【課題】基板に所定のストレスを加える工程が含まれた処理を施す前に、処理中の破壊を生ずる可能性のある基板を事前に見つけ出せるようにした基板事前検査方法を提供する。
【解決手段】基板にストレスを加えるストレス印加工程と、ストレス印加工程で加えたストレスに起因するアコースティック・エミッション現象で基板に発生する弾性波を検出する検出工程とを備え、検出工程で検出した弾性波に基づいて、基板が前記所定のストレスに耐えられるか否かを判断する。前記処理が、基板Ｓを吸着及び加熱するステージ３を備える処理室１で行う処理であって、前記所定のストレスを加える工程が、ステージ３に基板Ｓを吸着した状態で基板を所定の処理温度に加熱する加熱工程である場合、弾性波を検出するセンサ４を設けて、基板Ｓをステージ３に載置した状態で、加熱工程完了前にストレス印加工程及び検出工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】共振現象を利用して長尺物の欠陥を検出する非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】長尺物２０の離れた箇所に接触して長尺物に張力を付与する一対の張力付与手段２１、２２と、長尺物２０に接触して振動を与える加振手段３１と、一対の張力付与手段の間に存在する長尺物に接触して長尺物の振動を検出する振動受信手段３２と、振動受信手段が検出した振動の周波数を分析する周波数分析手段３４と、一対の張力付与手段の間に存在する長尺物を順次更新する長尺物移動手段と、を備える。帯状や線状の長尺物の共振特性を部分的に測定し、且つ、測定対象の長尺物の部位を順次更新することにより、長尺物全体の欠陥を迅速且つ低コストで検査することができる。 （もっと読む）

【課題】各ガイド波探触子の送受信感度のバラツキを改善することのできるガイド波を用いた非破壊検査方法および装置を提供する。
【解決手段】円筒形状構造物の周方向に複数個の超音波探触子を配列してガイド波を発生する第１ガイド波探触子群と、第１ガイド波探触子群の円筒形状構造物の長手方向に隣接し円筒形状構造物の周方向に複数個の超音波探触子を配列してガイド波を発生する第２ガイド波探触子群を備え、超音波探触子の送受信面と円筒形状構造物の表面との間に金属シートを挟み、超音波探触子を構造物表面に押付けてガイド波を送受信し検査する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル太陽電池のフレキシブル化や構造最適化において、その電気的性能に影響を及ぼす機械的負荷による損傷の度合いを理解することが可能な、新規な検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】フレキシブル太陽電池セルの長さ方向の中心部においてアコースティック・エミッション（ＡＥ）センサを配置し、フレキシブル太陽電池セルを引張試験機に設置して長さ方向に引張り、その際に生じた損傷に起因して発生したアコースティック・エミッション（ＡＥ）をＡＥセンサで検知してアコースティック・エミッション（ＡＥ）信号に変換する。次いで、ＡＥ信号に基づいた電気的特性の変化を認識し、フレキシブル太陽電池の損傷に起因した電気的特性変化を検査する。 （もっと読む）

【課題】鋳鉄管などの管の欠陥の有無を確実に検知することができるようにする。
【解決手段】鋳鉄管Ｐの欠陥の有無を検知する欠陥検査装置５であって、鋳鉄管Ｐの内部に水圧を負荷してアコースティックエミッション（ＡＥ）を発生させるポンプ７と、鋳鉄管Ｐの軸心方向に複数配置されて上記ＡＥを検出するＡＥセンサ１，２，３と、各ＡＥセンサ１，２，３にてＡＥを検出した時刻の差から当該ＡＥの発生位置を特定する発生位置特定部５０とを有し、鋳鉄管Ｐの内部への水圧の負荷、ＡＥの検出および当該ＡＥの発生位置の特定を行う一連の工程を３回繰り返し、特定されたＡＥ発生位置が当該３回で重複すれば、この重複したＡＥ発生位置に欠陥が有ると判断する欠陥検出部６０を備える。 （もっと読む）

【課題】形状が複雑な金属部品のクラックの有無を確実に判定できるようにする。
【解決手段】本体部分３と突出部分４，４とが一体的に形作られた金属部品１にＡＥセンサ６を取り付け、アクチュエータ７，７で突出部分４，４を押圧して、本体部分３と突出部分４，４との境界付近に圧縮力、引張力、または剪断力の少なくとも一つを作用させると、境界付近に存在しているクラック５が拡縮して弾性波が発生するので、この弾性波をＡＥセンサ６によって検知すれば、クラック５の有無を判定できる。 （もっと読む）

【課題】短時間で精度良くウエハのクラックの有無を検査できるクラックの検出方法及びその検出装置を提供すること。
【解決手段】ウエハを一方向に湾曲させたときに発生する所定周波数の音の強度をモニターすることにより、前記ウエハのクラックの有無を判定すること。 （もっと読む）

【課題】信号レベル検波方式を利用し、シンプル且つ小型な回路で、複数の素子部の応答の検波を容易に実現できる弾性表面波素子、センサ、センシングシステム、及び状態検知方法を提供すること。
【解決手段】測定用素子部１９と参照用素子部２１との間に、遅延線の構造を有する第１遅延部５１を備えているので、測定用素子部１９から出力される信号を参照用素子部２１から出力される信号に対して遅延させることができる。つまり、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、時間的にずらすことができる。従って、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、無線によって送信した場合でも、その信号を受信した外部装置３では、両信号の時間的ずれにより、両信号を分離することができる。 （もっと読む）

【課題】非侵襲な成分濃度測定装置および成分濃度測定装置制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る血液成分濃度測定装置は、光を発生する光発生手段としての光発生部１１と、光発生部１１の発生した光を一定周波数で電気的に強度変調する光変調手段としての光変調部１２と、光変調部１２の強度変調した強度変調光１を被検体としての生体被検部９７に向けて出射する光出射手段としての光出射部１３と、強度変調光１を照射された生体被検部９７から放射される音波、すなわち光音響信号３を検出する音波検出手段としての超音波検出部１４と、を備えた血液成分濃度測定装置であって、光出射部１３と超音波検出部１４との間である内部２２に生体被検部９７と略等しい音響インピーダンスの音響整合物質及び生体被検部９７が配置可能となっている。 （もっと読む）

【課題】接合部位の超音波による検査を精度良く行え、しかも探触子の配置部位の制約が少ない接合部位の検査方法を提供する。
【解決手段】超音波探傷装置の探触子４０から超音波をインサート１４の第２のフランジ部１４Ｂと部品１２の天板部１２Ｂとの接着面に向けて発射し、接着面で反射した超音波の反射波を受信して１回目の超音波探傷検査を実施して接着面の状態を画像として得る。次に、インサート１４に負荷を与えてから負荷を除去し、２回目の超音波探傷検査を実施して接着面の状態を画像として得る。接着不良が有った場合、接着面に対して剥離する方向の負荷を掛けることで、接着不良個所に隙間を生じさせることができ、正しく接着している部位と隙間が生じている部位とで反射波に差異が生じ、画像から接着不良個所を特定することができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に関して、一方向の変位や歪みに関する情報のみならず、複数方向の歪みに関する情報を出力することのできる超音波測定装置を提供する。
【解決手段】超音波測定装置は第１及び第２の超音波プローブを有する。情報取得部が、測定対象物に加わる力もしくは測定対象物の変形量の時間変化が増加期間であるか減少期間であるかに関する情報を取得する。第１の超音波プローブは、２つのプローブの超音波送信領域の重複箇所に位置する測定対象物によって反射された超音波を受信して、第１の受信データを生成する。第２の超音波プローブは、同様に第２の受信データを生成する。演算処理部は、第１の受信データの内、増加期間あるいは減少期間のいずれか一方の期間におけるデータを用いて、測定対象物の第１の方向に関する第１の変位関連情報を演算し、第２の受信データの内、第１の変位関連情報を演算するために用いた期間と同じ期間におけるデータを用いて、測定対象物の第２の方向に関する第２の変位関連情報を演算する。 （もっと読む）

【課題】血管内の不安定プラークの内部構造など微細な計測対象物に対して、高い分解能を発揮し得る歪分布計測システムと弾性率分布計測システム及びそれらの方法を提供することである。
【解決手段】入力部２１と、データ格納部２４，２５と、解析部２２と、出力部２３を有して、被測定対象３の圧縮前後の測定データ３２から歪分布３９を解析する歪分布計測システム６であって、解析部は、測定データの所望の評価領域において圧縮前後の測定データの位置変位に関する相互相関係数を演算する相互相関解析部２６と、移動ベクトルを設定する移動ベクトル設定部２７と、過誤ベクトル解析部２８と、移動ベクトル補間・補正解析部２９と、連続化された移動ベクトルの空間変化率を演算する歪分布解析部３０とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ高感度に欠陥を検出できるケーブル接続部の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】電力ケーブル接続部のゴム材料からなる部品（測定試料１）に探触子３により振動波を注入し、当該振動波によって欠陥２にて生じる反射振動波を検出することにより、欠陥２の有無を判定し、また、振動波の注入時から反射振動波の検出時までの時間差を算出し、当該算出時間差に測定試料１の音響伝播速度を乗じることにより、欠陥２の位置を標定する。 （もっと読む）

【課題】プレス成形加工において、割れやくびれなどのプレス不良の発生に伴うＡＥの変化を確実に捉える。
【解決手段】プレス装置１０における成形不良を監視するためのプレス監視システム９に、プレス装置１０にて被成形素材Ｗを成形加工する際に生じるＡＥを検出するＡＥセンサ２０と、前記ＡＥを電気的信号に変換するＡＥ計測手段２１と、前記電気的信号の強度の変化を電圧値の変化として表したＡＥ波形を得る数値処理手段２２と、前記被成形素材Ｗの摩擦係数を測定する摩擦係数測定手段３５と、良品が得られた成形加工時に計測されたＡＥ波形を、前記摩擦係数にて定まる補正値で補正して、評価基準となるＡＥ波形を決定する評価基準決定手段２４と、前記評価基準と前記数値処理手段にて得られたＡＥ波形とを比較し、プレス不良発生の有無を評価する評価手段２３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】測定対象の粘弾性特性を迅速かつ高精度に測定できる粘弾性特性測定装置を提供する。
【解決手段】遅延部材３は、その一方の面が搬送ライン３０における搬送面と一致するように、搬送ライン３０に組込まれる。加圧ローラ３４は、搬送ライン３０の搬送面、すなわち遅延部材３の一方の面に対して垂直上方で、かつ、その長軸方向が搬送ライン３０の搬送方向に対して直交する向きに配置される。そして、加圧ローラ３４は、その両端をそれぞれ加圧部３２．１および３２．２と連結される。加圧部３２．１および３２．２は、演算部１０から受ける加圧指令に応じて、搬送ライン３０の搬送面に対して垂直上方から垂直下方に向けて、加圧ローラ３４を直線状に駆動し、測定対象を加圧する。測定対象９と遅延部材３との密着性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 探触子のレール面への押しつけ力を一定に保持し、人手によらず探触子を自動走査して高精度にレールの探傷を行えるようにする。
【解決手段】 レール頭頂部、レール頭側部、及びレール底側部にそれぞれ超音波探触子（２１，２２，２３，２４，２５，２６）を接触させ、各超音波探触子をヒンジ機構を有する重し（２０，２０′）でレール３０に押圧して走査するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 ハウジングの内部にセラミック部材を固定してなる構造体の製造工程においてセラミック部材に作用する負荷に起因して生ずる振動波を有効に活用して、当該セラミック部材の損傷の有無を検査するようにした構造体の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 ガスセンサの製造工程のうちの滑石押さえ工程において、センサ本体１００の滑石リング１３０を油圧装置３００の金型３３０により押さえ込むことで、センサ本体１００から発生する振動波をＡＥセンサ４００により振動波信号として検出し、振動波信号から所定の振動波弁別信号を弁別し、振動波弁別信号のうち油圧装置３００の金型３００が所定位置になってから待機期間経過した後の計数期間内に検出された振動波弁別信号を計数してこの計数値に基づき絶縁部材の損傷の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】 超音波探傷において、、探傷用の超音波の強度を正確に監視、得られたきずに関するデータの補正等を行い、高精度な超音波探傷を行うことができる方法及び装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物１００表面に直接又は接触媒質を介して配設した複数の垂直縦波振動子１により、検査対象物１００に応力を加えて検査対象物１００内に入射縦波１１１Ａ及び入射横波１１１Ｂを同時又は非同時に発生させ、超音波の反射により得られるエコーのうち、反射縦波１１２Ａ及び反射横波１１２Ｂの、一方の成分に基づく信号を探傷用信号とし、他方の成分に基づく信号をカップリング監視信号とする。 （もっと読む）

【課題】 多孔性食品の食感を実験的に評価するための評価方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の多孔性食品食感評価方法は、多孔性食品の破砕及び／又は咀嚼時に発生する音及び／又は振動を、シャープネス及び／又はラフネスを音響評価量として用いて音響解析し、該音響解析により得られた数値を用い、官能試験による評価を行わずに多孔性食品のクリスプネスを評価することを特徴とする。 （もっと読む）