【課題】
微細パターン面の洗浄において、超音波、ブラッシング、高圧液などの技術や装置を用いないで、クリーンで非接触の洗浄技術を提供する。
【解決手段】
本発明の洗浄方式は、まず初めに微細パターン面に蒸気ノズルから過熱水蒸気ガスを噴射して微細溝内部に蒸気を侵入させ、結露によってパーティクルを湿潤させる。次に微噴霧水シャワーからの微噴霧で薄膜状に覆い、この状態下で再び過熱蒸気を噴射して結露水と微噴霧膜を瞬時に水蒸気化爆発させ、パーティクルを溝部より排出し、周囲の水膜表面で捕捉させ、水の表面張力と粘性効果によって再び微細溝に侵入させずに洗浄水で排出搬送させる。 （もっと読む）

【課題】 汚染有機物の除去性能を高めることができる超音波洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄ヘッド１１のスリット１９を介して基板Ａに、マイクロバブルを含んだ洗浄液を供給するとともに、スリット１９に向けて集束するように超音波を照射させて基板Ａの洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】 再汚染の問題がなく、廃水処理が簡単で、且つ装置、運用コストを抑えることができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 基板１を複数のローラ２で連続して搬送し、基板１を洗浄及び乾燥処理する基板洗浄装置において、洗浄手段は、固形物を混合した混合液５と、加圧された気体と、混合液噴射ノズル３とを有し、基板１に向けて、混合液５を加圧された気体により混合液噴射ノズル３から噴射させる。 （もっと読む）

【課題】ワークの通路、特にトランジションピースやタービン翼のようなタービン部品の冷却空気通路を、特に簡単かつ効果的に洗浄する方法と装置を提供する。
【解決手段】通路付きワークを液浴に浸け、中空室付のケースをワークに押し当て、中空室内の液体を加圧下で衝撃的にワークの通路内に押し込む。本発明の方法によれば、非圧縮性である液体状の媒体を瞬間的にかつ高圧で噴射することで、冷却空気通路に付着した異物や酸化物を短時間で確実に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄能力が高く、かつ均一な音場を持つノズルまたはシャワー式の超音波洗浄器を提供すること。
【解決手段】 外径６ｍｍ、内径４ｍｍのステンレス製の円管の上部を研磨して、平坦部を設ける。そして、その平坦部に圧電素子３である圧電セラミックを、エポキシ樹脂を用いて接合する。圧電セラミック中の矢印は分極方向を示している。また、図示はしないが、分極方向に垂直な２面に銀電極を設けている。次にこのステンレス製の円管に純水を流し、超音波発振回路より所望の周波数の電圧を圧電素子に印加する。ステンレス製の円管のスリットからシャワー状の超音波振動が印加された純水が図示しない被洗浄物に接し、超音波洗浄が行われる。 （もっと読む）

【課題】 電食の原因となっている指紋や汗等の人体分泌物を含む塵埃を除去し、十分満足の得られる洗浄効果を得ることのできる蒸気噴射ノズル構造を提供すること。
【解決手段】外ノズル２内に噴射口３ａを臨ませて内ノズル３を配設し、前記内ノズル３の外周壁３ｂと外ノズル２の内周壁２ｃとの間に、負圧を生じさせるための間隙空間部４を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板サイズ情報を自動的に入力することによって、基板サイズ情報の手入力ミスを防止するとともに、生産性を向上させることができる洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】異なる複数のサイズのフォトマスク基板８に所望の洗浄処理を施すために、基板サイズに応じて可変する可変部位（三方弁２９３など）と、フォトマスク基板８とともに投入される基板保持部材８１に付された基板サイズ情報を読み取るバーコードリーダー１０１と、バーコードリーダー１０１により読み取られた基板サイズ情報にもとづき、可変部位を可変させる制御部７とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】基板の温度を適切に調節可能で、十分な乾燥が可能な信頼性の高い基板表面処理装置および基板表面処理方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗの酸化膜をフッ酸蒸気によりエッチング処理する際には、基板Ｗの温度を適切に調節することが重要である。基板Ｗの表面にフッ酸蒸気が供給されている間、以下のようにして基板Ｗの温度を適切に調節する。裏面流体供給管２６内にバルブ４０ｄを介して温水を供給することにより、流体傘ノズル２７の複数の流体噴出口から当該温水をスピンチャック２１に保持された基板Ｗの裏面に向けて供給する。基板Ｗの裏面が疎水性である場合には、基板Ｗの裏面と流体傘ノズル２７との間に、供給された温水からなる温水層ＨＬを生成する。エッチング処理後、リンス処理を行い、その後、スピンチャック２１の高速回転による基板Ｗの乾燥処理を行う。 （もっと読む）

【課題】
基板洗浄において、薬液、エキシマＵＶ、ＡＰプラズマ、超音波、ブラッシング、高圧水などの技術や装置を用いないで、界面活性剤と過熱蒸気などを組み合わせ、クリーンで装置ラインが短縮化された非接触の洗浄技術を提供する。
【解決手段】
本発明の洗浄方式は、基板上に界面活性剤水をシャワーノズルで散水し、次に蒸気ノズルから過熱蒸気を噴射させ、界面活性剤水の高温化と水蒸気の爆縮現象で有機物などを除去し、さらに水蒸気直下の基板上に微噴霧水を噴射して水蒸気化爆発現象でパーティクルを除去し、洗浄物を洗浄ノズルで排出搬送させ、噴霧水で基板前面を覆うことでウォーターマークを防止し、エアーノズルで乾燥させる機能を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ハウジングの旋回部分に１つ又は複数のノズル開口部が付加的に具備されており、前記ノズルは旋回作動中に、洗浄のための洗浄液を供給パイプに対して上方へ噴射するアセンブリを提供する。
【解決手段】 洗浄液供給パイプ（３）に設置されたノズル（６）を有するクリーニングヘッド（４、５）によりタンク（１１）の完全な洗浄を達成するために、本願発明によるクリーニングヘッド（４）には１つ又は複数のノズル開口部が設けられ、このノズル（７）によって供給パイプ／サスペンション（３）に向けて洗浄液が噴射される。これにより、クリーニング装置（３、１０）の固定部分は、クリーニングヘッド（４）が旋回（４ａ）している間、ノズル（７）により効果的な洗浄が実施さえることを保証する。 （もっと読む）

【課題】ベアリング部を常に望ましい衛生状態にすると共に、洗浄液の消費量を低減することができるクリーニングヘッドを提供する。
【解決手段】クリーニングヘッドの洗浄のための洗浄液の供給量を調整するため、本発明におけるハブ（４）は、ＡＩＳＩ３１６Ｌ及びNitronic60のような摩耗しない金属からなるベアリング、好ましくはベアリング部（１５、２０）の材料が互いに異なる、によりハウジング（３）内に取り付けられている。それにより、液体はベアリングギャップ（１４）を通過することができ、ハブ（１４）を洗浄する液体の消費量と、表面に固定された強固な液体層の形成とを正確に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の使用量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０に，保持ブロック１１０を取り付け，保持ブロック１１０の内部には，回転ロール９０の外周面の円周に環状に接触するシールリング１１１を設ける。保持ブロック１１０は，移動機構１２０により回転ロール９０の軸方向に移動自在にする。回転ロール９０の汚れを除去する際には，保持ブロック１１０が回転ロール９０の一端部側から他端部側に移動する。これにより，シールリング１１１が回転ロール９０の表面の汚れを掻き取って除去する。回転ロール９０の他端部側に移動されたシールリング１１１は，ノズルからの洗浄液により洗浄される。 （もっと読む）

【課題】噴射ノズル内部のキャビテーションによる壊食を低減させ、ノズルの耐久性を簡便に向上させる。
【解決手段】キャビテーション水噴射ノズルの基本構成として、径縮小部１１、スロート流路部１２、ホーン部１３および保護水供給機構１４を備えている。そして、保護水供給機構１４は、スロート流路部１２にその内壁を周回し連通する隙間部１４ａ、該隙間部１４ａの外周に沿い連通した環状の空洞部１４ｂ、および保護水供給孔１４ｃを有している。ここで、隙間部１４ａは、例えば、径縮小部１１からスロート流路部１２への入口領域で該スロート流路部１２に連通する。そして、高圧水１５を高速水１６にし、スロート流路部１２の内壁を上記高速水１６から遮蔽し前記内壁に沿って流れる流路壁保護水１８を生成する。 （もっと読む）

【課題】給水管内の洗浄効率が高く、且つ静粛性に優れた給水管洗浄システム、給水管洗浄装置、及び給水管洗浄方法を提供する。
【解決手段】圧縮空気を給水管の内部に射出して給水管内部を洗浄する給水管洗浄システムにおいて、圧縮空気を射出する第１の給水管と、前記第１の給水管と連通する第２の給水管と、圧縮空気を生成するコンプレッサーと、前記コンプレッサーより送られる圧縮空気を、電磁弁を用いて断続的に射出する圧縮空気送出機と、その内部に螺旋状の切り込みを有し、前記圧縮空気送出機より射出される圧縮空気を、前記第１の給水管の内部に螺旋状に回転させながら射出するシリンダとを有する給水管洗浄装置と、を備え、前記第１の給水管の内部に圧縮空気を、螺旋状に旋回させつつ圧送することとした。 （もっと読む）

シュラウドと、仕上げ部材とワイピング装置とを含むガラス板の縁部処理装置。仕上げ部材はシュラウドにより実質的に囲まれている。本装置は、ワイピング装置内の少なくとも１つのスロットにより放出された加圧空気を用いて、縁部処理により生じる汚染物質がガラス板の表面に沈降および／または付着することを防止する。ワイピング装置は、ガラス板の表面および処理縁部をさらに洗浄するために、ガラス板に向けられた洗浄流体の噴流を含み得る。
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【課題】表面に疎水性の部分を有する種々の基板においても、表面へのパーティクルが残存し難い基板洗浄方法および基板洗浄装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも一部の期間において基板を回転させつつ、基板の表面に液を供給して洗浄する工程と、その後基板を乾燥させる工程とを有する基板洗浄方法であって、基板を乾燥させる工程は、基板の回転数を基板を洗浄する際の回転数よりも低い第１の回転数に減速させる工程と、基板の回転数が前記第１の回転数まで減速された際に、基板の略中心から周縁部に向けて液の供給位置の移動を開始する工程と、第１の回転数より低い第２の回転数に達した時点で液の供給を停止する工程と、第２の回転数から回転数を増加させる工程と、第２の回転数より高い回転数で基板を回転させながら基板に向かってガスを供給する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 被清掃面の拭き清掃を行うシート状の清掃体を備える清掃用具において、清掃効果向上を図るのに有効な技術を提供する。
【解決手段】 本発明に係る清掃用具１０は、被清掃面を拭き清掃する清掃シート１００と、この清掃シート１００の下方領域の被清掃面に向けて洗浄液を噴射する噴射ノズル２５２を備える構成とされる。 （もっと読む）

【課題】微細気泡をムラなく被洗浄物に衝突させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、液体２中に気泡を発生させる気泡発生機構と、気泡および液体２を含む気液混合体を被洗浄物７に向けて放出する放出部４とを備えている。気泡発生機構は、放出部４から放出される気液混合体中に、相対的に小さな微細気泡３と相対的に大きな大気泡１とを混在させる。大気泡１と微細気泡３が混入された液体２を用いることによって、微細気泡３を被洗浄物７の表面で破裂させることができる。そのため、微細気泡３のマイクロジェット効果を十分に発揮させることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】気泡の排出を行う際の気泡の除去性能を向上させ、気泡とともに排出されていた洗浄液を浪費することなく基板を洗浄することができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄基板４４の上方に設けられ、箱状のヘッド本体内に超音波振動子１４、１４…が設けられるとともに、ヘッド本体の下部に洗浄液２０を吐出するための吐出口２２を有する基板上面洗浄用ヘッド１２と、被洗浄基板４４の下方に設けられ、箱状のヘッド本体内に超音波振動子４０、４０…が設けられるとともに、ヘッド本体の上部に洗浄液２０を吐出するための吐出口４２を有する基板下面洗浄用ヘッド３２と、基板上面洗浄用ヘッド１２に洗浄液２０を供給する洗浄液供給ライン１６と、基板上面洗浄用ヘッド１２に供給されて吐出口２２から吐出されなかった残りの洗浄液２０が基板下面洗浄用ヘッド３２に流れる連通ライン３４と、が備えられている。 （もっと読む）

【課題】この発明は超音波振動が与えられる処理液の温度上昇を防止することで、基板にダメージを与えずに洗浄処理できるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】超音波振動を与えた処理液によって基板を処理する基板の処理装置であって、直方体状であって、長手方向の一端部の下面に開口するとともに長手方向の他端部に向かって傾斜して形成された処理液の供給路３５を有する発振体３２と、発振体の上面に設けられ発振体を超音波振動させる振動子３４と、供給路に供給される処理液を冷却する熱交換器とを具備する。 （もっと読む）