【課題】半導体ウェーハの高速検査を可能にする。
【解決手段】半導体ウェーハ２０の一部の並行検査を同時に実行するために、複数の独立した低コスト光学検査サブシステム３０がパッケージ化及び統合される。ここで、検査に関連するウェーハ位置は、ウェーハ全体が光学サブシステムからなるシステムによってラスタスキャンモードで画像化されるように制御される。単色の可干渉性（コヒーレントな）光源がウェーハ表面を照明する。暗視野光学システムが散乱光を集光し、フーリエフィルタリングを使用して、ウェーハに作り込まれた周期的な構造によって生成されたパターンをフィルタリングする。フィルタリングされた光は、汎用デジタル信号プロセッサによって処理される。ウェーハの欠陥を検出するために、画像を比較する方法が使用され、こうした欠陥は、統計的な工程制御、特に製造設備を支援するために、メインコンピュータ５０に報告される。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布された着色膜に生じる微小な濃度変動を光学フィルターによって強調することでＳ／Ｎ比を向上させ、きわめて小さな濃度変動の良否判定を行う基板検査装置および基板観察装置を提供すること。
【解決手段】撮像素子をもつカメラ２２と、基板を把持するステージと、ステージ後方から基板を照明する照明手段２４と、カメラのシャッターを制御する制御手段と、カメラの撮像レンズ又は／及び照明手段の前面に、基板の光透過率の低い波長域のみを透過する光学フィルター２１と、カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、画像を元に良否判定を行う判定手段とを有すること。 （もっと読む）

【課題】ラインカメラを用いずに、広範なワイヤーハーネスの外観検査用画像を精度良く得ること。
【解決手段】組立作業台に保持されたワイヤーハーネスを、第１方向に沿って撮像可能な撮像カメラ４０と、組立作業台と撮像カメラ４０とを第２方向に沿って相対移動させる移動機構部と、ワイヤーハーネスを第２方向に沿って順次異なる箇所で撮像するように撮像カメラ４０の撮像動作を制御する撮像制御部８１と、撮像画像を順次合成して合成画像を生成する画像処理部８２と、を備え、画像処理部８２は、合成画像において複数のウインドウを設定するウインドウ設定部８３と、新画像において各ウインドウ内の画像と対応する部分をそれぞれ抽出する抽出部８４と、複数のウインドウのうち自己の対応部分との類似度が最も高いウインドウとその対応部分とが略一致する位置で、新画像を合成画像に合成する画像合成部８８と、を有している。 （もっと読む）

【課題】欠陥を誤って検出することが少ない欠陥検出装置及び欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出部１０８は、エッジ強度を算出するエッジ強度算出部１１０，１１２，１１４と、エッジの方向を角度で表現した特徴量を算出する特徴量算出部１１６，１１８，１２０と、２個のエッジ強度が条件を満たすか否かを判定するエッジ強度判定部１２４，１２６と、２個の特徴量の差の絶対値が特徴量差閾値を超える場合に画素を欠陥画素と判定する特徴量差判定部１２８，１３０とを備える。欠陥検出部１０８は、２個のエッジ強度が条件を満たすエッジ部において特徴量を比較し、２個の特徴量の差の絶対値が大きい場合に画素を欠陥を撮像した欠陥画素と判定する。 （もっと読む）

【課題】シートロールの形状検査方法、及び検査装置を提供する。
【解決手段】シートロール４０の形状検査方法はシートロール４０の円筒側面上にカメラ１１、１１’を位置させる段階、シートロール４０の円筒側面に沿ってカメラ１１、１１’を回転させながら円筒側面を撮影する段階、及び撮影により得た映像パターンを分析して巻取形状の欠陥有無を判断する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】冷延鋼板や鍍金鋼板に比べて表面粗度が大きい酸洗鋼板表面上の、０．１ｍｍ以下の微小なスケール残りを過剰検出なく検査できる、酸洗鋼板のスケール残り検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】鋼板表面と平行に配置したリング拡散照明と、該リング拡散照明の中央部の開口を通して鋼板表面を撮影する、空間分解能が０．０３ｍｍ以上０．１ｍｍ以下であるカメラと、撮影された画像内で所定のしきい値を下回る画素の領域をスケール残りと判定する信号処理装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された複数個の吐出孔を同時に検査して孔中に残留する異物の有無を多数の吐出孔に対して一度に孔内異物が検出でき、且つ、紡糸口金を傷付けることなく安全に孔内異物を除去することができる機能が付いた紡糸口金検査装置を提供する。
【解決手段】スキャンカメラ１を用いて、紡糸口金Ｃａを走査することにより、高解像度の複数の画像データ群を取得し、これら画像データ群を合成して作成した合成画像データから紡糸口金に穿設された多数の吐出孔群Ｈのそれぞれに対して孔内異物の存在の有無を画像処理を用いて一度に検出し、孔内異物が検出された吐出孔に関しては、イオンを含んだ圧空を吹き付ける、孔内異物除去機能４付き紡糸口金検査装置とする。 （もっと読む）

主支持部材（２１８）であって、第１の端部と第２の端部とを有するベース部材（２２２）と、近位端部と遠位端部（２３４）とを有する第１の部材（２２８）であって、近位端部が、ベース部材（２２２）の第１の端部の第１の端部と接続され、第１の部材が、光源（２０６）を支持するように適合される、第１の部材（２２８）と、近位端部と遠位端部とを有する第２の部材であって、近位端部が、ベース部材の第２の端部と接続され、第２の部材の遠位端部が、カメラ（２０４）を支持するように適合される、第２の部材と、を含む、主支持部材（２１８）と、第１の端部（２９０）と第２の端部（２８６）とを有する位置合わせ（augment）部材（２４０）であって、第１の端部（２９０）が、第１の部材の遠位端部（２３４）と解放可能に接続可能であり、第２の端部（２８６）がベース部材（２２２９と解放可能に接続可能である、位置合わせ部材と、を含み、位置合わせ部材（２４０）が、第１の部材（２２８）と平行な少なくとも１つのスロットを含む、撮像装置を支持するための装置（２０２）。
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試料（３１０）の欠陥を検出する検出システムは、照射アセンブリ（３２０，３２２）と検出アセンブリ（３５０，３５４）を備える。照射アセンブリは、赤外線光源（３２０）と、光源からの光線を試料の上または内部のスポット（３４６）に向ける照射光学系（３２２）と、を有する。検出アセンブリは、試料の上または内部の被照射スポットからの光を検出する検出器（３５４）と、試料の上または内部の被照射スポットからの光を検出器（３５４）に向ける検出光学系（３５０）と、を有する。このようなシステムは、タービンブレードの遮熱コーティングまたは歯科用もしくはその他の医療用部品等の試料の欠陥を検出するために使用してもよい。特に、このシステムは、セラミック試料の欠陥を判定するために使用してもよい。試料中の欠陥を検出する方法も開示されている。
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【課題】複数の種類の欠陥について欠陥の有無を判定することができる透明体検査装置を提供する。
【解決手段】第１光源４は、透明体に対して側方から光を照射する。第２光源５は、撮影手段との間に透明体を挟むようにして撮影手段とは反対側から透明体１７に光を照射する。欠陥判定手段１２は、第１光源４が光を照射した状態で撮影された画像中の画素の輝度が不均一であるか否かを判定するとともに、第２光源５が光を照射した状態で撮影された画像中の画素の輝度が不均一であるか否かを判定して、複数種類の欠陥について欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

本発明は、機械部品（１４）の非破壊検査のための自動化された方法に関し、画像センサ（２４）と、照明光源（２６）と、画像センサ（２４）、光源（２６）、および機械部品（１４）の相対的移動のための手段（１８、２２）とを含む、デジタル画像を取得するための機器（１０）を使用してデータベース内に記憶される基準画像と部品の表面の画像を比較するステップを含む。
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【課題】 任意のパターンを有するレチクル上のパーティクル及び異常の検出を可能にすること。
【解決手段】 レチクル検査のための方法及びシステムを開示する。この方法は、検査レチクル及び基準レチクルの表面をコヒーレントに照明すること、照明された表面からの散乱光にフーリエ変換を適用すること、基準レチクルからの変換された光の位相を、検査レチクルからの変換された光と基準レチクルからの変換された光との間の位相差が１８０度であるようにシフトすること、変換された光を像減算として合成すること、合成された光に逆フーリエ変換を適用すること、及び、ディテクタにおいて合成された光を検出することを含む。照明源からディテクタへの２つの光路間の光路長差は、照明源のコヒーレント長未満である。ディテクタにより検出される像は、レチクルの振幅及び位相分布における差を表し、これにより、外部パーティクル、異常などを容易に識別することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の内周面の表面状態を検査可能であるとともに、その外周面の表面状態も検査可能である表面検査装置を提供する。
【解決手段】同軸に配置された被検査物１００の内部に対して出没可能に設けられ、外周に設けられた透光窓１６ａから検査光が射出される検査ヘッド１６を有し、検査ヘッド１６がその軸線ＡＸの方向に移動して被検査物１００の内周面１００ａに向けて検査光を照射し、その反射光の光量に基づいて被検査物１００の表面を検査する表面検査装置１であって、被検査物１００から透光窓１６ａが突出する位置にて検査ヘッド１６から射出される検査光の光路を被検査物１００の外周面１００ｂよりも外側で検査ヘッド１６の軸線方向へと変更する第１外周面ミラー８と、第１外周面ミラー８にて変更された光路を被検査物１００の外周面１００ｂに向けて変更する第２外周面ミラー９と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】カメラ画像からワークの種類および姿勢を認識するときの処理時間を短縮する。
【解決手段】ワークＷｉは外面Ｆごとに方向性を有する識別可能なマークＣが付与され、ロボット１０は前記マークＣおよび前記ワークＷｉを撮像する撮像手段１２と前記マークＣが撮像されたマークマスタ画像Ｍを格納する第１マスタ画像格納手段４２と、前記ワークＷｉが撮像された前記ワークＷｉの姿勢ごとのワークマスタ画像Ｎを格納する第２マスタ画像格納手段４３とを有し、上記画像を取り込む画像入力工程Ｓ３と、前記マーク画像Ｐと前記マークマスタ画像Ｍとを比較する第１画像比較工程Ｓ４と、その結果から前記ワークＷｉの姿勢を判定する姿勢判定工程Ｓ５と、判定結果の姿勢に対応する前記ワークマスタ画像Ｎと前記ワーク画像Ｒとを比較する第２画像比較工程Ｓ６と、その結果から前記ワークＷｉの種類を判定する種類判定工程Ｓ７とを有するワーク識別方法。 （もっと読む）

【課題】被塗布面が目視不可能な箇所に配置されている被塗布材の被塗布面に塗布される塗布材の分布を非破壊検査によって測定することが可能な塗布分布測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】目視不可能な箇所に配置される車体２のフード３の内面４に塗布される加温ワックス７の塗布分布を測定する分布測定工程であって、加温ワックス７が内面４に塗布された直後に、目視可能なフード３の表面８を赤外線カメラ１１で撮像し、赤外線カメラ１１により得られた熱画像データ２０を、解析アルゴリズム２２を用いて処理することにより加温ワックス７の塗布分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】タイヤ用プライ等の連続シートの幅方向においてジョイントの連続的な検査が可能であり、信頼性が高い検査を行うことができ、さらに大きなスペースを必要としないジョイント検査装置を提供する。
【解決手段】トップ反材料の端部同士が重ね合わされて接続されることによりジョイントが形成された前記トップ反材料の連続シートの搬送途中において前記ジョイントを検査するジョイント検査装置であって、前記連続シートを停止させた状態で、前記ジョイントに沿って前記連続シートの幅方向に移動させて前記ジョイントにおける連続シートの厚み方向の変位を測定する２次元形状計測センサが設けられており、前記の測定結果に基づいて前記ジョイントの検査を行うジョイント検査装置。 （もっと読む）

【課題】
非円筒体の外周面をカメラで撮影するに際して、非円筒体の外周面の周速度、カメラの合焦位置、外周面に対向するカメラの指向方向を調節して、最適な撮影条件を設定する。
【解決手段】
非円筒体１を回転させると共に、非円筒体１の外周面３を指向するカメラ４により外周面３の撮影範囲Ｓを撮影し、カメラ４の撮影画像を画像処理部５により外周面３を検査する過程で、予め測定した制御用のデータに基づき、非円筒体１の回転速度Ｎを調節して、撮影範囲Ｓにおける外周面３の周速度Ｖを一定とすると共に、カメラ４を合焦方向に移動させて撮影範囲Ｓの外周面３とカメラ４との間を合焦距離Ｆに保ちながら、撮影範囲Ｓ内の外周面３の法線６上にカメラ４を移動させて、撮影範囲Ｓにカメラ４を指向させる。 （もっと読む）

【課題】装置全体をコンパクト化して、取り扱いを容易化するとともに、構成の簡素化と動作の安定化並びにローコスト化が図れる押し込み型管内検査カメラ装置を提供する。
【解決手段】有底筒状の本体フレーム１１に、内周部を巻枠とするハードケーブル１２の巻枠部１１ａを設け、本体フレーム１１の内底面１１ｃの巻枠部１１ａで囲われた中央部分に設けた空きスペース１１ｓに、表示モニタ１５を固定して設けた。 （もっと読む）

【課題】装置全体をコンパクト化して、取り扱いを容易化するとともに、構成の簡素化と動作の安定化並びにローコスト化が図れる押し込み型管内検査カメラ装置を提供する。
【解決手段】環状の巻枠部１１ａおよび円形の開口部１１ｂを有する有底筒状の本体フレーム１１と、映像信号の伝送線路および電源供給線路を内包し、巻枠部１１ａの内周部に巻装されて、開口部１１ｂから出し入れされる、弾発性を有するハードケーブル１２と、巻枠部１１ａの内周部に巻装されたハードケーブル１２を本体フレーム１１の開口部１１ｂから巻枠部外部に導出するケーブルフックを構成するケーブルガイド１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置において、装置の大型化及び基板の破損を防ぐと共に、透過照明による検査を有効に行う。
【解決手段】基板（Ｇ）にエアを吐出する浮上ステージ２と、１軸方向（Ｘ軸方向）に移動する門型のガントリ３と、このガントリ３に沿って、このガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に移動する検査部（４）と、を備える基板検査装置１において、浮上ステージ２内に配置された複数の透過照明部５と、基板（Ｇ）の被検査部分が複数の透過照明部５のいずれかの上方に位置するように基板（Ｇ）を搬送する基板搬送部６と、を備える構成とする。 （もっと読む）