【課題】真空容器内のＥＵＶ光源の異常を、大気解放することなく早期に発見する。
【解決手段】大気圧以下の減圧下でプラズマを発生し、プラズマから放射されるＥＵＶ光を取り出すＥＵＶ光源と、ＥＵＶ光源からのＥＵＶ光を、所望の半導体パターンが形成されたマスクに導く第１の光学系と、マスクからの反射光又はマスクの透過光を試料上に導く第２の光学系と、を備え半導体露光装置において、光源のアコースティックエミッションを検出する検出部１８０を設け、検出部１８０の出力から光源の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】被測定体の内部音速分布の形状を仮定することなく、任意の内部音速分布を測定すること。
【解決手段】本発明に係る音速分布測定装置は、被測定体の厚み方向に超音波を放射し、被測定体の厚み方向のＮ次共振周波数までのＮ個の共振周波数を測定する共振周波数測定部と、測定されたＮ個の共振周波数を利用して、Ｎ個の質量体と相隣接する質量体を連結する（Ｎ−１）個のバネとからなるバネ・マス系モデルを仮定し、Ｎ個の質量体それぞれの質量と（Ｎ−１）個のバネそれぞれのバネ定数とを算出する逆解析部と、被測定体の厚み方向における超音波の音速分布が被測定体の厚みの中心に対して対称であるとして算出された質量及びバネ定数と、被測定体の既知の密度とを用いて、被測定体の厚み方向に（Ｎ−１）個のバネの長さにそれぞれ対応する厚みを有する（Ｎ−１）個の層に分割された各層の音響インピーダンス及び厚みを算出する音速分布算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電池を開封することなく電池要素内に気泡が生じているか否かあるいは電池要素内のいずれの位置に気泡が生じているか否かを検出し得る装置を提供する。
【解決手段】電極（４、６）を電解質層（５）を介して積層することにより電池要素（２）を構成する電池（１）の電池内部状態検出装置であって、電池要素（２）の一方の側より電池要素（２）内部に向けて超音波を入射する超音波発振子（２６）と、電池要素（２）内部で反射してきた超音波を電池要素（２）の一方の側と同じ側で受信する超音波受信子（２７）とを電池要素（２）の外部に設け、超音波受信子（２７）により得られる信号に基づいて電池要素内に気泡が生じているか否かを検出する。 （もっと読む）

【課題】 保温材に覆われた機器において、機器の保温材下腐食をリアルタイムで検出することができるとともに、検査対象である機器に対してセンサが簡単に着脱可能である保温材下腐食検出装置を提供する。
【解決手段】 保温材下腐食検出装置１０は、保温材により被覆された機器である配管２０の保温材下腐食を検知する検知手段１を含む。この検知手段１は、機器である配管２０の表面に接触して固定される板状の基台１１と、基台１１に着脱自在に設けられるホルダ１２と、ホルダ１２に収容され、機器である配管２０の腐食部から発生するアコースティックエミッションを受信する光ファイバドップラセンサ１３と、ホルダ１２を基台１１に着脱自在に固定するボルト１４とを含む。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル太陽電池のフレキシブル化や構造最適化において、その電気的性能に影響を及ぼす機械的負荷による損傷の度合いを理解することが可能な、新規な検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】フレキシブル太陽電池セルの長さ方向の中心部においてアコースティック・エミッション（ＡＥ）センサを配置し、フレキシブル太陽電池セルを引張試験機に設置して長さ方向に引張り、その際に生じた損傷に起因して発生したアコースティック・エミッション（ＡＥ）をＡＥセンサで検知してアコースティック・エミッション（ＡＥ）信号に変換する。次いで、ＡＥ信号に基づいた電気的特性の変化を認識し、フレキシブル太陽電池の損傷に起因した電気的特性変化を検査する。 （もっと読む）

【課題】超音波検査システムにおいて、表板部材と裏板部材とこれらの間に配置される接合部とを含む複合部材について、表板部材側からのみしか超音波探触子を取り付けられなくても検査を行うことを可能とすることである。
【解決手段】超音波検査システム１０は、レーザ駆動装置１２、表板部材６２の表面にレーザ光を走査させるガルバノミラー１４、表板部材６２から見て裏板部材６４が露出している箇所に配置される超音波探触子１６，１８、制御装置３０等を含んで構成される。制御装置３０は、レーザ光走査タイミングと各超音波探触子１６，１８が受信した検出信号とを対応付け、被試験部材６０における超音波振動分布を２次元面に画像化する個別画像化処理部３６と、同一位置における複数の画像データを和演算または積演算してその位置の強調処理データとする強調画像化処理部３８を含む。 （もっと読む）

【課題】実物体の硬さ情報を非接触で高精度に取得して、仮想的に物体を提示する際に、実物体に近い触感覚を高精度に提示する。
【解決手段】ユーザに触力覚で提示する仮想空間上の仮想物体に対応する実物体の硬さ情報を計測するための表面硬さ計測装置において、前記実物体の３次元形状を計測する３次元形状計測手段と、前記３次元形状計測手段により得られる３次元形状情報から前記実物体の表面における予め設定された位置毎の変位を計測する変位計測手段と、前記変位計測手段により得られる変位の比率又は変位量から前記実物体の計測した位置毎の粘弾性インピーダンスを推定し、推定された粘弾性インピーダンスにより前記実物体の所定位置毎の硬さ情報を取得する計測制御手段とを有することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面が複雑な形状に形成された場合でも、精度が高い検出結果が得られる超音波探傷装置を提供する。
【解決手段】複数の超音波素子を駆動して検査対象２に超音波を入射し、その検査対象２からの反射超音波を受信する超音波プローブ１と、超音波プローブ１が反射超音波を受信した受信信号を解析して探傷結果を算出する解析手段７とを備える。解析手段７は、超音波が入射する検査対象２の表面情報に基づいて求めた超音波の伝搬経路を用いて探傷結果を算出する。 （もっと読む）

【課題】 スイッチングを不要にすることができる弾性表面波センサを提供する。
【解決手段】 入力された信号を分岐して端子１Ｂと端子１Ｃとから出力するカプラ１と、端子２Ａと端子２Ｂとに入力された各信号を結合して出力するカプラ２と、カプラ１の端子１Ｂから出力される信号を遅延してカプラ２の端子２Ａに出力する遅延線３と、カプラ１の端子１Ｃから出力される信号を入力とし、入力された信号により弾性表面波を発生し、被測定対象に応じて伝播特性が変化した弾性表面波から、信号を得てカプラ２の端子２Ｂに出力する弾性表面波素子４とを備える。 （もっと読む）

【課題】放射能廃棄物処理施設に設けられる場合であっても、非破壊で土砂層の密度を正確に計測できる非破壊密度計測装置を提供する。
【解決手段】土砂層（遮蔽壁５）に音波を発信する音波発信器１０と、土砂層内を伝播した音波を受信する音波受信器２０と、密度を算出する密度算出装置３０とを有し、音波発信器１０は、振動板１２を備えた振動発信駆動部１１と、振動板１２に固定され土砂層の表面形状に追従して変形可能な振動伝達体１５とを備えてなり、音波受信器２０は、土砂層の表面に接触する接触板２１と、この接触板２１に接続され音波の振動を検知する受信部２２とを備えてなり、密度算出装置３０は、音波の伝播時間を計測して算出する伝播時間算出手段３１と、伝播時間に基づいて音波の伝播速度を算出する伝播速度算出手段３２と、算出された伝播速度に基づいて土砂層の密度を算出する密度算出手段３３とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】複雑形状を持つ被検査対象表面に対しても、容易に超音波探傷できるようにする。
【解決手段】超音波探触子１０は、被検査体の超音波探傷を行うための超音波を発振して受信する超音波送受信素子１１と、超音波送受信素子１１と被検査体１６の間に介在するシュー材１２と、を有する。シュー材１２は、高分子が架橋されて３次元網目構造をなして液体成分を吸収して膨潤した固体状の材料である高分子ゲル材料によって超音波の伝播路を形成する。シュー材１２が被検査体１６に当たる部分が凸面を形成している。 （もっと読む）

【課題】 減肉部からの直接の反射信号が得られない場合であっても減肉深さを推定することの可能な長尺部材の減肉深さ推定方法及び減肉深さ推定装置を提供すること。
【解決手段】 受信信号から生成した画像において、表示される遅れ信号Ｆから短線分Ｘを求める。長尺部材の側面Ｒ１からの反射信号が欠落する欠落部Ｚの上端Ｑを画像を用いて、又は、短線分Ｘの外側端Ｅ’を通る探触子の走査線ＳＥ’と長尺部材の外側線Ｒ１との交点により特定する。短線分Ｘの延長線と側面Ｒ１に対向する他面Ｒ２側とが交差する他面側交点Ｐを求める。この他面側交点Ｐと欠落部Ｚの上端Ｑとを結ぶ第一の線分ＰＱを求める。短線分Ｘの内側端Ｅと探触子の走査位置Ｓとを結び及び／又は短線分Ｘの内側端Ｅを通り超音波の送信角度で傾斜する第二の線分ＳＥを求める。第一の線分ＰＱと第二の線分ＳＥとが交差する交点Ｕを求め、この交点Ｕにより減肉の深さＤを推定する。 （もっと読む）

【課題】形状，焼入れ条件等が種々異なる部材に適用可能であり、高周波焼入れが施された鋼製部材の熱処理異常を破壊することなく検出することができる方法を提供する。また、軸受部品の熱処理品質が保証された高性能の転がり軸受を提供する。
【解決手段】平滑化曲線が下記の条件Ａ〜Ｃを全て満足する場合に、被検材に熱処理異常がないと判定する。条件Ａ：焼入れ組織に起因し且つ強度が最も低い反射波の深さ位置よりも深い深さ位置に、極大ピークを有し、該極大ピークの反射波は、非焼入れ組織に起因し且つ表面散乱に起因する部分を除いて強度が最も高い。条件Ｂ：焼入れ組織に起因し且つ強度が最も低い反射波の強度が、所定の第一閾値以下である。条件Ｃ：非焼入れ組織に起因し且つ表面散乱に起因する部分を除いて強度が最も高い反射波の強度が、所定の第二閾値以上である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低周波数の超音波であっても、小型化を図りつつ、被探傷対象物のより深い位置に超音波エネルギを有効に収束させることができるようにする。
【解決手段】本発明は、複数の超音波発振子２０〜２２と、これらの超音波発振子２０〜２２を、被探傷対象物Ｂの所定の深さ位置に超音波が収束するように互いに所要の位相差をもって発振させる発振回路１０とを有し、被探傷対象物Ｂを超音波によって探傷する超音波探傷装置であり、所要の曲率にした超音波屈折面３１及びこの超音波屈折面３１に向けて超音波を出射するように、超音波発振子２０〜２２を並列させるための平坦な発振子配列面３２を形成した超音波屈折部材３０を有しているとともに、その発振子配列面３２に超音波発振子２０〜２２を互いに所要の間隔にして音響的に結合したことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】分析に要する時間がわずかで、効率的に広範囲の構造物表面の検査が可能な検査装置及びそれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】検査面所定位置を所定周波数で打突する打突振動子１００と、前記検査面第１位置に固定される第１受信子２０１と、前記検査面第２位置に固定される第２受信子２０２と、前記所定位置と前記第１位置との間の距離に応じた第１補正物理量と、前記所定位置と前記第２位置との間の距離に応じた第２補正物理量と、前記第１補正物理量から、表面波の大きさと関連する第１物理量を抽出する第１フィルタ手段と前記第２補正物理量から、表面波の大きさと関連する第２物理量を抽出する第２フィルタ手段と、前記第１物理量と、前記第２物理量との比を算出する算出手段と、前記算出手段によって算出された比を、前記打突振動子１００による打突位置と対応させて表示する表示手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高温の条件でも使用可能であるフェイズドアレイ超音波検査装置、フェイズドアレイ超音波検査装置を用いた検査方法およびコークドラムを提供する。
【解決手段】高温の検査対象Ｓの欠陥を検査するための装置であって、検査対象Ｓに対して超音波ＵＷを供給するフェイズドアレイ探触子ＰＡと、フェイズドアレイ探触子ＰＡと検査対象Ｓとの間に配置されるウェッジ３とを備えており、ウェッジ３は、検査対象Ｓ表面に接触させる接触面３ｂと、接触面３ｂに対して傾斜したフェイズドアレイ探触子ＰＡを取り付ける取付面３ａとを備えている。ウェッジ３を介してフェイズドアレイ探触子ＰＡを検査対象Ｓに接触させるので、フェイズドアレイ探触子ＰＡの耐熱温度が低くても、高温の検査対象Ｓの検査をフェイズドアレイＵＴ法によって検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能になるとともに、強磁性材料以外の材料で形成されている物についても検査することを可能にするＬモードガイド波センサを提供する。
【解決手段】Ｌモードのガイド波を用いて被検査体を検査するためのＬモードガイド波センサ１０。被検査体１に取り付けられる振動子３と、振動子３に巻かれ交流電圧が印加されるコイル５とを備える。振動子３は、強磁性材料により形成されている。 （もっと読む）

【課題】軌道レールに探触子より超音波を入射し内部欠陥を検査するレール探傷装置であって、特に、軌道レールが変形していても、レール探傷装置の探触子がレール腹部上に位置し、正しくレール全体に超音波が入射されるような可変幅式案内車輪を備えるレール探傷装置を提供する。
【解決手段】レール探傷装置の左右の案内車輪をそれぞれ独立可変とし、軌道レールの頭部の形状に合わせて、左右の案内車輪の幅方向位置を調整することにより、探傷時に探触子をレール腹部上に位置させる。 （もっと読む）

【課題】単一素子の探触子を使用したときよりも欠陥検出性を向上させながら、欠陥サイジングも可能であるタービンロータの翼植込み部の超音波検査方法および装置を提供することにある。
【解決手段】超音波の送受信および超音波ビームを電子走査するフェーズドアレイ探触子１５および制御信号処理部２０と送受信部４０とを有する超音波探傷器と、フェーズドアレイ探触子を把持し周方向に走査するスキャナ１１と、超音波探傷器による検査結果を表示する表示部３４とを備える。フェーズドアレイ探触子１５を用いて、翼植込み部のフック肩部の曲率半径よりも、超音波ビームの集束径が大きくなるように超音波を緩く集束するビームパターンの超音波を送受信する。 （もっと読む）

【課題】低コスト且つ簡易な方法で、水中にある構造物の亀裂や劣化等を検査することができる水中検査システムを提供する。また、既存の多くの水道管等の埋設管に対して、適用可能な水中管検査システムを提供する。
【解決手段】水中ロボット１と、前記水中ロボット１と複合ケーブル７を介して接続した制御装置５を有する水中の構造体を検査する検査システムであって、前記水中ロボット１が、検査対象物である前記構造体を打撃する打撃装置３と、前記打撃装置３の振動を受信する受信装置４を有しており、前記受信装置４で受信した少なくとも２回の前記打撃振動を、制御装置５で相互比較する。 （もっと読む）