【課題】ワイドバンドギャップ半導体などの光応答性の低い試料においても、精度の高いＣＰＭ測定が可能となる測定方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＭ測定の際、ワイドバンドギャップ半導体などの光応答性の低い試料に光を照射することで生成される光励起キャリアを、試料に設けられた測定用の２電極に加えて設けられた第３の電極に正のバイアス電圧を印加することにより瞬時に追い出す。光励起キャリアが追い出されることにより、光電流値の制御性が高まり、光応答性の低い試料においても精度よくＣＰＭ測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】側壁にすき間領域があっても高精度に入射角度を制限可能な光学センサー及電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０上に形成された、フォトダイオード用の不純物領域３０と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルター４０と、を含む。角度制限フィルター４０は、少なくとも、第１の絶縁層に対応する第１のプラグと、第１の絶縁層よりも上層の第２の絶縁層に対応する第２のプラグにより形成される。第１のプラグと第２のプラグの間には、すき間間隔ｂがλ／２以下のすき間領域がある。 （もっと読む）

【課題】走査型の測定により多点で得られた試料の緩和データから適切な緩和データを選別してアンサンブル平均を正確に測定することができる走査型顕微光散乱測定解析装置および光散乱解析方法を提供する。
【解決手段】走査機構６により走査した各試料位置において検出した散乱光７に基づく時間平均相関関数−相関時間の緩和データについて、アンサンブル平均相関関数を演算する緩和データとして採用するか否かの閾値を異常な現象に起因する振幅の大きさに基づいて設定する閾値設定手段と、走査機構６により走査した各試料位置における時間平均相関関数−相関時間の緩和データについて、閾値設定手段により設定した閾値に基づいてアンサンブル平均相関関数を演算する緩和データとして採用するか否かを選別する緩和データ選別手段とを備えることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の信号強度の減少を抑制でき、検出感度を維持しつつ、複数画素の時間波形を測定することが可能な画像形成装置及び方法を提供する。
【解決手段】物体の内部情報を可視化する装置は、物体１０８からのテラヘルツ波１０９を検出する検出部１０１と、検出部の出力よりテラヘルツ波の時間波形を構築する構築部１０２と、変調部１０３と、調整部１０５と、加算部１０６を備える。変調部は、水平方向の物体の画素に対応するテラヘルツ波に関し、検出部に至るまでの画素毎の伝搬距離を複数種の変調パターンで逐次空間変調し、複数のテラヘルツ波１１０、１１１を出射する。調整部は、変調パターンに対応する画素毎のテラヘルツ波の伝搬距離の変化量を換算した時間量に基づき、構築部からの複数のテラヘルツ波の時間波形の時間軸上の位置を調整し、新たな複数の時間波形を算出する。加算部は、画素毎に新たな時間波形を加算処理する。 （もっと読む）

【課題】基材上に設けられたシラノール基を有する化合物の結合状態を、非破壊かつ非接触にて簡易に検知する基材表面性状の検知方法及び検知装置を提供する。
【解決手段】シラノール基を有する化合物が付与された基材の化合物付与面に平行偏光又は垂直偏光のいずれかを選択して光を入射し、前記基材から出射した光より平行偏光と垂直偏光とを検出し、検出された各偏光を１００ｃｍ^−１〜１８００ｃｍ^−１の範囲で分光分析して得られる振動スペクトルから、基材上に付与された前記化合物中の構造部分のピークを分離することにより、前記基材上に存在する前記化合物の結合状態を検知する。 （もっと読む）

【課題】微結晶シリコン膜における結晶化の程度を示す結晶化指数を容易かつ精度良く取得する。
【解決手段】結晶化指数取得装置１では、微結晶シリコン膜の理論誘電関数を複数の部分誘電関数モデルの合成として表現し、微結晶シリコン膜における結晶化の程度を示す結晶化指数κが、複数の部分誘電関数モデルのうち、結晶シリコン膜の誘電関数における虚部の高エネルギー側のピークに寄与する高エネルギーピークモデルの振幅に基づいて設定される。そして、複数の部分誘電関数モデルに含まれるパラメータ群の各パラメータを結晶化指数κにより表現し、結晶化指数κを変更することにより各パラメータの値を変更し、分光エリプソメータ３により取得された測定誘電関数に対する理論誘電関数のフィッティングが行われる。これにより、微結晶シリコン膜の結晶化指数κを容易かつ精度良く求めることができる。 （もっと読む）

【課題】テクスチャ構造を有する対象物上に形成された薄膜の形状を容易かつ高精度に取得する。
【解決手段】膜形状取得装置１では、上面に複数のテクスチャ凸部を有する基板９上に形成されたシリコン膜の光学モデルにおいて、複数のテクスチャ凸部に一致する薄膜凹部およびその上方に位置する薄膜凸部が設定される。そして、薄膜凸部、薄膜凹部、および、薄膜凸部と薄膜凹部との間の中間部の形状を表すパラメータ群に含まれる各パラメータを有効膜厚にて表現し、有効膜厚を変更することにより各パラメータの値を変更して理論スペクトルの測定スペクトルに対するフィッティングが行われる。これにより、シリコン膜の形状を容易かつ高精度に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ低コストな構成で、高精度に表面状態を観測する。
【解決手段】入力された撮像画像に対して、それぞれ異なる所定波長の分光特性に対応した色コードの無地画像からなる、少なくとも３つ以上のバンドパスフィルタ５をそれぞれ相関演算し、分光画像を生成する分光画像生成部３２と、分光画像生成部３２により生成された各分光画像をグレースケール化するグレースケール処理部３３と、グレースケール処理部３３によりグレースケール化された各分光画像の輝度を隣接波長間で差分し、差分画像を生成する波長差分算出部４１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】透光部材に載置された記録材に対して、透光部材を介して光を斜めに照射するように構成された記録材判別装置において、装置の大型化を招くことなく、照射光量を増加させることで、記録材判別精度を向上させる。
【解決手段】大光量ＬＥＤ５１からの光が、カバー部材Ｃ１を透過した後、カバー部材Ｃ１に載置された記録材Ｐに予め設定された角度で照射されるように、カバー部材Ｃ１には、大光量ＬＥＤ５１からの光が垂直に入射する受光面Ｃ１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 分散チューニングによる波長掃引では共振器内の分散が必須なため、光の周回時間と変調周波数のＦＭ変調を同期させた高速波長掃引の達成が難しかった。
【解決手段】 光を増幅させる光利得媒体と屈折率の波長分散を有する光導波路とを含んで構成される光共振器と、該光共振器内における光の強度を変調する変調手段と、を備え、該変調手段の変調周波数に応じて光パルスの発振波長を掃引変化させる光源装置であって、
前記光共振器内を周回する光の前記波長分散に起因する遅延を含んだ光パルス列の時間的推移に呼応して、前記変調周波数の変化割合を推移させ、前記発振波長を掃引変化させることを特徴とする光源装置。 （もっと読む）

【課題】ゴーストピークを低減して樹脂に起因するピーク有無やピーク形状の判定を容易にし、樹脂へのカーボンブラックやフィラー等の添加剤有無によらず、識別精度のよい（誤判定の少ない）樹脂種識別装置を得る。
【解決手段】試料台（２０）上の被判別用の樹脂（１）に赤外光を照射し、反射光強度を検出器（３０）で検出して赤外反射光のスペクトル解析を行うことで樹脂種識別を行う樹脂種識別装置であって、試料台（２０）は、照射された赤外光のうち、試料台で反射し検出器に向かう赤外光の光強度を所定値以下となるようにする反射光抑制手段を備える。 （もっと読む）

【課題】色相に優れる熱可塑性樹脂を得るための芳香族を含む脂肪族末端ジオール原料の溶融色相を評価する耐熱試験方法およびそれを用いた熱可塑性樹脂の製造方法を提供する。
【解決手段】一般式（Ｉ）で表わされる脂肪族末端ジオールと芳香族炭酸ジエステルの重量比３：２〜５：１の混合物を大気中、１５０〜３２０℃の溶融状態で、１０〜１５０分保持後の溶融色相を評価することを特徴とする一般式（Ｉ）で表わされる脂肪族末端ジオールの耐熱性の試験方法。
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【課題】新規な接触面積測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】接触面積測定装置は、試料７に接する光透過性基板６と、前記試料７とは反対側から、前記光透過性基板６に光を照射する照射手段と、前記試料７からの反射光と前記光透過性基板６からの反射光とから生じる干渉画像を取得する干渉画像取得手段１２と、前記干渉画像の輝度値情報を補正処理し、得られた補正輝度値情報から輝度値ヒストグラムを作成する輝度値ヒストグラム作成手段１４と、前記輝度値ヒストグラムから接触面積を算出する接触面積演算手段１５を有し、前記補正処理は、割り算演算を有する式により、補正画像輝度を算出する。ここで、補正画像輝度は、式（補正画像輝度＝（対象画像輝度／参照画像輝度）×定数）により算出することが好ましい。また、参照画像輝度は、荷重ゼロ時の元画像に対し、ガウスぼかしフイルター処理して求めることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡略容易に籾米又は玄米からなる収穫予定米の収穫時品質予測を高精度に実行できる収穫時品質予測システムを提供する。
【解決手段】実際の収穫日より前の採取日に採取された多数の収穫予定米のサンプル粒の胴部を切断する穀粒切断器と、切断されたサンプル粒を配列する収穫予定米粒配列手段と、配列された多数の収穫予定米を走査して切断面画像を取得する撮像手段５１と、取得した画像における胚乳部の白濁部分を分類カテゴリー情報を参照して分析し、予測整粒、予測白未熟粒、未判断粒に分類する画像分析処理手段６９と、各粒の切断面画像の胚乳部の白濁部分の分析結果、及び個数情報を基に採取日から収穫日に至る期間における予測白未熟粒の発生割合を算出する算出手段７０とを有するコンピュータ装置６１と画像分析処理手段６９、算出手段７０の処理結果を画像、グラフ又は表として出力するプリンタ８１、表示部６４とを有する。 （もっと読む）

【課題】回折格子の形状特徴物などの小寸法の形状特徴物のプロフィールを見出すためのシステムを提供する。
【解決手段】シード・プロフィールのギャラリが作られ、半導体装置についての製造プロセス情報を用いて該プロフィールに関連する初期パラメータ値が選択される。回折構造および関連するフィルムを測定するとき、反射率Ｒ_s，Ｒ_pなどのいろいろな放射パラメータおよび楕円偏光パラメータを使用することができる。放射パラメータのうちのあるものは、該プロフィールまたは該フィルムのパラメータ値の変化に対してより敏感な１つ以上の放射パラメータを選択してより精密な測定に到達することができる。プロフィール・パラメータのエラーを補正するために上述した手法をトラック／ステッパおよびエッチャに供給してリソグラフィおよびエッチングのプロセスを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物を多くの種類のなかから特定することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 光源１１、コリメートレンズ１２、２つの受光器（１３、１５）、偏光フィルタ１４、２つのミラー（２１、２２）、筐体１６、標準板１７、保持部材１８などを有している。受光器１３は、内部拡散反射光に含まれるＰ偏光成分を受光し、受光器１５は、表面正反射光を主として受光するように配置されている。また、紙種判別処理が行われるときには、筐体１６の開口部を開放し、紙種判別処理が行われていないときには、該開口部を封止している。 （もっと読む）

【課題】試料の全反射光のみならず、拡散反射光や反射ヘイズ率などの反射特性を個別に測定（算出）可能にし、この特徴を活かして試料の膜厚を算出する。
【解決手段】全反射光を積分球２により集光させる第１反射光測定光学系３と、拡散反射光を前記積分球２により集光させる第２反射光測定光学系３と、積分球２により集光された光を検出する検出光学系７とを備え、第１反射光測定光学系３及び検出光学系７により得られた全反射光と第２反射光測定光学系３及び検出光学系７により得られた拡散反射光から反射ヘイズ率を算出するとともに、全反射光から試料の膜厚を算出する。 （もっと読む）

【課題】従来手法では分析できなかった超高分子量成分を含む範囲で天然ゴム及び／またはジエン系合成ゴムを分析することが可能なゴムの分析方法を提供する。
【解決手段】天然ゴム及び／またはジエン系合成ゴムを有機溶媒に溶解する溶解工程と、溶解された天然ゴム及び／またはジエン系合成ゴムの溶液を遠心加速度１万Ｇ〜１００万Ｇにて遠心分離して、溶液中の可溶成分と不溶成分とを分離する分離工程と、を含むゴムの分析方法である。分離された溶液中の可溶成分は、多角度光散乱検出器を接続したフィールドフローフラクショネーション装置により分析することができる。 （もっと読む）

【課題】記録剤判別センサの精度を向上する。
【解決手段】記録媒体１０７に光を照射する反射光用ＬＥＤ１と、透過光用ＬＥＤ６から記録媒体に照射されて記録媒体を透過する透過光を受光する受光センサ２とを有し、透過光用ＬＥＤ６からの発光光軸Ｌ１を、受光センサ２の垂直受光軸９からずらしたことを特徴とするセンサシステム。 （もっと読む）

【課題】有機強誘電性材料の非接触な強誘電性評価は困難であった。
【解決手段】有機強誘電性材料を使ったフレキシブル電子装置を作製する際に，強誘電性評価は端子を設け，電子装置を作製した後に行われていたが，可視光と赤外光といった波長の異なるレーザー光を照射して発生する和周波光の強度を検出することで，非破壊・非接触に評価をすることができ，特に多数の素子を大面積に集積した有機強誘電性材料を用いた電子装置の製造費用を実質的に低減されことができる。 （もっと読む）