【課題】ウェーハ上の欠陥の誤検出を抑制する欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】ウェーハの表面全体に照射光を走査し、該照射光の散乱強度にて前記ウェーハの表面上の欠陥をＬＰＤとして検出するに当たり、散乱強度に関して初期値を設定し、該初期値の下でＬＰＤの数を検出し、該検出数が基準値以下であれば初期値を閾値とする一方、検出数が基準値を超える場合は、初期値を増加させてＬＰＤの検出を繰り返し、ＬＰＤの数が基準値以下となった際の当該初期値を閾値とし、次いで、該閾値の下でＬＰＤの数の検出を繰り返し行い、ウェーハ表面への照射光の散乱強度が閾値以上であり、かつウェーハの同一位置にて２回以上検出された、ＬＰＤの数および位置を以て、ウェーハにおける欠陥の数および位置を判定する。 （もっと読む）

【課題】検査装置においては検査速度を向上させるためにウェハ表面に細長い光を照明し、照明領域の像を光検出器で結像して、検査を行う方式も考えられる。しかし、光検出器に照明領域の像を正しく結像させるのは容易ではない。従来技術ではこの点に配慮なされていなかった。
【解決手段】本発明は、光ファイバの束を有する結像光学系を有し、さらに前記光ファイバの束の集光側を回転させる機構を有することを特徴とする。本発明によれば、照明領域からの散乱光を正しく光検出器に結像させることができる。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアディスクの両側の表面を検査する検査装置において、スループットを高い状態に維持しながら検査を実施することを可能にする。
【解決手段】光学検査ユニット１００Ａ，Ｂと基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて回転駆動部に載置した基板を検査する位置と基板を取出・供給する位置との間を回転して搬送するテーブルユニット２００Ａ，Ｂと基板反転ユニット３００と基板を収納するカセット部と、未検査の基板を取り出してテーブルユニット２００Ａ，Ｂに供給すると共に、両面を検査し終えた基板を収納する基板ハンドリングユニット４００とを備えて構成し、光学検査ユニット１００Ａ，Ｂとテーブルユニット２００Ａ，Ｂとを複数備え、基板反転ユニット３００による基板の反転と基板ハンドリングユニット４００による検査を終えた基板の取出し未検査基板の供給とを交互に行なうようにした。 （もっと読む）

【課題】樹脂製キャップを検査する場合、カメラで撮影された画像を２値化する際に、キャップの周辺部分に対応した画素群とキャップの中央部分に対応した画素群とを共通なしきい値を用いて２値化することができる照明撮像系を備えた樹脂製キャップの検査装置を提供する。
【解決手段】樹脂製キャップ１の天面１ａ側に配置され、樹脂製キャップ１の天面１ａに投光する天面側照明２０と、樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面側に配置され、樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面に投光する裏面側照明２２と、樹脂製キャップ１の天面１ａ側に設置され、天面１ａからの光を撮影するカメラ２１とを備え、カメラ２１に、天面側照明２０から樹脂製キャップ１の天面１ａに投光され天面１ａで反射した反射光を入射し、かつ裏面側照明２２から樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面に投光され天面１ａを透過した透過光を入射させる。 （もっと読む）

【課題】
試料上の欠陥からの散乱光強度が、欠陥径に応じて微小になった場合には、センサから出力される検出信号にはセンサ素子自身の暗ノイズの占める割合が大きくなり、微小な欠陥の検出が困難となる。また、レーザ光源はパルス発振しているため、センサから出力される検出信号にはレーザ光源のパルス成分も重畳することになり、高精度に欠陥を検査することが困難となる。
【解決手段】
試料の表面にパルス発振してレーザビームを照射する照射手段と、前記照射手段による照射により該試料の表面より発生した散乱光を検出する検出手段と、前記照射手段により照射された該レーザビームに基づき遅延信号を生成し、該遅延信号を用いて前記検出手段により検出された散乱光を処理する処理部とを備えた欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜に液体を充填していない空壜の場合に壜底部のビリ（底ビリ）を精度良く検出できる光学撮像系を備えたガラス壜の検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス壜１の底面側から照明する照明２と、照明２から投光される照明光の一部を遮る遮光板４と、ガラス壜１の底面から上方に立ち上がっていく部分である彎曲した曲面の壜底外周縁１ｅと該壜底外周縁に連なる壜底部１ａとを撮像するカメラ３とを備え、照明２を水平面に対して傾けて配置し、かつ照明２を光源と集光レンズ２２とで構成することにより、照明２からの照明光をガラス壜１のカメラ側の壜底外周縁１ｅおよび該壜底外周縁より内側の底部下面に集光するようにし、遮光板４により照明２からガラス壜１の底部下面１ｂに投光される照明光の一部を遮り、照明２からの光がカメラ側の壜底外周縁１ｅおよび該壜底外周縁に近い底部下面１ｂの領域のみに入射するようにした。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、照明装置２２、カメラ２３及び画像処理装置２４等を備えている。照明装置２２は、テオフィリン徐放性錠剤及び容器フィルム３に対し、４３０ｎｍ以上４９０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長をもつ青色光、又は、９４０ｎｍ以上９８０ｎｍ以下の範囲内にピーク波長をもつ近赤外光を照射する。これにより、テオフィリン徐放性錠剤の欠け等に関する検査が実施される。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面の状態によって、使い分けが可能な渦流探傷装置を提供すること。
【解決手段】ＣＣＤカメラ２０は、対象物の撮影を行う撮影装置２０ａと、撮影によって得た映像を外部に出力する映像出力装置２０ｂからなり、渦流探傷プローブ１１は、対象物における欠陥の検知を行う検知装置１２と、検知によって得たデータを目視で欠陥の認識が可能な形式に画像処理を行う画像処理装置１３と、画像処理によって画像処理データを外部に出力する画像処理データ出力装置１４と、からなり、ＣＣＤカメラ２０の周囲に複数台設置されている。 （もっと読む）

【課題】構造の簡素化を図ることができる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、取込位置Ａにおいて円筒体Ｗをチャックするチャック手段が、メインローラ２０と、メインローラに接離する方向に移動可能なサブローラ３０とをそれぞれ有する一対の挿入支持部１２を備える。円筒体Ｗをチャック際に、一対の挿入支持部１２を、そのサブローラ３０をメインローラ２０に対し上側に配置したサブローラ上向き姿勢として円筒体の両側部内側に挿入し、その挿入状態で、サブローラ３０を上側に移動させて円筒体Ｗの内周面上側に接触させそのサブローラ３０によって円筒体Ｗを搬入側載置具から持ち上げるとともに、メインローラ２０を円筒体Ｗの内周面下側に接触させる。 （もっと読む）

【課題】被検査体の移動速度が大幅に変化する場合でも、被検査体上の疵を安定して検出する。
【解決手段】移動する被検査体２から反射された光を受光するラインセンサカメラ１と、ラインセンサカメラ１から一定周期で出力される撮像信号を一時記憶する撮像信号用バッファ６と、被検査体２の移動距離を検出するロータリエンコーダ９と、ロータリエンコーダ９によって検出された被検査体２の移動距離が所定間隔に達した時点で、撮像信号用バッファ６に一時記憶されている撮像信号を読み出す制御を行う画像取り込み制御ユニット８ｂと、撮像信号用バッファ６から読み出された撮像信号から被検査体の表面の疵候補点を検出する疵検出部とを備える表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭの欠陥観察方法及びその装置において、ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に欠陥を観察する。
【解決手段】他の検査装置で光学的に検査して検出した試料１上の欠陥の位置情報と他の検査装置の光学的な検査の条件の情報を得、他の検査装置で検出した欠陥をＳＥＭ６で観察するためのテーブル上に試料を載置し、このテーブル上に載置した試料上の欠陥を光学的に検出するための検出条件を得た他の検査装置の光学的な検査条件の情報に基づいて設定し、テーブル上に載置した試料上の欠陥の中から抽出した欠陥を設定した光学的な検出条件に基づいて検出してこの抽出した欠陥のテーブル上での位置情報を得、この得た抽出した欠陥のテーブル上での位置情報に基づいて他の検査装置で検査して検出した欠陥の位置情報を修正し、この修正した欠陥の位置情報を用いてテーブル上に載置した試料上の欠陥をＳＥＭ６で観察する欠陥観察方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】焦点距離の短い撮像レンズを使用しても周辺光量の低下を抑える欠陥検査装置および照明装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤアレイ２１の長手方向両端を含む複数個のＬＥＤ２０Ｂは長手方向中央側を向く角度、つまり撮影レンズ１６の光軸方向を向く方向に固定され、ＬＥＤアレイ２１の長手方向中央を含むＬＥＤ２０Ａはそのまま角度をつけずに撮影レンズ１６に対向している。ＬＥＤアレイ２１の長手方向両端近傍でＬＥＤ２０の光軸は撮影レンズ１６の光学的中心方向を向くことになるため、周辺光量（この場合は銅箔５０の幅方向両端部の照明光量）が不足することなく、ＣＣＤカメラ１４の視野全域に亘って照明光量を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送時のエア浮上を安定化させることによって検査精度を向上させる。
【解決手段】検査光を通過させる複数の開口部を備えたエア噴出シフト板手段をエア浮上ステージ手段の途中の検査エリアに、基板の移動方向に対して垂直方向にシフト移動可能に設け、エア噴出シフト板手段をシフト移動させると共に光学系手段を開口部に対応付けて移動させることによって基板の所定の領域の欠陥を検査するようにした。エア浮上ステージを分割された長尺状の複数のエア噴出板で構成し、エア噴出孔から噴出されたエアを各エア噴出板の間から効率的に排出させるようにした。エア噴出シフト板手段が１回シフト移動することによって基板の全走査領域の検査に対応することができる数の開口部を設けた。エア浮上ステージ手段は基板の片辺又は両辺を保持した状態で基板を移動させる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に対して、可視観察のみならず、近赤外観察や蛍光観察といった特殊観察を行うことを可能とした光学式測定装置を提供する。
【解決手段】白色光を出射する白色光源と、白色光源と測定対象物との間に配され、白色光源から出射された白色光と、測定対象物からの戻り光と、を通過させる第１対物レンズと、第１対物レンズを通過した戻り光を所定の倍率に変倍する複数のチューブレンズと、複数のチューブレンズのうち戻り光上に配置させる一のチューブレンズを選択的に切り替え可能なレンズ切替機構と、を備える可視観察部と、特殊光を出射する特殊光源と、特殊光源と測定対象物との間に配され、特殊光源から出射された特殊光と、測定対象物からの戻り光と、を通過させる第２対物レンズと、を備える特殊観察部と、を備える。 （もっと読む）

【目的】欠陥の検出および検出される欠陥種別の判定を行うパターン検査装置を提供する。
【構成】光源と、偏光状態の異なる第１の検査光と第２の検査光とを発生する検査光発生部を含み、第１の検査光と第２の検査光とを試料の同一面に照射する反射照明光学系と、試料に照射される第１の検査光と前記第２の検査光とを、それぞれ第１の像と第２の像として結像する結像光学系と、第１の像と第２の像とを拡大する拡大光学系と、拡大光学系で拡大される第１の像と第２の像とを撮像する画像センサと、画像センサで撮像される第１の像の画像である第１の検査画像と、第２の像の画像である第２の検査画像とを記憶する記憶部と、記憶部に記憶される第１の検査画像を第１の基準画像と比較し、第２の検査画像を第２の基準画像と比較して欠陥を検出する検出部と、欠陥の欠陥種別を判定する判定部と、を備えるパターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象の形状バラツキに対応でき、検査対象の位置ズレ量を検出する必要がなく、また、コンベア等の搬送装置上での検査対象の位置のバラツキによる微細な形状変化にも対応できる異物検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス壜１を撮像してガラス壜１の欠陥またはガラス壜１内の異物を検出するための検査を行う際の検査領域の決定方法であって、ガラス壜１の壜底部１ａをカメラ３によって撮影して壜底部１ａの画像を得、画像から、ガラス壜１を成形する際に壜底下端部分にできるバッフルマークを検出し、検出したバッフルマークを利用して画像中に検査領域を決定する。 （もっと読む）

【課題】ウェブ状の基材に印刷された印刷物に、複数の欠陥検査装置により検出された欠陥の欠陥検出信号によりマーキングを行うためのマーキング信号制御方法であって、複数の欠陥検出信号に対するマーキング信号の出力制御を行い、各々の欠陥検出信号に対し、マーキングを区別できるようにした、マーキング信号制御方法を提供する。
を課題とする。
【解決手段】各々の欠陥検出信号から、マーキング信号およびマーキング識別信号を生成し、マーキング信号およびマーキング識別信号に応じて、ウェブ状基材の幅方向にマーキング位置を特定してマーキングすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マスク上での欠陥と、そのウェハへの波及の程度を推定しながら、効率的に欠陥判定処理を行うことのできる検査措置と検査方法を提供する。
【解決手段】各転写像を次の（１）〜（３）の順にレビューする。
（１）第１の比較部で判定された欠陥の程度が第３の閾値以上であって、第２の比較部で判定されたこの欠陥に対応する欠陥の線幅または線間距離の誤差比率が第４の閾値以上である場合、（２）第１の比較部で判定された欠陥の程度が第３の閾値未満であって、第２の比較部で判定されたこの欠陥に対応する欠陥の線幅または線間距離の誤差比率が第４の閾値以上である場合、（３）第１の比較部で判定された欠陥の程度が第３の閾値以上であって、第２の比較部で判定されたこの欠陥に対応する欠陥の線幅または線間距離の誤差比率が第４の閾値未満である場合 （もっと読む）

【課題】検査対象であるフォトマスクに所定波長の光束を照射し、フォトマスクを経た光束を撮像手段によって撮像して光強度データを求めるフォトマスクの検査方法において、実際の露光を行う露光装置との条件整合を良好に行う。
【解決手段】エッチング加工がなされる被加工層上に形成されたレジスト膜に対してフォトマスクを用いてｇ線、ｈ線及びi線の波長成分を含む露光光の露光を行い、レジスト膜をエッチング加工におけるマスクとなるレジストパターンとなすためのフォトマスクの検査に用いるテストマスクであり、露光光を透過させる透過部、遮光する遮光部、及び、一部を低減させて透過させるグレートーン部とを有するテストパターンを形成したテストマスクにおいて、テストパターンが一定の規則に基づいてパターン形状が逐次変化された複数の単位パターンが配列された部分を含み、パターン形状の逐次変化により、各単位パターンにおけるグレートーン部の幅をそれぞれ異ならせる。 （もっと読む）

【課題】レンズシート表面の局所的な歪み等の欠陥を精度良く検出する。
【解決手段】レンチキュラーレンズが複数配列されたレンズシート１２に照明光を照射する光源装置２１と、エリア３１について、レンズシート１２を透過した照明光のエッジ３２を撮像して第１画像を取得する第１撮像装置２２と、第１画像に基づいて、レンズシート１２とエッジ３２の相対的な角度に対応するデータとしてシャープネスを算出するシャープネス算出部１７と、算出されたシャープネスに応じて、レンズシート１２とエッジ３２の相対的な角度を調節する検査位置制御部１８と、レンズシート１２上から合焦点がずらされたデフォーカス状態で前記レンズシートの全幅にわたってエッジ３２を撮像して第２画像を取得する第２撮像装置２３と、第２画像に基づいて、レンズシート１２の欠陥を検出する欠陥検出部１９と、を備える。 （もっと読む）