【課題】表示装置の形状に拘束されることなく、表示装置と撮像装置との相対位置を簡易に算出することができ、この結果、表示装置の表示方向と撮像装置の撮像方向とが一致するように両者の相対位置を調整する作業も簡易に実行することを課題とする。
【解決手段】撮像装置によって同一の撮像方向から焦点が異なる複数の態様で表示装置の表示面を撮像して得られた複数の画像から、表示面に設定された複数の領域に対して焦点が適合している画像を複数の領域ごとに検索し、検索された複数の画像を用いて、実空間における複数の領域それぞれの位置を算出し、当該位置から表示装置における表示方向と撮像装置における撮像方向との相対位置を算出し、算出された表示方向と撮像方向との相対位置を用いて、前記表示方向と撮像方向が一致するように表示装置と撮像装置との相対位置を調整する。 （もっと読む）

本発明は多様な被検査体を検査するためのビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法を開示する。本発明のシステムは、定盤、第１移送装置、カメラ、第２移送装置及びコンピュータで構成される。第１移送装置は、定盤の上面に設置され、被検査体が置かれるテーブルを持ち、定盤の第１位置と第２位置の間でテーブルを直線運動させる。カメラは、定盤の上方に被検査体の画像を撮影して画像データを獲得するように配置されている。第２移送装置は、定盤の上面に、第１位置と第２位置の間でカメラを直線運動させるように設置されている。コンピュータは、第１移送装置の作動を制御して、第１位置から第２位置にテーブルを移送させるとともに、第２移送装置の作動を制御して、第２位置から第１位置にカメラを移送させる。

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【課題】高密度実装基板上の実装部品の実装状態の良否の検査を、より正確かつ容易に行うことを可能にする。
【解決手段】撮像データを取得する撮像データ取得部１２と、取得した撮像データから、対象とする複数個の実装部品に関する画像データをそれぞれ抽出する解析領域抽出部１４と、抽出した各画像データから、上記複数個の実装部品のそれぞれについての、上記異なる色の光ごとの画素値ヒストグラムを作成するヒストグラム作成部１５と、作成した各分布データの、上記複数個の実装部品のそれぞれの間での差異に応じて、上記複数個の実装部品を、同じ検査パラメータを利用する実装部品ごとに区分するヒストグラム解析部１６およびバリエーション分割処理部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】グレートーンマスクの性能評価及び欠陥検査を良好に行うことができるグレート
ーンマスクの検査方法を提供し、また、このグレートーンマスクの検査方法を用いた液晶
装置製造用グレートーンマスクの製造方法及びパターン転写方法を提供する。
【解決手段】光源１から発せられた所定波長の光束を照明光学系２を介してグレートーン
マスク３に照射し、グレートーンマスク３を経た光束を対物レンズ系４を介して撮像手段
５によって撮像して撮像画像データを求め、この撮像画像データから、グレートーンマス
クの半透光部を含む領域の透過光の強度分布データを取得する。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から良好な画像を取得することによって外観を検査することができるＦＰＤモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、液晶表示パネル２０の上面２０ａの上方にある、照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとが、駆動手段によって主走査方向に沿って移動するように構成されており、第１群ミラー部４は一定速度で一方向に移動するのに対して、第２群ミラー部５ａ・５ｂは上記一軸上を双方向に、且つ速度を可変させて移動する。 （もっと読む）

基板の表面の検査用の測定装置が記載されている。測定装置は、保持部材と、エアマウントされたエレメントとを有しており、エアマウントされたエレメントは、保持部材に取り付けられており、保持部材は、基板の検査すべき表面と共に、空気支持体を形成可能であり、保持部材は、エアマウントされたエレメントを、表面のコルゲーション（凸凹）に適合可能である。測定装置は、更に、少なくとも１つのセンサを有しており、このセンサは、エアマウントされたエレメントに取り付けられており、基板の表面の検出用に装置構成されている。エアマウントされたエレメントのフレキシビリティの結果、少なくとも１つのセンサを、検査すべき表面のコルゲーション（凸凹）に、常に一定の測定距離で表面に対して相対的に動くことができる。更に、表面検査用の測定方法が記載されており、その際、前述の測定装置が、表面に対して相対的に動かされる。
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【課題】 より簡易な構成で安全性の向上を図って精密かつ多様な建物調査を実施することを可能とする。
【解決手段】 テストハンマ３５とマイクロホン３６とカメラ３７とコンクリート躯体内の埋設物７を探索する電磁波探索器３８を有する調査部２４を備えた調査端末機３が、調査対象建物５に移動自在に設置されセルロック機構１５を有する吊り下げ移動機２に吊り下げられ、無線接続した端末コンピュータ４により制御されて自走昇降機構２３により壁面６を昇降移動しながら所定の調査を行い、端末コンピュータ４に対して調査データを無線出力する。 （もっと読む）

【課題】多大な開発費、開発期間を必要とせず、歩留まりを低下させることなく高速な検出器を提供し、欠陥検査装置の検査速度を向上させる。
【解決手段】検出器１２は複数のイメージセンサ１００を備え、画素方向に間隔を空けて複数個配列されたイメージンセンサ１００が２列配置され、各イメージンセンサ１００はスキャン方向では互い隣接しないように配置され、千鳥配置されている。画素数が多い大面積のイメージセンサの製作には多大な開発費等が必要であり、画素欠陥発生頻度が多くなる。本発明は、小面積のイメージンセンサ１００を複数配置している。一個のイメージンセンサ１００を取り付ける場合、取り付けに要する領域が必要であり、個々のイメージセンサ１００同士では、互いに一定距離を空けて配置しなければならず、空白領域ができてしまう。この空白領域を解消するため複数のイメージンセンサ１００が千鳥配置されている。 （もっと読む）

【課題】容積を小型化すると共に基板の全面を観察できる。
【解決手段】ステージ１１上に基板２を固定状態に保持する。ステージ１１で支持するアーム部１５によって基板に照明光を照射する照明部３を水平移動可能に支持する。照明部３で照射された基板を撮像する撮像部４をアーム部１９によって水平移動可能に支持する。欠陥の種類に応じた照明部３の照射角度及び撮像部４の撮像角度を制御手段に記憶しておき、検査すべき欠陥に応じて照射角度と撮像角度を予め設定する。基板２を移動することなく、照明部３の照射角度と撮像部４の撮像角度を一定に維持しながらアーム部によって水平移動させて基板の全領域を検査する。 （もっと読む）

【課題】シート状物に生じた波打ちの程度を精度良く検出する。
【解決手段】本発明に係る検査装置は、読取装置２０を備える。シート状物は、支持台２１の上に支持される。光源２２１からの光は、レンズ２２２により平行光としてシート状物に照射される。照射光は、シート状物のなす平面に対して角度θの方向から照射される。撮像部２３は、シート状物からの反射光に応じて画像信号を生成する。撮像部２３において、レンズ２３１はテレセントリックレンズであることが望ましい。検査装置は、読取装置２０においてこのようにして生成された画像信号に応じて、シート状物に生じている波打ちを表す情報を出力する。 （もっと読む）

【課題】検査者の目視による外観検査を効率的に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査制御装置７の制御部は、基板１上の、光照射部４により光が照射されている位置を検出し、ステージ２上の座標とマップ上の座標の所定の対応関係に基づいて、レーザ光のスポットの位置に対応したマップ上のセルを識別する。続いて、制御部は、セルの良否判定の結果の情報をセルの位置と関連付けて、検査結果の情報として記憶部に格納する。 （もっと読む）

【課題】スループットへの影響を抑えつつ異なる種類の照明による画像を取得でき、かつ容易に構成可能な試料撮像装置及び照明方法を提供する。
【解決手段】試料撮像装置１を、奇数フィールドを成す画素信号と偶数フィールドを成す画素信号とが交互に受光部から取り出される撮像素子１５と、受光部から画素信号が取り出されるフィールドの切り替えに同期して試料表面を照明する照明光を切り替える照明光切替部２５と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】高スループット化を図った欠陥検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、回路パターン付きウェハ等の被検査物をｒ−θ（回転）ステージを用いて連続的に回転させながら、被検査物上の多数の領域の各々にストロボ光（パルス光）を照射し、該ストロボ光（パルス光）が照射された各領域内の２次元画像を検出し、該検出された各領域内の２次元画像と参照２次元画像と比較して欠陥検出を行う欠陥検査装置及びその方法である。 （もっと読む）

本発明は、半導体ウェハ、光学薄膜、ディスプレイスクリーンなどの基体における欠陥の物理的特性を決定して、特定して位置を定める方法に関する。方法は、基体を撮像するためにＰＣスキャナの使用を伴う。特に、透過モード撮像において用いられるＰＣスキャナは、基体の体積に関する情報を決定することを可能にする。方法は、干渉法技術の使用により、層厚、曲率および光学定数などの特性の決定を可能にし、偏光撮像の使用により、複屈折率および歪みの決定を可能にする。方法はまた、例えば、光ルミネセンスおよびエレクトロルミネセンスなどの基体におけるルミネセンスに刺激を与え、ルミネセンスマッピングのために刺激を与えた基体を走査することに関する。
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【課題】検査ヘッドの回転の振れに対する精度を高め、検査ヘッドを着脱等する際の芯出し作業の負担を軽減し、又は解消できる検査ヘッドの支持構造を提供する。
【解決手段】検査ヘッド１６のベアリングハウス１６ｂとヘッド支持筒８との間に一対のアンギュラコンタクト軸受２０Ａ、２０Ｂを設け、軸受２０Ａ、２０Ｂの外輪２０ｏ間にはスペーサ２５及びばね受けリング２６を設ける。スペーサ２５及びばね受けリング２６をコイルばね２７によって外輪２０ｏ側に付勢する。スペーサ２５と軸受２０Ｂの外輪２０ｏとの間にＯリング２８を配置し、その外周をベアリングハウス１６ｂの内周に密着させる。ベアリングハウス１６ｂ内の段部１６ｆと検査ヘッド１６にねじ込まれるエンドキャップ２９とによって外輪２０ｏを拘束する。エンドキャップ２９を取り外してベアリングハウジング１６ｂと主軸部１６ｃとを軸受２０Ａ、２０Ｂ上から一体的に抜き取り可能とする。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置およびシステムにおいて、大型の被検査基板に対して検査位置を移動して検査する場合でも、検査効率や検査精度を良好なものとすることができるようにする。
【解決手段】基板検査装置１が、水平方向からの検査者２の目視検査が可能となるように基板１０１を起こした状態で保持する基板保持部１０８と、起こされた基板１０１と検査者２の目視観察の観察領域とを相対的に移動させる保持部移動機構１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被写体をブレなく良好に撮影でき、タンク内を広い範囲に渡って撮影できるタンク内水中検査カメラ固定装置を提供する。
【解決手段】タンク２上部に形成されたマンホール３に固定される基部４と、基部４に昇降自在に支持されタンク２内に吊下されるポール部５と、ポール部５の下端に設けられ水中検査カメラ６を取り付けるためのカメラ取付部７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】一台の装置で溝、テーパ、コーナー等の形状を持つ被検査物の内面および／または外面の表面欠陥を効率よく簡易な構造で、検査が可能な表面欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】反射ミラー１１はミラー軸１１ａに取り付けられ、ミラー軸１１ａと駆動軸１４には其々プーリー１３ａおよび１３ｂが装着されており、当該プーリー間をタイミングベルト１３ｃでつないでいる。また、駆動軸１４はミラー駆動モータ１５につながっており、駆動モータ１５を微少角度回転させることで、駆動軸１４の回転が前記プーリー１３ａ、１３ｂおよびベルト１３ｃを介して前記ミラー軸１１ａに伝達され、反射ミラー１１の角度が変化する。 （もっと読む）

【課題】 手軽且つ安価に構造物の目視による観察検査が可能な観察検査装置及び観察検査方法を提供する。
【解決手段】 防水ケース１１に収納したデジタルカメラ１と、デジタルカメラ１が捉えた映像を写し出すモニター装置２と、デジタルカメラ１とモニター装置２とを繋ぐＡＶケーブル３と、デジタルカメラ１を構造物の被検査部位に接近させるためにポール４１を継ぎ足して形成した治具４と、デジタルカメラ１のシヤッターを操作可能な遠隔操作装置５と、映像を録画する録画記録装置７とからなり、デジタルカメラ１を被検査部位に吊下げ、観察位置に設置したモニター装置２により被検査部位を観察し、シヤッターを操作して画像をデジタルカメラ１が備える記憶装置に記憶する。 （もっと読む）

【課題】カメラがメンテナンス時の障害とならず、また検査装置自体の小型化が可能な検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象たる容器ＢＴを、筺体６内部に搬入し、搬送しながら該容器ＢＴの画像を撮影し、該画像に基づいて容器ＢＴの欠陥を検査する検査装置１において、前記画像を撮影するカメラ３０を、前記筺体６の開閉式の扉１１に取り付ける。 （もっと読む）