維持して、測定に必要とされる熱起電力を効率良く発生させることにより、熱伝導率の測定精度を高めることが出来るサーモパイル型の熱流センサを提供する。
【解決手段】熱流センサは、絶縁性の配線基板４に、縦横に配列された複数の第１，第２の貫通孔５，６を形成し、各第１，第２の貫通孔５，６に異種金属材料製の第１，第２金属接続体７…，８…が交互に配設されている。第１，第２金属接続体７…，８…は、第１金属接続体７と同種の第１表面金属層１９…，第２表面金属層２０…によって、直列に接続されていて、各々熱電対を構成する。第１表面金属層９…，第２表面金属層１０…の幅狭部１９ａ，２０ａ…では、複数の第１表面金属層…，第２表面金属層…間を接続して、第１の貫通孔５内に配設された第１金属接続体７を通過する熱流量が少なくなるように、幅狭形状を呈して、熱が通過する断面積を少なくしている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の設置異常を検知することができる熱伝導測定装置、及び熱伝導測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、加熱源に熱的に接続されると共に端面を有する加熱側挟持部材と冷却源に熱的に接続されると共に端面を有する冷却側挟持部材とによって測定対象物を挟み込み、その状態で加熱源により加熱側挟持部材を加熱すると共に冷却源により冷却側挟持部材を冷却することによって加熱側挟持部材から冷却側挟持部材に熱を流し、その状態で、加熱側挟持部におけるその端面と平行な面方向の温度のばらつき及び冷却側挟持部材におけるその端面に平行な面方向の温度のばらつきの少なくとも一方の温度のばらつきを測定し、この測定した温度のばらつきに基づいて測定対象物の設置異常を検知することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定性能に優れた熱伝導率測定装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る熱伝導率測定装置は、試料を加熱する熱板（１１０）を備えた熱伝導率測定装置であって、前記熱板（１１０）は、二次元的に配置されフレキシブルに連結された複数のブロック（１０）と、前記複数のブロック（１０）に挿通されたヒータ線（２０）と、を有するものである。前記ブロック（１０）は、セラミックス製であることとしてもよい。 （もっと読む）

【課題】実際のデバイスに近い条件で熱伝導率を測定する。
【解決手段】ヒートスプレッダ２６は、互いに対向する主面２６ａと主面２６ｂを有する。ヒートスプレッダ２６の主面２６ａにスペーサ２８が設けられている。スペーサ２８はヒートスプレッダ２６よりも高い熱抵抗率を持つ。スペーサ２８上に熱電対３０が載置されている。ヒートスプレッダ２６の主面２６ｂに熱電対３２が設けられている。ヒートスプレッダ２６は、パワーモジュール１０の熱放散面１６と冷却板１８との間に挟まれる。パワーモジュール１０の熱放散面１６とヒートスプレッダ２６の主面２６ａとの間にサーマルグリース２０が配置される。熱電対３０が熱放散面１６に接触する。 （もっと読む）

【課題】軽油に軽油以外の燃料が混入されているか否かを判定可能にする。
【解決手段】検査対象燃料を注入した保持容器３を電気炉１内に配置した後、エアポンプ４を作動させるとともに、第１電気ヒータ１１に通電することにより、検査対象燃料は温度上昇により蒸発が起こり、気化した燃料はキャリアガスにのって触媒体２に到達し触媒上で燃焼する。この燃焼により触媒体２内の温度が上昇し、触媒体２に流入する前のキャリアガスの温度と触媒体内温度との温度差が大きくなる。そして、軽油・灯油・重油の蒸発温度は異なるため、例えば軽油に灯油や重油が混入されている場合とそれらが混入されていない場合とでは、温度差が大きくなるときのガス温度領域が異なる。したがって、ガス温度と触媒体内温度に基づいて、軽油に軽油以外の燃料が混入されているか否かを判定することができる。 （もっと読む）

【課題】ガスの特性を容易に測定可能な温度拡散率測定システムを提供する。
【解決手段】発熱素子が複数の発熱温度で発熱したときの計測対象混合ガスの放熱係数又は熱伝導率の値を計測する計測機構１０と、複数の発熱温度に対する放熱係数又は熱伝導率を独立変数とし、温度拡散率を従属変数とする温度拡散率算出式を保存する温度拡散率算出式記憶装置４０２と、温度拡散率算出式の複数の発熱温度に対する放熱係数又は熱伝導率の独立変数に、複数の発熱温度に対する計測対象混合ガスの放熱係数又は熱伝導率の値を代入し、計測対象混合ガスの温度拡散率の値を算出する温度拡散率算出部３０５と、を備える温度拡散率測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】実機サンプルのボイラチューブの内面に生成したスケールの熱伝導率測定装置において、装置の低コスト化，測定精度の向上，測定時間を短縮できる測定装置を提供する。
【解決手段】交流電源から試験チューブに交流電流を流し、ジュール熱により発熱させる。発熱量は電熱線に流れる電流の強さ，電熱線にかかる電圧，電流が流れた時間に比例する。従来の高額なセラミックヒータの替わりに電流を流すことによるチューブ自体を発熱させる。保圧弁を追加して超臨界圧まで昇圧して測定する。酸洗浄工程でスケールが完全に落ちたことを確認するため、酸洗い液中の鉄濃度を測定してスケールが完全に溶け鉄イオン濃度が飽和したことを確認して自動的に停止する機構を装備させる。電磁弁，予熱器温度，交流電源等を全て自動制御装置にて制御する。 （もっと読む）

【課題】熱分析装置の加熱炉周囲の温度環境の変化の影響を排除して、測定精度の向上を目的とする。
【解決手段】少なくとも二層以上の密閉された層構造であって外界と隔離するように前記加熱炉周囲を覆う複層構造体を備えた。また、その層間は、加熱炉内に存在する気体と同等の熱容量をもつ物質で満たした。 （もっと読む）

【課題】水温変動があっても付着物を精度良く検出することができる付着物検出装置を提供する。
【解決手段】金属管２内に、発熱体３及び測温体４が挿入され、該発熱体３及び測温体４と該金属管２の内面との間に充填材５が充填されてなるプローブ１と、該発熱体３への通電制御手段と、該測温体の計測温度から該金属管外面の付着物の付着判定を行う判定手段とを備える。該発熱体３への通電量を変化させた際に該測温体４で計測される温度差に基づいて該金属管２の外面への付着物の付着を判定する。水温変動に応じて、該温度差の値に補正を加える。 （もっと読む）

【課題】ガスの発熱量を容易に測定可能な発熱量測定システムを提供する。
【解決手段】発熱量が未知の計測対象混合ガスのガス温度の値、及び発熱素子が複数の発熱温度で発熱したときの計測対象混合ガスの物性の値を計測する計測機構１０と、ガス温度及び複数の発熱温度に対する物性を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を保存する式記憶装置４０２と、発熱量算出式のガス温度の独立変数及び複数の発熱温度に対する物性の独立変数に、計測対象混合ガスのガス温度の値及び複数の発熱温度に対する計測対象混合ガスの物性の値を代入し、計測対象混合ガスの発熱量の値を算出する発熱量算出モジュール３０５と、を備える、発熱量測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】ガスの発熱量を容易に測定可能な発熱量算出式作成システムを提供する。
【解決手段】複数の混合ガスのそれぞれが注入されるチャンバ１０１と、チャンバ１０１に配置され、測温素子及び複数の発熱温度で発熱する発熱素子を含むマイクロチップ８と、複数の混合ガスのそれぞれの温度に依存する測温素子からの電気信号の値、及び複数の発熱温度のそれぞれにおける発熱素子からの電気信号の値を計測する計測モジュール３０１と、複数の混合ガスの既知の発熱量の値、測温素子からの電気信号の値、及び複数の発熱温度における発熱素子からの電気信号の値に基づいて、測温素子からの電気信号及び複数の発熱温度における発熱素子からの電気信号を独立変数とし、発熱量を従属変数とする発熱量算出式を作成する式作成モジュールと、を備える発熱量算出式作成システムを提供する。 （もっと読む）