【課題】パターン検査装置の製造コストを削減しつつコントラストの高い検査画像を取得する。
【解決手段】パターン検査装置の画像取得部１３は、光照射部１３１、ラインセンサ１３２、角度変更機構、および、検査対象であるウエブ９を搬送する搬送機構を備える。光照射部１３１からは、ウエブ９の薄膜パターンに対して透過性を有する波長の光が出射される。光照射部１３１からの光の照射角θ１およびラインセンサ１３２により撮像が行われる検出角θ２は、常に同じであり、これらの角度は角度変更機構により変更される。パターン検査装置では、予め検査画像のコントラストが高くなる照射角および検出角の設定角度が求められ、照射角および検出角が設定角度とされる。これにより、単一波長の光源を用いてラインセンサ１３２によりコントラストの高い検査画像を取得することができ、パターン検査装置の製造コストも削減することができる。 （もっと読む）

【課題】液漏れ等を生じるおそれのある傷等の凹凸形状を有するボトル缶のみを確実に検出でき、検査の処理時間を短縮できる生産性に優れたボトル缶の口金部検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】主搬送路１０１に沿って連続的に順次搬送されるボトル缶３０の撮像エリアα内のカール部３２に対して白色光Ｗを照射して撮像を行い、得られた白黒検査画像から低輝度領域の有無を検知して低輝度領域が検知されたボトル缶３０ｂを排除する１次検査工程と、１次検査工程によって排除されたボトル缶３０ｂを主搬送路１０１から退避した副搬送路１０２に沿って順次搬送しながら撮像エリアα内のカール部３２に対して、口金部３１の円筒面略接線方向に沿って２色の照明光をそれぞれ異なる方向から照射して撮像を行い、得られたカラー検査画像の各光色の信号強度からカール部３２における凹凸形状の有無を判別し、ボトル缶の良否を判定する２次検査工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】ホワイトスポットを除去して検査精度を向上させることのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】複数の撮像素子が直線状に配列されたラインセンサによって取得された３ライン分の画像データを蓄積し（Ｓ２_１）、この内の中央ラインの各画素について、対象となる画素と、この周囲に隣接する８つの画素との階調値の差を求め、得られた８つの差の全てが第１の閾値を超える場合に対象となる画素を疑似欠陥と判定する（Ｓ２_２）。８つの画素について階調値の平均を算出し、得られた値を対象となる画素の階調値と置き換える（Ｓ２_３）。また、疑似欠陥の判定が行われたストライプと同じストライプについてラインセンサで光学画像を再度取得し、得られた画像データを前回得られた画像データと置き換えることもできる。 （もっと読む）

【課題】画像から取得される欠陥から目的欠陥を抽出するための検査方法を提供する。
【解決手段】複数の検査対象領域の画像データを取得し、前記複数の検査対象領域のうち同じ構造を形成する領域同士の同じ位置の輝度を比較して輝度の差から輝度差分布を求め、前記複数の検査対象領域のそれぞれにおいて、優先的に検査をしたい優先検出領域の閾値がその他の領域の閾値よりも低くなるよう閾値分布を設定し、前記輝度差分布のうち前記閾値分布以上になる位置を目的欠陥発生位置と判定する、処理を有する。 （もっと読む）

【課題】検査用基板を用いることなく照明部の照度の低下による検査の不具合が発生することを防ぐことができる技術を提供すること。
【解決手段】筐体内に設けられた載置台に載置された基板を被写体として撮像して検査を行う検査モードと、照明部の照度を確認するためのメンテナンスモードとの間でモードを選択するためのモード選択部と、前記筐体内に設けられ、前記照明部の光を撮像部の撮像素子に導光するための導光部材と、メンテナンスモード実行時に前記導光部材を介して撮像素子により取得した照明部の光の輝度が、予め設定された許容範囲内であるか否かを判定する判定部と、前記判定部により前記輝度が前記許容範囲から外れていると判定されたときに照明部の交換を要することを報知するための報知部と、を備えるように基板検査装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】管内面のきずの検出精度が高く、かつ、手間とコストがかからない管内面検査方法、及び管内検査装置を提供する。
【解決手段】環状照明３を鋼管２の端面２１に対向させて環状照明３の中心軸３２と鋼管２の管軸２２とを略一致させ、照明光を鋼管２の内面２３に向けて出射し、かつ、カメラ４を鋼管２の端面２１に対向させてカメラ４の光軸と鋼管２の管軸２２とを略一致させ、端面２１及び内面２３を撮像する。撮像した画像から、内面画像を抽出し、内面画像を径方向に複数の環状領域に分割する。分割した環状領域毎に濃度の基準範囲を設け、濃度が該基準範囲から外れた画素群をきず候補画素群として抽出する。きず候補画素群を含む所定の画素領域の画素の濃度から環状領域毎に定めた所定の濃度を減算し、濃度を減算された画素領域を管内面の径方向から見た場合の画素領域に変換し、変換した画素領域からきずの有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】判定時に損傷を発生させることなく、ウェハの損傷の有無を精度よく判定することができる半導体装置の製造方法を得る。
【解決手段】半導体装置が設けられたウェハ１に音響信号発生部４を接触させずに、音響信号発生部４が発生した音響信号をウェハ１に入力させる。次に、ウェハ１と共鳴した音を含む音響信号を検出する。次に、検出した音響信号の周波数成分の強度を示すデータを求め、このデータをウェハに損傷が無い場合のデータと比較することにより、ウェハ１の損傷の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】黒系のメタリック色について、白とびの新たな評価手法を提供する。
【解決手段】メタリックブラック色の白とび評価方法は、まず、メタリック材の量と、明度、彩度および色相とを変化させた複数のカラーパッチを用意する。次に、カラーパッチの各々について、正反射方向と非正反射方向とで測色して、非正反射方向の明度と、正反射方向と非正反射方向との間での色差とを取得し、その関係をプロットする。次に、カラーパッチの各々について、白とびの発生の有無を評価する。次に、プロットの結果を、評価の結果に基づいて、白とびありの集合と、白とびなしの集合とに分類し、白とびの判定基準を、非正反射方向の明度と、色差との関係によって設定する。次に、評価対象の色について測色し、非正反射方向の明度と、色差とを取得して、取得した明度および色差の値と、設定した判定基準との関係から、白とびを評価する。 （もっと読む）

【課題】被検レンズが曲率半径の小さい形状であっても、１回の撮像によって被検レンズの全体について異物の検出を可能とする手段を提供する。
【解決手段】本発明に係るレンズ異物検出装置１０は、被検レンズＬを挟んで光軸方向一方側に配置され、平行でコヒーレントなレーザ光束を被検レンズＬに照射するレーザ照射機構１２と、被検レンズＬを挟んで光軸方向他方側に配置され、被検レンズＬを透過したレーザ光束を受光して被検レンズＬの画像１５を取得する撮像機構１３と、被検レンズＬの画像中における干渉縞１７の存否に基づいて、被検レンズＬにおける異物１６の付着の有無を判定する制御部１４１と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 多様な種類のボトルに適用可能であり、ボトル底面に存在する欠陥の有無を高精度に判定することができる、透明体ボトルの外観検査装置を提供する。
【解決手段】 開口部１０３を有する透明体ボトルの底外面１０２に向けて第１の周波数の拡散光を照射可能な第１光源部３と、前記透明体ボトルの底外面１０２に向けて第２の周波数の平行光を照射可能な第２光源部４と、前記透明体ボトルの開口部１０３に隣接し、前記第１光源部３及び第２光源部４から照射された光を判別して、前記開口部１０３を通して前記底内面を撮像するエリアカメラ２と、前記エリアカメラ２により撮像された前記第１光源部３からの光による第１画像及び第２光源部４からの光による第２画像に基づいて、前記透明体ボトルの底面の欠陥の有無を判定する欠陥判定部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】粘度が低いハンダは、その流動性が良いために、スクリーンに設けられた開口部への充填の際にスクリーンの裏面とプリント基板との間の微小な隙間にハンダ、特にフラックスが流出し易く、プリント基板上での印刷結果として上記フラックスやハンダが滲んだ状態になる。すなわち、いわゆる印刷滲みや、はみ出しによるブリッジ等の印刷不良が発生し易い。これに対し、粘度が高いハンダでは、その流動性が悪いため、スクリーンに設けられた開口部へハンダ７が充填され難くなり、未充填や印刷かすれ等の印刷不良が発生し易い。このようにハンダの流動特性を得ることは重要である。
【解決手段】ハンダの流動特性を光学的に得る。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムを製造する際に発生するムラまたはその他の視認性の低い欠陥を効果的に検出する。
【解決手段】フィルム欠陥監視装置は、一方向に移送されるフィルムの上面において既設定された周期ごとに前記フィルムの画像を取得する画像取得モジュールと、前記画像取得モジュールで取得された画像の中から選択される二以上の画像を積層し、積層された画像の輝度を増幅する画像処理モジュールと、前記画像処理モジュールで積層及び増幅された画像を画面上に表示する出力モジュールとを備える。 （もっと読む）

【課題】 被検査画像から微小欠陥を検出するとともに、当該欠陥の色の違いを識別することができる外観検査装置および外観検査方法。
【解決手段】 被検査基板を撮像部３０で撮像することで被検査画像を取得する。被検査画像に対して微分処理部４１２は水平方向に微分演算処理を行う。そして、微分処理部４１２は、水平方向の微分処理結果に対して、さらに垂直方向に微分演算処理を行い欠陥候補検出画像４２３を生成する。欠陥検出部４０３が欠陥候補検出画像４２３中の欠陥候補と、欠陥候補が示す特徴を記録した欠陥識別情報４２８とを比較することで、欠陥を検出するとともに、検出された欠陥が白欠陥であるか黒欠陥であるか識別することができる。 （もっと読む）

【課題】装置を複雑化することなく、高速に処理することができ、かつ、外乱光による誤認識の発生を防止することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】塗布状態検査装置１は、シール剤Ｓが塗布されたワークＷの上方に、撮像装置３に近接して設置された照明装置２と、該照明装置２の照明状態・消灯状態の各々でシール剤Ｓ及びワークＷを撮像する撮像装置３と、シール剤Ｓが正常に塗布されているか画像検査を行う処理装置４とを備える。画像生成部５−１は、照明装置２の点灯状態・消灯状態で撮像装置３により撮像された各画像の輝度値を減算することにより、外乱光の影響を除去した検査画像を生成する。画像判定部５−２は、検査画像からシール剤Ｓの塗布状態が正常であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】従来の欠陥検出技術では電縫溶接部の欠陥を十分に検出できるまでには至っておらず、機械的特性の劣化した局部を含む電縫鋼管が製品に混入する場合があるという事態を防ぎ難い。
【解決手段】溶接施工時の溶接部を対象とし、該対象の発光状態をスパークセンサ１２で撮像し、該撮像した画像からスパークを判定し、次いで前記対象の輝度をＤＳセンサ１０で画像信号として捉えて監視するとともに、前記監視後の溶接部をアレイ探触子を用いた超音波探傷装置（アレイＵＴ）１１で検査する溶接欠陥検出システムである。 （もっと読む）

【課題】部品形状に変更があった場合や、シール剤の軌跡が曲がったり、歪んだりしている場合であっても、軌跡全体にわたって漏れなく太さが適正であるか否かを判定することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】シール剤Ｓが塗布されたワークＷを撮像する撮像装置２と、撮像装置２によって撮像された撮影画像から、シール剤Ｓの塗布領域と塗布軌跡とを抽出する軌跡抽出部３−１と、抽出されたシール剤Ｓの塗布軌跡から、最小・最大太さ領域を生成する領域生成部３−２と、シール剤Ｓの塗布領域と最小・最大太さ領域とを比較してシール剤Ｓの太さが正常であるか否かを判定する画像判定部３−３とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターン形成や色の変化を設けない無地の有効面全面に亘って均質な表面を有するように形成された基板において、局部的に発生する光学的に不均質な欠陥を検出して分類する一般的で容易に実現できる欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】カメラ画像情報の２値化処理により検出した１次欠陥画素情報にその周囲の画素の輝度情報を加えた欠陥像の２次判定を行うことにより、分類することを特徴とする欠陥検査方法であって、前記１次欠陥画素情報の周囲の画素の輝度情報が、１次欠陥画素の輪郭に沿って正の整数ｎ個分拡張した数のカメラ画素で囲った領域における輝度情報であり、前記欠陥像の２次判定のための条件としてｎを設定できる。 （もっと読む）

【課題】光沢面の角度の情報を光学的に明度と色に変換し、変換後の画像から得られる明度と色から光沢面の角度を抽出することにより、光沢面の外観の検査を容易にする。
【解決手段】光源１は、第１の偏光要素４を通して光沢を有する検査対象７に円偏光を照射する。撮像装置２は、楕円偏光を直線偏光にする第２の偏光要素５を通して検査対象を撮像する。処理装置３は、撮像装置２から撮像した画像から抽出される画素ごとの明度と色との情報を用いて検査対象７の表面の角度に換算する換算部３３と、画素ごとの角度をグループ化することにより同じ角度を有した平面を抽出する面抽出部３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属帯上の有害疵と、過検出とを弁別して検出することができる表面欠陥検出方法、および、該方法に使用される表面欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】走行する金属帯の表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法において、疵候補領域の検出積算値、検出長さ、および検出幅を算出し、検出幅と検出積算値を検出長さで除して得られる密度幅（検出積算値／検出長さ）との比（検出幅／密度幅）を比較することにより、過検出と欠陥とを判定する。 （もっと読む）

【課題】様々な欠陥を確実に検出し得る欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】光強度分布が全方向において周期的に徐々に変化している照明パターンにより、被検査体１２の被検査面２０を照明する照明部１８と、照明部の照明パターンにより被検査面を照明した状態で、被検査面を撮像する撮像部２２と、撮像部により取得された被検査面の画像に基づいて、被検査面における欠陥を検出する処理部３２とを有している。 （もっと読む）