【課題】液滴が衝突する基板の各位置での膜厚のばらつきを低減し、基板の処理品質を向上させること。
【解決手段】複数の噴射口２８からそれぞれ基板の上面内の複数の噴射位置に向けて処理液の液滴が噴射される。これと並行して、複数の吐出口３５からそれぞれ基板の上面内の複数の着液位置に向けて保護液が吐出される。複数の吐出口３５から吐出された保護液は、複数の液膜を形成する。複数の液膜は、それぞれ異なる噴射位置を覆う。処理液の液滴は、保護液の液膜に覆われている噴射位置に向けて噴射される。 （もっと読む）

【課題】離れた位置でも高圧洗浄装置を操作することが可能な操作盤の提供。
【解決手段】フレーム上に搭載され、洗浄水を貯留する水タンクと、水タンクに吸引側が接続され、エンジンにより駆動される水ポンプと、水ポンプの吐出側に一端が接続され、他端が大ホースリールおよび小ホースリールに接続された配管と、大ホースリールおよび小ホースリールにそれぞれの基端が接続されて巻き付けられた大ホースおよび小ホースの先端にそれぞれ噴射器具を備えた高圧洗浄装置の操作盤４であって、水ポンプにより圧送される洗浄水を噴出するホースを大ホースまたは小ホースに切り換える大小ホース切換スイッチ２０と、大ホースリールの回転速度調整ハンドル２１とを備えた操作盤本体４ａと、操作盤本体４ａに着脱可能であり、大ホースリールから大ホースを巻取、停止および繰出可能なスイッチ３３と、エンジンの増減速スイッチ３２とを備えたリモコン装置４ｂとを含む。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】内部が洗浄水の圧送通路２０とされ、圧送通路２０の基端部１０ａ側から圧送する洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部１０ｂから噴出させる洗浄ノズル８であって、圧送通路内には、軸線方向に直交する方向に隣接配置された第１及び第２の絞り部材２１Ａ、２１Ｂを備え、第１の絞り部材２１Ａは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次狭める第１の傾斜面２６Ａを有し、第２の絞り部材２１Ｂは、先端開口部側へ向けて圧送通路の断面積を漸次拡げる第２の傾斜面２６Ｂを有し、第１、第２の絞り部材は、第１、第２の傾斜面２６Ａ、２６Ｂがその中間部で交叉し、圧送通路が前記交叉する部分の上方において連通し、前記中間部の下流側には、洗浄水の圧送方向に突出し先端に向かって漸次縮径した外形を有する突起１００が備えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 多目的な洗浄に対応するワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本願発明では、ワークＷを洗浄するワーク洗浄装置において、洗浄液の噴射部と、複数のプレート４…４と、プレート移動部５とを備え、プレート移動部５は、少なくとも一部のプレート４を移動させて、洗浄するワークの周囲を各プレート４…４にて取り囲むことにより、洗浄液の液溜まりを形成することができ、且つ、移動させたプレート４…４を元の位置に後退させることができるものであり、 噴射部６は、洗浄するワークを、プレート４…４にて取り囲んだ状態と取り囲んでいない状態の何れにおいても、ワークに向け洗浄液を噴射することができるものである。 （もっと読む）

【課題】基板に形成されたレジストを除去する際のレジストの残渣の発生を抑える一方で、基板を洗浄する際の洗浄能力の低下を図る。
【解決手段】被噴射体噴射装置は、回転軸４１を有し、回転軸４１の回転によって基板を回転させるスピンナー４０と、基板に相対する位置であってスピンナー４０の回転軸４１からずれて配置され、被噴射体を噴射するノズル２４及びノズル２５と、を備え、スピンナー４０の回転軸４１の方向に見て、ノズル２４の噴射口２４Ａがスピンナー４０の回転軸４１が回転する向きと向き合っており、ノズル２５の噴射口２５Ａが第一ノズル２４の噴射口２４Ａの向きとは逆向きである。 （もっと読む）

【課題】より低コストかつ省資源な洗浄を行うために、ガス溶解水を用いた高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄のみにより、超音波洗浄を組み合わせる必要がない程度に十分な洗浄効果をあげる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄流体吐出ノズルから洗浄液又は洗浄液と気体との混合流体を被洗浄物に向けて吐出させて、被洗浄物を高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄する洗浄方法において、流体吐出ノズルに導入される洗浄液に溶存ガスを含ませる。溶存ガスは、所定の圧力が加えられることにより洗浄液に溶解され、溶存ガスの洗浄液への溶解量は、洗浄液の液温における飽和溶解度を第１飽和溶解度とし、洗浄液の液温を保ったまま所定の圧力を加えた状態における飽和溶解度を第２飽和溶解度とした場合に、第２飽和溶解度と第１飽和溶解度との差の１０〜７０％を第１飽和溶解度に加えたものとする。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板の研磨された端面を迅速且つ適正に洗浄して、ガラス基板の特に表面におけるパーティクル付着の問題に的確に対処する。
【解決手段】 ガラス基板製造工程で、一枚のみのガラス基板３の研磨された端面を洗浄用液体により洗浄するガラス基板洗浄装置であって、洗浄用液体７をガラス基板３の研磨された端面３ａの微小凹部内に存する異物を掻き出すために必要な噴射圧力であって且つガラス基板３を損傷させない噴射圧力で該端面３ａに対して噴射する液体噴射手段５が、ガラス基板３の端面３ａの外方側から、該端面３ａが存する辺の長手方向と直交する面内に存し且つ該ガラス基板３の表裏面と平行であって該ガラス基板３の表裏方向の中心を通る直線Ｌ、を基準として、その表側と裏側とにおけるそれぞれの角度が２０〜７０°の範囲で当該端面３ａに対して洗浄用液体７を噴射するように構成される。 （もっと読む）

【課題】洗浄音を低減させ、水の消費量を抑え、耐久性を向上させると共に、洗浄能力の高い調理鍋の洗浄装置を提供する。
【解決手段】調理鍋１２の内側面を洗浄してから仕上げ濯ぎを行う調理鍋の洗浄装置１１であって、調理鍋１２を垂直に位置させて保持する保持部１３と、洗浄水を貯留する洗浄タンク１４と、該洗浄タンク１４と配管３１を介して連通する洗浄ポンプ１５と、該洗浄ポンプ１５から洗浄水が所定圧力で送出される洗浄ノズルパイプ１６と、該洗浄ノズルパイプ１６に設けられ、洗浄水を調理鍋１２に向けて噴射する洗浄ノズル１７と、電磁弁と、該電磁弁を介して仕上げ濯ぎ水が送出される仕上げ濯ぎノズルパイプと、該仕上げ濯ぎノズルパイプに設けられ、仕上げ濯ぎ水を調理鍋１２に向けて噴射する仕上げ濯ぎノズルとを備え、当該洗浄タンク１４内の洗浄水が繰り返し循環使用される構成の調理鍋の洗浄装置１１である。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成されたパターンの破損を回避しつつ、基板に対する洗浄能力を低下させずに洗浄を行うことができる。
【解決手段】基板上を複数の領域に区切り、領域毎にその位置情報とパターン情報を取得する情報取得部１１と、位置情報とパターン情報に基づいて、領域毎に基板に薬液を吐出するときの処理条件を決定する条件決定部１２と、基板に薬液を吐出する吐出部１５と、吐出部１５を基板の一端から他端への第１方向に向かって基板に対して相対的に移動する位置制御部１３と、位置制御部１３により移動される吐出部１５が基板上の領域の上方を通過するとき、前記処理条件に従って吐出部１５から吐出される薬液の圧力を調整する吐出調整部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 大型のフォトマスク用の遮光膜付き基板の洗浄方法で、付着異物の除去が効果的な洗浄方法を提供する。
【解決手段】 大型のフォトマスク用の遮光膜付き基板の洗浄方法であって、高い圧力をかけてノズルから、純水を微粒径の状態状態で噴射させて、前記遮光膜付き基板の遮光膜にあてる、純水ジェット洗浄処理を施す。 （もっと読む）

【課題】液中に微細バブルを効率的に生成し、その微細バブルを含有する液体を被洗浄物の表面に良好な洗浄が期待できるように吹付けることのできる流体噴出ノズルを提供することである。
【解決手段】気体導入口１６４ａと、気体噴出口１６４ｂの形成された気体噴出面１６３とを有するユニット本体１６０と、ユニット本体１６０に設けられ、液体が通る液体通路１６１ａの形成された液体導入部１６１とを有し、ユニット本体１６０には、気体通路１６４と、液体導入部１６１の液体通路１６１ａが結合するキャビティ１６２とが形成され、ユニット本体１６０の気体噴出面１６３は、気体噴出口１６４ｂの形成される面を底面部分１６３ａとしたすり鉢状に形成され、ユニット本体１６０には、気体噴出面１６３のすり鉢状の周面部分１６３ｂで開口し、キャビティ１６２から続く複数のノズル孔１６５が形成された構成となる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄ノズルの本数が少なくても十分な洗浄効果が得られ、しかも液中洗浄と気中洗浄とが行える洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置１は、被洗浄物１０を保持し、回転駆動装置により水平面内で回転可能な基台３と、当該基台３と当該被洗浄物１０とを上方から囲む大きさを有し、昇降駆動装置により昇降可能なカップ４と、当該カップ４の側面に固定された洗浄ノズル５とを備え、基台３の回転速度とカップ４の昇降速度のうち少なくともいずれか一方が調整可能である。 （もっと読む）

【課題】残存物の除去を考慮する必要がなく且つ装置の大型化を招くことなく、シリンダボアの内周面に仕上処理を施すことが可能なシリンダボアの内周面処理装置を提供する。
【解決手段】回転制御部５５と移動制御部５６とは、シリンダボア１７の内周面１７ａから所定距離となる仮想円周面上で噴射ノズル１１を移動させ、噴射ノズル１１は、シリンダボア１７の内周面１７ａに向けて低圧の流体と高圧の流体とを同時に噴射してキャビテーション気泡を発生させ、シリンダボア１７の内周面１７ａに仕上処理を施す。 （もっと読む）

【課題】洗浄能力が高く、噴射ノズル数の増加に伴う洗浄水流量の確保が容易であり、装置の構造を簡略化して小型・軽量化を図れ、洗浄時に装置の振動が生じにくく、均一で効率的な洗浄ができる回転型高圧水噴射式洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧水を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する複数の高圧水噴射ノズル２１を備え、複数の噴射ノズルを円周方向に沿って等間隔にかつ長手方向に沿って複数列設けたノズルホルダー２と、このノズルホルダーと一体回転可能に接続され各噴射ノズル２１の高圧水供給路４１に連通可能な複数の高圧水導入路４５を円周方向に等間隔にかつ長手方向に沿って設けた回転型分配弁４と、ノズルホルダー２および回転型分配弁４の一方向連続回転手段７とを備え、回転型分配弁４から高圧水を複数の高圧水導入路４５に順次・間欠的に供給し、ノズルホルダ２ーの複数の噴射ノズル２１から高圧水を順番にかつ間欠的に噴射させる。 （もっと読む）

【課題】 外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減し、洗浄での歩留まりを向上させることができる洗浄治具を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、洗浄治具を搬送するための搬送手段と、洗浄ノズル手段の内部流路と接続する複数の洗浄ノズル部と、洗浄ノズル手段が接続された噴出手段と、純水が蓄えられている純水槽と、純水槽から前記噴出手段へ純水を送る高圧ポンプ手段と、を備え、洗浄ノズル手段が円筒形の洗浄ノズル部とこの洗浄ノズル部とつながる内部流路とを備え、洗浄ノズル部が、前記搬送手段と平行となる平行線に対して、３０度〜６０度の角度で傾斜して円筒形の洗浄ノズル部の円筒の中心線が設けられていることを特徴とすることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行い、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図る。
【解決手段】被洗浄物２０を収納する篭１８と、前記被洗浄物を収納した篭を収容する貯水ユニット１４と、前記篭を収容した貯水ユニットを搬送する搬送手段２と、前記貯水ユニットの搬送方向に沿って複数配置した洗浄水を噴射するノズル１０、１１と、を備え、前記複数配置したノズルから搬送する貯水ユニットの上方側より被洗浄物に洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を被洗浄物の略全体が浸漬するように貯水ユニット内に貯水しながら貯水ユニット外に排水して、前記被洗浄物の洗浄を貯水ユニットの搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】小粒子、すなわちおよそ１〜５０μｍの粒子を、１．２ｍｍ以下の厚さを有するガラスシートの表面から効果的に洗い落とす方法を提供する。
【解決手段】コンベヤ４０がガラスシート２を支持し、流体散布器２０のノズルバンク２２ｃ，２２ｄに設けられたノズル２４から、ガラスシート２の主表面６に向けて流体３２が噴出される。流体３２は１０〜８０ｋｇ／ｍ²（９８．０７〜７８４．５Ｐａ）の圧力および１〜２０Ｌ／分の流量でノズル２４に送り込まれ、かつガラスシート２はノズル２４に対し搬送速度４〜６ｍ／分で搬送方向４に移動する。ノズル２４はガラスシート２から１００ｍｍ未満離れて配置される。 （もっと読む）

【課題】除去能力を簡便に向上できると共に、従来より低水量でも同程度以上の除去能力を確保できるウォータージェットガン装着用ノズルヘッドの提供。
【解決手段】ウォータージェットガン装着用ノズルヘッドにおいて、ウォータージェットガンの回転軸に装着されるメインヘッダと、噴射ノズルを有し、メインヘッダの回転中心軸を含む垂直面を挟んだ左右側面の少なくとも一方に取りつけられてメインヘッダに対して回転面に直交する方向に回動可能なサブヘッダとを備え、サブヘッダは、該回動によって噴射ノズルの噴射軸線の前記回転中心軸に対する前記垂直面に沿った傾斜角度を任意に変更可能に固定する角度調整機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】回転噴射ノズル装置１の構成を簡素化し、メンテナンス性を向上させる。
【解決手段】ハウジング１２の内部にノズルホルダ１４を回転自在に保持させ、ハウジングの内部の液体流通路３６ａとノズルホルダの内部の液体流通路２６ａ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅとをロータリジョイント３２により接続する。ノズルホルダの先端に、その回転軸線に対して傾斜させて、前記液体流通路に連通する２つの噴射ノズル４０、４２を連結し、この噴射ノズルを囲んで、空気取り入れ口４４ｂ、４６ｂが形成されたノズルハウジング４４、４６を固定する。ノズルホルダの先端部の、ハウジングから外方に突出している部分にプーリ５２を設け、ベルト５８を介してモータ５４の駆動を伝達する。噴射ノズルからノズルハウジング内に高圧水を噴射すると、エア取り入れ口からエアが導入されて気液混合流として吐出される。 （もっと読む）