【課題】 超電導素子に電磁波を効率よく吸収させることができる超電導電磁波測定器を提供する。
【解決手段】 超電導電磁波測定器１は、電磁波３１を内部に入射させることができる入射窓３を有する断熱容器２と、この断熱容器２内に設けられ、入射窓３と対向する面に凹形状部５ｄを形成する素子基板５と、この素子基板４の凹形状部５ｄの表面に形成される超電導素子６と、この超電導素子６の両端に電極を接続して超電導素子６の抵抗の変化を測定する抵抗測定装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の温度をより高精度に測定可能な赤外線センサ装置を提供すること。
【解決手段】 測定対象物Ｓから放射された赤外線を検出する第１の感熱素子と測定対象物Ｓから放射された赤外線が遮光されてこの赤外線を検出しない第２の感熱素子とを有する赤外線センサ本体１０と、第１の感熱素子および第２の感熱素子からの電気信号を入力可能であると共に赤外線センサ本体１０の温度を制御可能なセンサ温度制御部１１とを備え、センサ温度制御部１１が、少なくとも第１の感熱素子からの電気信号に基づいて測定対象物Ｓの温度を求めると共に、第２の感熱素子からの電気信号に基づいて赤外線センサ本体１０の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】 筐体からの輻射熱の影響を抑制することができる赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム２と、該絶縁性フィルム２の一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子３Ａ及び第２の感熱素子３Ｂと、絶縁性フィルム２の一方の面に形成され第１の感熱素子３Ａに接続された導電性の第１の配線膜４Ａ及び第２の感熱素子３Ｂに接続された導電性の第２の配線膜４Ｂと、第２の感熱素子３Ｂに対向して絶縁性フィルム２の他方の面に設けられた赤外線反射膜６と、絶縁性フィルムの一方の面に固定されて該絶縁性フィルムを支持すると共に第１の感熱素子及び第２の感熱素子を内部の収納部に収納する筐体とを備え、第１の配線膜４Ａが、第１の感熱素子３Ａの周囲にまで配されて第２の配線膜４Ｂよりも大きな面積で形成されている。 （もっと読む）

【課題】受光素子での光検知の空間分解能を向上させることが可能な検知装置を提供する。
【解決手段】検知装置は、複数の受光素子１と、各受光素子１と協働する回路部品２と、各受光素子１が収納されたパッケージ３とを備えている。検知装置は、回路部品２もパッケージ３に収納されている。検知装置は、パッケージ３内において各受光素子１が互いに離間して配置されている。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサの温度と温度センサで検出される温度との実質的な差を解消し、高感度な赤外線センサおよびこれを用いたＮＤＩＲガス濃度計を提供する。
【解決手段】開口部51から入射する光のうち所定の波長の赤外線のみを下流側に透過する光学フィルタ2と、前記光学フィルタを透過した赤外線を光電変換して電気信号として出力する光電変換部32を有する赤外線センサ素子3とを備えた赤外線センサ1であって、前記赤外線センサは、前記赤外線センサ素子の温度を測定する温度センサを赤外線センサ素子と熱的に一体構成にして樹脂封止5している赤外線センサ。前記光電変換部から出力された電気信号に対して前記温度センサで得られた温度に基づいて補正する信号処理用ＩＣ4と、前記信号処理用ＩＣと接続された配線端子とをさらに備え、該信号処理用ＩＣは前記温度センサを有し、前記配線端子と赤外線センサ素子とを積層してバンプ配線により続する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ薄型で、測定精度の高い簡易な構成の赤外線ガスセンサを提供すること。
【解決手段】本発明の赤外線ガスセンサは、赤外光を含む光を発する赤外光源１と、この赤外光源１からの赤外線を受ける赤外線センサ５と、この赤外線センサ５上に配置された特定の波長を通すバンドパスフィルタ7と、赤外光源１と赤外線センサ５とを支持する基板２と、赤外光源１と赤外線センサ５とを覆うドーム型筐体9とを備えている。赤外線センサ５の受光面の視野内に赤外光源１の発光面はなく、赤外光源１から発した光は、ドーム型筐体９の内面に反射して赤外線センサ５に入射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 軽量でかつ安定した設置状態が得られ、回路基板から離れた部分の温度も高精度に検出できると共に容易に取り付けることができる赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム２と、該絶縁性フィルム２の一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子３Ａ及び第２の感熱素子３Ｂと、絶縁性フィルム２の一方の面に形成され第１の感熱素子３Ａに接続された導電性の第１の配線膜４Ａ及び第２の感熱素子３Ｂに接続された導電性の第２の配線膜４Ｂと、第２の感熱素子３Ｂに対向して絶縁性フィルム２の他方の面に設けられた赤外線反射膜６と、絶縁性フィルムの一端部に形成され外部のコネクタに嵌め込み可能な複数の端子電極７Ａ，７Ｂと、絶縁性フィルムの一方の面における一端部に貼り付けられた端部補強板１１と、絶縁性フィルムの他端部に形成された取り付け用孔２ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物以外からの輻射熱の干渉を受け難くし、また周辺装置からの熱の影響を受け難くして、検出精度を改善することができる赤外線センサ及びこれを備えた回路基板を提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム２と、該絶縁性フィルム２の一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子３Ａ及び第２の感熱素子３Ｂと、絶縁性フィルム２の一方の面に形成され第１の感熱素子３Ａに接続された導電性の第１の配線膜４Ａ及び第２の感熱素子３Ｂに接続された導電性の第２の配線膜４Ｂと、第２の感熱素子３Ｂに対向して絶縁性フィルム２の他方の面に設けられた赤外線反射膜６と、を備え、絶縁性フィルムに、第１の感熱素子および第２の感熱素子の周囲に第１の配線膜および第２の配線膜を避けて延在する長孔部２ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 軽量でかつ基板に立設させて十分な支持強度で取り付けることが容易な赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム２と、該絶縁性フィルム２の一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子３Ａ及び第２の感熱素子３Ｂと、絶縁性フィルム２の一方の面に形成され第１の感熱素子３Ａに接続された導電性の第１の配線膜４Ａ及び第２の感熱素子３Ｂに接続された導電性の第２の配線膜４Ｂと、第２の感熱素子３Ｂに対向して絶縁性フィルム２の他方の面に設けられた赤外線反射膜６とを備え、センサ部に対応したセンサ部用窓部８ａが形成されて絶縁性フィルムに貼り付けられた補強板８と、第１の配線膜および第２の配線膜に接続され絶縁性フィルムの端部に形成されコネクタに嵌め込み可能な第１の端子電極７Ａおよび第２の端子電極７Ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】偏光フィルタのような追加の構造を用いることなく、特定の偏光の検出を可能にした赤外線センサおよび赤外線センサアレイの提供。
【解決手段】赤外線センサ１００は、温度検知部と、温度検知部に熱的に接続された吸収体１０とを含み、吸収体１０に入射した光を検出する半導体光素子であって、吸収体１０の表面に含まれた第１方向と、第１方向とは異なる第２方向が規定され、吸収体１０は、第１方向に第１周期で設けられ、第２方向に第２周期で設けられた凹部１１を有し、第１周期と第２周期が異なるか、または吸収体１０は、第１方向および第２方向に周期的に設けられた凹部１１を有し、吸収体１０の表面における凹部１１の形状が第１方向と第２方向で異なる。 （もっと読む）

【課題】設計した吸収波長に対して高い感度を持つ赤外線検出素子を提供すること。
【解決手段】赤外線検出素子２０は、支持基板１上に配置され、赤外線を吸収する第１の吸収膜２と、支持基板１上に配置され、第１の吸収膜２と接続された検出部４と、支持基板１を支持する支持脚５と、支持脚５上に配置され、赤外線を吸収する第２の吸収膜３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】自己発熱量を十分に補償しつつ、感度を確保することができる赤外線イメージセンサ及び信号読み出し方法を提供する。
【解決手段】赤外線を検出する赤外線イメージセンサであって、複数の画素を配列した画素領域及び少なくとも一つのリファレンス画素を有する受光部１２と、画素領域に含まれる１つの画素の信号とリファレンス画素の信号との差分信号である第１差分信号、及び画素領域に含まれる複数の画素のうち所定の２つの画素の信号の差分信号である第２差分信号を取得する差分回路と、第１差分信号及び第２差分信号に基づいて画素の信号を算出する画素信号算出部と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】赤外線撮像素子の熱応答速度によらず高い応答速度で熱画像を表示することの出来る熱画像撮像方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の熱画像撮像方法によれば、『「第一検出値と第二検出値との差」と、「赤外線撮像素子の熱応答速度」とから赤外線検出値を推定すること』とのことから、１スキャンタイム前と現スキャンタイムとの赤外線撮像素子の検出値の変化速度から現スキャンタイム時の赤外線撮像素子の赤外線検出値を推定し、現スキャンタイム時の対象物の温度を推定することが出来る。よって、赤外線撮像素子の熱応答速度によらずスキャンタイム毎に対象物の温度を推定することが出来、熱画像を高い応答速度で撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】受光部を形作るスリットを設けても犠牲層が残存し、レジストマスクパターンの精度悪化も起こらない参照素子を備え、当該参照素子の遮光効果及び伝熱効果が高く、ドリフト抑制精度が高い熱型赤外線固体撮像素子及びその製造方法の提供。
【解決手段】内部に熱電変換素子を包含する絶縁膜に受光素子を形作るスリットが犠牲層に達するまで開口された参照素子において、受光部及びスリットを覆う導電性材料膜とその上に保護膜が設けられ、導電性材料膜及び保護膜は、スリットの側壁に沿ってスリット内部に入り込みスリット内部に空隙が残存している。これにより、絶縁膜の残留応力が受光素子と参照素子とで揃った状態が保たれ、焦点ズレによるレジストマスクパターン精度悪化は起こらず、入射赤外線に対する遮光効果や熱を効率良く逃がす伝熱効果も向上し、ドリフト抑制精度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】集光効率を向上させ、小型の遠赤外線検出装置を提供すると共に、センサ感度を向上させ、画素が配置されている方向と垂直な方向の変化も検出可能な遠赤外線検出装置を提供する。
【解決手段】遠赤外線を集光する集光手段と、集光された遠赤外線を検出する検出手段とを含む遠赤外線検出装置であって、集光手段における遠赤外線の入射面側に設けられた曲面と、集光手段における遠赤外線の出射面側に設けられた全反射防止面とを含み、集光手段は、シリンドリカルレンズと凸レンズ群とを含み、検出手段は、シリンドリカルレンズにより集光される遠赤外線と、凸レンズ群により集光される遠赤外線とを検出するセンサ素子とを含む。 （もっと読む）

【課題】高い製造歩留りで作成できる高感度ボロメータ型ＴＨｚ波検出器の提供。
【解決手段】基板に形成された読出回路に接続される電気配線を含む支持部により、前記電気配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が、前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するボロメータ型ＴＨｚ波検出器であって、前記基板上の前記温度検出部に対向する位置にＴＨｚ波を反射する反射膜が形成され、前記温度検出部の表面、裏面あるいは内部に前記ＴＨｚ波を吸収する吸収膜が形成され、前記反射膜と前記吸収膜とで光学的共振構造が形成され、前記反射膜上にＴＨｚ波に対して透明な誘電体が形成され、前記誘電体の上面と前記温度検出部の下面との間隔（エアギャップ）が８μｍ未満となるように、前記誘電体の膜厚が設定されている。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上させた赤外線測定器とその製造方法の提供。
【解決手段】基板１０とセンサ（強誘電体層１３）とを有するセンサ部２を備え、基板２０と赤外線透過薄膜積層体２２，２４とを有して両積層体２２，２４の間に電圧が印加された状態において両積層体２２，２４が光学的に一体化し、かつ、両積層体２２，２４の間に電圧が印加されない状態において両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成されるように構成されたシャッター機構部３を備え、基板１０，２０が対向するようにセンサ部２およびシャッター機構部３が一体化して、両積層体２２，２４が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させてセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を許容すると共に両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成された状態において赤外線ＩＲを反射してセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を規制するように構成している。 （もっと読む）

【課題】気密性の向上を図ることができる検出装置を提供する。
【解決手段】検出素子２１を有する第１の基板２と、第１の基板２に接合された第２の基板３と、を備えた検出装置１であって、第１の基板２は、検出素子２１と電気的に接続された第１の電極２３と、対向面２０１に積層された第１のメタル層２６と、をさらに有し、第２の基板３は、第１の電極２３と接合された第２の電極３３と、第１のメタル層２６と接合された第２のメタル層３４と、を有し、第１の電極２３の表面２３１と第１のメタル層２６の表面２６１は、実質的に同一の平面Ｆ１上に位置すると共に、第２の電極３３の表面３３１と第２のメタル層３４の表面３４１も、実質的に同一の平面Ｆ２上に位置し、第２の基板３は、第２の電極３３と第２のメタル層３４の間に位置し、第２の電極３３と第２のメタル層３４を電気的に絶縁した環状突起３２をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】バックチャネルを抑制するための構造、及びその構造を簡易に形成することを可能にすることができる非冷却赤外線撮像素子及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】実施形態の非冷却赤外線撮像素子は、半導体基板上にマトリクス状に配列され、赤外線の受光量に応じて電流特性が変化する感熱画素を含む感熱画素領域と、少なくとも、当該画素領域を駆動する駆動回路および当該画素領域からの信号を検出する読み出し回路のうちの一方を有するデバイス領域と、を有している。また、当該少なくとも一方の回路がＭＯＳトランジスタを含んでいる。さらに、当該感熱画素の当該半導体基板の下部及び当該ＭＯＳトランジスタの当該半導体基板の下部に、それぞれ空洞を備えている。 （もっと読む）

【課題】感度が高い固体撮像素子を提供する。
【解決手段】実施形態に係る固体撮像素子は、赤外線を受光すると出力電位が変動する赤外線検出画素と、赤外線を受光したときの出力電位の変位量が、前記赤外線検出画素が前記赤外線を受光したときの出力電位の変位量よりも小さい無感度画素と、前記赤外線検出画素及び前記無感度画素の双方に駆動電位を印加する行選択線と、一方の入力端子に前記赤外線検出画素の出力電位が入力され、他方の入力端子に前記無感度画素の出力電位が入力され、前記一方の入力端子に入力された電位と前記他方の入力端子に入力された電位との差に対応する電位を出力する差動アンプと、を備える。前記赤外線検出画素、前記無感度画素及び前記差動アンプは、同一の半導体基板に形成されている。 （もっと読む）