【課題】 半導体チップの裏面に樹脂が回りこむことを回避して、表面部材が取り付けられている半導体チップに発生している故障を解析するための試料を確実に作成する技術を提供する。
【解決手段】 ワイヤＷ（表面部材）が取付けられている半導体チップ１０に発生している故障を解析するための試料の作成方法であり、定盤４０（試料作成用基台）の上面４１に半導体チップ１０の裏面１１に密着する両面テープ３０（シート）を配置する工程と、両面テープ３０の上面３１に半導体チップ１０の裏面１１を載置する工程と、両面テープ３０の上面３１に半導体チップ１０を取り囲む型枠５０を載置する工程と、型枠５０内に樹脂６０を充填し、ワイヤＷと半導体チップ１０の両者を樹脂６０で封止する工程と、故障箇所Ｆを半導体チップ１０の裏面１１から穿孔する工程を備えており、故障箇所Ｆが内面１３ａ（断面）に露出している試料を作成する。 （もっと読む）

【課題】薄切りができ、永切れでき、切片試料に傷が発生しない、ミクロトーム替刃を得る。
【解決手段】ミクロトーム用のミクロトーム替刃１０の刃先部３０は刃先角度を形成するすくい面４０と逃げ面５０とを有し、すくい面４０には樹脂コーティング４０ａが施され、前記逃げ面５０には樹脂コーティングなし或は先端部の厚さ１μｍ以下の薄い樹脂コーティング５０ａが施される。また、このミクロトーム替刃１０の製造方法では、替刃の刃先部３０の刃先角度を形成するすくい面４０と逃げ面５０とを作成後、すくい面４０に樹脂コーティング４０ａを行い、逃げ面５０には樹脂コーティングなし或は前記すくい面４０と比べ薄い樹脂コーティング５０ａを行う。 （もっと読む）

部品の断面走査の改良された方法及び装置であって、走査装置の焦平面が上下方向、すなわち、部品／ポッティング複合物のステージが移動する方向に移動することがない走査ステーションを用いる。材料除去及び走査の区別されたステップが、表面層が除去された後に前記部品／ポッティング複合物を上下方向に移動させる中間ステップと交互に行われ、これによって、次の走査ステップのために、新たに生成された表面が、動かない焦平面に戻される。走査ステップ間に、除去ステーション（前記部品／ポッティング複合物を担持するステージではない）が、前記走査ステーションの視野の内外に繰り返し移動する。これまでの実用化の独立環境特性を必要とせずに、前記材料除去ステーションは、前記部品／ポッティング複合物の所望の表面層及び生成された砕片を除去するように特に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、磁気ヘッド等の製造プロセスのチェックを行うための試料作成に関し、より詳細には集束イオンビームを照射して試料の表面の所望する位置に断面を露出する凹部加工を行う試料加工方法と試料加工プログラムに関する。
【解決手段】 本発明の試料加工方法は、試料の表面に形成された基準マーカーを検出して基準マーカーから基準位置を求める基準位置算出工程と、基準位置と断面形成所望位置との距離から所定値を差し引いた第１のオフセット値と基準位置と第１の加工パターンとに基づいてＦＩＢを前記試料に照射して加工する第１加工工程と、基準位置と第１加工工程によって加工された試料の所望位置に近い断面をなす端部との間の距離を計測する計測工程と、計測された距離から所望位置までの未加工距離を求めその未加工距離に第１のオフセット値を加えた第２のオフセットと基準位置と第２の加工パターンとに基づいてＦＩＢを前記試料に照射して加工する第２加工工程と、を有するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】多次元で調節可能な材料ワークピースのチャックの必要性が存在する。
【解決手段】マルチ軸チャックを位置決めする方法である。マルチ軸チャックを第１位置に対して回転する信号を受ける工程；マルチ軸チャックを第２位置に対して回転する工程；第１位置に対する該第２位置を比較する工程；および第２位置が第１位置でないと決定がなされた場合には、マルチ軸チャックを再び位置決めする工程；を包含する。前記回転する工程が、少なくとも一つのモータを使用すること、を包含する。 （もっと読む）

【課題】好適なサンプル保管方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】サンプルを保管する方法およびシステムは、所定の空間的関係で複数のサンプルノードをサポートするように構成された複数のサンプルキャリアと、複数のサンプルキャリアをアーカイブに選択的に置くサンプル格納デバイスと、複数のサンプルノードのうちの選択されたサンプルノードを配置して、取り除くサンプルノード取り除き装置とを実施する。代替的な実施形態がここで開示される。サンプルノード取り除き装置は、レーザおよびメカニカルクリッピングツールを含む。これらは、手動でまたは自動で操作され得る。 （もっと読む）

【課題】 測定対象である試料の一部にのみ検出対象の物質が含有されている場合などでも、検出対象物質の検出ができる検査方法、および、この検査方法に用いることができる検査キットを得ること。
【解決手段】 容器１の中に試料５と溶出液３とを入れ、容器１内で試料５と溶出液３とを接触させて溶出処理を行った後、検査試薬４を用いて、試料５から溶出液３に溶出した成分を検出する検査方法において、容器１として、試料５と溶出液３とを内蔵した状態で、任意にその形状を変形させることができるものを用いる。 （もっと読む）

【課題】一端部側に記載部を設けたスライドガラスの全体を保護液に浸漬した状態で保管容器内に保管できるスライドガラスの貼着装置を提供する。
【解決手段】スライドガラス１２の試料を保護する保護液を貯留し、複数枚のスライドガラス１２を挿入したバスケット２２を、スライドガラス１２の全体を保護液に浸漬するように、前記保護液に浸漬している保管容器２０と、スライドガラス１２の一端部側を前記保護液の液面から突出するように、バスケット２２を上昇し、且つ前記保護液から突出するスライドガラス１２の一端部側の位置を検出する検出センサー４２の位置に、バスケット２２を順次送り出す上昇・送出装置３６と、検出センサー４２で検知したスライドガラス１２の一端部側の側面を把持して、前記保護液からスライドガラス１２を取り出す取出装置２４と、前記カバーガラスを試料上に搭載して貼着したスライドガラス１２を収容する収容カゴ３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】遅れ破壊の発生メカニズムを解明することに寄与するとともに、遅れ破壊の発生予測精度を向上させるために、常温から鋼の融点以上に至る温度域で、試料金属からの水素の放出量と放出温度の相関特性を求め、それと同時に、試料金属に含まれる全水素量を測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】低温域では、低温加熱部１０ａにおいて、試料２０の温度を低温炉７によって試料２０の温度が予め設定した低温域の最高温度（約５００℃）に達するまで等速で緩慢昇温させて、試料２０の温度が予め設定した低温域の最高温度（約５００℃）に達するとき、変位機構２１によって、試料２０を高温加熱部１０ｂに変位させて、その後高温域では、高温加熱部１０ｂにおいて、試料２０の温度を高温炉８によって試料２０の温度が予め設定した試料２０の融点（１５７３℃）以上の温度（約１６００℃）に達するまで等速で緩慢昇温させる。 （もっと読む）

【課題】 ＦＩＢ加工で試料からより微小な試料片を摘出し、電子顕微鏡観察用試料に加工する際に、ＦＩＢのイオンビームが微小試料片固定用の電子顕微鏡観察用試料支持部材に照射されず、試料への再付着が生じない電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供することにある。
【解決手段】 薄片固定部５が微小試料片２よりも充分に薄いため、イオンビーム６を傾斜し微小試料片２の中央部の電子顕微鏡観察用試料部に照射しても薄片固定部５を削らないようにしての加工が可能となり、これにより薄片固定部５からの微小粉末の発生も生じないため、観察試料への再付着も起こらない。 （もっと読む）

【課題】本発明はＶＰＤユニットのみを分離して他の各ユニットと分離し、ウエーハ表面の汚染度をフッ酸で分解させてＮ_２ガスによる清浄が行われる独立的なＶＰＤユニットを提供する。
【解決手段】本発明による半導体ウエーハ汚染物質測定装置のＶＰＤユニットは、四角桶状の本体であって、該本体の内部に所定の空間を形成し、該本体の底側に各支え具が形成されると共に各ガス排出及び吸入ノズルが位置し、上面は透明に透視窓を形成して該透視窓の中心に内部の雰囲気制御用検出端子を形成し、一側面を開放してウエーハ投入口を形成するＶＰＤユニット本体（１００）；及び前記ＶＰＤユニットのウエーハ投入口を密閉するようにカバーすると共に開放されるドア（１１４）を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は一つの軸に回転性と移動性が集中されないスキャニングアームを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による半導体ウエーハ汚染物質捕集装置のスキャニングアームは、半導体ウエーハの汚染物質捕集装置のスキャニングアームにおいて、Ｘ軸部（１１）と；該Ｘ軸部（１１）に沿って前、後進移動するようにＸ軸部（１１）に垂直設置されたＺ軸部（１２）；および該Ｚ軸部（１２）で昇、下降するようにＺ軸部（１２）に設置されるＹ軸部（１３）から成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パラフィン収容部に滞留する空気を排出して、カセット本体の底面に対するパラフィンの付着性を良くし、検体のスライス中にパラフィンがカセットから剥離するのを防止できる包埋トレイを提供する。
【解決手段】 底部３とその周りに立設された側壁４とからなるパラフィン収容部２と、該収容部２の上方外側に設けられたカセット支承部５と、該支承部５の上方外側に立設された３辺の係止壁７と１辺の係止爪６とを具備し、前記係止壁７のうち対向する係止壁７の上端から把持部９が外方向に延設されており、係止壁７の角部には空気抜きのための切欠部８が設けられていることを特徴とする病理組織検査標本作成用の包埋トレイ１である。 （もっと読む）

【課題】数百の形態学的に制御された腫瘍標本の分子的特徴の迅速な平行分析を可能にするような方法で、最小の組織要求量で組織標本の大規模分子プロファイリングを実施する。
【解決手段】アレイに基づいた技術により、非常に多数のヒト腫瘍の迅速な関連遺伝子のコピー数および発現プロファイリングが容易になる。個々の腫瘍の形態学的に代表的な領域の数百の円筒形組織生検（直径0.6mm）を1つのパラフィンブロックに配列することができる。このようなアレイの連続切片は、DNA、RNAまたはタンパク質標的の平行インサイチューハイブリダイゼーションおよび定量の標的となる。 （もっと読む）

【解決手段】超音波振動子を固定または接触させた処理槽の外側の槽外々壁の槽内部底面が傾きを有し、槽内部底面の谷部分に処理液または溶融パラフィンが伝う排出液案内棒を有することで、残留する処理液または溶融パラフィンが減る。
【効果】残留する処理液または溶融パラフィンが減ることで処理液に混じる量が減り、処理が確実に行える。また、処理液の濃度変化が少なくなるため、より多く繰り返し使用でき、使用量を減らし、ランニングコスト軽減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 チタン材料の所望の部分に、所望の濃度で水素を付加させることができ、容易かつ大量に標準サンプルを作製することができる非破壊検査用標準サンプルの作製方法、非破壊検査用標準サンプルおよびこれを用いた非破壊検査方法を提供する。
【解決手段】 前処理工程では、チタン管７の水素を付加する部分の素地を露出させ、水素を付加する部分以外の部分を被覆部９で被覆する。設置工程で、参照電極３と対極４と作用電極となる前処理されたチタン材料７とを、３電極方式の電気化学セルの電解液中に設置する。印加工程で、ガルバノスタット２により、チタン管７に定電流または定電位を、所定時間印加する （もっと読む）

【課題】切断行程が可変であり、構造が簡単なミクロトームを提供することであり、これによりサイズの種々異なる対象物の迅速な切断作業を可能にする。
【解決手段】リニアモータ（３８）を有し、該リニアモータはリニアステータ（２２）とリニアロータ（２４）を含み、線形相対運動を前記ナイフエッジ（１９）と対象物（２８）との間で形成し、これにより薄切片を作製し、前記リニアステータ（３８）は前記リニアロータ（２４）を駆動する漂遊磁界を発生し、コントロールユニット（３０）を有し、該コントロールユニットは前記リニアモータ（３８）を制御し、所定の変位距離（Ｌ）に沿った相対的往復運動を行わせ、前記送りユニット（３４）を２つの薄切片間で制御するミクロトーム。 （もっと読む）

【課題】活性炭の無機成分に含まれる微量な触媒成分であっても、その組成分析を迅速かつ高精度に定量分析することができる活性炭分析の前処理方法を提供する。
【解決手段】粉末の活性炭を油圧法により加圧成形して固体化した試料を得る活性炭分析の前処理方法であり、四ホウ酸リチウムとステアリン酸との質量比を２：１の割合でバインダとして混合する。また活性炭を所定の強熱温度で強熱して灰化量を強熱減量分として求め、この求めた強熱減量分を活性炭の触媒成分量の補正値とする。更には活性炭を超純水と混合させ、この混合液中に超音波を照射して得られた水溶液を濾過し、試料溶液を得るようにした。 （もっと読む）

【課題】 多孔性膜の正確な内部構造を観察するための断面観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの樹脂層を有する多孔性膜の断面観察用試料の作製方法であって、前記多孔性膜に、常温で液体、かつ揮発性で、前記多孔性膜を構成する樹脂のうち少なくとも１種との溶解性パラメータの差が２（ｃａｌ／ｃｍ^３）^１／２より小さい有機溶媒を含浸させる含浸工程と、前記有機溶媒を含浸させた前記多孔性膜を前記有機溶媒の凝固点温度または前記樹脂のガラス転移温度のいずれか低い方の温度以下に保持して、前記有機溶媒を凍結させる凍結工程と、前記多孔性膜を刃物で厚さ方向に裁断して裁断断面を得る裁断工程と、裁断した前記多孔性膜を前記有機溶媒の凝固点温度より高い温度に保持して、前記有機溶媒を乾燥除去させる乾燥工程と、を経て断面観察用試料を得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡で観察された特定の物質それ自体を電子顕微鏡で観察することを可能とする分析方法を提案すること。
【解決手段】プレパラート２の上に置かれた分析試料１に液状の樹脂３ａを滴下して固化させ固体状樹脂３ｂとする試料固定過程と、上記固体状樹脂の表面を除去して分析試料を露出させる表面除去過程と、上記表面除去過程を経た分析試料を光学顕微鏡で観察する光学顕微鏡観察過程と、特定の物質７が存在すると光学顕微鏡で特定された分析試料の部分に印を付けるマーキング過程と、上記印が付けられた部分を他の部分から分離する分離過程と、上記分離された部分を電子顕微鏡で分析する電子顕微鏡分析過程とを含む光学顕微鏡と電子顕微鏡とによる分析方法とした。 （もっと読む）