【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その大きさと導電性との２つの観点から検査および修正する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した金属元素含有異物の有無を検査および修正する方法であって、前記基板に付着した異物の大きさと位置とを検出する第１検査ステップと、第１検査ステップで検出された位置に位置合わせして、その異物が金属元素を含有するか否かについて検査する第２検査ステップとを備えることを特徴とする検査方法。 （もっと読む）

【課題】紫外光光源を用いて有価紙面などの蛍光成分を検出する密着型光学ラインセンサ装置において、有価紙面の精密な真偽判定機能を行う。
【解決手段】ロッドレンズアレイ２３上に紫外光を遮断するＵＶ遮断フィルタ膜３０をコーティングもしくは蒸着する際に、紫外光を透過するスリット３４を設けてそのスリット３４から透過する紫外光をモニターして、ＵＶ遮断フィルタ膜３０を通して検出される蛍光出力と対比させる。
【効果】有価紙面が長期間市場で使われ老朽化し、汚染されていても、直接有価紙面の基材部に照射され反射した紫外光の光量の変動に比例した蛍光出力が得られるので、有価紙面からの蛍光出力を正確に評価することができる。 （もっと読む）

【課題】不良と判定される欠陥を内在する半導体基板のウェハプロセスにおける製造効率を向上させ、良品率を向上させる。
【解決手段】ウェハ１を搬送してウェハ支持台４へ載置するための搬送装置３と、該ウェハ支持台４の位置を可変制御する駆動装置１４と、該ウェハ１が載置される前記支持台４の位置の可変制御により、ウェハ１の上部に配設される照射光８を前記ウェハ１表面に走査させながら照射する光照射部６と該光照射部６に照射光８を供給する光源７と、前記ウェハ１表面からの散乱光９を検出する第１受光検出部１３とウェハ１の透過光を検出する第２受光検出部１０と、該受光検出部からの信号を受けて演算処理する演算部１１と該演算部１１からの信号を受けて画像として出力するモニター１２とを含む半導体基板の欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】従来の製造方法では、軸受装置用の部品に防汚ポリマーがコーティングされているか否かは人間の目視に頼るため検査漏れを生じる可能性が高く、作業効率も低い課題があった。
【解決手段】シャフト４と、シャフト４を環囲するスリーブ６と、を備えるべき軸受装置用の部品の製造方法において、シャフト４と、スリーブ６のうちの少なくとも一つをワーク１００と呼ぶとき、本製造方法は、ワーク１００に防汚ポリマー１２をコーティングする工程と、防汚ポリマー１２がコーティングされた範囲と重複する範囲にフォトルミネセンス材料を塗布する工程と、ワーク１００にフォトルミネセンス材料を励起する励起光２４を照射して、フォトルミネセンス材料の発する固有のスペクトルの光を光センサ２２で検出すると共に、光センサ２２の出力信号３０に応じてフォトルミネセンス材料が塗布されているか否かを表示する信号検出工程２００と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ラマン散乱光とレイリー光を同一の１系統の検出光学系により検出し、更に装置関数成分を取り除き正確な膜成分深さ方向分布を得る事ができるラマン分光装置及び測定法を提供する事。
【解決手段】レーザ光源と、試料からのレイリー光と散乱光を受光する分離光学素子及び油浸レンズである対物レンズを有した顕微光学系と、前記分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、前記フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、分光された光の強度を検出する光検出手段を備え、前記フィルター光学素子は、前記試料からのレイリー光の一部を測定可能に前記光検出手段に導く及び前記試料からのレイリー光を遮断して散乱光を前記光検出手段に導くの何れかに選択可能に設けられ、受光した散乱光の深さ方向成分プロファイルから装置関数成分を取り除くディコンボリューション処理可能な演算手段を有する事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】新たな装置の改良などを行わず、従来の低温測定法を基本とした上で、問題となる蛍光と燐光との分離を精度よく行い、燐光測定を簡便に行う方法を実現することを目的とする。
【解決手段】被測定物に対して、出力強度の異なる２種類の励起光を順次照射し、被測定物から放出される光に基づく２種類のデータ（波長に対する発光強度）を順次検出し、これらのデータを各データの最大発光強度に基づき、それぞれ規格化処理することによって２種類の規格化データを算出し、２種類の規格化データの差分の絶対値を求めることによって、被測定物の燐光スペクトルを検出することを特徴とする燐光測定方法である。 （もっと読む）

【課題】基板抵抗にかかわらずシリコンウェーハにおける酸素析出物の有無および面内分布を高精度に評価するための手段を提供すること。
【解決手段】評価対象シリコンウェーハに対して該シリコンウェーハ表面においてフォトルミネッセンス強度の面内分布を示す第一の面内分布情報を取得すること、上記第一の面内分布情報取得後の評価対象シリコンウェーハに対して熱酸化処理を施した後、該シリコンウェーハ表面においてフォトルミネッセンス強度の面内分布を示す第二の面内分布情報を取得すること、第一の面内分布情報と、第二の面内分布情報に１未満の補正係数による補正を加えて得られた第三の面内分布情報との差分情報を得ること、および、得られた差分情報に基づき、評価対象シリコンウェーハにおける酸素析出物の有無および酸素析出物の面内分布からなる群から選ばれる評価項目の評価を行うこと、を含むシリコンウェーハの評価方法。 （もっと読む）

【課題】血液濾過ユニット内における、血球濾過膜の有無と表裏を自動的に判別する。
【解決手段】血液濾過ユニット１１の直上位置に配置された光源２９から、血液濾過ユニット１１内の収納室１８に向けて紫外光を照射する。血液濾過ユニット１１外に配置された光検出器３０により、収納室１８内の蛍光発光量を検出する。検査装置３４は、光検出器３０が検出した蛍光光量を予め定めた２段階の低光量しきい値Ｔａ及び高光量しきい値Ｔｂと比較して、「ＮＧ（濾過膜無）」、「ＮＧ（濾過膜裏）」、及び「ＯＫ」のいずれかの判定を行う。血液濾過ユニット１１内における、血球濾過膜１６の有無と表裏を自動的に判別することができる。 （もっと読む）

【課題】中性子線の遮蔽に用いられるホウ素添加材料に含まれる、ホウ素ならびに無機系材料の組成を、迅速、正確に定量評価する。
【解決手段】有機材料に炭化ホウ素を添加してなる遮蔽材の組成評価方法であって、この組成評価方法は、第一の工程と第二の工程とを有し、第一の工程は、遮蔽材の炭化ホウ素を含む試料を採取して溶液化して、この溶液状態における試料のホウ素をＩＣＰプラズマ発光分析法により定量化して、組成を評価するものであり、第二の工程は、遮蔽材の炭化ホウ素を含む試料を採取して、無機系不純物元素の組成を蛍光Ｘ線分析法によって評価するものである。有機材料としては、シリコーンゴムが好ましい。 （もっと読む）

【課題】基材上に設けられたシラノール基を有する化合物の結合状態を、非破壊かつ非接触にて簡易に検知する基材表面性状の検知方法及び検知装置を提供する。
【解決手段】シラノール基を有する化合物が付与された基材の化合物付与面に平行偏光又は垂直偏光のいずれかを選択して光を入射し、前記基材から出射した光より平行偏光と垂直偏光とを検出し、検出された各偏光を１００ｃｍ^−１〜１８００ｃｍ^−１の範囲で分光分析して得られる振動スペクトルから、基材上に付与された前記化合物中の構造部分のピークを分離することにより、前記基材上に存在する前記化合物の結合状態を検知する。 （もっと読む）

【課題】円筒形状に形成された多層構造の透過性の膜のミクロン単位の膜構造解析をおこなうため、試料の深さ方向解析に必要な情報を含んだ微弱なラマン散乱光を取得しつつ、膜の界面位置情報を含んだレイリー光を精度良く取得する。
【解決手段】円筒形状膜試料４０にレーザー光を照射して、膜試料からのレイリー光と散乱光と測定するラマン分光測定装置で、円筒形状試料を把持する把持治具４１と、把持治具４１をレーザー光に対して垂直、且つ、円筒形状試料の軸に対して垂直な方向（図中、Ｘ方向）に移動可能に駆動する把持冶具駆動部４２と、表面観察用撮像素子としての観察用ＣＣＤ４３を備える。 （もっと読む）

【課題】試料中における微生物又はウィルスを、高い検出精度で、安定して検出することができる蛍光反応検出装置を提供する。
【解決手段】蛍光反応検出装置１は、光源２、励起フィルタ、ミラー４３、カメラ４、コンピュータ５を備えている。励起フィルタは、波長及び強度の少なくとも一方が異なる複数種類の励起光Ｘを、光源２からミラー４３へと同時に透過させる。カメラ４は、励起光Ｘを照射した試料８の表面をデジタル画像として撮影する。コンピュータ５は、デジタル画像を解析する画像解析部５２を構築してなる。画像解析部５２は、複数種類の励起光Ｘを同時に照射したときに、試料８中に含まれる微生物又はウィルスが蛍光する特定蛍光反応を検出する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ短時間の測定で酸化物半導体電極に吸着した色素量を定量できる酸化物半導体電極の評価方法および酸化物半導体電極の評価装置を提供する。良好な特性を有する酸化物半導体電極を製造できる製造装置を提供する。
【解決手段】ラマン分光測定により、酸化物半導体電極層３３の２つの主面のうち、矢印ｐに示す光照射される側の一主面の中心部を測定し、色素由来のピークと、酸化物半導体由来のピークとを含むラマンスペクトルを得る。ラマンスペクトルから色素吸着量パラメータ（「色素由来のピーク強度」／「酸化物半導体由来のピーク強度」）を算出する。色素吸着量パラメータに基づいて、酸化物半導体電極を評価する。 （もっと読む）

【課題】蛍光を増強することができる薬剤および方法、蛍光消光を抑制することができる薬剤および方法、それらの薬剤を用いた蛍光検出方法、それらの薬剤を含む蛍光検出キット、並びに、蛍光を増強する薬剤の濃度決定方法などを提供すること。
【解決手段】多数の蛍光色素で標識した核酸鎖の、溶液中での蛍光を、溶液に塩基性タンパク質を添加することによって増強させることができる。従って、塩基性タンパク質は、蛍光増強、蛍光消光の抑制、蛍光色素標識核酸鎖を用いた蛍光の検出などに有用である。 （もっと読む）

【課題】 より高感度で且つ簡易な構成で金属表面の脱脂状態を検出することが可能な脱脂判定装置を提供する。
【解決手段】 脱脂判定装置１０を、紫外線光源１と、可視光検出器２と、ミラー３と、判定回路部とを備える構成とする。紫外線光源１は、紫外線を所定の入射角θｂで金属表面に斜め入射する。可視光検出器２は、金属表面に対して紫外線の入射方向と対称的な方向に射出される金属表面からの反射光Ｓｒが直接入射されない位置に配置され、紫外線の照射時に金属表面で発生した可視光成分の光を検出する。ミラー３は、金属表面で発生した可視光成分の光の一部を多重反射させて可視光検出器２に導く。そして、判定回路部は、可視光検出器２で検出した検出信号に基づいて、金属表面上に油脂１１０が存在するか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】表面プラズモン共鳴（ＳＰＲ）現象を応用して電場増強度を測定する方法に基づいて、金属薄膜の光学特性を正確かつ容易に測定することができる金属薄膜の光学特性測定方法及び金属薄膜の光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】第１の励起光を照射し、金属薄膜表面に表面プラズモン光を発生させるとともに、金属薄膜に向かって、第１の励起光とは別の第２の励起光を照射して、金属薄膜表面に第２の光を発生させ、表面プラズモン光と前記第２の光とによる干渉縞を発生させ、第２の励起光の光量を変えながら、干渉縞のコントラストが最大となる時の干渉縞ピッチ及び伝搬長を測定し、干渉縞ピッチ及び伝搬長に基づいて、金属薄膜の光学特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】 より高い精度で検査を行うことができる光検出装置、及び光検出装置を備える紙葉類処理装置を提供する。
【解決手段】 一実施形態に係る光検出装置は、残光特性を持つ蛍光体が塗布される紙葉類から残光を検出する光検出装置であって、照明部と、受光部と、蛍光基準部材と、調整部と、検知部とを備える。照明部は、搬送される紙葉類に対して励起光を照射する。受光部は、入射する光の光強度を検出する。蛍光基準部材は、照明部と対向する位置に設けられ、励起光が入射する場合に蛍光を発する蛍光部材と、蛍光部材から発せられる蛍光が受光部に入射するように導光する導光体と、を備える。調整部は、蛍光部材から発せられて導光体を通り受光部に入射する蛍光から受光部により検出する光強度に基づいて、照明部の発光強度及び受光部の受光感度のうちの少なくとも１つを調整する。 （もっと読む）

【課題】 従来に比してマルチウェルプレートの消費量を抑制する。
【解決手段】
マルチウェルプレート用アダプタ１は、試料を収容するための複数のウェルを有するマルチウェルプレートの上面に着脱可能である。このマルチウェルプレート用アダプタ１は、マルチウェルプレートの複数のウェルの少なくとも一部に対応する位置に、試料の光学的測定に用いられる孔部が設けられており、少なくとも上面が白色又は黒色である。 （もっと読む）

【課題】導電性を有する異物の検出に要するコストの低減を図りつつ、極く小さな異物であっても確実に検出する。
【解決手段】非導電性材料で形成された樹脂フィルム２０にマイクロ波Ｗｍを照射して樹脂フィルム２０に含まれている導電性を有する異物Ｘを選択的に発熱させる発熱処理を実行するマイクロ波照射部３と、樹脂フィルム２０を撮像して樹脂フィルム２０における各部の温度を検出するサーモカメラ４と、マイクロ波照射部３による発熱処理およびサーモカメラによる樹脂フィルム２０の撮像（樹脂フィルム２０における各部の温度の検出）を制御すると共に、サーモカメラ４の撮像結果を温度検出結果として分析して、発熱処理によって発熱した発熱部位に異物Ｘが存在すると検出する処理部６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検出される信号のＳＮ比を改善するように、（発光分光分析で）輝線の強度を、及び／又は（質量分析で）イオン化収量を増しながら、エッチング速度を高めると同時にエッチングの均質性を増すことが可能な、放電発光分光分析による有機（層）またはポリマー（層）を含む固体試料の分析方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの有機材料層を含む固体試料の放電発光分光分析による測定方法に関し、放電発光ランプに前記試料を配置するステップと、放電発光ランプに、少なくとも１つの希ガスと酸素とを含む混合気を投入し、酸素の濃度が混合気の１質量％〜１０質量％であるステップと、前記放電発光ランプの電極に無線周波数の放電を行って放電発光プラズマを発生するステップと、前記有機材料層を前記プラズマで照射するステップと、前記プラズマのイオン種及び／又は励起種を示す少なくとも１つの信号を分光分析により測定するステップとを含む。 （もっと読む）