【課題】ワーク表面に存在する表面欠陥と水滴を精度良く判別することにより、表面欠陥の検出精度の向上を実現させた表面欠陥の検査装置を提供する。
【解決手段】表面欠陥の検出対象たるワーク１０の被検査面１０ａに対して照明光を照射する照明装置３と、被検査面１０ａを撮像するカメラ２と、該カメラ２により撮像した画像データを画像処理してワーク１０の被検査面１０ａにおける表面欠陥５を検出する画像処理装置４と、を備える表面欠陥検査装置１であって、照明装置３は、被検査面１０ａに対して拡散反射させた照明光である拡散照明光Ｘを照射し、かつ、画像処理装置４は、照明装置３により拡散照明光Ｘが照射された被検査面１０ａをカメラ２により撮像した画像データに基づいて、ワーク１０の被検査面１０ａにおける表面欠陥５を検出する。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の測定精度を向上させた検査装置を提供する。
【解決手段】下地層の上に所定のパターンを有するウェハ５のパターンを検査する検査装置であって、対物レンズ７の瞳面もしくは該瞳面と共役な面における領域毎の光の強度情報を検出する撮像素子１８と、パターンの形状変化に対しては強度情報の変化が異なり、下地層の変化に対しては強度情報の変化が同程度である、瞳面もしくは該瞳面と共役な面内の第１領域と第２領域の位置情報をそれぞれ記憶する記憶部と、撮像素子１８で検出される、第１領域の強度情報と、第２領域の強度情報との差異に基づいてパターンの形状を求める演算処理部２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】撮像した検査対象の画像が、検査領域から外れた場合であっても、検査対象の位置合わせにかかる検索時間を短縮して、検査時間の増大を抑制することができる位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラムを提供すること。
【解決手段】検査測定のための基板画像を撮像する撮像部と、検査測定を行う測定箇所が設定された高倍レシピ画像、および高倍レシピ画像と比して広範囲な視野領域を有する低倍レシピ画像を記憶する記憶部と、高倍レシピ画像と同等の倍率の検査画像の低倍レシピ画像内の位置を検索する検索部と、検索の結果、検査画像の視野領域内から測定箇所が外れている場合、検査画像および測定箇所の位置を含む位置情報を算出する算出部と、算出部が算出した位置情報をもとに、検査画像の視野領域内に測定箇所が入るように撮像部を移動した後、検査画像を撮像させる制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ペットボトルのリーク検査と外観検査を行うためのメインロータを１つにすることができ、ヘッドにおいて空気漏れがないペットボトルのリーク検査および外観検査装置を提供する。
【解決手段】ペットボトル１を支持して搬送するメインロータ４と、ペットボトル１の口部１ｍをシールして気体をボトル内に供給する容器押えヘッド３５と、円形軌道の半径方向外側に配置された１台の照明ＬＥＤ１と円形軌道の半径方向内側に配置された少なくとも２台のカメラＣＡＭ１−ａ，ＣＡＭ２−ａとからなる第１検査ステーションＳ１と、円形軌道の半径方向内側に配置された１台の照明ＬＥＤ２と円形軌道の半径方向外側に配置された少なくとも２台のカメラＣＡＭ３−ａ，ＣＡＭ４−ａとからなる第２検査ステーションＳ２とを備え、検査ステーションＳ１，Ｓ２によりペットボトル１の胴部全周を検査可能である。 （もっと読む）

【課題】分ガラス基板の全面亘って平坦性を確保し、精度よく検査できるガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法あるいはガラス基板欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】ガラス基板をエアで浮上力を発生させて浮上させ、前記浮上力のない検査領域に搬送し、前記検査領域において前記ガラス基板を撮像し検査するガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法において、前記検査領域の周囲において、前記浮上力を発生する前記ガラス基板面と反対側の面に前記ガラス基板をエアで挟み込む挟込力を発生させる。 （もっと読む）

【課題】剥離帯電によって発生する静電気の量を低減することができ、基板の平面度が出し易い基板検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象の基板Ｓを下面から照明する透過照明ユニット４と、基板の上面に沿って移動され、基板の像を結像する顕微鏡８とを備えた基板検査装置１は、透過照明ユニットの上面に、柱状をなし、互いに所定の間隔をおいて互いの軸線と平行に複数立設され、基板を支持すると共に、軸線方向に沿った長さを調整自在な支持部材５を有する。 （もっと読む）

【課題】搬送される撮像対象物を３ライン方式のカメラにより複数方向から撮像してカラー画像データを生成するカラー画像データ生成装置を提供する。
【解決手段】各ラインセンサ１１１，１１２，１１３の並設間隔をＰ、搬送面に沿って搬送される撮像対象物Ｗを上方向から撮像したときの分解能をａ、撮像対象物Ｗを側面方向から撮像したときの分解能をｂとすると、搬送面内における側面方向Ｌと搬送方向Ｋとの間の角度θがＰ＝ｓ×ａ及びＰ＝ｔ×ｂの関係を満たす角度であり且つθ＝ｓｉｎ^−１（ｓ／ｔ）となる角度に側面方向Ｌが設定される。ＲＧＢの各成分の画像データの内、上方向についてはｎ番目，ｎ＋ｓ番目及びｎ＋２ｓ番目の画像データに含まれる上面画像、側面方向についてはｍ番目，ｍ＋ｔ番目及びｍ＋２ｔ番目の画像データに含まれる側面画像がそれぞれ合成されてカラー画像データが生成される（ｓ，ｔ，ｎ，ｍは１以上の整数）。 （もっと読む）

【課題】フィルム上に形成される欠陥で、欠陥単独では面積的に許容レベルの欠陥の中から異常と見なすべき欠陥を抽出するための判定ロジック及び該判定ロジックを備える自動欠陥検査装置の提供を目的とした。
【解決手段】少なくとも、フィルムの搬送機構と、搬送されるフィルムの表面を撮像する撮像機構と、前記撮像データに基づいてフィルム上の異常部分を抽出しその面積を算出する画像処理機構と、を有する自動欠陥検査装置であって、画像処理機構は、予め設定された面積より大きな面積を有する異常部分を欠陥として判定する機構と、フィルムを特定の形状に仮想的に区画し、該仮想区画内における前記設定面積より小さな面積を有する異常部分の頻度が予め設定した閾値を超えた場合に欠陥として判定する機構と、を有することを特徴とする自動欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】露光に起因する欠陥を特定する欠陥検査装置および欠陥特定方法を提供する。
【解決手段】複数の露光領域を有する半導体ウエハを示す画像信号を受け付ける欠陥検査装置は、複数の露光領域内のそれぞれに共通に設定される複数の分割エリアの位置を特定するエリア情報を保持し、検出部が、画像信号に示された半導体ウエハ内の欠陥を検出すると、特定部は、露光領域内における位置が同一の分割エリアにて構成される分割エリア群のうち、分割エリア群内の欠陥の数が第１欠陥閾値を超える欠陥候補エリア群を特定し、露光領域内で所定方向に連続している欠陥候補エリアの数が所定閾値を超えると、露光領域のうち、露光領域内の欠陥候補エリアに存在する欠陥の数が第２欠陥閾値を超える欠陥露光領域を特定し、欠陥露光領域の数が特定閾値を超える場合に、欠陥候補エリア内の欠陥を、露光による欠陥として特定する。 （もっと読む）

【課題】クラックでない線状の領域の誤検出を招くことなく、高精度にクラックを検出する。
【解決手段】クラックの領域を映している可能性がある画素を選別する画素選別処理部４と、画素選別処理部４により選別された画素を繋ぎ合わせて線状の画像領域を形成し、その画像領域がクラックの一部を構成している線分であるか否かを判別する線分判別処理部５と、線分判別処理部５によりクラックの一部を構成していると判別された線分を繋ぎ合わせて折れ線を形成し、その折れ線がクラックに相当する折れ線であるか否かを判別する折れ線判別処理部６とを設け、折れ線判別処理部６によりクラックに相当すると判別された折れ線を表示する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基板を確実に支持バーから離隔し、基板全面を検査できる基板検査装置及び基板検査方法を提供することである。
【解決手段】
発明は、所定方向に長い複数の支持バーに設けられた複数の吸着孔からエアを吸引して基板を保持し、検査光を前記基板の表面に走査しながら照射して前記基板の表面又は内部から散乱された散乱光を受光し、前記吸引を停止し、前記基板を前記支持バーから離隔して上昇させて前記所定方向と垂直な方向にシフトし、前記基板の全面を検査する基板検査装置または基板検査方法において、前記基板からの離隔は、前記吸着孔から前記支持バーの前記基板の載置面に設けられた溝にエアを供給することによって行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長い距離にわたるコンクリート壁面などのコンクリート構造物の診断を、安価にしかも短時間で行うことが可能な画像データ処理システムを提供する。
【解決手段】移動式架台１０に搭載された可視画像撮影用カメラ６０と赤外線カメラ７０と、最初の可視画像データ及び赤外線画像データに撮影された対象物上の基準点に基づいて、前記複数の可視画像データ及び赤外線画像データの位置関係を求め、前記最初の可視画像データ及び赤外線画像データに対して、あおり補正を施した上で、２番目以降の規格化可視画像データ及び規格化赤外線画像データを、前記位置関係に基づいて重畳し２番目以降の重畳データとし、前記最初の重畳データと前記２番目以降の重畳データとを連結することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
試料全面を短時間で走査し、試料に熱ダメージを与えることなく微小な欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】
試料を回転可能なテーブルに載置して回転させ、この回転している試料にレーザ光源から発射されたパルスレーザを照射し、このパルスレーザが照射された試料からの反射光を検出し、この検出した試料からの反射光を検出し、この検出して得た信号を処理して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、回転している試料にレーザ光源から発射されたパルスレーザを照射することを、このレーザ光源から発射されたパルスレーザの１パルスを複数のパルスに分割し、この分割したそれぞれの分割パルスレーザを試料上の異なる位置に照射することにより行うようにした。 （もっと読む）

【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段２２と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段２３と、画像計測演算手段２２が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段２５とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】 検査効率の優れる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明の光モジュールの一例である検査装置１０は、インゴット２０を載せる載台４０と、インゴット２０にレーザ光を照射する光源５１と、光源５１の照射する光がインゴット２０で散乱した光を検出する検出器６１と、インゴット２０の厚み方向に、光源５１と載台４０との相対位置を移動する第１可動台５３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】強化繊維基材表面の外観検査を光学的手法で行う強化繊維基材検査装置において、特徴が異なる複数種類の不具合を単一の撮像手段、単一の照明手段で簡易かつ確実に検査することができる強化繊維基材の検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一方向性織物であり、少なくともその片表面に樹脂材料が接着している強化繊維基材に対して、基材を照明する照明装置を設ける。照明装置の照射によって生じる基材の走行面での反射光を撮像装置で撮像し、基材の表面画像が得られる。得られた画像を画像解析装置によって解析することで、欠陥の有無を判定できる。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドや焦点距離が変更された場合でも、その変更に対応して自己の動作状態を診断できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、検査ヘッド１０から照射された検査光を反射面８１によって検査ヘッド１０に向けて反射できる反射鏡８０と、検査ヘッド１０の移動経路上に配置され、検査ヘッド１０が通過可能な貫通孔６１が形成されたカバー部材６０と、貫通孔６０を開閉できるシャッター部材７１と、を備え、反射鏡８０がシャッター部材７１に設けられており、シャッター駆動機構７２によって反射鏡８０の反射面８１から軸線Ａｘまでの距離を調整する。 （もっと読む）

【課題】特別なソフトウェアを使用することなく、より正確な境界線を求めることができる境界線検出方法を提供する。
【解決手段】隣り合う各領域Ｚ１，Ｚ２のピッチをＰ１，Ｐ２とし、Ｒ１（ｍ）＝ｍｏｄ（ｍＰ１，Ｐ２／２），Ｒ２（ｍ）＝ｍｏｄ（ｍＰ１，Ｐ２），Ｒ（ｍ）＝Ｒ１ （Ｒ１≠Ｒ２の時），Ｒ（ｍ）＝Ｐ２／２−Ｒ１（Ｒ１＝Ｒ２の時），Ｅ（ｍ）＝Ｒ（ｍ）／（Ｐ２／２）において、ｍが整数であるときＥ（ｍ）が最も小さくなるｍを求め、両領域全体において距離ｍＰ１離れた画素同士の比較検査を行い、正常な画素を消去し、欠陥として残る画素の包絡線を境界線とし、同様の操作を他の領域間で行いピッチの異なる領域を検出する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの端面を容易に、かつ確実に観察し検査する。
【解決手段】光ファイバ１０の端面１０ａを観察するための拡大レンズを備える本体部と、本体部に着脱可能であるとともに光ファイバ１０を把持し、光ファイバ１０の端面１０ａを観察するための鏡２４が設けられた光ファイバ把持具２と、を備える。鏡２４は、その鏡面２４ａが上側（拡大レンズが配される方向）から見て、光ファイバ１０の延在方向に直交する面Ａ（方向）に対して所定角度（θ２）傾斜している。 （もっと読む）