【課題】試料の表面特性を測定する非破壊技術に関し、偏光計スペクトルを用いて、表面の複屈折や膜厚などを測定するシステムを提供する。
【解決手段】広帯域放射の偏光サンプルビーム４６がサンプル３の表面に焦点合わせされ、サンプルにより偏光された放射が異なる入射平面においてミラー系手段により、収拾される。変調された放射は偏光面について旋光性スペクトルを提供するために分析され、厚さと屈折の情報が導きだされる。サンプルビームの偏光は焦点合わせおよびサンプルにより変更され、変調された放射の収拾が、サンプルに複屈折軸が存在するかしないかを検出するために、ふたつの異なった開口２８を使用して繰り返し行われる。他の好ましい実施の形態においては、前述した事実が薄いフィルムの厚さおよび屈折率を決定するためにエリプソ計測を併用して行われる。 （もっと読む）

【課題】偏光状態を高精度に測定すること。
【解決手段】偏光状態取得装置は、入射光に含まれる複数の偏光成分のそれぞれの受光量を複数の画素毎に取得する受光量取得部と、入射光に含まれる複数の偏光成分のそれぞれの受光量が、予め定められた受光量の範囲内にあるか否かを判定する受光量判定部と、受光量取得部が取得した受光量のうち範囲内にあると判定された受光量を用いて、入射光の偏光状態を複数の画素毎に取得する偏光状態取得部とを備える。 （もっと読む）

【課題】プリズム内への外乱光の入射を抑えて正確な屈折率を測定し、かつ滴下された試料の状態を目視確認できる屈折計を提供する。
【解決手段】試料部１の上面には、Ｐ偏光Ｒｐをカットする偏光板５が開閉可能に蝶番６を介して保持されている。プリズム４に入射する外乱光は、強度の強いＰ偏光Ｒｐが取り除かれ、強度の弱いＳ偏光Ｒｓだけになり、プリズム４内部での散乱光も大幅に減少し、光電検出器３に入射するノイズ光が減少するため、光電検出器３の出力信号より得られる光量分布曲線Ｖｐは臨界角θｃの前後で低値から高値に明確に分離されるため、容易に臨界角θｃを特定することができ、精度の良い屈折率の測定が可能である。しかも、外側から試料Ｓの状態観察が従来どおり可能である。 （もっと読む）

本発明に記載のグレージングユニットの品質を分析する方法は、
グレージング（２）の外側表面による反射によって生成されるテストチャート（４）のデジタル画像を生成するステップであり、テストチャート（４）が、インターフェースライン（１３）を間に規定する複数のコントラスト要素（１２）から成るパターンを示すステップと、
生成される画像からグレージング（２）を代表する量を計算するステップであり、計算が、処理ユニット（８）によって行われるステップと、
基準値に対して代表値の計算値を比較するステップと
を含む。
代表的な量は、グレージング（２）の外側表面による反射によって生成されるテストチャートの画像の歪みを代表する。
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第１の層と第２の層との間の境界面の特性を求めるシステムは、試料に電磁放射線を出力する送信器と、試料によって反射された電磁放射線又は試料を透過した電磁放射線を受け取る受信器と、データ収集デバイスとを含む。データ収集デバイスは、試料から反射された電磁放射線又は試料を透過した電磁放射線をデジタル化して波形データを生成するように構成され、波形データは、試料から反射された放射線又は試料を透過した放射線を表し、第１の大きさ、第２の大きさ及び第３の大きさを有する。求めるべき材料特性は、一般に、第１の層と第２の層との間の接着強度である。
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【課題】調節可能なマルチモードの光照射野結像システムを提供する。
【解決手段】光学的なモジュール１０５は、物体１５０の光学的な像１７０を形成する。光学的な像は、光学的なモジュール像平面１２５に形成される。光学的なモジュールは、開口１１７及び開口面１１５を有するが、単一のレンズ素子と共同で配置された開口絞りによって表される。より複雑な光学的なモジュールにおいては、開口及び開口面は、光学的なモジュール内の光学的な素子のいずれのものとも共同で配置される必要はない。不均質なフィルターモジュール１１０は、光照射野結像システムの開口面に位置決めされると共にマルチモードの性能を提供する。フィルターモジュールを結像システムに対して相対的に移動させることができると共に、このようにマルチモードの性能の調節を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 表面の状態を適切に評価する。
【解決手段】 波長３８０ｎｍ〜５００ｎｍの光を出射し、該範囲以外の可視光領域の光を出射しない光源と、光源を出射した光を集光する集光光学系と、集光光学系で集光された光の光路上に配置され、評価対象物を保持し、集光光学系で集光された光が評価対象物の表面に入射するように、評価対象物を移動させることのできるステージと、集光光学系で集光された光がステージに保持された評価対象物の表面に入射して生じる光のうち、正反射光と透過光とを除いた結像されない光の、ある立体角内へ散乱する分のパワーを計測する計測装置とを有する半導体薄膜の表面評価装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】溶融状態の結晶性樹脂が結晶化して固化する状態変化を容易かつ簡便に観測できる結晶性樹脂の状態変化の観測方法および観測装置を提供する。
【解決手段】本発明の結晶性樹脂の状態変化の観測方法は、溶融状態から固化状態に状態変化している結晶性樹脂にレーザ光Ｌ_１を入射させ、前記結晶性樹脂を通過したレーザ光Ｌ_２に基づいて画像を作成し、該画像により結晶性樹脂の状態変化を観測する。 （もっと読む）

【課題】基材の光学特性を適切に評価、特性化することが可能な基材評価装置を提供することである。
【解決手段】基材評価装置は、基材と、前記基材と操作可能に連絡され、前記基材に関連する信号を生成するための光源および光検出器を含む光学式センサモジュールと、前記基材に関して前記光学式センサモジュールにより生成された前記信号と参照信号とを比較し、当該比較に基づいて評価信号を生成するプロセッサと、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラスチック製ボトルの壁部、特にボトル肩部および／またはボトル首部の近傍の一部分の質量および／または質量比率を決定する方法、および、本発明に係る方法を使用するための装置に関する。
【解決手段】側壁５の相対質量分布がボトル２の側壁５を透過する光の分布から計算されるという事実に起因して、側壁５の質量から決定されるべき壁部３の質量比率を、絶対質量値の計算をしなくても質量分布に基づいて誤差を殆ど伴うことなく決定することができる。 （もっと読む）

【課題】サイトメータのフローチャネル内で光が当たっている粒子に関する情報を得るのに各種の波長の光を検出するための多重化方式を使用するサイトメータ用光システムを提供する。
【解決手段】１つのビームに組み合わされる各種の波長をもつ光の出力を有する多重化された１組の光源。ビームはサイトメータのフローチャネルの粒子に当たることができる。フローチャネルを出る光は検出器によって検出され、波長に応じて識別することができる。 （もっと読む）

【課題】分解せずにギヤの摩耗の発生や進行を推定し、分解を伴う精密点検の頻度の最適化を図ることが可能な機械の点検方法を提供する。
【解決手段】グリスが塗布されたギヤ機構を有する機械（巻上機１００）の点検方法であって、予め酸化させたグリスを用いてギヤ機構の摩耗を再現した摩耗試験を行い、摩耗粒子が発生し始める段階におけるグリスの酸化度からなる第１管理値を設定し、ギヤ機構の摩耗によって発生する摩耗粒子の大きさについて第２管理値を設定し、機械の分解を伴わない普通点検において、ギヤ機構の近傍からグリスを採取し、採取したグリスの酸化度を測定し、測定した酸化度が第１管理値を超えていた場合には、採取したグリスに含まれる摩耗粒子の大きさを測定し、測定した摩耗粒子の大きさが第２管理値を超えていた場合に、機械の分解を伴う精密点検を行う。 （もっと読む）

【課題】加熱装置において、被加熱物のカロリーを非接触で簡易に算出することを目的とする。
【解決手段】テラＨｚ帯の高周波通信手段１０，１１による吸収量、反射量から被加熱物５のカロリー情報を非接触で検出する被加熱物カロリー算出手段１２と、被加熱物のカロリーを算出するために必要な重量、形状を測定する物理量検出手段１３と、被加熱物を加熱する加熱手段１と、加熱手段等を制御する制御手段１５により被加熱物のカロリーを算出する。これによって、非常に簡単に被加熱物の種類によらずカロリーを測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被験者から採取される検体に含まれる粒子成分を分析する自動分析装置において、移動および開閉などの動作をしない部位の異常を検知することは困難であった。
【解決手段】被験者から採取される検体に含まれる粒子成分を分析する自動分析装置であって、検体を測定し、測定データを取得する測定部と、測定部により取得された測定データを解析し、検体に含まれる粒子成分の分析結果を取得する制御部と、所定の情報を通知する通知手段と、を備え、制御部は、所定の粒子成分の異常に関する情報を含む分析結果が取得される頻度に基づき、測定部の異常の兆候を示す情報を通知するよう通知手段を制御する自動分析装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】強磁性体の異方性磁場等の磁気光学特性を精度よく、安価で簡便に測定する磁気光学特性測定装置及び磁気光学特性の測定方法を提供する。
【解決手段】磁気光学特性測定装置１は、レーザ光源２が試料Ｆの磁化の光励起歳差運動の周期に同期可能な高繰り返し周期の光パルス列を発生し試料に照射するモードロックレーザであり、外部磁場印加手段４が試料に所定の外部磁場を電磁石により印加させ、偏光検出器５は光パルス列が試料で反射した反射光を検出して、偏光成分を磁気光学信号として出力し、制御装置６が外部磁場印加手段を制御して試料の磁化の光励起歳差運動が光パルス列の周期に同期したときの外部磁場と磁気光学信号とを共鳴条件として取得し、共鳴条件での光パルス列の周期と外部磁場の強度と磁気光学信号とを用いてＬＬＧ方程式に基づき試料の磁気光学特性である有効内部磁場又は異方性磁場とダンピングファクタとを算出する。 （もっと読む）

【課題】既知の反射率を有する被写体の撮影や、照明の分光分布の測定を行うことなく、被写体に対する照明光源の分光分布情報を簡易に取得する。
【解決手段】マルチバンド撮影を行う撮像部１０によって、被写体１２をストロボ光源１３下で撮影した画像データと、照明光源１４下で撮影した画像データについて、画像差分演算部１１１でこれらの画像差分を算出する。分光分布差分演算部１１３は、分光分布保持データベース１１２に保持された各種の分光分布情報について、ストロボ設定部１１６で設定されたストロボ光源１３の分光分布情報との差分である分光分布差分を算出する。そして差分比較部１１４で、画像差分との一致度が最も高い分光分布差分を選択し、分光分布推定部１１５で、該選択された分光分布差分に対応する分光分布情報を、照明光源１４に対する分光分布情報として推定する。 （もっと読む）

【課題】切削しながら表面からサブミクロンの深さにおける表面サンプルの状態を分析できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】表面分析対象となる試料の表面を切削する切刃と、この試料から削られた表面サンプル及びこの切刃に分析光を照射可能な光源と、この分析光がこの表面サンプルに照射されて到達する面であってこの表面サンプルをバックアップするバックアップ面と、この表面サンプルからの光を通過させる光路とを備え、この試料若しくはこの切刃を相対的に移動して表面サンプルの表面からの深さを変えることができる表面分析装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】近赤外スペクトルにより欠点の有無も含めて複数の評価項目を一度に評価でき、生産性の高い木材の光学式品質評価方法を提供する。
【解決手段】木材Ｗに近赤外光を照射し、その反射光から得られる近赤外線スペクトルに基づいて木材の強度特性、含水率、及び欠点の有無を同時に評価する。木材の強度特性に関する評価項目としては、曲げヤング係数、動的ヤング係数、及び曲げ強さが挙げられる。さらに、木材の密度も同時に評価できる。近赤外光は、ベルトコンベア上を長手方向に沿って搬送されてくる木材の上方から、該木材の幅方向の全体に亘って照射することが好ましい。木材Ｗとしては、集成材製造用の木材が好適である。 （もっと読む）

【課題】高濃度の巨大分子の溶液の会合特性を特徴付けるための新たな方法を提示する。
【解決手段】さまざまな濃度にわたる試料アリコートが光散乱光度計に連続的に注入される。平衡会合定数および会合化学量論は、分散信号の角度および濃度の依存性を分析することによって得られる。熱力学的非理想性は、高濃度では重要なものとなるが、分析時には、複数の会合された種に適用可能な単純な態様で処理される。 （もっと読む）

【課題】製造された全ての半導体基板の所定の測定点における少なくとも応力と膜厚とを自動的に測定し、かつ、的確に分析して高性能で生産性よい基板製造工程の確立に寄与する基板検査装置を提供できるようにする。
【解決手段】測定対象ウェハ３を移動可能な試料台４上に搬送する搬送装置と、試料台４上のウェハ３表面の測定点Ｐを観察する光学顕微鏡１０と、その測定点Ｐに多波長の偏光された光Ｌ₃を照射してウェハ表面に関する情報を出力するエリプソメータ光学系４０と、ウェハ３の測定点Ｐにレーザ光を照射してウェハ３に関する他の情報を出力するラマン分光光学系２０と、それら情報を用いて膜厚・屈折率及び応力・組成などの物理情報を解析し出力するコンピュータ６０とを備えている。 （もっと読む）