【課題】洗浄液を良好に発泡させることができ、しかも取扱性に優れた洗浄液噴射装置を提供する。
【解決手段】発泡性の洗浄液を貯留する容器１と、圧縮空気を一定方向に流通させ、その圧縮空気の負圧で前記容器１内の洗浄液を吸引する吸引管２と、該吸引管で吸引された洗浄液を圧縮空気とともに噴射口１７から噴射するノズル３とを具備し、前記ノズル３は、吸引管側から噴射口側に向かって、吸引管よりも内径が大きい大径部１８ａ、吸引管の断面中心と噴射口の断面中心とを結ぶ直線１９から内壁面までの距離が噴射口側ほど小さいテーパ部１８ｂが順に形成され、該テーパ部内に多孔質な発泡促進部材２０が装入されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 蒸気洗浄機で、温水や洗浄剤をエジェクター式ノズルで噴射すると、洗浄効果が向上することが知られているが、蒸気の流速が大きいのに、液滴の流速が大きくならず、洗浄効果があるところからは大きくならないという欠点があった。
【解決手段】 エジェクター式蒸気ノズルにおいて、同心二重管式のエジェクターノズルにし、中心部に液を噴出させ、駆動蒸気を外側リング状ノズルより噴射させるようにする。 （もっと読む）

【課題】 箱型の搬送用コンテナを効率的に清浄化するのに適した洗浄装置を提供する。
【解決手段】 略矩形状の底部とその周囲に形成された搬送物の脱落を防止する側部とからなる搬送用コンテナを洗浄する洗浄装置であって、搬送用コンテナの底部に対して洗浄液及び純水を射出することができる複数の射出口２を有する第１の液体射出手段３と、搬送用コンテナの側部に対して洗浄液及び純水を射出することができる複数の射出口４を有し、射出口が搬送用コンテナの側部の垂直断面形状に対して略相似の形状に整列して形成されている第２の液体射出手段５と、第１及び第２の液体射出手段を、搬送用コンテナの洗浄面に対して所定の距離を保持するように上下動させる高度調節手段と、を有する洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】 連続運転、自動化、無人化の可能な洗浄装置を提案する。
【解決手段】 被洗浄物よりも小さい編み目を有する網をベルト２としたベルトコンベア３と、ベルトコンベア３の往きのベルトの下側に上向きに適間隔で配置されて加圧された洗浄水を上方へ噴射する複数の噴射ノズル５と、噴射ノズル５の上方であってかつベルトコンベア３の上方に設置されてベルトコンベア３を覆うカバー１８と、ベルトコンベア３の下方に配置されて噴射ノズル５から噴射されて落下してきた洗浄水を回収するドレンパン６と、ドレンパン６の排出口７下方に配置されて回収された洗浄水中の異物を除去する異物除去装置８と、異物除去装置８を通過した洗浄水を吸引加圧して噴射ノズル５に送出するポンプ１５を備える。 （もっと読む）

【課題】 海苔網等の水中の被洗滌物の表面を水中において高い洗滌力・清掃力・剥離力でもって洗滌でき、又、水中カメラで装置外周を撮影してもその領域の水を剥離物・泥等で汚濁することなく鮮明に映出して水中作業性に優れた水中洗滌装置を提供する。
【解決手段】 装置本体１に軸支した中空の回転軸３の下端に上円板４ａと下円板４ｂとの重合した円盤４を取付け、上円板４ａの下面に円盤中心を通る直接的溝を設け、重合した下円板４ｂとによって給水路１０を形成し、下円板４ｂの下面周縁に環状溝１３を形成し、前記給水路１０の路端と環状溝との間に円周方向で且つ下向きな連通孔を設け、同連通孔でもって噴水ノズル１１を形成し、回転軸３の上方にプロペラ６を取付け、又装置本体上方には水中カメラ１４を設け、又タイヤ１５によって走行できるようにした。 （もっと読む）

【課題】効率よく洗浄を行ない簡便な装置により洗浄を行なうことができ、省スペース化を図ることができるシート状物の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】走行するシート状物の一定領域を仕切る１対のガス流を形成し、この一定領域のシート状物上面にその幅方向に対応したスリット状の開口を有する洗浄液供給ノズルから洗浄液をシート状物の幅１ｍあたり５Ｌ／ｍｉｎ〜５０Ｌ／ｍｉｎで供給し、洗浄液を１対のガス流間のシート状物の上面に堆積、滞留させると共に、１対のガス流間のシート状物上に滞留する洗浄液の上流と下流間での混合を抑制することにより、シート状物上面を上流側から下流側へ向かってより清浄度の高い洗浄液へ移行して洗浄を行ない、下流側のガス流によりシート状物上面の洗浄液の除去を行なう。 （もっと読む）

【課題】 眼科用ガラス又は他の物質を洗浄するための洗浄器に使用する高圧洗浄液体スプレであって、該スプレは、洗浄用液体を導入するための導入開口部（１１）と、噴流となった液体を排出するための排出開口部（１２）を備え、これら導入開口部（１１）と排出開口部（１２）は、チャネル（１）により接続される。チャネル（１）は、断面長方形のチャネルであるとともにその途中部に絞り部を有し、これによりＸ字形状のチャネルとなり、前記絞り部の下流側において、拡張されたスリット状の排出空洞部端部が形成され、該端部が前記排出開口部をなし、前記絞り部の上流において、錘状のベース部内に導入空洞部（１４）が形成され、前記断面長方形のベースがチャネル（１１）の導入開口部（１１）を形成することを特徴とするスプレノズルである。 （もっと読む）

【課題】 従来の洗浄装置では、ノズルから噴出される洗浄液は大きな粒子を含むため、汚染物質と被洗浄物の間の隙間に浸透し難く、付着した汚染物質を剥離することは非常に困難であるという点である。
【解決手段】 容器６の底部に超音波振動子７が装着され、超音波振動子７に発振器８から発振出力が印加され、液体供給装置９から液体１０が容器６の底部に一定の深さになるように供給され、容器６の側部から液体１０の液面より上に気体が送風されるように、容器６の側面に気体供給口１１ａを設けた気体供給装置１１が接続され、気体供給口１１ａの対向位置の容器６の上部に気体を排出する排出口１２が形成され、排出口１２に吹き出し管１４が形成され、吹き出し管１４の吹き出し口１４ａに対向して、基板、液晶パネルなどのワーク１５が載置又は移動可能に載置されている。 （もっと読む）

【課題】 処理液を形成する薬液の特性を一定に維持して処理の安定化及び品質の向上を図れるようにすること。
【解決手段】 処理槽１０内に循環供給される薬液（ＤＨＦ，ＥＧ）の混合液からなる処理液であるエッチング液Ｅでエッチング処理する液処理装置において、各薬液を処理槽内に貯留された処理液に補充する薬液補充手段４０，５０と各薬液補充手段をそれぞれ構成する補充管路４３，５３に介設される開閉弁Ｖ2〜Ｖ5と、各補充管路に介設されて所定量の薬液を供給する薬液供給ポンプＰ1，Ｐ2と、各薬液の処理槽への補充タイミングを記憶し、この記憶された情報に基づいて各開閉手段及び各薬液供給手段に動作信号を伝達する制御コンピュータ７０とを具備する。制御コンピュータを、処理液の排液後に、処理槽内に複数の薬液を供給して処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能に形成する。 （もっと読む）

【課題】装置自体への加工を必要としない比較的簡易な方法により、エアナイフから吹付けられたエアの流れを規制して、効率的に基板を乾燥できる基板乾燥装置を提供する。

【解決方法】洗浄ラインを一定方向に搬送される基板３の搬送方向下流側に、該基板３の搬送方向と逆方向にエアを吹き付け、該基板表面に付着する液体を該基板の搬送方向とは逆方向に押し戻すエア吹付装置１が配置されると共に、該エア吹付装置１に近接し、該基板表面との間に所定の間隔をもって、該エア吹付装置１により基板表面に吹付けられたエアの流れを規制して層流状態のまま基板表面を通過させるエア整流部材２０が設けられていることを要旨とするものである。 （もっと読む）

【課題】 設備費用などのコストの削減および環境への負荷の低減を実現でき、さらに、被処理物である基板が導電性であるか絶縁性であるかという電気的特性に関係なく、被処理物を流体で処理することができるウェット処理装置およびウェット処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ウェット処理装置１は、流体１９が通過する孔が設けられた領域１２ａを有するノズル１２と、前記領域１２ａを覆って流体１９のイオン濃度を増加させることができる通水性のある板状の触媒部材１３と、触媒部材１３を覆って孔が設けられた電極部材１４とを有するウェット処理装置であり、電極部材１４の電圧印加部１７とノズル１２の孔が設けられた領域１２ａとの間に電圧を印加しながら、流体１９を被処理物２０に吐出する。そうすることによって、ウェット処理装置１は、活性種を含む流体１９を被処理物２０の表面に供給して、被処理物２０の表面を処理する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル口から噴出するカーテン状の液膜がテーパ状に広がることを抑制し、さらにノズルの液膜噴出点を基板表面に近づけ、かつ基板表面に対して低角度で液膜を噴出することができる基板洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】 搬送される基板に向けて洗浄液を噴出して基板表面を洗浄するための基板洗浄ノズル１は、基板の搬送方向に直交する方向に延びてスリット状に形成されるノズル口であって、互いに略平行になるように形成される２つの第１ノズル口２と第２ノズル口３とを有する。第１および第２ノズル口２，３から洗浄液がそれぞれ噴出されて形成される液膜流れ７ａ，７ｂは、互いに引付け合って一重のカーテン状の液膜流れ７ｃを形成する。 （もっと読む）

【課題】
ニンジンや大根に散水して泥を除去する作物洗浄装置において、少ない水の量で効率よく泥を除去することを課題とする。
【解決手段】
前記散水装置（３２）は散水口（３３ａ）（３３ｂ）を所定のピッチで多数形成する散水パイプ３３を前記移送手段に並行して設けるものであって、前記移送手段（１５）の移送始端部（Ｖ）に散水する散水口（３３ａ）のピッチを他の部分に散水する散水口（３３ｂ）のピッチよりも狭くしたり、移送始端部（Ｖ）に散水する散水口（３３ａ）の大きさを他の部分に散水する散水口（３３ｂ）よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】 安価に製造することができ、また環境負荷を低減し、被処理物の電気的ダメージを低減し、処理能力向上を実現するウェット処理装置を提供する。
【解決手段】 ウェット処理装置２０は、スリット状の吐出口３８を有するノズル２２を含む。このノズル２２には、処理液をラジカル活性化させるラジカル生成部３７が設けられる。ラジカル生成部３７は、吐出口３８を構成する第１電極３９と、第１電極３９の対極として設けられる第２電極４０と、第１および第２電極３９，４０に接し、かつノズル２２内の空間３６にあって吐出口３８から吐出されるべき処理液に接するように設けられるシート状の固体電解質４１とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 基準を設定することにより、絶対的な値としての比重を得ることができるとともに、調整工数を低減できる。
【解決手段】 処理に先立って基準温度の純水を処理槽１に貯留し、この状態で圧力検出部２４が圧力を電圧に変換し、基準電圧して記憶部２６に記憶する。次に、処理槽１に貯留した処理液を処理温度に加熱し、その状態で検出した圧力に応じた電圧を処理電圧とし、この処理電圧と基準電圧とに基づいて濃度算出部２７により処理液の実比重を求める。実比重は、この装置の基準電圧に対する比率を表すので、絶対的な意味をもつことになり、装置間で基準電圧を検出すれば装置間の比較に利用できるとともに、ユーザにとっても理解しやすい絶対的な値にできる。また、各装置で共通の基準を得られ、各装置の調整工数を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄ノズルに目詰まりを生じたとき、目詰まりによる送水圧の上昇を利用して自動的に異物を排除して目詰まりの原因を解消することのできる洗浄ノズルを提供することにある。
【解決手段】 外筒１１の内部を導水路１２とシリンダー室１３とに連通状態で区分し、導水路１２側を送水管ａに接続し、異物排除時に取出口となる噴出口１１ｄをシリンダー１３室の先端側１３ａの側周面の一部に形成し、該噴出口１１ｄの開口面積を可変するピストン１４をシリンダー室１３内に装着し、ピストン先端面１４ａに噴射溝１４ｂを形成し、ピストン先端面に作用する通常時の水圧以上で且つ異常時の上昇水圧以下で常時付勢するバネ１６を配置し、バネ１６を支持する固定盤１７を取り付け、ピストン１４を噴出口１１ｄの最小開口面積の位置で係止するストッパー面１１ｃを導水路１２とシリンダー室１３との境界の内周側に形成した。 （もっと読む）

【課題】基板乾燥に要する時間を短縮することで、基板の生産効率を向上させることが可能な基板洗浄方法および基板洗浄装置を提供すること。
【解決手段】ウエハＷが回転軸Ｒを中心に回転されつつ、上ノズル６４および下ノズル１４より洗浄液としてのふっ酸がウエハＷの両面Ｗａ，Ｗｂに供給され、ふっ酸によるウエハＷの洗浄が行われる。次に、ウエハＷの回転は維持されたまま、上ノズル６４および下ノズル１４よりリンス液としてのＨＦＥのウエハＷの両面Ｗａ，Ｗｂに供給されて、ＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）によるウエハＷのリンスが開始され、ウエハＷ表面のふっ酸が洗い流される。その後、ウエハＷがさらに高速回転され、ウエハＷ表面のリンス液が振り切り乾燥させられる。洗浄液としては、ふっ酸に代えて、蓚酸やクエン酸などの有機酸、またはＴＭＡＨなどの有機アルカリが用いられることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 過冷却液体から氷の微粒子を含む処理液を製造する場合に、汚染物質が混入する心配が無く、生成された氷の微粒子が溶解することもない装置を提供する。
【解決手段】 下部に液体導入口１８および気体噴出口２４を有し上部に氷の微粒子を含む処理液の流出口２８を有する本体部１０を備え、液体導入口１８を通って本体部内１０へ導入された過冷却液体中に気体噴出口２４から気体を噴出して過冷却状態を解除し、生成された氷の微粒子を含む処理液を本体部１０内から流出口２８を通って流出させる。 （もっと読む）

本発明は、雪状の二酸化炭素の噴射を用いて加工物の洗浄、活性化ないしは前処理を行うための装置および方法に関するものであり、この雪状の二酸化炭素の噴射は、加圧された液体CO2と、少なくとも1つの圧縮されたキャリアガスとから生成され、1つの吐出しノズル (14) によって加速され、そのとき二酸化炭素ガスと二酸化炭素粒子とからなる2相の二酸化炭素混合物が、凝集室 (8) の中で雪状の結晶の凝集および圧縮によって生成され、キャリアガス供給用の、二酸化炭素混合物がその周りを循環する中央ジェットパイプ (4) を含む多段の混合室 (10, 11, 12) の中で、キャリアガスに半径方向で混合され、加工物を加工するための高エネルギーの乱流気体の流れが得られる。 （もっと読む）

【課題】 基板の接続端子部に残されている異方性導電接着材の残渣を、短時間でリード電極に傷を付けるおそれなく、良好な作業環境下できれいに除去する。
【解決手段】 基板の接続端子部１１ａに電子部品を電気的・機械的に接続するために用いられた異方性導電接着材１２を接続端子部１１ａから除去するにあたって、異方性導電接着材１２に対して、その異方性導電接着材１２に含まれている絶縁性樹脂のガラス転移温度以上に加熱された水蒸気を吹き付ける。 （もっと読む）