【課題】基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、さらに検査時間の短縮でき、且つ検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、基板７上の複数の配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と、正極及び負極を有し配線６間の電気特性値を測定する電気特性測定器１と、温度または赤外線により基板７の欠陥部を検出する赤外線カメラ８と、電気特性測定結果に基づき配線６間に係る電気特性の良否を判別して欠陥部の候補を絞り込み、絞り込んだ欠陥部の候補を含むプローブ群に関する赤外線カメラ８の検出結果に基づき欠陥部を特定する制御部３とを備えた。制御部３は、複数のプローブ５を２つのプローブ群に分割し、分割後のプローブ群間における電気特性測定を行い、分割されたプローブ群間に欠陥があると判定された場合には、分割されたプローブ群間については接続及び電気特性測定を行わない。 （もっと読む）

【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するＡＤ変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】球径に応じて転がす量を変えられる球検査用転がし装置を提供する。
【解決手段】複数の球５５を載置するパッド４３と、複数の球５５を縦横複数列に配置する配置部材３０と、配置部材３０およびパッド４３を水平面内の直交する２方向のうち一方向に相対移動させる第１駆動装置２０と、配置部材３０およびパッド４３を水平面内の直交する２方向のうち他方向に相対移動させる第２駆動装置４０と、第１駆動装置２０および第２駆動装置４０を制御して配置部材３０およびパッド４３を相対移動させ、球５５に縦転がしおよび横転がしを与える制御装置５１と、制御装置５１に球径を入力する入出力装置５２とからなり、制御装置５１は、入力された球径に応じた配置部材３０およびパッド４３の相対移動量を算出する算出手段を有する。 （もっと読む）

【課題】球径に応じて転がす量を変えられ、球の不具合を見落としにくい球検査用転がし装置を提供する。
【解決手段】複数の球５５を載置する移動台１２と、複数の球５５を縦横複数列に配置するとともに水平面内で移動不能に設けた配置部材３０と、移動台１２を水平面内の直交する２方向のうち一方向に移動させる第１駆動装置２０と、移動台１２を水平面内の直交する２方向のうち他方向に移動させる第２駆動装置４０と、第１駆動装置２０および第２駆動装置４０を制御して移動台１２を動かし、球５５に縦転がしおよび横転がしを与える制御装置５１と、制御装置５１に球径を入力する入出力装置５２とからなり、制御装置５１は、入力された球径に応じた移動台１２の移動量を算出する算出手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、抄紙機で製造されたすき入れが施された用紙の品質を検査するための静電気除去機能を有する送風装置を備えたライトテーブルに関するものである。
【解決手段】 被検査対象のすき入れが施された枚葉紙が所定枚数積載された積載ブロックを載せるための検査物荷台、一枚ずつすき入れが施された枚葉紙を検査するための静電気除去機能を有する送風装置を備えたライトテーブル台及び検査が終了したすき入れが施された枚葉紙を積載するための検査済み荷台を有する静電気除去機能を有する送風装置を備えたライトテーブルである。 （もっと読む）

【課題】成形素材の検査方法及び光学素子の製造方法において、光学素子の製造不良の発生を抑える。
【解決手段】成形素材の検査方法は、光学素子の材料である成形素材１について上記光学素子の光学機能面へと変形する領域である対応領域１ａ，１ｂを確認する対応領域確認工程と、成形素材１を対応領域１ａ，１ｂ以外の部分である保持領域において保持する保持工程と、保持された成形素材１の少なくとも対応領域１ａ，１ｂを検査する検査工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】マーキング手段の位置調整作業を不要とし、継続して最適なマーキングを施すことの出来る欠陥検査システム、及びマーキング方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査システム１は、回転軸にカム（２２）が設けられたモータ（２１）と、一端が前記カムに連結され、他端にマーキング手段（２３ａ）が設けられ、前記カムの回転に応じて往復動することで前記マーキング手段によりマーキングする駆動リンク（２３）と、駆動範囲を定める設定値を入力する入力部（２４）と、前記入力部から入力された前記設定値に応じて、前記モータを正転と逆転とをさせることで前記マーキング手段を往復動させる制御部（２５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】露光装置より照射されたフォトマスクに垂直な平行光を被照射体に傾斜させて出射する構造を有し、一度の露光で複数の角度の斜め露光を行うことのできるフォトマスク、の欠陥やパターン形状を評価するための検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】フォトマスク表面の特定の位置をその位置のフォトマスク部位に対応する斜め角度の平行光で照明することにより、フォトマスク表面に垂直な出射光を得られるか否かの検査を、照明するフォトマスク表面の位置を変えつつ順次繰り返し、フォトマスクの有効面内からの撮像された画像情報を累積して評価することにより検査結果を判定する。 （もっと読む）

【課題】車両用部品の表面検査において、検査時間の短縮と検査精度の向上を図る。
【解決手段】車両用部品２０の表面に設定される第１領域を１つの画素で検出する第１画像取得手段によって取得する第１画像取得工程と、取得した第１画像の第１領域の欠陥強度が所定の閾値以上の場合に第１領域を各欠陥検出領域３５１と設定する欠陥領域設定工程と、第２領域４１−４９を１の画素で検出する第２画像検出手段によって欠陥検出領域３５１と欠陥検出領域３５１の周辺を含む欠陥判定領域４０の複数の第２領域４１−４９の画像を取得する第２画像取得工程と、各第２領域の欠陥強度が所定の閾値以上と判定された各第２領域４１−４９の欠陥強度の平均値を計算し、平均値が欠陥強度の所定の閾値以上である場合、その車両用部品は欠陥品であると判断する欠陥品判断工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度に半田付け部の良否を判断すること。
【解決手段】第１部材から相互に隣接して延びる複数のリード１２が第２部材に夫々半田付けされた、半田付け部１２ａを検査する半田検査方法は、各リード１２を交互に異なる色で着色するステップと、各リード１２に対して、着色された色と関連する各色の光で夫々照射するステップと、各光が照射された各リード１２の半田付け部１２ａを夫々撮影するステップと、撮影された各リード１２の半田付け部１２ａの撮影画像に基づいて、半田付け部１２ａの良否判断を行うステップと、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルム製造工程の各層を形成する工程で、前工程の欠陥情報を利用して最新工程により検出した欠陥を選別し、最新工程における発生欠陥の監視精度の向上を行い、品質異常の検知速度を向上させ、早期に不良の発生を知ることが可能な品質監視システムを提供する。
【解決手段】製造工程内の各工程に備えられた検査機と、検査機から得られた検査情報を格納し管理する検査情報管理データベースと、製品ロールの各工程における品質情報や実績情報を管理する生産情報管理データベースと、検査情報管理データベースと生産情報管理データベースに基づいて、最新工程と前工程での欠陥検出位置の座標を補正することによって最新工程で発生した欠陥を選別する欠陥選別手段と、欠陥選別手段によって選別された欠陥を異常判定条件に基づいて異常と判断し、異常を通知する欠陥監視手段と、を備えたことを特徴とする品質監視システム。 （もっと読む）

【課題】目視検査の作業効率を向上させる。
【解決手段】検査対象物に対する目視検査を支援する目視検査支援装置であって、前記検査対象物の撮影画像を目視する検査者の視線を検出することにより、前記検査者の前記撮影画像上における注視点の位置を算出する注視点算出部と、前記撮影画像上における前記注視点の分布に基づいて、前記検査者が目視検査を行った領域を目視領域として特定する目視領域特定部と、前記目視領域を示す画像を生成する目視領域画像生成部と、前記目視領域を示す画像と、前記検査対象物の前記撮影画像と、を重ね合わせて表示する画像表示部と、を備えることを特徴とする目視検査支援装置。 （もっと読む）

【課題】フラットパネル修復に、検査切断修復結合ツール及び独立体積修復ツールの２種類が必要である
【解決手段】装置は、統合された検査機能と、材料除去機能と、材料堆積機能とを備え、検査動作、材料除去動作、及び材料堆積動作を同じ光軸に沿って実行する。装置は、部分的に、カメラと、一対のレンズと、１つ又は複数のレーザとを備える。第１のレンズは、検査を受けているターゲット基板上に形成される構造上に光軸に沿ってカメラを合焦させるために使用される。第１のレンズは、検査された構造が材料除去を必要としていると識別される場合、構造上にレーザビームを合焦させて、その構造上に存在する材料を除去するためにも使用される。第２のレンズは、検査された構造が材料堆積を必要としていると識別される場合、レーザビームをリボン上に合焦させて、リボンに形成された埋め込みウェルから流動的複合物を構造に転写するために使用される。 （もっと読む）

【課題】
表面の異物や傷欠陥だけでなく基板の局所的な厚さの変化による欠陥まで検出することを可能にする。
【解決手段】
ガラス基板検査装置を、ガラス基板を透過した光を検出する第１の欠陥検出光学系と、ガラス基板を透過した光によりガラス基板の表面又は内部で発生した散乱光を検出する第２の欠陥検出光学系と、第１の検出光学系で検出した信号と第２の検出光学系で検出した信号とを処理する信号処理手段とを備えて構成し、信号処理手段は、第１の検出光学系手段からの検出信号を入力して処理することによりガラス基板の局所的な厚さの変化に起因する欠陥を検出し、第２の検出光学系手段からの検出信号を入力して処理することによりガラス基板の欠陥を検出するように構成した。 （もっと読む）

【課題】省フットプリントが図れるだけでなく、タクトタイムの短縮化も可能となるマクロ検査とミクロ検査とを１台で行いうる基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査装置１は、検査する基板Ｇを載置し、吐出口６１から気体を吐出させて基板Ｇを浮上させる浮上プレート６を有する基板載置部２と、基板Ｇをミクロ検査するミクロ検査部３と、基板載置部２上に浮上した基板Ｇを搬送する基板搬送部４と、基板載置部２に対して出没可能に設けられ、基板載置部２上に浮上した基板Ｇを基板載置部２の上面に対して傾斜して起こした状態で保持するマクロ検査用ホルダ５と、マクロ検査用ホルダ５で保持されたＧ基板の表面を照明するマクロ照明部１５と、を備え、マクロ検査用ホルダ５は、基板搬送部４による基板Ｇの搬送方向と平行な回動軸を中心に回動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位相欠陥と表面異物とを識別できるＥＵＶマスク検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＥＵＶマスク検査装置は、ＥＵＶ光を出射するＥＵＶ光源１００ａと、ＥＵＶ光を伝播する第１多層膜楕円面鏡１０３ａ、第２多層膜楕円面鏡１０３ｂ、落とし込みＥＵＶミラー１０５を含む光学系と、ＥＵＶ光の光軸と同軸に導入され、光学系で伝播される紫外光を出射するＡｒＦエキシマレーザ１００ｄとを備える。紫外光は、ＥＵＶ光の光軸上に挿入された振り込みミラー１１３により反射され、ＥＵＶ光と同軸に導入される。 （もっと読む）

【課題】画面の異物付着及び画素欠陥を識別できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】画質検査装置２は、ＬＣＤ３１に白色パターンを指示し、撮像画面の白色パターンから候補エリアを抽出する候補エリア抽出部２１を有する。画質検査装置は、ＬＣＤに黒色パターンを指示し、撮像画面の黒色パターンから輝点異常の画素を含む候補エリアがある場合に、候補エリア周囲の輝点異常検出時のＲＧＢ値差を取得する輝点異常検出部２２を有する。画質検査装置は、黒色パターンを表示させたまま、候補エリア内の画素の白表示を指示し、撮像画面から候補エリア周囲の今回のＲＧＢ値差を取得する暗点異常検出部２３を有する。画質検査装置は、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えた場合、異物付着による異常と識別し、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えなかった場合、暗点の画素欠陥による異常と識別する異常識別部２４を有する。 （もっと読む）

【課題】シート材の少なくとも一方の表面にパイル（毛羽）を有する場合であっても、精度の高いシート材の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】シート材の検査装置は、シート材を搬送する搬送部と、搬送部によって搬送されてきたシート材を照明する下部照明と、シート材を挟んで下部照明と対向する方向から、対向する方向を挟んで互いに隣接する２箇所からシート材を照明する一組の上部照明と、下部照明と上部照明とによって照明されているシート材を撮影するラインカメラと、ラインカメラによって撮影した撮影画像を画像処理する画像処理部と、画像処理部によって画像処理した結果に基づいてシート材の欠陥を検出する欠陥検出部と、欠陥検出部による欠陥の検出結果に基づいてシート材の良否を判定する良否判定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像デバイス用フォトマスクや表示デバイス用フォトマスクの様に周期性のあるパターンを持つ被検査体のムラ欠陥を検出するためのムラ検査装置および方法の照明照射条件の最適化を課題とする。
【解決手段】基板面に周期性パターンが形成された基板を検査対象とし、前記基板に照明光を異なる複数の照射角度で照射し、周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査方法であって、パターン形状から周期成分を抽出し、被検査体である周期性パターンの最適な検査条件を算出する。 （もっと読む）

【課題】透明基板に形成される透明導電体のパターン形状を容易かつ正確に検査することができる導電体パターン検査装置及び導電体パターン検査方法を提供する。また、重ね合わされる複数の透明導電体の相対的位置精度を高めることができる基板の位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】透明基板表面に形成される透明導電体のパターン形状を検査する導電体パターン検査装置であって、前記透明基板及び前記透明導電体から放射される赤外線の放射量分布を撮像してパターン形状画像として取得する画像取得手段を備える導電体パターン検査装置。 （もっと読む）