【課題】装置の小型化を図ることが可能な分析素子チップ、及びこの分析素子チップを用いることで装置の小型化を図った表面プラズモン共鳴蛍光分析装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る分析素子チップ１０及びこの分析素子チップ１０を用いた表面プラズモン蛍光分析装置は、分析素子チップ１０が、一方の面１２ａに金属薄膜１４が設けられ、内部に入射した光を金属薄膜１４に案内する光導波路板１２と、金属薄膜１４の表面１４ａが内部に露出した状態で検体が流れる流路２２を有する透明な流路部２０と、を備え、光導波路板１２における流路２２を横断する方向の一方の側部には、外部から照射された光が内部に入射する入射面１６ａが設けられ、入射面１６ａと一方の面１２ａとのなす角が９０°以上１８０°未満であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体装置内に存在する欠陥を、効率よく、高感度に検出する。
【解決手段】表面に回路が形成された半導体装置の裏面から、回路の形成面まで透過する波長の光１３ａを照射する照射部１３と、光１３ａの入射により、半導体装置の裏面から発せられる光１３ｂを検出する検出部１５と、検出した光１３ｂの強度を取得する取得部と、を有する検査装置１０により、表面に回路が形成された半導体装置の裏面から、回路の形成面まで透過する波長の光１３ａが照射され、光１３ａの入射により、半導体装置の裏面から発せられる光１３ｂが検出されて、検出された光１３ｂの強度が取得される。これにより、ウェハスケールやチップスケールの半導体装置内に存在する欠陥を、効率よく、高感度に検出することができる。 （もっと読む）

ここで提案されるのは、試験体（１１２）の少なくとも１つの光学特性を決定する装置（１１０）である。装置（１１０）には、上記の試験体（１１２）に励起光（１２２）を加える調整可能な励起光源（１１４；４１０）が含まれている。装置（１１０）にはさらに試験体（１１２）から出射される検出光（１３２，１３６；３１４）を検出する検出器（１２８，１３０；３１２）が含まれている。上記の励起光源（１１４；４１０）には発光ダイオードアレイ（１１４）が含まれており、これは、少なくとも一部分がモノリシック発光ダイオードアレイ（１１４）として構成されている。このモノリシック発光ダイオードアレイ（１１４）にはそれぞれ異なる発光スペクトルを有する少なくとも３つの発光ダイオード（４２６）が含まれている。
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本発明は試料（１）を光操作するための光学装置に関するものである。この装置は、試料（１）を収容する試料ホルダ（２）と、照明装置とを有し、照明装置は照明光源（３）と、試料（１）を光シートにより照明する照明ビーム路とを有する。さらにこの装置は、試料（１）から放射された光を検知する検知装置と、試料（１）を結像ビーム路にある結像対物レンズ（７）により検知装置に少なくとも部分的に結像する結像光学系とを有する。ここで光シートは結像対物レンズ（７）の焦点において実質的に平坦であり、結像対物レンズ（７）は光軸を有し、この光軸は光シートの平面とゼロとは異なる角度で、好ましくは垂直に交差する。この装置はさらに制御ユニット（８）と、試料（１）を光操作する手段も有する。このような光学装置では、光操作する手段が第１の操作光学系を有し、この第１の操作光学系によって、実質的に平坦な操作光シートを形成するために第１の操作光源（１０）の光が照明ビーム路に入力結合される。
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【課題】波長分散素子を回転駆動したときの振動の影響を極力軽減することができ、且つ、分析精度の向上を図ることができる分光光度計を提供する。
【解決手段】中央制御部は、蛍光検出器からの蛍光信号を取得すると振動収束判定用のサンプリング周期Ｔ１でＡ／Ｄ変換し、データ処理部に与える(Ｓ１）。振動収束判定を行うタイミングになると(Ｓ２)、データ処理部は取得したデジタル信号に対して所定の信号処理を行い(Ｓ３)、最新データから一定時間過去に遡った範囲に規定値を超えるデータが存在しないか否かを判断する(Ｓ４)。規定値を超えるデータが存在しない場合は、回折格子の振動が収束したと判断して振動収束判定動作を終了する。その後、中央制御部６１はＡ／Ｄ変換のサンプリング周期を分析データ取得用の周期Ｔ２に変更して蛍光分光測定を実行する。 （もっと読む）

【課題】光の進行方向の変更に用いる反射鏡を高精度に回転制御できるコンパクトな回転装置を提供する。
【解決手段】反射鏡用の回転装置２０は、光の進行方向の変更に用いる反射鏡１４に固定された第１回転軸２１と、第１回転軸２１から所定の間隔を離れて配された第２回転軸２４と、第１および第２回転軸２１、２４との間を連結して構成され、第２回転軸２４のトルクを第１回転軸２１に伝達しているリンク機構３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定精度が高く、高効率な光学測定装置とすること。
【解決手段】微小粒子Ｓを導入可能な流路Ｘが配設された基板１１と、前記微小粒子Ｓに対して測定光Ｌ１２を照射する光源１２と、前記測定光Ｌ１２の照射により生じる検出対象光Ｌを検出する検出部１３と、を少なくとも備え、前記検出対象光を流路表面で反射又は屈折の少なくともいずれかにより所定方向に出射させるよう前記基板１１の流路表面を処理した光学測定装置１とすること。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で蛍光を効率よく受光することができる小型の蛍光検出ユニット、反応検出装置、マイクロチップ検査システムを提供する。
【解決手段】蛍光物質に励起光を照射する発光部と、蛍光物質の発光する蛍光を受光して電気信号に変換する受光部と、を有する蛍光検出ユニットにおいて、蛍光を反射するとともに励起光は反射しない分光反射特性を持つ反射部材を有し、蛍光を反射部材に反射させて受光部に導光することを特徴とする蛍光検出ユニット。 （もっと読む）

【課題】従来使用されているランプを光源として用いつつも、蛍光検出装置として必要な強度の励起光を出力する蛍光検出装置、及び蛍光検出装置を制御する蛍光検出制御システムを提供することを目的とする。
【解決手段】ランプ８のフィラメントコイル８ａの像が分光器３の入射スリット１３の開口部１３ａに投影されるように、入射スリットの幅方向１３ｂとフィラメントコイル８ａの軸心方向とが光学的に直交する方向に当該フィラメントコイル８ａを配置した光源と、入射光を各波長成分に分光する反射型回折格子１６を備えた分光器３と、分光器３から出射された励起光の光束を被検査体に向かうにしたがって拡大させる励起光拡大手段４と、被検査体を載置する載置台５と、被検査体の蛍光試料からの蛍光を検出する蛍光検出手段６と、蛍光の画像を撮像する撮像手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】ビームスプリッタの交換の度に使用者が検出側集光レンズのチルト調整機構を操作することなく、蛍光の光軸と検出側ピンホールとのずれを補正することができるコンフォーカル顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源と、前記光源から出射された光を波長選択手段を介して標本に集光する照明光学系と、前記標本からの光を前記波長選択手段を介して集光する集光光学系と、前記集光光学系の集光位置に配置されたピンホール板とを備えたコンフォーカル顕微鏡であって、前記ピンホール板の前に配置された集光レンズの光軸に対する傾斜角度を調整する調整機構と、前記波長選択手段の交換に伴って調整が必要となる前記傾斜角度に関する情報を前記波長手段ごとに記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記傾斜角度に関する情報に基づいて、前記調整機構を駆動する駆動手段とを備えたコンフォーカル顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】複数の蛍光を容易且つ同時に検出でき、さらには、複数の被測定対象物から発生する蛍光を容易且つ同時に検出できる蛍光検出システムを提供する。
【解決手段】蛍光検出システム１０は、励起光を出射する光源７Ａ，７Ｂ，７Ｃと、該光源７Ａ，７Ｂ，７Ｃのそれぞれと一端が光学的に接続された励起光用光ファイバ群１Ａ，１Ｂ，１Ｃと、受光器８ａ，８ｂ，８ｃと、受光器８ａ，８ｂ，８ｃのそれぞれと光学的に接続された蛍光用光ファイバ群２ａ，２ｂ，２ｃの各他端と、励起光用光ファイバ群１Ａ，１Ｂ，１Ｃ及び蛍光用光ファイバ群２ａ，２ｂ，２ｃの各一端が一束化された先端部２０と、レンズ４と、先端部２０とレンズ４とを一体的に保持するキャピラリ３とを備える。 （もっと読む）

【課題】強い発光異方性を示す発光体試料の発光を容易かつ確実に等方化して、その発光体試料の発光量子効率を精度よく測定できる発光量子効率測定装置を提供する。
【解決手段】発光量子効率測定装置は、積分球１の中心を含む平面上の直交する方向に、励起光導入窓２と、分光器へつながる検出プローブ端３とを有する発光量子効率測定装置において、該積分球１の内部であって、中心から該平面に対する垂線上に発光体試料５が配置され、該検出プローブ端３から発光体試料５を見通す位置にバッフル板７が置かれている。 （もっと読む）

【課題】励起光が照射された試料から発生する蛍光を受光光量が最大となる光量で安定して受光することができる蛍光測定用プローブを提供する。
【解決手段】励起光の光路と蛍光の光路が同一である光ファイバと、この光ファイバの端部断面と試料との間に配置されたレンズとを有する蛍光測定用プローブにおいて、光ファイバから出射され、レンズを介して照射された励起光を受けて試料が発生する蛍光をレンズによって集光する際の励起光の集光位置における励起光の照射角度を２θとしたとき、ｓｉｎθで表される励起光ビームＮＡを０．１４以上０．３１以下とし、ファイバコア径を２００μｍ以上、ファイバＮＡを０．２２以上とする。 （もっと読む）

【課題】精錬容器内の溶融金属を分析するに当たり、スラグによる妨害や分析羽口の凝固による分析中断の問題を解決し、連続的な精錬モニタリングを可能とする。
【解決手段】精錬容器の側壁の耐火物１４を貫通し、その一端が精錬容器外部に開口し、他端が精錬容器内部に開口していて、精錬時、精錬容器の内部側の開口部が溶融金属湯面５より低い位置にありかつ、精錬容器の外部側の開口部が溶融金属湯面５よりも高い位置にあるように分析用羽口１を設け、この分析羽口内に形成される精錬容器内部の湯面５と同じレベルの分析湯面Ｍにレーザを照射して、発光を観測する。分析用羽口１内において、スラグに覆われていない分析湯面Ｍが簡便に確保でき、羽口の地金付着も発生しなくなり、安定して連続的なレーザ発光分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】マイクロアレイ状に高密度に配置された試料から発せられる光を分析する際に誤差要因となる像面湾曲による光の干渉を抑制したマイクロアレイ測定装置を提供する。
【解決手段】マイクロアレイ状に複数の試料が配置された試料部１と、試料部１から発せられる各々の光束を所定の位置に集光する集光レンズ部１５と、集光レンズ部１５にて集光された各々の光束を導光する複数のライトガイド１９が形成された光導光手段１６と、光導光手段１６を通過した光束を結像させる結像レンズ系１１と、結像レンズ系１１にて結像された光束を受光する受光部４と、受光部４に到達した光束を電気信号に変換して分析を行う制御部６とを備えたマイクロアレイ測定装置において、結像レンズ系１１の瞳中心位置を各々の光束の光軸中心が通過するように、複数のライトガイド１９の出射面の角度を瞳中心位置からの距離に応じて変化させる。 （もっと読む）

【課題】蛍光顕微鏡に使用されている蛍光キューブを切換えることで、共焦点顕微鏡から全反射蛍光顕微鏡に切換え可能な顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光源３２，４２からのレーザ光束を標本に照射する照明光学系と、前記標本からの蛍光を検出する蛍光検出光学系と、前記照明光学系内に配設され、前記レーザ光束を前記標本へ導く複数の蛍光キューブ６１と、対物レンズ１６とを備えた顕微鏡装置１において、前記蛍光キューブの少なくとも１つは、前記レーザ光束の主光線を前記照明光学系の光軸に対して略平行になるようにし、かつ前記レーザ光束を前記対物レンズの瞳位置Ｐの光軸から離れた所定の位置に集光するための光学手段６０を有する顕微鏡装置１。 （もっと読む）

【課題】高マトリクス溶液試料をプラズマ化する前に希釈するのに適した新規の装置及び方法を提供する。
【解決手段】スプレーチャンバ２０から延出し、プラズマトーチ３０に連結される輸送管７０の途中に追加のガスＧ２による気流が提供される。霧化された分析試料は、輸送管７０を通過して、スプレーチャンバ２０内に導入されたガスＧ１によってスプレーチャンバ２０からプラズマトーチへ向けて移動するが、移動方向に対して交差する追加のガスＧ２の気流の存在によって、移動が妨害される。その際、霧を構成する液粒は、相互に結合し、比較的大きな径の粒となり、輸送管７０の途中の壁面に液滴を形成する。これによって、プラズマトーチ３０に達する試料の量を再現性良く制御して減らすことが出来る。 （もっと読む）

【課題】従来のグロー放電発光分析方法では正確に測定強度を測定することが困難な薄膜を有する測定対象材についての測定を行なうことが可能な測定方法、測定装置および当該測定方法によって測定された薄膜を備えるエピタキシャル基板を提供する。
【解決手段】本発明に従った測定方法は、基板（試料Ｓ）を準備する工程と、測定工程とを備える。測定工程では、グロー放電発光分析法を用いて、試料Ｓの表面からの深さ方向における成分元素の濃度分布を測定する。具体的には、試料Ｓに給電することによりグロー放電による発光を発生させ、当該発光を波長ごとに分光して分光した光の強度を測定することにより、試料Ｓの深さ方向における成分元素の濃度分布の測定を行なう。測定工程において、強度を測定する光のエネルギーは試料Ｓのバンドギャップエネルギーより大きい。 （もっと読む）

【課題】広範囲、且つ、高密度で全反射を起させてエバネッセント波を得ることができるエバネッセント波発生装置と、このエバネッセント波発生装置を用いて測定サンプルの観察を高感度、且つ、広範囲で実現できる観察装置を提供する。
【解決手段】一組の平行に対向する二面５Ａ、５Ｂとこの二面に直交する少なくとも一組の平行に対向する二面５Ｃ、５Ｄを持つプリズム５と、何れかの二面のうちの何れか一面５Ａから所定の角度でプリズム５内に光を入射する光入射手段１０とを備え、一面５Ａの光入射部８を除く部分とこの一面５Ａと平行に対向する面５Ｂとは、鏡面７で構成されると共に、光入射手段１０は、光入射部８を持つ面に直交する一組の二面での全反射と鏡面７での反射とがプリズム５内で繰り返される角度にてこのプリズム５内に光を入射する。 （もっと読む）

【課題】偏光異方性の高い検出能力を備えたレーザー走査型顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の上記課題は、レーザー光源からの直線偏光を試料に照射して、試料から発せられた蛍光の前記直線偏光と直交した偏光成分と、前記直線偏光と平行な偏光成分とを計測するレーザー走査型顕微鏡において、前記レーザー光源と前記試料の間の光路中に、入射光の偏光成分を分離しかつ外部信号により偏光成分の配分を制御する偏光分離光学素子を備え、前記、入射光の偏光成分を分離しかつ外部信号により偏光成分の配分を制御する偏光分離光学素子から射出される互いに直交する角度の直線偏光を前記試料に交互に照射することで解決される。 （もっと読む）