【課題】テラヘルツ分光法のための、送受信機に用いられる光ビームの一方又は両方の周波数を正確に調整するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】ターゲットを分析し、同定し、又は画像化するための装置が、ターゲット上に集光され、該ターゲットを透過した、又は該ターゲットから反射された、１００ＧＨｚより大きい周波数範囲の１つ又はそれ以上の帯域におけるＣＷ信号を生成するように、一対の光伝導スイッチに結合された第１及び第２のレーザ・ビームと、ターゲットから受け取った信号からスペクトル情報を取得し、マルチスペクトル・ヘテロダイン・プロセスを用いてターゲットの幾つかの特性を表す電気信号を生成するための検出器とを含む。レーザは、異なる周波数に調整され、１つのレーザ・ビームの経路にある周波数シフタにより、１つ又はそれ以上の選択された周波数帯域においてテラヘルツ・ビームを精密に調整することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】微小な領域の薄膜の厚さや光学定数の２次元分布を高速かつ高精細に計測することのできる測定機の提供。
【解決手段】入射・受光光学系と偏光測定モジュール１０５と解析装置とを具えるエリプソメータで、入射光学系は平行光ビームを出射する機構と光ビームの偏光状態を定める偏光子１０２あるいは波長板を有し、受光光学系は測定試料１０３から反射された光ビームを受光し、測定試料面の像を前記偏光計測モジュールに含まれるエリアセンサ１０６に結像させるレンズ系、偏光計測モジュールは波長板アレイ１０７と、均一偏光子１０８と、エリアセンサとを含む。波長板アレイは１次又は２次元的に繰り返し配置された複数の単位ユニットを含み、該ユニットは同異方性軸の方向が異なる少なくとも４種類の波長板を含む。均一偏光子は一方向の透過軸を有し、エリアセンサは前記波長板アレイおよび前記均一偏光子の順に通過した光を独立にその強度を測定できる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でレーザ光の偏光に対して結晶の方位を合わせることができ、適切な分光計測結果を得ることができる。
【解決手段】全反射分光計測装置１では、段差部５１Ａ，５１Ｂへの突き当てによって、内部全反射プリズム３１の入射面３１ａにおけるポンプ光４８の偏光に対するテラヘルツ波発生用非線形光学結晶３２の方位角の角度決め、及び出射面３１ｂにおけるテラヘルツ波Ｔ及びプローブ光４９の偏光に対するテラヘルツ波検出用電気光学結晶３３の方位角の角度決めを簡単な構成で精度良く行うことができる。これにより、反射面３１ｃに対するテラヘルツ波Ｔの偏光の条件を設定どおりに合わせることができる。また、テラヘルツ波検出用電気光学結晶３３における検出効率も最大となるので、適切な分光計測結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】カラー撮像部を用いて、水質検査試験紙を撮像した色情報に基づいて画像処理し、その反応色の度合いを数値表示させる装置を提供する。
【解決手段】水質検査試験紙計測装置は、台紙に１から数種類の薬紙が取付けられている水質検査試験紙をカラー撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された前記薬紙部分の色情報を算出する色情報算出手段と、前記色情報算出手段により算出された薬紙部分の色情報と予め設定されている検量線データと比較する色情報比較手段と、前記色情報比較手段により比較された色情報に基づいて得られる計測値を表示する計測値表示手段と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、非破壊であって測定環境をコントロールすることなく、基板上に導電性を持つ導電層を介して半導体層を形成した測定対象物における前記半導体層の結晶性を評価し得る半導体薄膜結晶性評価装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体薄膜結晶性評価装置Ｄａは、基板ＬＡ１上に導電性を持つ導電層ＬＡ２を介して半導体層Ａ３を形成した測定対象物ＷＡに、半導体層ＬＡ３の厚さよりも短い浸透長となる波長域の測定光を照射して、測定対象物ＷＡで反射した測定光の反射光を測定する測定部１と、測定部１の出力に基づいて反射スペクトルにおける所定のピークに関する情報を求め、この求めた前記情報に基づいて半導体層ＬＡ３における結晶性の評価を表す評価指標を求める演算部２とを備える。 （もっと読む）

【課題】垂直構造によって支持されるトラック上でセンサを輸送するローラ往復台を用いる走査センサにおいて、センサの変位整合の変動が最小になるようにする。
【解決手段】センサヘッドを輸送するローラ往復台は、往復台の４つの隅部にある旋回点の周りで作用する４対の車輪を有し、往復台は、懸架式トラック４４，４６に支持されて前進する。横方向の車輪間隔は、すべての車輪がともに垂直に進むと平均してゼロになるように、トラック支持体間隔の距離と相関して選択される。その結果、センサの変位整合の変動が最小になる。さらに、旋回機構の結果、標準的な旋回しない車輪セットに対して、トラックの破片または車輪の同心性などによって引き起こされる不規則な垂直方向の偏向の影響を５０パーセント低減させる。ローラ往復台は、機械方向に移動している巻取り紙材料の物性を監視するために、センサヘッド４０を横方向に沿って移動させる。 （もっと読む）

【課題】数秒／枚程度で生産されるパターンドメディアを全面を全数に亘って検査することを可能にするパターンドメディアの形状欠陥検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】基板に形成された寸法が１００nm以下の繰り返しパターンを検査する方法において、基板に複数の波長成分を含む光を照射し、この光を照射した基板からの反射光を分光して検出し、この分光して検出して得た信号を処理して分光反射率を求め、この求めた分光反射率から評価値を算出し、予め求めておいた評価値とパターン断面形状との関係に基づいて分光反射率から算出した評価値からパターンの形状欠陥を判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】較正用構造体を用いて較正を行うことによって血液成分測定装置の測定誤差をより一層低減し、測定精度の向上を図る。
【解決手段】較正用構造体１０は、内部に光散乱体２２を有した本体部２４と、較正液２６の充填されたフローセル２８とを備え、前記フローセル２８は、血液成分測定装置１２の発光部１８から照射される近赤外光を透過させる透過体４０と、該透過体４０に接続されるチューブ４２とからなる。そして、透過部は、近赤外光の光路長が短い第１透過部４４と、前記第１透過部４４と接合され前記近赤外光の光路長が長い第２透過部４６とを備え、較正用構造体１０スライド変位させることによって発光部１８に対する透過体４０の位置を切り換える。 （もっと読む）

【課題】複数の部分導波路から成る光導波路を設けることで、合成した電磁波のメインローブが大きな略単一の指向性を有する電磁波発生素子等を提供する。
【解決手段】電磁波発生素子は、それぞれ誘電体１０、１１に挟まれ非線形光学結晶を含む複数の部分導波路１０１、１０４、１０７から成る光導波路を備える。複数の部分導波路１０１、１０４、１０７は、これらにおける光の伝播方向のなす角が２θ_ｃと略一致する様に構成される。ここで、非線形光学結晶の光に対する屈折率をn、誘電体１０、１１と部分導波路１０１、１０４、１０７との電磁波に対する実効的な比誘電率をε_effとして、θ_ｃ=cos^-1(n/√ε_eff)と定義される。 （もっと読む）

【課題】広い油種および広い使用環境に対し高精度で、コストを低減できると共に簡易な測定を可能とすることのできる潤滑油劣化モニター装置を提供する。
【解決手段】単一の光源３からの可視光線を潤滑油１に透過させ、単一の受光素子５で電気信号に変えて潤滑油の劣化を検知するモニター装置において、光源３と受光素子５との間に、所定の中心波長と半値幅を有する透過光を得るためのコーティングを施したガラス又は樹脂製フィルター４を配置する。波長の幅を持たせて測定することができ、潤滑油の劣化度合いを的確に把握する。すなわち、油種および劣化状況の違いがあったとしてもそれらの違いを平均化した値として透過光を測定することが可能となる。また、単一の光源３、及び単一の受光素子５で測定可能となり、且つ使用するフィルター４に関してはコーティング技術を採用することにより、より安価に装置が製造できる。 （もっと読む）

【課題】容器に封入された内容物の凝固の検査を非破壊で、迅速に、簡便に、かつ、安価に行うことができる容器内容物の凝固検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】容器内容物の凝固検査装置であって、少なくとも加震台と光源とフォトセンサと凝固判断手段とから構成されており、前記加震台は、検査対象物である液体内容物を封入された複数の容器を、加震台の往復振動時においても不動の位置が保持できるように、複数の容器を格子状に整列させて箱詰めできる収納装置を備えていることを特徴とする容器内容物の凝固検査装置。 （もっと読む）

【課題】細孔を有した薄膜に対して超臨界流体とエリプソメータを利用して膜厚を計測する方法において、容器の窓における光弾性効果を補正する方法を提供
【解決手段】あらかじめ大気中で試料５０の反射光の偏光状態を測定し，続いて試料を超臨界流体容器内に配置し超臨界流体を封入ないし流通させた状態で反射光の偏光状態を測定し，続いて試料を超臨界流体容器内に配置し超臨界流体を封入ないし流通させた状態でプローブ材料を添加し偏光状態を測定し，前記大気中偏光状態と前記超臨界流体中偏光状態とから入力窓１１０と出力窓１１２の光弾性効果を求め，さらに入力窓と出力窓の光弾性効果の結果を利用し，プローブ材料を添加した場合の偏光状態から，超臨界流体中にプローブ材料を添加した場合の試料の光学的状態を求める、細孔を有する薄膜の測定方法。 （もっと読む）

【課題】微粒子を高い濃度で含有する分散液であっても、微粒子の平均粒径やその分布の測定を、高い精度及び簡便な操作で可能とする低コヒーレンス光源を用いた光散乱強度測定方法及び動的光散乱測定装置を提供する。
【解決手段】低コヒーレンス光源を有するマッハツェンダー型又はマイケルソン型の干渉計を使用し、分散液に分散された微粒子の動的特性を測定する光散乱強度測定方法であり、前記微粒子に光を照射し、かつ、後方散乱光を集光する照射集光部を前記分散液に挿し入れて測定する光散乱強度測定方法。 （もっと読む）

【課題】単一ビームや単針を走査する方法と比べて短時間にパターンを検査することができるパターン形成部材の検査方法及び装置、並びにパターン形成部材を提供する。
【解決手段】被転写材料に転写すべきパターン３とプラズモン共鳴構造体４とを有するパターン形成部材１を準備し、プラズモン共鳴構造体４に光を照射してプラズモン共鳴構造体４のプラズモン共鳴の吸収特性を計測し、吸収特性に基づいてパターン３を検査する。 （もっと読む）

【課題】広スペクトル範囲で動作可能な反射屈折光学システムを提供する。
【解決手段】一実施形態では、反射屈折光学システムは、放射を反射するように位置決めされかつ構成された第１の反射面と、第１の反射面から反射された放射を平行ビームとして反射するように位置決めされかつ構成された第２の反射面であって、第２の反射面を通る放射の透過を可能にするアパーチャを有する第２の反射面と、アパーチャから第１の反射面に向かって延在し、第１の反射面と第２の反射面との間に第１の反射面に放射を供給するアウトレットを有するチャネル構造とを含む。 （もっと読む）

【課題】生体内の血液は、皮膚血流と生体組織内血流に大きく分類される。測定対象は生体組織内の血流であるが、第１の開口部から光を照射して第２の開口部で光を受光する構成では測定値に生体表面付近の皮膚血流の変化を含むため、姿勢変化などによる皮膚血流の影響が測定に現れる。
【解決手段】本願発明は、全体の受光量から開口部の生体表面付近の受光強度および光の照射点と受光点の中間位置の生体表面付近の受光強度に重み付けをして差し引くことにより生体組織内血流をより正確に計測することを可能とした。 （もっと読む）

【課題】高精度に膜厚を測定することを可能にした膜厚測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】分光スペクトル情報を信号処理して膜厚を推定する膜厚測定方法において、
検量線作成用分光スペクトル情報を基底分解し、その基底に掛かる第１の係数を分光スペクトル情報の代表値として求め、第１の係数と分光スペクトル情報に対応した膜厚データとから重回帰係数を求める工程と、測定対象物の分光スペクトル情報と基底とに基づいて基底に掛かる第２の係数を求め、第２の係数と重回帰係数とに基づいて測定対象物の膜厚を推定する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して、接合膜を介して基材を強固に接合することができるか否かの接合膜の接着性の程度を精度よく評価することができる接合膜の評価方法を提供する。
【解決手段】接合膜３の評価方法は、Ｓｉ骨格と、有機基からなる脱離基とを含む接合膜３の評価方法であり、接合膜３は、エネルギーが付与されることにより、脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、その表面に、対向基板（他の被着体）４との接着性が発現するものであり、前記エネルギーを付与する前後の接合膜３をそれぞれ赤外吸収スペクトル法で測定し、Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ結合に帰属するピーク強度を１としたときのメチル基に帰属するピーク強度を求め、エネルギーを付与する前後のメチル基に帰属するピーク強度を比較し、その比較結果に基づいて、接合膜３の対向基板４に対する接着性を評価する。 （もっと読む）

【課題】希釈剤あるいは賦形剤と混合された製品やプラスチック容器などに包装された製品における多形の定量定性分析を可能とする。
【解決手段】照射部３が、パルス状のテラヘルツ波を被検体１に照射し、検出部４が、被検体１を透過したテラヘルツ波を検出し、計算制御部５が、検出したテラヘルツ波から被検体１の吸収特性スペクトルを取得し、被検体１の吸収特性スペクトルを蓄積部５１に格納した様々な結晶形の吸収特性スペクトルと比較することで、被検体１に含まれる結晶形を同定することができる。また、目的の結晶形に合成された原料が、充填剤、増量剤、結合剤、付湿剤、崩壊剤、表面活性剤、滑沢剤等の希釈剤あるいは賦形剤と混合して錠剤成型された製品や、プラスチック容器などに包装された錠剤をそのまま分析することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データから特定の色の画像データを抽出する色抽出手段と、前記色抽出手段により抽出された前記特定の色の画像データを含む第一の所定領域の画像データの色の変化に基づき前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、
を有する。 （もっと読む）