【課題】本発明は、生成されるプラズマの状態を調整可能なプラズマ生成ガスを提供し、プラズマを生成する際に大量の電力を印加しても安定なグロー放電を得ることを可能とするとともに、このプラズマ生成ガスを用いて、高密度で伸張距離の長いプラズマを提供することを目的とする。
【解決手段】放電することによってプラズマを生成するためのプラズマ生成ガスであって、前記プラズマの主成分となる物質を含んでいるプラズマ用ガスと、前記プラズマの状態を調整するプラズマ状態調整用ガスとの混合ガスとする。 （もっと読む）

【課題】生体等の被験体から放射される蛍光を精度良く、且つ、安価に検出可能な検出装置を提供する。
【解決手段】被験体１００に励起光を照射する入射用ファイバ６と、励起光の照射により被験体１００から放射される蛍光を受光する反射用ファイバ７と、先端部分に、入射用ファイバ６および反射用ファイバ７を保持するプローブ保持部１０と、プローブ保持部１０の先端部分に着脱自在に取り付けられ、且つ、被験体１００に接触する被験体接触面を有するアタッチメント５とを備え、アタッチメント５は、プローブ保持部１０の先端部分がアタッチメント５の被験体接触面から被験体１００側に突出することなく、プローブ保持部１０の先端部分に取り付けられる検出装置１である。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高い精度でＳｉＨ_４ガスなどのガスの濃度を測定することができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、レーザ光照射窓を備える成膜容器と、薄膜の原料である原料ガスを成膜容器に供給する原料ガス供給部と、原料ガスに希ガスを添加する希ガス添加部と、成膜容器の内部にプラズマを発生させるプラズマ発生部と、レーザ光照射窓から成膜容器の内部にレーザ光を照射するレーザ光照射部と、レーザ光照射部から照射されたレーザ光による、成膜容器の内部の空間の応答を検出する検出部と、検出部が検出した結果に基づいて、原料ガス供給部が供給する原料ガスの流量を制御する制御部と、を備えることを特徴とする薄膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来の検出装置と比べて、更なる検出感度の向上を可能とするプラズマを用いた検出方法および検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】プラズマ発生用ガスにより生成したプラズマと被測定物質を含むキャリアガスとを混合することによってイオン化された前記被測定物質および／または前記被測定物質から発生した電子を絶縁体からなる管を介して接続されたコレクタ室内において捕集する際に、前記プラズマの流れ方向において前記絶縁体からなる管の上流側の開口部に接続された部材と前記絶縁体からなる管の下流側の開口部に接続された部材とに電位差を設ける。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生部に導かれる試料ガス中に含まれる液体試料の液滴を微細化する。
【解決手段】マイクロホローカソード放電を利用したプラズマ発生部１０２を容器４に取り付ける。容器４内には防御壁９−１，９−２を設置する。防御壁９−１，９−２には、その中心部を避けた位置（超音波振動子８の中心部に対向する位置から離れた位置）に、貫通孔９ｂが形成されている。１段目の防御壁９−１の貫通孔９ｂに対して、２段目の防御壁９−２の貫通孔９ｂを１８０゜離隔した位置とする。これにより、試料ガスに含まれている液滴の大きな液体試料が１段目の防御壁９−１で振り落とされ、残りの試料ガスが１段目の防御壁９−１の貫通孔９ｂ、２段目の防御壁９−２の貫通孔９ｂを通過し（試料ガスの中継経路が長くなる）、試料ガスに含まれる液体試料の液滴が微細化される。 （もっと読む）

【課題】低純度シリコンに含まれるエレメントの濃度を精確に分析するためのＩＣＰ分析方法を提供する。
【解決手段】本発明のＩＣＰ分析方法は、ターゲットエレメントを含有するシリコンを溶解させてターゲットエレメント含有液を得るステップと、該ターゲットエレメント含有液に対し、２種以上の内部標準エレメントを含む内部標準溶液を添加してエレメント混合液を得るステップと、該エレメント混合液をろ過してＩＣＰ回収液を得るステップと、該ＩＣＰ回収液をプラズマトーチ内に導入してＩＣＰ分析を行なって発光スペクトルを得るステップと、該発光スペクトルに基づいて、２種以上の内部標準エレメントの濃度測定値を得るステップと、該内部標準エレメントの濃度測定値を、ＩＣＰ回収液に含まれる内部標準エレメントの濃度で除することにより、内部標準エレメントの回収率を得るステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アトマイゼーションの高効率化を図ること。
【解決手段】アトマイザーは、棒状電極１０と、棒状電極１０の先端部から一定距離隔てて配置された試料電極１１を有している。棒状電極１０の先端部は、軸方向を一致させてセラミックス管１４内に納められている。セラミックス管１４の内壁と棒状電極１０との間には隙間が設けられていて、放電ガスがこの隙間を棒状電極１０の先端側軸方向に流される。試料電極１１は、セラミックス管１５によって覆われていて、セラミックス管１５の先端は外径が拡張されており、すり鉢状の凹部１６を有している。凹部１６底面には、試料電極１１が露出している。この凹部に試料を保持する。棒状電極１０、試料電極１１は高圧パルス電源１８に接続されている。高圧パルス電源１８は、図２のように、正負が交互に反転する矩形パルス電圧を出力する。 （もっと読む）

【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性の良い安価な分光器を提供する。
【解決手段】回折格子およびスリット部を、可動部を持たない固定型とし、回折格子１で分光された分光光に対応した位置に複数のスリットが設けられたスリット部３を設置し、さらに特定波長の分光光のみ透過可能なマスクを該スリット部の入射側手前に設置し、減光フィルタ２６を付設したλ３用マスク４に開口されたスリット４ａに合致した光のみを透過させて、前記複数の分光光すべての検出が可能な大きさを有する検出器５により光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度な定量分析を容易且つ短時間で行うことができるＩＣＰ発光分光分析装置を提供する。
【解決手段】所定の分析シーケンスに従って測定及びデータ処理を行うＩＣＰ発光分光分析装置において、前記分析シーケンスを、未知試料について予め複数の元素の各々に対応した波長位置におけるスペクトル線を測定する定性ステップ（Ｓ１００）と、その測定結果に基づいて未知試料中の主成分元素を特定すると共に、データベースを参照して目的元素のスペクトル線に対する主成分元素の干渉量を算出し、該干渉量に基づいて目的元素の測定波長位置で所定の定量精度が得られるか否かを判定する判定ステップ（Ｓ２００）を順次実行させ、所定の定量精度が得られると判定された場合に、未知試料及び標準試料について、前記波長位置におけるスペクトル線を測定して目的元素の定量値を算出する定量ステップ（Ｓ３００）を実行させるものとする。 （もっと読む）

【課題】大気中に浮遊するエアロゾル中の含有元素を迅速にかつ精度良くに検知することができるエアロゾル成分元素の検知方法及び検知装置を提供する。
【解決手段】回転可能な集塵電極６と、前記集塵電極６の一方の面に配置された放電電極７と、前記集塵電極６及び放電電極７を収容するエアロゾル成分元素分析箱４と、前記エアロゾル成分元素分析箱４の側壁に設けられエアロゾルを含む雰囲気ガスを前記集塵電極６の他方の面に排出し前記エアロゾル１を前記集塵電極６に集積させるガス導入配管３と、を備えたエアロゾル成分元素の検知装置において、前記集塵電極６を回転させることにより前記集塵電極６に集積したエアロゾルを前記放電電極７に対向させ、放電によって生じるプラズマ光を分析することによりエアロゾル成分元素を検出する。 （もっと読む）

【課題】産業設備のプラントの現場における配管長が長い場合や、ガス吸収量が大きい場合においても、オンラインでガス成分の分析が可能な配管中のガス成分計測装置及び排ガス成分計測用煙道を提供する。
【解決手段】発振された基本レーザ光２２を第１のレーザ光２１−１に波長変換する第１の波長変換部２３と、基本レーザ光を波長変換し、第２のレーザ光２２−２とする第２の波長変換部２４と、第１及び第２のレーザ光を導入して、被測定ガス中のガス成分に照射するするガス測定部２５と、照射される第１のレーザ光２２−１及び第２のレーザ光２２−２により高い準位に励起された励起分子が低い準位に電子的に緩和する際、その準位が下がるときに発生する自然放射増幅光（Amplified Spontaneous Emission：ＡＳＥ）を計測する光検出器２６と、前記被測定ガス１１中に存在する油分由来のハイドロカーボンが発生する蛍光５０を計測する蛍光検出部５１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】デッドボリュームによる分離の悪化を抑制しつつ汎用性と噴霧効率を向上させること。
【解決手段】一端部に噴霧口（１２ｂ）が形成された筒状の外筒（１２）と、前記外筒（１２）の内部に同軸に配置され且つ前記外筒（１２）との間で噴霧用のガスが流れるガス流路（Ｒ１）が形成される筒状の中筒（１３）と、前記中筒（１３）の内部に同軸に配置され且つ前記中筒（１３）との間に隙間をあけて配置された筒状の内筒（１４）と、前記内筒（１４）の内部に形成され前記噴霧口（１２ｂ）に搬送されて噴霧される液体試料が流れる試料流路（Ｒ３）と、前記試料流路（Ｒ３）に支持されて前記液体試料に含まれる成分を分離する分離媒体（２６）と、を備えた噴霧器（３）。 （もっと読む）

【課題】従来の検出器と比べて、更なる検出感度の向上および選択性の増大を可能とするプラズマを用いた検出方法および検出器を提供すること。
【解決手段】被測定物質を含むサンプルガスおよびキャリアガスと、プラズマ発生用ガスと、プラズマ発生用ガス内に発生したプラズマとの混合体内における前記被測定物質の特性を検出することにより前記被測定物質を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で従来の回折格子や光学薄膜フィルターを使用した場合に比べて精度の高い測定が可能な分光分析装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ発生装置によって創生されたプラズマ光を光源として光を光学系から入射させハーフミラー３３によって２方向に分け、第１のＢＰＦ３５と第２のＢＰＦ３６を透過させる。両ＢＰＦ３５，３６を透過したプラズマ光はそれぞれ第１及び第２の検出用素子２２，２３によって強度が検出される。第１の検出用素子２２によって第１のＢＰＦ３５を透過した光の強度が検出され、第２の検出用素子２３によって第２のＢＰＦ３６を透過した光の強度が検出される。そして、それらの検出値からバックグラウンド光を補正する。 （もっと読む）

【課題】エアロゾル分光分析装置を小型化し、且つ較正方法の効率を向上させる。
【解決手段】エアロゾル分光分析装置は、レーザ照射部４、分析セル２、較正用標準物質セル１６、およびスライド機構１５ａを有する。レーザ照射部４は、エアロゾルに照射するとプラズマ光７が発生するレーザ光５を生成する。分析セル２は、エアロゾルを含む気体媒体が流通する流路２ａとレーザ光５の光路とが交差可能である。較正用標準物質セル１６は、較正用標準物質１９を内部に収容して密封された蒸発室１８と、蒸発室１８近傍に配置されて少なくとも異なる２種類の設定温度に制御可能なヒータ１７とを有する。ヒータ１７によって蒸発室１８内を加温したときに発生する蒸気にレーザ光５が照射される。スライド機構１５ａは、分析セル２および較正用標準物質セル１６を移動可能で、気体媒体流路２ａおよび蒸発室１８のうち一方を選択的にレーザ光５と交差させる。 （もっと読む）

【課題】超高純度用途で連続ガス分析を行うのに適した分析器を提供する。
【解決手段】低レベル発光源および検出器として電荷結合素子（ＣＣＤ）ダイオードアレイを有するガス発光分光計１０を含む。ＣＣＤ検出器は、一つ以上の光電子増倍管および分光計に典型的に使われる狭帯域通過フィルタに置き換わる。分析器は、背景光レベルの影響、または暗スペクトルを評価し且つ除去するために種々の処理作業を行う。 （もっと読む）

組成物は、不純物を含むとともに、周囲温度未満の沸点と１４．５℃の水より大きい蒸気圧とのうちの少なくとも一方を有する。組成物の分析方法は、組成物を、液体状態で容器内に供給するステップを含む。組成物は、液体状態で容器内で組成物の沸点未満の温度で冷却されることにより、組成物は液体状態に維持される。容器内の冷却された組成物は、蒸発組成物と霧状組成物とのうちの少なくとも一方を製造するために変換され、変換された組成物は分析装置に導入される。組成物の不純物の含有量の測定値は、分析装置から得られる。組成物の処理方法は、組成物の分析方法と同一のステップを含むが、さらに組成物の少なくとも一部が供給タンク内に残留することを必要とする。 （もっと読む）

【課題】ＬＩＢＳ法を用いてより多くの元素を分析できるようにする。
【解決手段】元素分析装置は、試料１６に照射するとプラズマが発生するパルスレーザ光３を生成するレーザ光発振器１と、レーザ光集光レンズ６により試料表面１６ａ上で最大直径が５０μｍ以上で２００μｍ以下の領域内に集光可能に構成されたレーザ光集光部と、試料表面１６ａ上の集光領域に照射するレーザ光照射部を有する。レーザ光照射部のレーザ光照射側には、内部に試料１６を設置可能に構成されてレーザ光照射を受ける試料表面１６ａの雰囲気が気密に保持された試料配置部１５が配置される。プラズマ２１から発生する蛍光２２のうち試料表面１６ａから光軸方向に所定の距離だけ離れた位置から放出される蛍光２２を集光する蛍光集光部１３と、蛍光集光部１３で集光した蛍光２２の波長およびこの波長の強度に基づいて元素含有量を定量する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】安定で制御可能なプラズマを得ること。
【解決手段】プラズマを生成するプラズマ生成部と、独立して制御可能な第１電力と第２電力をプラズマ生成部に付与する電源と、を備え、第１電力は、プラズマを始動する高電圧小電流であり、第２電力は、プラズマを維持する低電圧大電流である、プラズマ生成装置、及び、プラズマガスに高電圧小電流の第１電力を付与してプラズマガスを始動状態にし、プラズマガスの始動状態に低電圧大電流の第２電力を付与してプラズマ状態を維持する、プラズマ生成方法。 （もっと読む）

【課題】微粒子の粒子径が励起レーザ光の波長よりも短くても、励起効率を低下させることなく、微粒子を分析すること。
【解決手段】分析対象の微粒子１００を含む流体と微粒子１００とは異なる物質で構成された媒体ガスが存在するガス領域７４内に励起レーザ光を照射して、ガス領域７４内に存在する流体と媒体ガスをプラズマ化するパルスレーザ器と、ガス領域７４内でプラズマ化された流体と媒体ガスが励起レーザプラズマ状態から元のエネルギー状態に戻るときに発生する光を検出して分光する分光器６６と、分光器６６で分光された光を撮像して画像信号を生成するＣＣＤカメラ６８と、ＣＣＤカメラ６８からの画像信号を画像処理して微粒子１００の成分を分析するコンピュータ７０を備えている。 （もっと読む）