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Fターム[3B201BB36]の内容

液体又は蒸気による洗浄 (28,239) | 流体的清浄手段 (13,243) | 噴射、泡、スプレー (3,939) | ノズルの構造 (973) | 圧力調節 (116)

Fターム[3B201BB36]に分類される特許

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【課題】液滴が衝突する基板の各位置での膜厚のばらつきを低減し、基板の処理品質を向上させること。
【解決手段】複数の噴射口28からそれぞれ基板の上面内の複数の噴射位置に向けて処理液の液滴が噴射される。これと並行して、複数の吐出口35からそれぞれ基板の上面内の複数の着液位置に向けて保護液が吐出される。複数の吐出口35から吐出された保護液は、複数の液膜を形成する。複数の液膜は、それぞれ異なる噴射位置を覆う。処理液の液滴は、保護液の液膜に覆われている噴射位置に向けて噴射される。 (もっと読む)


【課題】離れた位置でも高圧洗浄装置を操作することが可能な操作盤の提供。
【解決手段】フレーム上に搭載され、洗浄水を貯留する水タンクと、水タンクに吸引側が接続され、エンジンにより駆動される水ポンプと、水ポンプの吐出側に一端が接続され、他端が大ホースリールおよび小ホースリールに接続された配管と、大ホースリールおよび小ホースリールにそれぞれの基端が接続されて巻き付けられた大ホースおよび小ホースの先端にそれぞれ噴射器具を備えた高圧洗浄装置の操作盤4であって、水ポンプにより圧送される洗浄水を噴出するホースを大ホースまたは小ホースに切り換える大小ホース切換スイッチ20と、大ホースリールの回転速度調整ハンドル21とを備えた操作盤本体4aと、操作盤本体4aに着脱可能であり、大ホースリールから大ホースを巻取、停止および繰出可能なスイッチ33と、エンジンの増減速スイッチ32とを備えたリモコン装置4bとを含む。 (もっと読む)


【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】内部が洗浄水の圧送通路20とされ、圧送通路20の基端部10a側から圧送する洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部10bから噴出させる洗浄ノズル8であって、圧送通路内には、軸線方向に直交する方向に隣接配置された第1及び第2の絞り部材21A、21Bを備え、第1の絞り部材21Aは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次狭める第1の傾斜面26Aを有し、第2の絞り部材21Bは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次拡げる第2の傾斜面26Bを有し、第1、第2の絞り部材は、第1、第2の傾斜面26A、26Bがその中間部で交叉し、圧送通路が前記交叉する部分の上方において連通し、前記中間部の下流側には、洗浄水の圧送方向に突出し先端に向かって漸次縮径した外形を有する突起100が備えられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 多目的な洗浄に対応するワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本願発明では、ワークWを洗浄するワーク洗浄装置において、洗浄液の噴射部と、複数のプレート4…4と、プレート移動部5とを備え、プレート移動部5は、少なくとも一部のプレート4を移動させて、洗浄するワークの周囲を各プレート4…4にて取り囲むことにより、洗浄液の液溜まりを形成することができ、且つ、移動させたプレート4…4を元の位置に後退させることができるものであり、 噴射部6は、洗浄するワークを、プレート4…4にて取り囲んだ状態と取り囲んでいない状態の何れにおいても、ワークに向け洗浄液を噴射することができるものである。 (もっと読む)


【課題】基板に形成されたレジストを除去する際のレジストの残渣の発生を抑える一方で、基板を洗浄する際の洗浄能力の低下を図る。
【解決手段】被噴射体噴射装置は、回転軸41を有し、回転軸41の回転によって基板を回転させるスピンナー40と、基板に相対する位置であってスピンナー40の回転軸41からずれて配置され、被噴射体を噴射するノズル24及びノズル25と、を備え、スピンナー40の回転軸41の方向に見て、ノズル24の噴射口24Aがスピンナー40の回転軸41が回転する向きと向き合っており、ノズル25の噴射口25Aが第一ノズル24の噴射口24Aの向きとは逆向きである。 (もっと読む)


【課題】より低コストかつ省資源な洗浄を行うために、ガス溶解水を用いた高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄のみにより、超音波洗浄を組み合わせる必要がない程度に十分な洗浄効果をあげる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄流体吐出ノズルから洗浄液又は洗浄液と気体との混合流体を被洗浄物に向けて吐出させて、被洗浄物を高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄する洗浄方法において、流体吐出ノズルに導入される洗浄液に溶存ガスを含ませる。溶存ガスは、所定の圧力が加えられることにより洗浄液に溶解され、溶存ガスの洗浄液への溶解量は、洗浄液の液温における飽和溶解度を第1飽和溶解度とし、洗浄液の液温を保ったまま所定の圧力を加えた状態における飽和溶解度を第2飽和溶解度とした場合に、第2飽和溶解度と第1飽和溶解度との差の10〜70%を第1飽和溶解度に加えたものとする。 (もっと読む)


【課題】 ガラス基板の研磨された端面を迅速且つ適正に洗浄して、ガラス基板の特に表面におけるパーティクル付着の問題に的確に対処する。
【解決手段】 ガラス基板製造工程で、一枚のみのガラス基板3の研磨された端面を洗浄用液体により洗浄するガラス基板洗浄装置であって、洗浄用液体7をガラス基板3の研磨された端面3aの微小凹部内に存する異物を掻き出すために必要な噴射圧力であって且つガラス基板3を損傷させない噴射圧力で該端面3aに対して噴射する液体噴射手段5が、ガラス基板3の端面3aの外方側から、該端面3aが存する辺の長手方向と直交する面内に存し且つ該ガラス基板3の表裏面と平行であって該ガラス基板3の表裏方向の中心を通る直線L、を基準として、その表側と裏側とにおけるそれぞれの角度が20〜70°の範囲で当該端面3aに対して洗浄用液体7を噴射するように構成される。 (もっと読む)


【課題】洗浄音を低減させ、水の消費量を抑え、耐久性を向上させると共に、洗浄能力の高い調理鍋の洗浄装置を提供する。
【解決手段】調理鍋12の内側面を洗浄してから仕上げ濯ぎを行う調理鍋の洗浄装置11であって、調理鍋12を垂直に位置させて保持する保持部13と、洗浄水を貯留する洗浄タンク14と、該洗浄タンク14と配管31を介して連通する洗浄ポンプ15と、該洗浄ポンプ15から洗浄水が所定圧力で送出される洗浄ノズルパイプ16と、該洗浄ノズルパイプ16に設けられ、洗浄水を調理鍋12に向けて噴射する洗浄ノズル17と、電磁弁と、該電磁弁を介して仕上げ濯ぎ水が送出される仕上げ濯ぎノズルパイプと、該仕上げ濯ぎノズルパイプに設けられ、仕上げ濯ぎ水を調理鍋12に向けて噴射する仕上げ濯ぎノズルとを備え、当該洗浄タンク14内の洗浄水が繰り返し循環使用される構成の調理鍋の洗浄装置11である。 (もっと読む)


【課題】基板上に形成されたパターンの破損を回避しつつ、基板に対する洗浄能力を低下させずに洗浄を行うことができる。
【解決手段】基板上を複数の領域に区切り、領域毎にその位置情報とパターン情報を取得する情報取得部11と、位置情報とパターン情報に基づいて、領域毎に基板に薬液を吐出するときの処理条件を決定する条件決定部12と、基板に薬液を吐出する吐出部15と、吐出部15を基板の一端から他端への第1方向に向かって基板に対して相対的に移動する位置制御部13と、位置制御部13により移動される吐出部15が基板上の領域の上方を通過するとき、前記処理条件に従って吐出部15から吐出される薬液の圧力を調整する吐出調整部14とを備える。 (もっと読む)



【課題】液中に微細バブルを効率的に生成し、その微細バブルを含有する液体を被洗浄物の表面に良好な洗浄が期待できるように吹付けることのできる流体噴出ノズルを提供することである。
【解決手段】気体導入口164aと、気体噴出口164bの形成された気体噴出面163とを有するユニット本体160と、ユニット本体160に設けられ、液体が通る液体通路161aの形成された液体導入部161とを有し、ユニット本体160には、気体通路164と、液体導入部161の液体通路161aが結合するキャビティ162とが形成され、ユニット本体160の気体噴出面163は、気体噴出口164bの形成される面を底面部分163aとしたすり鉢状に形成され、ユニット本体160には、気体噴出面163のすり鉢状の周面部分163bで開口し、キャビティ162から続く複数のノズル孔165が形成された構成となる。 (もっと読む)


【課題】 洗浄ノズルの本数が少なくても十分な洗浄効果が得られ、しかも液中洗浄と気中洗浄とが行える洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置1は、被洗浄物10を保持し、回転駆動装置により水平面内で回転可能な基台3と、当該基台3と当該被洗浄物10とを上方から囲む大きさを有し、昇降駆動装置により昇降可能なカップ4と、当該カップ4の側面に固定された洗浄ノズル5とを備え、基台3の回転速度とカップ4の昇降速度のうち少なくともいずれか一方が調整可能である。 (もっと読む)


【課題】残存物の除去を考慮する必要がなく且つ装置の大型化を招くことなく、シリンダボアの内周面に仕上処理を施すことが可能なシリンダボアの内周面処理装置を提供する。
【解決手段】回転制御部55と移動制御部56とは、シリンダボア17の内周面17aから所定距離となる仮想円周面上で噴射ノズル11を移動させ、噴射ノズル11は、シリンダボア17の内周面17aに向けて低圧の流体と高圧の流体とを同時に噴射してキャビテーション気泡を発生させ、シリンダボア17の内周面17aに仕上処理を施す。 (もっと読む)


【課題】洗浄能力が高く、噴射ノズル数の増加に伴う洗浄水流量の確保が容易であり、装置の構造を簡略化して小型・軽量化を図れ、洗浄時に装置の振動が生じにくく、均一で効率的な洗浄ができる回転型高圧水噴射式洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧水を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する複数の高圧水噴射ノズル21を備え、複数の噴射ノズルを円周方向に沿って等間隔にかつ長手方向に沿って複数列設けたノズルホルダー2と、このノズルホルダーと一体回転可能に接続され各噴射ノズル21の高圧水供給路41に連通可能な複数の高圧水導入路45を円周方向に等間隔にかつ長手方向に沿って設けた回転型分配弁4と、ノズルホルダー2および回転型分配弁4の一方向連続回転手段7とを備え、回転型分配弁4から高圧水を複数の高圧水導入路45に順次・間欠的に供給し、ノズルホルダ2ーの複数の噴射ノズル21から高圧水を順番にかつ間欠的に噴射させる。 (もっと読む)



【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行い、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図る。
【解決手段】被洗浄物20を収納する篭18と、前記被洗浄物を収納した篭を収容する貯水ユニット14と、前記篭を収容した貯水ユニットを搬送する搬送手段2と、前記貯水ユニットの搬送方向に沿って複数配置した洗浄水を噴射するノズル10、11と、を備え、前記複数配置したノズルから搬送する貯水ユニットの上方側より被洗浄物に洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を被洗浄物の略全体が浸漬するように貯水ユニット内に貯水しながら貯水ユニット外に排水して、前記被洗浄物の洗浄を貯水ユニットの搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする洗浄方法。 (もっと読む)




【課題】回転噴射ノズル装置1の構成を簡素化し、メンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ハウジング12の内部にノズルホルダ14を回転自在に保持させ、ハウジングの内部の液体流通路36aとノズルホルダの内部の液体流通路26a、14c、14d、14eとをロータリジョイント32により接続する。ノズルホルダの先端に、その回転軸線に対して傾斜させて、前記液体流通路に連通する2つの噴射ノズル40、42を連結し、この噴射ノズルを囲んで、空気取り入れ口44b、46bが形成されたノズルハウジング44、46を固定する。ノズルホルダの先端部の、ハウジングから外方に突出している部分にプーリ52を設け、ベルト58を介してモータ54の駆動を伝達する。噴射ノズルからノズルハウジング内に高圧水を噴射すると、エア取り入れ口からエアが導入されて気液混合流として吐出される。 (もっと読む)


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