【課題】ファイバ・ブラッグ・グレーティング（ＦＢＧ）を用いた超音波・ＡＥ等の振動検出装置は、材料衝撃時の弾性波検出や超音波探傷に用いられるが、温度変化や歪み変化を受ける環境では、超音波検出が不可能であったり、性能が劣るという問題があったので、高感度でかつ小型で軽量の振動検出装置を提供する。
【解決手段】ファイバ・レーザを用いて、ＦＢＧ反射光をレーザ化し、前記レーザ化されたＦＢＧからの反射光強度を電気信号に変換することで超音波等の振動を検出する。振動検出システムは、光アンプ４２と、光サーキュレータ４３と、光カップラ４５とを備え、ＦＢＧ４４と光サーキュレータの入射／出射ポートとは光ファイバで接続され、光サーキュレータの入射ポートと出射ポート間は途中、光カップラおよび光アンプが挿入され、光ファイバで接続される。 （もっと読む）

【課題】結晶球の周回経路の結晶方位に対応した膜厚の膜を正確に真空成膜する。
【解決手段】真空容器２１内で蒸着材料２２を加熱気化させる蒸着材料放射ステップ（２２，３１）と、弾性表面波４を周回させる圧電性結晶球２の周回経路５が前記気化された蒸着材料２２の放射ビームの照射方向と対面するように、圧電性結晶球２を回転可能に支持する支持ステップ（３２，３５）と、周回経路の結晶方位に従って前記回転支持ステップによる圧電性結晶球２の回転速度を変更し、周回経路上に結晶方位に依存した膜厚分布で真空成膜する成膜制御ステップ（１，５，３２，３４，３５）とを有する球状弾性表面波素子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】薄層化が可能であり、高周波の作用により強い電磁ノイズが発生するため従来は利用できなかった環境であっても使用可能な圧電センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電センサ５０は、圧電体膜２、下部電極３、ポリイミド層４、上部電極５、および、圧電体膜６（または誘電体膜）が積層された圧電センサであって、圧電体膜６（または誘電体膜）は、圧電体膜２と同一の比誘電率および静電容量を有し、圧電体膜２と圧電体膜６とは同一の極性面を対向させて配置され、ポリイミド層４の層方向の面積は、圧電体膜２の層方向の面積と同じかまたは小さく、かつ、圧電体膜６（または誘電体膜）の層方向の面積と同じかまたは小さい。 （もっと読む）

【課題】小型・軽量で取り廻しが良く、しかもレーザの出力やパルス幅の制御範囲が広いレーザ超音波探傷装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源１１から発振された１種類の波長λ_０を有するレーザ光が、波長シフタ１２で少なくとも２種類の波長λ_１，λ_２を含むレーザ光に変換され、さらに分波器１３で、第１の波長λ_１を有するレーザ光と、第２の波長λ_２を有するレーザ光とに分波される。第１の波長λ_１を有するレーザ光の出力とパルス幅は、被検査物１００に損傷を与えずに超音波振動を生成させるのに適した大きさとなるよう、第１の制御器１４で調整される。第２の波長λ_２を有するレーザ光の出力とパルス幅は、上記超音波振動を検出するのに適した大きさとなるよう、第２の制御器１５で調整される。これらを合波器１６で一のレーザ光にして、被検査物１００の表面に照射する。 （もっと読む）

【課題】ガイド波を用いた検査方法において、検査体の欠損部分の欠損断面積および欠損幅を同時に推定できるようにする。
【解決手段】（Ａ）ガイド波が第１の周波数を有する場合における、反射波の振幅と、欠損断面積および欠損幅との関係を示す第１の欠損量推定用データを予め求める。（Ｂ）ガイド波が第２の周波数を有する場合における、反射波の振幅と、欠損断面積および欠損幅との関係を示す第２の欠損量推定用データを予め求める。（Ｃ）検査体中を伝播する第１の周波数のガイド波を発生させ、かつ、このガイド波の反射波の振幅を第１の振幅として検出する。（Ｄ）検査体中を伝播する第２の周波数のガイド波を発生させ、かつ、このガイド波の反射波の振幅を第２の振幅として検出する。（Ｅ）第１および第２の欠損量推定用データと、第１および第２の振幅とに基づいて、欠損部分の欠損断面積および欠損幅を推定する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップに付された情報を確実に読み取ることのできる、半導体装置、半導体パッケージ、半導体装置の製造方法、及び半導体装置の情報読み取り方法を提供する。
【解決手段】集積回路が形成され、印字面を有するチップと、前記印字面の一部の領域に印字された印字部とを具備する。前記印字部は、超音波探傷を用いて前記印字面における他の領域と区別可能な材料により、形成されている。 （もっと読む）

【課題】ファイバ・ブラッグ・グレーティング（ＦＢＧ）を用いた超音波・ＡＥ等の振動検出装置は、材料衝撃時の弾性波検出や超音波探傷に用いられるが、温度変化や歪み変化を受ける環境では、超音波検出が不可能であったり、性能が劣るという問題があり、また小型で軽量の装置が望まれていた。
【解決手段】広帯域光源を用いて、ＦＢＧ反射波長域を包含する広帯域光を前記ＦＢＧに入射し、前記ＦＢＧからの反射光強度を電気信号に変換し、前記電気信号に対して、前記ＦＢＧが受ける振動に基づく応答信号を抽出する信号処理を行うことにより振動を検出することで、光フィルタを用いずに、超音波等の振動を検出する。 （もっと読む）

【課題】３次元探傷データと３次元形状データの表示位置合わせを容易にし、欠陥エコーと形状エコーの識別を迅速にできるようにした超音波探傷装置及び超音波探傷方法を提供することにある。
【解決手段】計算機１０２Ａは、データ収録部１０２Ｅで収録した波形から３次元探傷データを生成する。３次元表示部１０３は、検査対象の３次元形状データと計算機により生成された３次元探傷データとを表示する。計算機１０２Ａは、３次元表示部に表示される３次元形状データを構成する面および点で定義される座標系に基づき、３次元形状データと３次元探傷データの相対的な表示位置を補正し、３次元形状データと３次元探傷データとを重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】複合構造体に用いられる減衰材の肉厚を適切に計測し得る減衰材の肉厚算出方法及びその装置を提供する。
【解決手段】金属材１と減衰材２を備える複合構造体３に対して超音波を発信する超音波探触子４ａ，４ｂと、超音波探触子４ａ，４ｂからの信号を処理する信号演算部７と、信号演算部７からのデータを処理する肉厚算出部８とを備える減衰材の肉厚算出装置であって、
超音波探触子４ａ，４ｂは、金属材１からの多重反射が低減する周波数以下で超音波を発振し、
信号演算部７は、減衰材２の肉厚を測定する際に、超音波による反射エコーの信号をウェーブレット解析して特定周波数成分を抽出し、
肉厚算出部８は、特定周波数成分での信号に基づいて減衰材２の肉厚を算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】鉄道トンネル覆工のひび割れや変形などの変状の進行をリアルタイムに監視することにより、覆工コンクリートの剥落潜在リスクを回避することができるトンネル覆工の変状監視方法を提供する。
【解決手段】鉄道トンネル覆工３に生じた変状４を監視するための方法であって、列車ｔがトンネル内を通過する際に発生する振動により、鉄道トンネル覆工３に伝播する上記振動の加速度の周波数特性を繰り返し計測して蓄積し、この蓄積されたデータから逸脱した上記加速度の周波数特性を検知することにより、上記鉄道トンネル覆工３に生じた変状の進行を監視することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多層構造体の界面の密着性を評価する。
【解決手段】ガラス板１と鋼板２とシール材３からなる多層構造体の一方の側に送信側超音波探触子４と受信側超音波探触子５を斜めに配置する。送信側超音波探触子４から送信された超音波のうち、ガラス板１、シール材３、鋼板２を板波として伝播した超音波を受信側超音波探触子５で受信する。受信波形の振幅を閾値と比較し、閾値以上であれば密着性良好と判定し、閾値より小さければ密着性不十分と判定する。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン成形体の材料欠陥を破壊なしに試験する方法を提供する。
【解決手段】ポリシリコン成形体に超音波を照射し、ポリシリコン成形体が通過後に超音波受信機により超音波を記録し、これによりポリシリコン中の材料の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】大面積のモジュール式センサアレイ組立体を形成する。
【解決手段】センサから集積回路（１０６）へ信号を伝えるインターポーザ内のルーティングを有するモジュール式でタイリング可能なセンサアレイ（１０１）。大面積のモジュール式センサアレイ組立体は、ともに結合された１つ以上のタイリング可能なモジュールを含む。タイリング可能なモジュールは、センサを形成する複数のトランスデューサセル（１０３）と、複数のトランスデューサセルの第１の面上に結合されたインターポーザと、インターポーザの第２の面に結合された１つ以上の集積回路とを有し、インターポーザは、複数のトランスデューサセルの集積回路への接続を形成するように構成される。 （もっと読む）

【課題】厚板材の深部の探傷に適しており、センサ開口の大型化が可能であるとともに、ＳＮ比の向上する超音波測定装置，それに用いる超音波センサおよび超音波測定方法を提供することにある。
【解決手段】２次元アレイセンサ４０１Ｂの内周部４０１Ｍは、隣接する超音波振動素子の重心位置の間の距離が、ノイズ（グレーティングローブ）が発生しない距離Ｌ０以内である。外周部４０１Ｎは、隣接する超音波振動素子の重心位置の間の距離が、ノイズが発生しない距離以内のものとノイズが発生しない距離以上のものとを含む。使用素子選択回路４０３Ｃは、内周部４０１Ｍの全ての超音波振動素子と、外周部４０１Ｎの超音波振動素子の内、超音波の送受信方向をアレイセンサの面に投射した送受信方向における隣接する前記超音波振動素子の重心位置の間の距離が、ノイズが発生しない距離以内である超音波振動素子を選択する。 （もっと読む）

【課題】無軌道式移動台車が球面，円筒面，平面を移動する場合の位置検出装置において、無軌道式移動台車が例えば球面や円筒面を周方向に移動して位置検出装置から隠れてしまう場合であっても、位置検出が可能な位置検出装置を与えることを目的とする。
【解決手段】本体内部にワイヤを備え、前記ワイヤが牽引された量をエンコーダ値として出力する第二リニアエンコーダが取り付けられた第二保持治具を設置し、前記第二のリニアエンコーダのワイヤ先端を前記無軌道式移動台車の前記リニアエンコーダのワイヤ先端の取り付けられた位置に取り付け、前記第一のリニアエンコーダのワイヤが牽引された量と前記第二のリニアエンコーダのワイヤが牽引された量とから前記無軌道式移動台車の位置を前記演算装置にて演算すること特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電体単結晶からなる振動子を脱分極させることなく低電圧のバイポーラパルスによって駆動し、かつ高いペネトレーションを得る。
【解決手段】超音波プローブ１１の先端部内に、圧電体単結晶からなる複数の振動子１５を配列し、各振動子１５にプリアンプ２３を接続する。各振動子１５は、超音波観測器１２のパルサ３４から供給された低電圧のバイポーラパルスにより駆動され、脱分極を生じることなく超音波を発生する。振動子１５が反射波を受信して出力したエコー信号は、プリアンプ２３により増幅されて超音波観測器１２に伝送されるので、ケーブル２９の電気容量による影響を受けることがなく、ペネトレーションの向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】基台に対する板状部材の接着状態の不良を検査すること。
【解決手段】凹部が形成された基台３０１及びこの基台３０１の凹部に係合し当該凹部の底面に接着される板状部材を有する保持テーブル３における基台に対する板状部材の接着状態を検査する超音波検査装置１において、基台３０１の凹部の底面と板状部材３０２の被接着面との接着部位に超音波を照射し、当該接着部位からの反射エコーを測定し、上記接着部位からの反射エコーを、色情報を有する画像データに変換し、この画像データの色情報に応じて板状部材３０２の被接着面と基台３０１の凹部の底面との間の接着状態の不良を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査領域内の広い範囲において欠陥を効率よく検出することができる超音波探傷方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、発信探触子１２ａと受信探触子１２ｂとを欠陥ＣＬ１と直交する方向に並べ、被検査領域５５に沿って移動させつつ発信探触子１２ａから超音波を発信させると共に欠陥ＣＬ１が生じていた場合にこの欠陥ＣＬ１で回折又は反射した超音波を受信探触子１２ｂで受信して、欠陥ＣＬ１の有無又は欠陥ＣＬ１の生じている領域を検出する第１の探傷工程と、斜角探触子１３を欠陥ＣＬ１の生じている領域に対して直交する方向に配置し、欠陥ＣＬ１の生じている領域に対して直交する方向に表面５３上を移動させつつ、傾斜した方向に超音波を発信させると共に欠陥ＣＬ１で回折又は反射した超音波を受信することにより欠陥高さＨを検出する第２の探傷工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】汚泥堆積層と上澄水相との界面のみを検出するのではなく、汚泥堆積層内の層同士の界面を検出することができる方法と、この方法を用いた固液分離槽の管理方法を提供する。
【解決手段】汚泥は、固液分離槽２０内を徐々に沈降していき、汚泥堆積層を形成する。この汚泥堆積層は、最上部が自由沈降層であり、その下側に順次、凝集沈降層、圧密沈降層および濃縮層が形成される。各層同士の間の界面を検出するための界面レベル計を用い、１〜６０秒に５回以上受信信号強度を読み込み、その平均値を受信信号強度とする。このデータを用いて各層同士の間の界面を求める。 （もっと読む）