【課題】 コークス炉の炭化室の炉壁の肌荒れによる損傷の程度を指標化できるようにする。
【解決手段】 炭化室１１の炉壁１４の画像データから、炭化室１１の奥行方向の各位置における炉壁１４の凹凸量を示す凹凸プロフィール９００であって、炭化室１１の高さ位置が異なる複数の凹凸プロフィール９００を生成する。そして、複数の凹凸プロフィール９００から基準位置の変位の部分を抽出してこれらの差分をとることにより、基準位置が揃った凹凸プロフィールを得る。そして、当該基準位置が揃った凹凸プロフィールを、炭化室の奥行方向において１００ｍｍピッチで分割し、分割した各区間において、当該凹凸プロフィールの値（凹凸量）の最小値を抽出し、その平均値を肌荒れ指数とする。 （もっと読む）

【課題】目視検査に必要な視点から撮影した映像を得、撮像装置が撮影した映像の手振れ感を除去し、及び高解像度画像を用いて映像を表示装置にリアルタイムに映し出すための、遠隔目視検査装置を提供する。
【解決手段】遠隔目視検査装置は、移動しながら検査対象の表面の映像を撮影する撮像部３０と、映像を構成する少なくとも２つの画像データの特徴量の差に基づいて、撮像部３０の位置及び姿勢の変化量である移動量を計算する移動量計算部１１と、移動量の履歴を格納する移動量メモリ１２と、移動量の履歴に基づいて、検査員にとって目視検査に好適な撮像部３０の位置及び姿勢の好適位置を推定する位置推定部１３と、好適位置に基づいて画像データに幾何変換を施すことにより、好適位置に対応する処理画像データを生成する画像変換部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の曲率に応じた検査ヘッドの動作が可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】円筒形状で、その内周面又は外周面の少なくともいずれか一方に軸線方向に沿って形成された軌道面１００ａを有する被検査物１００をその中心軸線の周りに回転自在に支持する支持ユニット６と、外周に設けられた開口部１１ａから検査光を射出する検査ヘッド４と、を有し、検査ヘッド４が被検査物１００の内周面又は外周面の軌道面１００ａに向けて検査光を照射し、その反射光の光量に基づいて被検査物１００の表面を検査する表面検査装置１であって、被検査物１００の表面に対し、軌道面１００ａの曲率中心Ｏを中心として検査ヘッド４を回転駆動させる駆動ユニット５を備えた。 （もっと読む）

【課題】 パネル部材に対する高度の位置決め精度を実現するとともに、パネル部材がフレキシブル性及び伸縮性を有する場合でも悪影響を回避する。
【解決手段】 基台２に配したガイドレール３にスライド自在に支持されたスライダ（第一スライダ）４と、この第一スライダ４と一体に変位する駆動モータ５と、当接子６と一体に変位するナット部７ｎ及び駆動モータ５の回転シャフト５ｓに結合したスクリュ部７ｓを有するボールねじ機構７と、駆動モータ５を変位方向に弾性支持する弾性支持部８と、当接子６の変位位置を検出する当接子位置検出部９と、当接子６に付加される荷重の大きさを検出する当接子荷重検出部１０とを有してなる位置決め装置Ｍｅを、少なくとも一以上備えるとともに、少なくとも当接子位置検出部９及び当接子荷重検出部１０の検出結果に対応して駆動モータ５を制御する制御部１１を備える。 （もっと読む）

【課題】検査完了までに要する時間の増加を抑制しつつ詳細な欠陥レビュー検査を可能にする。
【解決手段】基板検査装置１は、基板ＷをＸ方向へ搬送する基板搬送ユニット２２と、Ｘ方向へ搬送中の基板Ｗにおける欠陥を検出するラインスキャンカメラ１５、ラインスキャンカメラ駆動部１１５、欠陥検出部１２１および制御部１０１と、検出された欠陥の画像を同搬送中に取得するレビューカメラ１９、レビューカメラ駆動部１１９および制御部１０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置用の基板に付着した異物を、その導電性の観点から検査する方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶表示装置用の基板に付着した異物に金属元素が含まれているかどうかを検査する方法であって、検査対象の前記基板の所定枚数ごとに一度、異物のない箇所について予め測定する比較用蛍光Ｘ線スペクトルと、前記基板の異物が付着した１或は複数箇所の蛍光Ｘ線スペクトルを測定して、複数のＸ線スペクトルをデータ処理することにより、前記異物が金属元素を含有するか否かを高精度に判定する。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を低減しつつ、レシピに登録された座標と実際の座標とのずれを自動的に補正する。
【解決手段】基板Ｗにおけるモデルの検査・測定座標を記憶したレシピに基づいて搬送ステージ１３上に載置された基板Ｗにおけるモデルを検査・測定する基板検査・測定装置１０は、搬送ステージ１３上に載置された基板Ｗにおけるモデルの実座標を特定し、特定した実座標をレシピに登録する（ステップＳ１１４、Ｓ４１５）。 （もっと読む）

【課題】診断対象部位からレプリカを採取する必要がなく、現場で簡単かつ短時間に金属組織を観察することができる材料組織観察装置を提供すること。
【解決手段】本発明の材料組織観察装置は、画像データ上の結晶粒界を画定する境界線の内部に最初の位置である中心点を指定する中心線指定手段と、上記中心点を含む閉曲線を境界線の近傍に設定する閉曲線設定手段と、上記閉曲線近傍の画像データの濃淡情報に基づいて閉曲線を変形する閉曲線変形手段と、変形した閉曲線が画像データ上の結晶粒界を画定する境界線のすべてと重なった場合に当該閉曲線を結晶粒界とする結晶粒界決定手段と、結晶粒界決定手段により決定された結晶粒界から結晶粒の変形度を求める第一演算処理手段と、記憶手段に予め記憶された同一材料のクリープ損傷度と結晶粒の変形度との検定曲線に基づいて第一演算処理手段で求めた結晶粒の変形度からクリープ損傷度を求める第二演算処理手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属リング、又は、複数個の金属リングを積層して構成される金属ベルトの側方端面に、曲がりや間隙等の異状が存在するか否かを確認することを容易にする。
【解決手段】検査装置３０は、第１固定ローラ３２ａ、第２固定ローラ３２ｂ及び可動ローラ３２ｃを備える。これらローラ３２ａ〜３２ｃは、ローラ本体９８ａ〜９８ｃと、該ローラ本体９８ａ〜９８ｃの下方底部に設けられたフランジ部材９６ａ〜９６ｃとを有する。ローラ本体９８ａ〜９８ｃは、フランジ部材９６ａ〜９６ｃに向かうにつれてテーパー状に縮径する。可動ローラ３２ｃが移動することでローラ３２ａ〜３２ｃに掛け渡された金属ベルト１２が緊張した後、ローラ３２ａ〜３２ｃが回転動作されると、該金属ベルト１２の下方側の側方端面２２ａがフランジ部材９６ａ〜９６ｃの上端面に着座する。この着座により、金属ベルト１２を構成する金属リング１８の上方側の側方端面２２ｂの位置が揃う。 （もっと読む）

【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】鋼板表面に波長が１０．６μm以上の光を照射する光源４と、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の集束によって得られる明点に基づいて凹欠陥を、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の発散によって得られる暗点に基づいて凸欠陥を検出する検出系６，７とを有する。 （もっと読む）

【課題】原料に混入する微細粉塵等を予め除去することで、光学検出部付近に粉塵等が溜まることがなく、これにより選別性能を低下させることがない色彩選別機を提供する。
【解決手段】被選別物の投入部と、該投入部に投入された被選別物を移送する移送手段と、該移送手段の端部から落下する被選別物を検出位置において検出する光学検出手段と、該光学検出手段のさらに下方に設けられ当該光学検出手段による検出結果に基づいて被選別物を選別するエジェクター手段とを備えてなる色彩選別機において、前記投入部は、被選別物に混入する異物を分離し排出する風力選別手段を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ検査の精度を向上させること。
【解決手段】ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、前記第１搬送ユニットに隣接し、前記第１搬送ユニットにより搬送されたウェハを受け取り、当該ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する検査ユニットと、前記検査ユニットに連結されて、前記検査ユニットを前記第２搬送ユニットの上で移動させる駆動装置と、を備え、前記第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止したとき、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させつつ前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する。 （もっと読む）

【課題】筒形圧着端子及びカメラを３６０度回転させなくとも、筒形圧着端子と背景との対比による外観検査を可能にすることを目的とする。
【解決手段】筒形圧着端子１１０を支持する支持部２０と、筒形圧着端子１１０を撮像可能で、支持部２０に支持される筒形圧着端子１１０の中心軸周りに等分された角度で配設された複数かつ奇数台のカメラ４０と、支持部２０と複数かつ奇数台のカメラ４０とを、支持部２０に支持される筒形圧着端子１１０の中心軸周りに相対回転可能な回転機構部５０と、を備え、複数かつ奇数台のカメラ４０は、回転機構部５０により支持部２０と複数かつ奇数台のカメラ４０とが相対回転された複数位置で同時に撮像可能である。 （もっと読む）

【課題】正確に自動外観検査を行うことが可能な配線回路基板の検査方法、配線回路基板の製造方法および配線回路基板の検査装置を提供する。
【解決手段】基板吸着台２０Ａの上面上に複数の集合体シート１００が載置され、押圧板３１で複数の集合体シート１００が押圧されるように基板吸着台２０Ａ上の複数の集合体シート１００上に押圧板３１が載置される。この状態で、直流電源装置２３がオン状態となり、基板吸着台２０Ａの上面が帯電することにより複数の集合体シート１００が静電気力によりその上面に吸着される。続いて、基板吸着台２０Ａの上面が帯電した状態で複数の集合体シート１００上に載置された押圧板３１が取り外され、基板吸着台２０Ａの上面上に吸着された複数の集合体シート１００の自動外観検査が行われる。 （もっと読む）

【課題】カメラの前方視界の妨げず、鋼管内面の撮影上で逆光状態とならずに、鋼管内面の周方向の位置を特定することを可能にすることにある。
【解決手段】鋼管検査測定装置１０２に固定されるベース部材２１と、偏心位置を揺動中心２２ｃとしてベース部材２１に取り付けられ時計方向の側面位置の第１可動接点２２ａ及び反時計方向の側面位置の第２可動接点２２ｂを有する可動端子２２と、重心が揺動中心２２ｃより下方に位置し静止した可動端子２２の第１可動接点２２ａに対向し可動端子２２が時計方向に揺動した際に第１可動接点２２ａと接触する第１固定接点２３ａを有する第１固定端子２３と、重心が揺動中心２２ｃより下方に位置し静止した可動端子２２の第２可動接点２２ｂに対向し可動端子２２が反時計方向に揺動した際に第２可動接点２２ｂと接触する第２固定接点２４ａを有する第２固定端子２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置部分での基板への部品の組み付けおよび同部品組み付け時の指図書表示を可能する。
【解決手段】検査位置にセットされた実装基板の所望の検査対象位置における電子部品の実際の装着状態を画像データとしてとらえる撮像手段と、該撮像手段でとらえた実際の電子部品の装着状態を示す画像データと同電子部品に対応して指定される正しい装着状態を示す画像データとを一対の状態で記憶する画像記憶手段と、上記実際の電子部品の装着状態を示す画像と同電子部品の正しい装着状態を示す正画像との一致度を判定する画像処理手段と、画像表示手段とを備えてなる基板検査装置において、予じめティーチングされた指図書データを記憶する記憶手段と、該指図書データ記憶手段に記憶された指図書データを上記画像表示手段に表示する指図書表示制御手段とを設け、上記基板検査位置に電子部品等の未装基板をセットして電子部品の実装を行う場合には、対応する基板への電子部品の実装作業を指示する指図書が上記画像表示手段に表示されるようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の切断面を複数の方向から立体的に検査して、ガラス基板の品質検査に利用される切断面情報を迅速且つ正確に光学的に検出可能とする。
【解決手段】ガラス基板１を固定する固定プレート１１０と、ガラス基板１の切断面１ａの上側、下側、平面プロフィール映像をそれぞれ得るための第１、第２、及び第３撮影手段１２０、１３０、１４０と、第１〜第３撮影手段１２０、１３０、１４０が固定され、それらを移動させるフレーム１５１を有するメインロボット１５０とを備えた切断面検査装置１００を提供する。この切断面検査装置１００により、光学的に取得された切断面情報をフィードバックして、ガラス基板１の生産性及び品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ピストン往復動燃焼エンジンのシリンダのシリンダカバーを取り外すことなく、シリンダの内径および表面状態を検査するようにして、当該シリンダライナの検査の時間を短縮する。
【解決手段】燃焼機関のシリンダライナ２５の摺動面３５を検査する方法および検査装置が提供され、検査装置は、検査工具、制御装置、電力供給と測定データおよび制御信号の伝達のための接続手段６０を有する。検査工具は、ベアリングレール７０を有し、このベアリングレール７０には、ロータリテーブル８０、シリンダライナ２５の内径と摺動面３５とを測定するためと、表面状態を目視検査するための工具９０，９６とが装架される。検査工具は、被検査シリンダライナ２５の開口を通してシリンダライナ２５に導入しうるサイズとする。本発明は、特にピストン往復動燃焼機関のシリンダライナ２５の検査に適している。 （もっと読む）

【課題】被検査物のパターンを検査して求めた欠陥を再検査するレビュー動作の時間を短縮できる撮像検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物（１０９）と被検査物（１０９）を撮像走査して欠陥を検出する検査光学系（１０３）をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構（１０７）と、被検査物と欠陥の周辺のみを撮像するレビュー光学系（１０４）をＸ方向に相対移動させつつ、検査光学系（１０３）とレビュー光学系（１０４）をＸ方向と直交するＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構（１０５）と、検査光学系移動機構（１０７）とレビュー光学系移動機構（１０５）を運転する制御機構（３００）を有し、制御機構（３００）が、検査光学系（１０３）の撮像走査中にレビュー光学系（１０４）を制御して欠陥の周辺を撮像させる。 （もっと読む）