【課題】誤って検出される擬似欠陥の数を低減できるとともに、欠陥の検出感度を落とすことなく、本来検出されるべき真の欠陥を検出できる基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法を提供する。
【解決手段】
基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程Ｓ１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】ドライフィルムが積層された基板の蛍光イメージと散乱光イメージ、そして反射光イメージをさらに検出して、露光工程で発生する様々な欠陥を容易に検出できるようにしたパターン欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光を生成して出射する光源１１と、光源１１から出射される光を基板２０にスキャンするスキャンミラー１４と、基板２０で蛍光された蛍光イメージを検出する蛍光イメージ検出部１７と、基板２０で散乱された散乱光イメージを検出する散乱光イメージ検出部１９と、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥を検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像工程により被検査物を撮像し、エッジ検出工程により得られた画像データに基づいて、構造パターンの外周形状であるエッジを検出し、ライン検出工程により、エッジの最外周画素の集合であるラインを検出し、構造ライン取得工程によりエッジが境界となる複数の構造パターンに対してそれぞれに接するラインである構造ラインを取得し、エッジ幅取得工程により２つの異なる構造ライン間の距離をエッジ幅として取得し、平均エッジ幅算出工程により同じ構造ライン上の任意の２点を始点及び終点として設定し、始点から終点までの平均エッジ幅を取得する。そして、欠陥検出工程により、平均エッジ幅とエッジ幅とを比較し欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 導光板を作製するときに用いられる導光板用シートや導光板自身の黄色味または透明度の程度を、効率よく検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】 光照射部２は、導光板用シート６の端面に光を照射する。受光部３は導光板用シート６を透過した透過光を受光しＸ値および輝度値を検出する。判定部４２の第１判定部４２１は、第１記憶部４１１に記憶される相関関係αに基づいて受光部３により検出されたＸ値に対応するＹＩ値が所定の閾値を超えているか否かを判定し、第２判定部４２２は、第２記憶部４１２に記憶される相関関係βに基づいて受光部３により検出された輝度値に対応する全光線透過率が所定の閾値未満であるか否かを判定する。出力部４３は、判定部４２による判定結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】多重解像度解析により物体検出を行う際に用いる画像処理フィルタのパラメータを、操作者による最適パラメータの指定を要さずに最適化して、精度よく物体を検出することができる物体検出装置を提供する。
【解決手段】物体検出装置は、候補フィルタを記憶する候補フィルタ記憶部と、候補フィルタで多重解像度の学習用サンプル画像の各解像度画像を走査する候補フィルタ走査部と、候補フィルタ走査部による走査の結果を用いて学習用サンプル画像の各解像度画像の走査結果についての競合学習を行う競合学習部と、候補フィルタを、競合学習部による競合学習の結果において極値を示した学習用サンプル画像の解像度の最適フィルタに決定する最適フィルタ判定部と、多重解像度の被験対象画像を最適フィルタで画像処理して被験対象画像に含まれる物体を検出する物体検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】積層体の切断端面に沿って上向きおよび下向きのバリなどの欠陥部位を精度よく求める。
【解決手段】積層体の端面を撮影し、取得した画像データから積層体の領域を求め、積層体の領域の画像データを利用して当該領域に近似する矩形を求め、積層体の領域から矩形の領域の差分をとり、余った領域を予め決めた基準値との比較から塗布物質の欠陥部位を求め、取得した画像データから積層体の総厚みよりも薄い芯材の領域を算出し、求めた芯材の領域から予め決めた芯材の厚み分をノイズとみなして除去し、芯材の欠陥部位を求める。 （もっと読む）

【課題】外観検査の欠陥分類において、重要欠陥のピュリティまたはアキュラシーまたはその両方が目標値以上になるように調整するなどのニーズがあるが、教示型の欠陥分類は平均的に分類正解率が高くなるよう条件設定されるため、そのようなニーズに応えられないという問題があった。
【解決手段】特徴量抽出部、欠陥分類部、分類条件設定部を含み、分類条件設定部は、欠陥の特徴量と正解のクラスを対応づけて教示する機能と分類の優先順位を指定する機能を有し、優先順位の高い分類の正解率が高くなるよう条件設定を行う。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表裏を一台のカメラで一度に検査できるようにすること。
【解決手段】外観検査装置１は、カメラ４と、光学系１５とを具備する。検査対象物２０の正面２０ａがカメラ４の視野４ｂに配置される。光学系１５は、検査対象物２０の正面２０ａ及び背面２０ｂをカメラ４が同時に撮影することが可能なように背面２０ｂからの光線１０２の向きを変更する。 （もっと読む）

【課題】基板装置表面のパターン欠陥の致命度をより信頼度高く判定する。
【解決手段】データ処理部１０は、欠陥レビュー部１２を介して基板装置のパターン欠陥を含んだレビュー画像を取得し（レビュー画像取得部１０４）、そのレビュー画像と欠陥のない参照画像とを比較することにより欠陥画像を抽出するとともに、前記レビュー画像とそのレビュー画像に対応する領域の同じレイヤの設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像との位置合わせを行う（画像位置合わせ部１０５）。そして、その位置合わせの結果に基づき、前記レビュー画像に対応する領域の他のレイヤの設計データから他レイヤ設計パターン画像を生成し、前記欠陥画像と他レイヤ設計パターン画像との合成画像に基づき、前記欠陥と他レイヤのパターンとの相対位置関係を求め、その相対位置関係に基づき致命度を判定する（致命度判定部１０６）。 （もっと読む）

【課題】試料表面の面粗さや正常な回路パターンからの散乱光の影響を抑制し、かつ、欠陥や異物からの散乱光の利得を高くして、高感度に試料表面の欠陥等を検出することが可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】ＮＡ値が大きいレンズを使用するとレンズ外径は１０ａとなり斜方光学系とウエハとの角度はα１である。ウエハ表面粗さや酸化膜下の面粗さ、回路パターンからの散乱光を低減して、欠陥散乱光を多く検出するために斜方検出系の仰角を下げると仰角α２＜α１となるがレンズの外径１０ｂはレンズ外径１０ａより小となり散乱光の集光能力が低下する。集光能力を向上するためレンズ径を広げた１０ｃとするとレンズとウエハ７とが干渉を起こす。干渉部分を削除したレンズの創作により低仰角α２を保持してレンズの開口寸法を１０ｂより大とすることができ欠陥検出能力の向上とレンズ性能の向上が同時に成立する。 （もっと読む）

【課題】トンネル壁面の展開画像を取得するシステムについて、得られた立体視可能な展開画像が現実の壁面の状態を正確に反映できるようにし、その反映の度合いを簡単に判定できるようにする。
【解決手段】システム１０は、トンネルを走行する車両１１と、車両１１に搭載されたビデオカメラ１２と、各ビデオカメラ１２が撮像した画像データを処理可能な画像処理部１３とからなる。画像処理部１３は、画像データの各コマ上の第１および第２ラインから短冊形の第１および第２視差画像をサンプリングし、両ラインの中間から短冊形の直視画像をサンプリングする。各画像を横方向に配列してカメラ１２ごとに第１および第２視差連続画像、直視連続画像を合成する。各連続画像を縦方向に配列して、第１および第２視差展開画像、直視展開画像を合成する。第１および第２視差展開画像を赤または青の着色画像として出力して立体視可能とする。これとフルカラー画像として出力した直視展開画像を比較可能とする。 （もっと読む）

【課題】複数の装置から得たデータの管理を効率的に行うことができる検査システムを提供することである。
【解決手段】検査システム１０は、工場で生産される製品を検査する検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、検査装置１１ａ，１１ｂ，１１ｃに通信回線を介して接続される管理サーバ３０とを備える。検査装置１１ａは、装置側検査結果ＤＢ（Ｄａｔａｂａｓｅ：データベース）１４ａを備える。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、検査装置１１ａが基板を検査した結果を示すデータである検査結果データを格納する。装置側検査結果ＤＢ１４ａは、キー（Ｋｅｙ）とバリュー（Ｖａｌｕｅ）とによって構成されるキーバリュー（Ｋｅｙ−Ｖａｌｕｅ）型のデータベースである。 （もっと読む）

【課題】欠陥位置の検出や特定をする処理を簡単に行うことができるシート状製品（偏光板原反）の検査方法を提供する。
【解決手段】帯状の偏光板原反Ｎの幅方向端部に、偏光板原反Ｎの移送される方向に沿って、所定間隔毎に移送方向の位置を表わす識別情報を記録する工程と、記録された識別情報を読み取る工程と、偏光板原反Ｎが移送される方向の移動量を検出する工程と、偏光板原反Ｎの表面欠陥を検査する検査工程と、読み取られた識別情報と検出された移動量とに基づいて、検出された表面欠陥の位置を演算し、この演算された位置情報を記憶装置９に記憶する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】過度の欠陥検出を抑制することにより、不必要な欠陥修正を低減することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】センサ１０６からマスク１０１の光学画像を取得するし、光学画像におけるパターンの寸法と、判定の基準となる基準画像におけるパターンの寸法とを測定し、これらから第１の誤差を求める。マスク１０１上の光学画像と基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像におけるパターンの寸法を測定して第２の誤差を求める。各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する。欠陥と判定された箇所における第２の誤差を第１の誤差で補正する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は集積回路、磁気ヘッド、磁気ディスク、太陽電池、光モジュール、発光ダイオード、液晶表示パネルなど基板上に発生した欠陥や異物の画像を撮像し、欠陥や異物を種類ごとに分類する欠陥分類装置において、撮像した画像に写っている欠陥の重要度を定量的に計算し、重要度の高い欠陥が写っている画像だけをデータベースに保存することで、ネットワーク負荷やデータベース負荷を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥座標データを入力し、画像撮像プログラム５０１にて画像を撮像し、特徴量抽出プログラム５０２にて撮像した画像から欠陥の特徴量を抽出し、欠陥分類プログラム５０３にて欠陥を種類別に分類し、重要度予測プログラム５０４にて欠陥毎に重要度を計算し、画像選別プログラム５０６にて重要度に基づいて画像をデータベースに伝送するか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】パターンの形成状態を高コントラストで検査可能にする。
【解決手段】カラーフィルタ基板４上に線状に形成されたシールライン５の形成状態を検査するパターン検査装置であって、シールライン５を撮影する検査カメラ２と、検査カメラ２の撮影領域を照明する照明光学系３と、を備え、照明光学系３によりカラーフィルタ基板４に照射される照明光の光線の光軸Ｌ_axに対する最大角度θ₁が検査カメラ２の画角θ₂の半角θ₂／２に略等しくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】検査対象領域を撮像して取得した多値画像の明暗が変化した場合であっても、非検出対象物であるノイズを効果的に除去し、検出対象物であるブロブ（集合体）状の傷、汚れ等の欠陥の有無、大きさ、形状等を検査する画像検査装置、画像検査方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象領域の多値画像を取得し、取得した多値画像の濃度情報に基づいて基準濃度値を算出する。多値画像の各画素の濃度値と算出した基準濃度値との差分を画素ごとに算出し、基準濃度値の変化に追従して変化するように基準濃度値に対して相対的に閾値を設定して記憶する。算出した差分が閾値より大きい複数の画素を抽出し、抽出された複数の画素の輝度値の連結性に基づいて画素の集合体を特定し、特定された画素の集合体に対して、差分を用いた特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、特定された画素の集合体の欠陥を判別する。 （もっと読む）

【課題】一様に連続している背景模様が存在する場合であっても、ゴミ、傷、汚れ等の欠陥を正しく検出することができる欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検出対象の欠陥のサイズを設定して記憶し、背景模様が一様に連続している第一の方向の指定を受け付けて記憶する。記憶された欠陥のサイズに応じた画像縮小率で、記憶された第一の方向へ縮小した縮小画像を生成する。縮小画像に対して縮小画像における欠陥を除去するためのフィルタ処理を第一の方向に実行し、フィルタ処理が実行された縮小画像を、画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で第一の方向へ拡大した第一の拡大画像を生成する。多値画像と第一の拡大画像との差分演算を実行した差分画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】 錠剤の振動やポケット内の姿勢に影響を受けることなく正確な検査が行えるようにすること
【解決手段】 ３Ｄカメラ装置は、容器フィルムのポケット部内に供給された錠剤を撮像し、三次元計測法により錠剤の表面の各位置の高さ位置を濃淡画像で表したプロファイル画像を求め、処理装置２２に送る。処理装置は、プロファイル画像に基づき錠剤の外観検査を行うもので、プロファイル画像中の錠剤を示す画像データを抽出する錠剤検出部３１と、抽出した画像データをその錠剤の表面が平坦になるように補正処理をして平坦化画像を生成する平坦化処理部３２と、その平坦化画像に基づいて外観異常の判定を行う欠陥解析部３４を備える。平坦化処理部３２により錠剤の表面の高さ位置が平坦（水平）に正規化されるので、簡単な閾値処理で異常の有無を判定できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、線材製造工程のうち圧延、引抜、及び射出工程で線材を生産する過程で線材の表面に発生する表面欠陥を光学センサを用いて非接触式でリアルタイムに検出する装置及び方法に関する。
【解決手段】本発明による円形線材の光学欠陥検出装置は、円形面状の光を照射する照明装置と、移送されている円形線材で反射された前記照明装置の反射光を受光して光信号を生成し、前記生成された光信号を映像信号に変換する光学センサと、前記光学センサから映像信号を受信して前記円形線材の表面情報を取得する信号処理手段とを含む。 （もっと読む）