【課題】大型のガラス基板の目視検査を容易にする検査装置の提供
【解決手段】この検査装置１００は、検査ステージ１０２と、検査ステージ１０２に対してガラス基板１０を相対的に動かす駆動機構１４１を備えている。さらに、この検査装置１００は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように映す観察部１０８を備えている。この検査装置１００によれば、ガラス基盤１０の目視検査が容易になる。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置において、基板検査のタクトタイムを短縮すると共に基板検査装置の小型化を図る。
【解決手段】基板（１０）の２次元画像を撮像するラインセンサ８を有する可動式の第１のガントリー２と、基板（１０）の拡大観察を行うための拡大観察部（９）を有し第１のガントリー２に追従して移動する可動式の第２のガントリー３と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】複雑環境下における任意位置の布検出を行う方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる布検出装置は、画像を取り込むカメラと、サンプル画像からしわ特徴を学習し、その学習結果とカメラによって取り込まれた測定対象物の入力画像から布領域の検出を行う演算装置と、しわ特徴の学習結果を記憶する記憶装置と、検出された布領域を表示させるディスプレイとを備えたものである。このような構成により、複雑環境下における任意位置の布検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】スルーホールの内壁面に形成された傷を正確に検出することができるプリント基板検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】プリント基板１２のスルーホール１２ａの一方の面側に配置した反射部２３と、前記プリント基板１２の他方の面側から前記スルーホール１２ａを照明する照明手段３１と、前記プリント基板１２の他方の面側から前記スルーホール１２ａを撮像する撮像装置３２と、該撮像装置３２で撮像した前記スルーホール１２ａの画像情報に基づいてスルーホール欠陥を検査する欠陥検査手段３３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透明ないしは半透明の基材に塗液を薄く塗工するような場合にも適用可能であり、なおかつ塗工量や塗工むらの監視も可能な、インライン塗工検査方法ならびに塗工検査装置を提供するものである
【解決手段】透光性を有する基材の片方の面に塗工された塗膜の検査方法であって、前記基材と塗液供給手段との間に形成された塗液溜まりであるビードを、塗液塗工面とは反対の面の側から監視することを特徴とする塗工検査方法。 （もっと読む）

【課題】従来、スポット溶接作業後の検査が、作業者による抜き取り検査で行われていたため、不具合品は発見できず検査に通ってしまうという課題や、ＣＡＤによる数値データ比較方法もあったが、作業が困難であった。
【解決手段】撮影機１によって予め正式打点指示図の通りにスポット溶接Ｓをしたサンプルとなる完全被検査物のスポット溶接打点ＳＰの全数の位置を撮影し、それらの画像を画像処理ユニット５に記録しておくとともに、撮影機１によって実際に製品となる被検査物Ｂのスポット溶接打点Ｓｎの全数の位置を撮影して、画像処理ユニット５にこれらの画像を記録し、これらの画像Ｓｎと予め記録してある完全被検査物のスポット溶接打点の全数の画像ＳＰとを比較し、その検査結果を自動的に判定する自動スポット溶接検査システムによる。 （もっと読む）

【課題】ボイラ内部の広範囲にわたる検査対象を安定した精度で検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】ボイラ火炉における内壁面に沿って並んで延びる複数の管５３の検査を行う検査装置１であって、管５３の表面に固定される固定部１０と、固定部１０から延び、管５３に向かって照明光を出射する照明部３および管５３を撮像する撮像部２を支持する支持部６Ｘ，６Ｙ，７，８，９と、管５３と照明部３および撮像部２とを相対移動させる移動部２１Ｘ，２１Ｙ，２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚと、管５３に対する照明部３および撮像部２の姿勢を検出する姿勢検出部４Ｘ，４Ｙと、管５３と照明部３および撮像部２との間の距離を検出する距離検出部５と、姿勢検出部４Ｘ，４Ｙおよび距離検出部５の出力に基づいて、移動部２１Ｘ，２１Ｙ，２２Ｘ，２２Ｙ，２２Ｚを制御する制御部と、が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 危険を伴う作業を行わなくとも、構造物の壁面状態の評価を行うための画像を適切に取得する。
【解決手段】 評価対象となる構造物に対する上昇、又は下降により、構造物の一部を撮像範囲とする評価用画像データを、撮像範囲を変えて取得する撮像装置と、撮像装置による評価用画像データの取得時に、撮像範囲に向けて照明光を照射する照明装置と、撮像装置及び照明装置の駆動制御を行うとともに、撮像装置により取得された評価用画像データを取り込む第１の制御装置と、第１の制御装置との間の無線通信により、撮像装置及び照明装置の駆動制御内容を示す制御情報を第１の制御装置に送信するとともに、第１の制御装置からの評価用画像データを受信する第２の制御装置と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造の継手部にある直径数ミリの穴内部全面を非破壊で直接横から正確に等距離から自動的または手動で検査をすることができる。
【解決手段】プローブ１１を検査対象の穴５内部に挿入し、上方から光を当ててプローブ先端のプリズム２６を介して穴側面を照らし、穴側面から反射した光を対物レンズ１３で集めＣＣＤカメラ１５により記録し、プローブを回転させて穴内部全面について画像を記録し、画像処理装置１６により検査対象の穴内部の画像を連続した一枚の画像に記録し、画像処理により損傷、亀裂、腐食等の有無や大きさや深さなどの程度およびその正確な位置を検査する。 （もっと読む）

【課題】撮像する領域の任意の点において光の入射する条件が同じである照明手段、及び、ピットの良否判定を行うことができるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】多数のＬＥＤ２をＬＥＤ支持部材３上に並べ、ＬＥＤ２から照明光が平行な状態で出射し、撮像領域Ｒに所定の入射角度θで入射するように各面光源ア〜クを構成する。ＬＥＤ２を並べる領域の大きさは、撮像領域Ｒの大きさよりも大きくする。８個の面光源ア〜クからは照明光が平行な状態で出射し、撮像領域Ｒの全体に所定の角度θで入射する。したがって、撮像領域ＲのＢＡＣ上の任意の点において、全方向から同じ角度の照明光が同じ照射強度で入射し、撮像領域のどの点においても、その条件が同じになる。このため、検査を行う全領域でピットの明るさ（輝度）の違いよって良否を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】水道本管等の調査において、本管に投入される管内調査機器に連結されたケーブルを繰り出す際に、挿入管内のケーブルに張力を加えた状態でケーブルを繰り出すことができて、挿入管内におけるケーブルの蛇行を防止することができる管内調査機器の挿入回収装置、管内調査システム、管内調査機器の挿入回収方法及び管内調査方法を提供する。
【解決手段】管内調査機器２０を収納する格納部材３４を使用して、枝管から本管１０に前記管内調査機器２０を挿入して本管１０内部を調査し、調査後に、本管１０から枝管に前記管内調査機器２０を回収する管内調査機器２０の挿入回収装置３０において、前記格納部材３４に、前記管内調査機器２０に連結するケーブル４２を繰り出すためのケーブル繰り出し装置３４ａを設けて構成する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を移動させながら欠陥の検査を行う要請にも簡易な装置構成で応じつつ、ガラス基板の辺に過度な応力集中を生じさせることなく、ガラス基板の撓みを矯正して欠陥の検出精度を向上させる。
【解決手段】縦姿勢のガラス基板Ｇを欠陥検知手段３に対してガラス基板Ｇの幅方向に相対移動させることにより、ガラス基板Ｇに対して欠陥検知手段３を走査してガラス基板Ｇに含まれる欠陥の有無を検査するガラス基板検査装置１であって、ガラス基板Ｇの上辺を把持する上部把持手段４と、ガラス基板Ｇの下辺を把持する下部把持手段５とを備え、上部把持手段４と下部把持手段５による把持のみでガラス基板Ｇを保持するとともに、上部把持手段４と下部把持手段５とを離反させて、ガラス基板Ｇに対して上下方向に張力を付与した状態で、ガラス基板Ｇを欠陥検知手段３に向けて幅方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのチップ無効領域における自動外観検査を確実にし、プローブ検査時にチップ無効領域に付着した異物によりプローブ装置における探針が破損するのを防止することのできる外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ（Ｋ）の外周付近に形成されたチップ無効領域（ＨＲ）の外観検査を自動的に行う自動外観検査装置（１）であって、チップ無効領域（ＨＲ）を撮像するための撮像光学系（５）と、撮像光学系（５）の光軸（Ｊ１）に対して所定角度（φ１，φ２）傾いた方向からチップ無効領域（ＨＲ）に向けて暗視野照明を行う暗視野照明手段（８）と、暗視野照明手段（８）により暗視野照明された状態で撮像光学系（５）によりチップ無効領域（ＨＲ）を撮像したときに得られる散乱光（Ｌ１’，Ｌ２’）の画像に基づいてチップ無効領域（ＨＲ）における異物（ＩＢ）の有無を判定する判定手段（９Ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ライン状の検査領域上にて薄板状の基板を平らに保持し、高精度な検査を行う。
【解決手段】基板Ａのライン状の検査領域Ｂを検査する検査ヘッド２と、検査領域Ｂを挟んで隣接する２箇所の直線状の領域において、基板Ａの表裏両面に対向する加圧流体Ｃを同時に吹き付ける基板支持部３とを備える基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ミクロ検査装置及びミクロ検査方法において、浮上プレート上の被検査体のミクロ検査を有効に行う。
【解決手段】被検査体を浮上させる浮上プレート２と、この浮上プレート２を移動させるアクチュエータ（２ｂ，１０ｂ）と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート孔壁面の状態の展開画像を取得してコンクリート構造物の劣化および施工不良状態等を簡単かつ精度よく検査する。
【解決手段】 調査孔内４に挿入される円筒状本体１０の筒先端に、筒長手方向に沿ってリニアイメージセンサ１６を内蔵し、リニアイメージセンサ１６の画像取得面１５を有する撮像部１１を形成する。画像取得面１５の安定のため、調査孔４内での装置の安定保持のため、先端側を先端支持ピン７１で保持するとともに、他端の孔口側にて円筒形状の外周に位置するスペーサリング７２で保持することにより、円筒状本体１０を安定して支持させた状態で、調査孔４内で周方向に所定角度回転させ、該回転に伴って導光体を介して照らされた孔壁面５を撮像しリニアイメージセンサ１６によって取得した画像信号を、インタフェース部２０を介してパーソナルコンピュータ２等の処理手段に出力し、対象孔壁面の展開画像を得る。 （もっと読む）

【課題】電子部品の微細な部分に対し、迅速かつ正確な検査を行うことのできる、優れた検査方法と、それに用いられる装置を提供する。
【解決手段】電子部品をステージ上に載置し、微分干渉顕微鏡４４とＣＣＤカメラ４５を組み合わせてなる撮像手段４０を、Ｘ方向移動手段４６によって移動させて位置決めし、初回に検査する電子部品に対しては、上記微分干渉顕微鏡４４の対物レンズを、Ｚ方向調整手段４７によって進退させて複数の画像を連続的に撮像し、その画像データから最適焦点距離を算出してピント合わせを行った後撮像し、次回以降の電子部品に対しては、前回以前に記憶された最適焦点距離から導出される予測最適焦点距離にしたがい自動的にピント合わせを行った後撮像し、得られた画像データから、その撮像部位の良否を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、基板検査装置のフットプリントを小さくしながら基板検査の自由度を高める。
【解決手段】
基板（Ｗ）のマクロ検査及びミクロ検査を行うための基板検査装置１において、基板（Ｗ）を保持して移動させ、マクロ検査及びミクロ検査の検査中にも基板（Ｗ）を保持するロボットアーム２ａと、光軸（Ｚ軸）に直交する面内において少なくとも１軸方向（Ｘ軸及びＹ軸方向）に移動可能な顕微鏡５とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置は、ウェハを保持する保持部と、保持部に保持されたウェハの周部または周部近傍を表面検査する撮像部３０および画像処理部４０と、保持部に保持されたウェハを撮像部３０に対して相対回転させる駆動機構とを備え、保持部に保持されたウェハを駆動機構により相対回転させて、ウェハの周部または周部近傍における所定の検査範囲を表面検査するように構成された表面検査装置において、外部から入力されたウェハにおける所定の検査関連位置を記憶する記憶部５２と、記憶部５２に記憶された検査関連位置に基づいて所定の検査範囲を決定する制御部５０とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その大きさと導電性との２つの観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した金属元素含有異物の有無を検査する方法であって、前記基板に付着した異物の大きさと位置とを検出する第１検査ステップと、第１検査ステップで検出された位置に位置合わせして、その異物が金属元素を含有するか否かについて検査する第２検査ステップとを備えることを特徴とする検査方法。 （もっと読む）