【課題】 検査装置の繰り返し操作を効率よく実行する。
【解決手段】外観検査システム１は、検査装置１０と、情報処理装置２０とは、ＲＳ−２３２Ｃ（１３，２３）で相互に接続されている。操作履歴作成プログラムαは、操作入力部２５により入力された移動及び画像取得命令の履歴をＨＤＤ２４（又はメモリ１２）に記憶させる移動履歴作成手段を有する。最適動作制御プログラムβは、移動履歴作成手段により記憶された履歴の内、カメラ１４ｂの回転移動、直進移動から夫々最適な回転移動及び直進移動を算出した最適履歴を記憶させる最適履歴作成手段を有する。また最適動作制御プログラムβは、最適履歴作成手段により記憶された最適履歴に基づいて移動制御部１４ａに命令して画像検出部の移動とこの画像検出部が検出した画像をＨＤＤ２４（又はメモリ１２）に格納する履歴実行手段とを有する。 （もっと読む）

画像をワークピースに投影するシステム及び方法が提供される。このシステムはワークピース内の欠陥を示す情報を提供することができ、その情報は少なくとも１つのセンサにより捕捉されるデータに基づいている。システムはデータシステムと通信する画像投影装置も含んでおり、欠陥を示す画像をワークピースと、画像投影装置の位置および／または配向を決定するための複数のエンコーダへ投影することができる。 （もっと読む）

【課題】パレットのうねりや厚さばらつきと同程度の寸法を有するパレット表面の異物をより確実に検出する。
【解決手段】検査装置は、パレット１０の表面の異物１２を検査するように構成される。検査装置は、パレット１０を搬送するコンベアと、コンベアによって搬送されているパレット１０の表面の高さにならって昇降する第１従動部３０及び第２従動部４０と、第１従動部３０に取り付けられた第１部分５２及び第２従動部４０に取り付けられた第２部分５４を含むフォトセンサとを備える。第１部分５２と第２部分５４との間に異物１２を検出するための検出光路５６が形成される。 （もっと読む）

本発明によって得られるのは、基板（１９０）の表面を検査するための測定装置であり、この測定装置は、表面を検出するセンサ（１１１）と、センサ（１１１）に並んで配置される空気圧式エレメント（１２）とを備えた測定ヘッド（１１０）を有しており、上記の空気圧式エレメントにはインレット開口部（１１５）と、下側を向いた少なくとも１つのアウトレット開口部（１１４）とが含まれている。本発明の測定装置にはさらに、基板（１９０）の上のｘｙ平面内で測定ヘッド（１１０，２１０）を精確に位置決めする表面位置決めシステムと、インレット開口部（２１５）に空気圧的に結合されている圧縮空気発生装置（２５０）とが含まれているため、空気圧式エレメント（１１２，２１２）に圧縮空気を加えた際には基板（１９０）を基準にしてあらかじめ定めた高さだけ測定ヘッド（１１０，２１０）を位置決めすることができ、またこの測定ヘッドが空気クッションに載って滑走する。さらに本発明により、上記の複数の測定装置を有する測定システムが得られ、ここでは上記の測定装置は、各センサが測定ラインを構成するように互い配置される。
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【課題】 管路内にプローブを挿入する際に、センサ部の振動を抑制し、それによってノイズの低減と信号の再現性向上を図る。
【解決手段】 先導ケーブル部１０とセンサ部１２と搬送ケーブル部１６がその順序で連続し、前記先導ケーブル部及び搬送ケーブル部には多数のフロート２０が間隔をおいて取り付けられており、供給するガスの圧力によって管路内を搬送されるプローブであって、前記センサ部と搬送ケーブル部との間に、搬送中におけるセンサ部の管軸方向の振動を抑制するバネ機構部１４を介装した構造の管路検査用プローブである。バネ機構部には、バネ定数の異なる複数の圧縮コイルバネを管軸方向に直列に配置した組み合わせバネを用いるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 プリント基板の欠陥検査において、発見された欠陥数のみでなく、基板の伸縮率をも考慮してプリント基板が「不良品」かどうかを判別することが可能なプリント基板の検査方法を提供すること。
【解決手段】 検査対象プリント基板の伸縮率を測定し、測定の結果得られた伸縮率データを検査対象プリント基板に関連づけて記憶部に記憶し、同一ロットにおける検査対象プリント基板の伸縮率の偏差値に基づいて、この検査対象プリント基板を良品、ベリファイ対象、不良品のいずれかに自動的に区分する。 （もっと読む）

自動機械用の工程中視覚検査のためのシステムおよび方法を開示する。一実施例では、ヘッドアセンブリ（１１０）は、被加工物（１４２）上を移動可能であり、かつ、被加工物上で製造作業を行なうように適合されるツールと、ツールに近接して動作可能に位置決めされ、かつ、被加工物に対してツールとともに移動可能な検査ユニット（１６０）とを含む。検査ユニットは、被加工物上で製造作業が行なわれるのと同時に、被加工物のある部分の視覚検査を行なうように適合される。特定の実施例では、検査ユニットは、ツールが製造作業を行なった被加工物の部分を含むエリアをモニタリングするように適合されるカメラ（１６２）と、カメラに動作可能に結合され、かつ、カメラから画像を受取り、画像を分析して、被加工物の部分内の欠陥の存在を判断するように適合されるプロセッサとを含む。
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【課題】 装置の小型化が可能であって、検出精度が高い異物検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】微小異物検出装置Ｓはレーザ光を出射可能な投光ユニット３０、受光面４１Ａに撮像素子を行列状に配した受光部４１を有する受光カメラ４０、並びにコントローラ５０から構成される。コントローラ５０はＣＰＵ５１、制御回路５３、フレームメモリ５５、ＲＡＭ５６、ＲＯＭ５７等より構成される。ＣＰＵ５０は、受光カメラ４０の画像データを受け取ると、これをＦＦＴしてパワースペクトル分布を得る。この処理を繰り返し行なって、パワースペクトル分布の時間的な推移を得る。ガラス基板上に異物がある場合には、画像データ中に回折縞が現れるから、パワースペクトル分布に変化が現れる。そのため、パワースペクトル分布の時間的な推移に基づいて異物を検出出来る。 （もっと読む）

【課題】少ない設置回数で短時間の内に広範囲へ移動可能で、大きな作業反力を支持できる作業装置を提供する。
【解決手段】作業装置は、構造物に対して作業を行なう作業機器３０と、閉じた状態で作業機器３０を作業位置まで移動する展開機構２３、３２と、作業機器および展開機構を作業位置へ搬送するための搬送機構（たとえば、水平スラスタ２６）と、構造物の下面へ作業機器３０を押し付ける押し付け機構（たとえば、バラストタンク２１）と、構造物の下側面に沿って走行して位置決めする車輪２４を含む走行機構と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象位置の軸方向および周方向に発生する亀裂およびその深さを容易かつ正確に検出できるレーザ照射装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るレーザ照射装置は、検査対象を検査計測する受信レーザ光Ｌ２を検査対象に照射させる第１光学素子１３と、超音波を励起させる送信レーザ光Ｌ１を検査対象に照射させる第２光学素子１４と、前記第１光学素子１３と前記第２光学素子１４を収容する光学系容器１２とを備え、前記第１光学素子１３の反射位置と前記第２光学素子１４の反射位置とを検査対象の周方向に沿って角度をつけて配置する。 （もっと読む）

【課題】垂直に配置されているボアか否かに係わらず、そのボアの内部に挿入し検査する検査プローブを提供する。
【解決手段】ボアを検査するためのプローブ（１００）は、ボア内に挿入されるように寸法決めされたハウジング（１０１）と、ハウジング（１０１）に取り付けられた第１の端部（１０６）およびハウジング（１０１）から広げることができる第２の端部（１０８）を有する、複数の安定用脚部（１１２）とを備える。安定用脚部（１１２）は、ボアの内面に接触するように構成される。複数のセンサアーム（１１６）は、ハウジング（１０１）から広げることができ、安定用脚部（１１２）に対して相対的に回転することができる。モータ（１１１）により、センサアーム（１１６）が安定用脚部（１１２）に対して相対的に回転することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 単独で発生する異常と複数チップで同時に発生するパターン欠陥の両方を検出することを目的とする。
【解決手段】 像面傾斜によるレジストパターン異常のように、ウェハの同一行または列に同様のパターン異常が生じているような場合であっても、検査対象となるチップに対するウェハの同一行または列での画像比較検査に加えて、この方向に対して垂直方向に隣接するチップとも画像比較検査を行なうことにより、単独で発生する異常と複数チップで同時に発生するパターン欠陥の両方を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】動圧軸受けモータにより１００００ｒｐｍ以上の回転ができるため、高速で検査することができるとともに、動圧軸受けは振動も少なく像の歪みによる分解能の差がなく、低騒音で高精度の内壁面の検査装置を提供する。
【解決手段】ケース体と、このケース体の一面のほぼ中央部より突出するように端部が固定されたスリーブ、このスリーブ内に気体空間を介して配置された光を軸心方向に通すことができるシャフト、このシャフトに固定された回転部材とを備える動圧軸受けモータとシャフトの両端部に位置するように取付けられたビームスプリッターとケース体内に設置された一方のビームスプリッターを介してシャフトに光を通し他方のビームスプリッターより測定する内壁面へ光を照射する発光素子と測定する内壁面からの反射光を他方のビームスプリッター、シャフト、一方のビームスプリッターを介して受光する高速の受光素子とで内壁面の検査装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ＩＣチップ等の電子部品が実装された表面実装基板等の実装や半田付けなどの被検査対象の画像をモニター画面に拡大表示して検査するに際し、使い勝手の良好な画像を、ソフトウェアなどで画像処理を施すことなく簡便にモニター画面に表示できるようにする。
【解決手段】検査カメラ８を、モータ７で主軸２を回転することにより図１中の矢印で示す反時計方向に回転（公転）させると、これに伴って当該検査カメラ８は、従軸７の回転に伴って、検査カメラ８が公転する角度に相等して、且つ、図１中の矢印で示す時計方向に回転（自転）する。これにより、ＩＣチップＷの被検査対象をいずれの方向から撮影しても当該被検査対象の正対位置が変わることなく撮影され、撮影された当該被検査対象の斜投影画像をモニター画面に表示して検査することができる。 （もっと読む）

一実施形態において、ウエハー（１２２）端部を検査するシステムは、ウエハー表面（１２２）上に放射光を指向させる放射光標的アセンブリと、ウエハー表面（１２２）からの反射光を収集する反射光収集アセンブリと、ウエハー（１２０）の端部表面（１２６）の周囲で表面分析計アセンブリを回転させる手段と、ウエハー（１２０）の端部で単一または複数の欠陥を検出する手段を備えたことを特徴とする表面分析計アセンブリを備える。
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【課題】
現場での組み立て調整が容易で輸送もでき、その結果として生産場所をも制限されなくなるパネル部材検査装置を提供する。
【解決手段】
矩形板状をなすベース２と、そのベース２上を長手方向に移動可能に設けたパネル載置台３と、前記ベース２上に長手方向と直交して跨るように設けた門型をなすヘッド支持体４と、前記ヘッド支持体４によって長手方向と直交する方向に移動可能に支持させた検査機器支持用ヘッド５とを備えたパネル部材検査装置１において、ベース２とヘッド支持体４との間で２分割可能に構成し、各分割体の大きさを所定以下にできるようにするとともに、ベース２とヘッド支持体４との間に、それらを結合させるときの相対的な位置決めを行う位置決め機構７を設けた。 （もっと読む）

【課題】検査視野順序における無駄を発見できるようにして、検査視野順序の適正化を図る。
【解決手段】設定された検査視野順序に基づき、検査視野の位置関係及び移動関係を、視覚的に把握可能な態様で表示する。具体的には、プリント基板の基板画像ＰＧを表示し、表示された基板画像ＰＧ上に、検査視野ＳＹ１〜ＳＹ１２の範囲を示す枠線を表示すると共に、移動元の検査視野から移動先の検査視野への矢印を表示する。その後、作業者が新たな順序関係を生成しようとする２つの検査視野を表示装置の表示画面上で選択操作することによって、検査視野順序の途中の順序関係を変更できるようにし、さらに、当該変更された順序関係以降の順序関係については自動的に再設定されるようにした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、撮像した画像に振動によるノイズが発生することがなく、自動的に且つ短時間で且つ正確に透明体に付着した異物等の欠陥を検査することが出来る欠陥検査装置及びその欠陥検査装置を用いた欠陥検査方法を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 撮像手段８と照明手段９ａ、９ｂを搭載したキャリッジ７の移動加速度を加速度センサ11ａ，11ｂにより検知し、走査制御手段となる動作コントローラ20によりキャリッジ７の停止動作が実行され且つ該加速度センサ11ａ，11ｂにより検知された加速度が所定時間、予め設定された値以下になった時点で撮像手段８による撮像を開始するように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 静止画撮像を行う際、被写体の撮像箇所まで撮像デバイスを高速に移動できるようにする。
【解決手段】 静止画を分割撮像する撮像デバイス２５を有するＸＹテーブル２６と、ＸＹテーブル２６を貫通して、Ｘ軸方向にＸＹテーブル２６を移動可能とするＸ軸シャフト３５と、ＸＹテーブル２６をＸ軸方向に直交するＹ軸方向に、Ｘ軸シャフト３５とずらせて、貫通して、Ｙ軸方向にＸＹテーブル２６を移動可能とするＹ軸シャフト４５と、ＸＹテーブル２６と第１及びＹ軸シャフト４５とを接続し、ＸＹテーブル２６を滑らかに移動可能とする摩擦減少部材と、撮像デバイス２５により分割撮像された静止画に所定の画像処理を施す画像処理部とを備えることで、Ｘ，Ｙ方向に撮像デバイス２５を高速に移動可能とし、広画角な静止画像を得るようにした。 （もっと読む）

【課題】 選別精度の向上を図ることが可能となる粒状体選別装置を提供する。
【解決手段】 粒状体群を上下方向に沿う移送経路に沿って下降状態で移送して、上部に開口が形成された筒状の案内通路に向けて案内して、移送される粒状体群のうちで分離すべき分離対象物を検出して案内通路よりも移送方向上手側の分離箇所において、水平又はほぼ水平方向に向けてエアーを噴出して分離対象物を吹き飛ばす分離手段６と、その分離手段６にて吹き飛ばされる分離対象物を受け止めて下方側に位置する回収口３１Ａに案内する筒状の受止め案内手段３１とが設けられ、その受止め案内手段３１の内部に、傾斜案内面部分の反射により案内通路の上部開口に移行することを抑制する跳ね返り防止体３５が設けられる。 （もっと読む）