【課題】環境汚染を引き起こすことなく、しかも細部まで確実に洗浄し得る洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】液体と窒素とを混合およびせん断して窒素マイクロバブル含有水を作製する第１気体せん断部２１と、窒素マイクロバブル含有水を更にせん断して窒素ナノバブル含有水を作製する第２気体せん断部２２と、窒素ナノバブル含有水に対して磁場をかける第１活性化手段２８と、磁場がかけられた後の窒素ナノバブル含有水を更にせん断する第３気体せん断部４と、第３気体せん断部によって更にせん断された窒素ナノバブル含有水が吐出される槽１と、を有する洗浄装置によって洗浄対象３を洗浄する。 （もっと読む）

【解決手段】 洗浄システム１は、クランクケース２を支持したパレット３を洗浄位置Ｂまで搬送する搬送手段６と、クランクケース２を洗浄する洗浄手段７とを備えている。
パレット３には固定通路１２を設けてあり、その一端にフレキシブルチューブ１３の一端１３Ａが接続されている。フレキシブルチューブ１３の他端１３Ｂは、クランクケース２の油穴４の開口に接続されている。上記パレット３が搬送手段６により洗浄位置Ｂの液槽２２内に浸漬されると、固定通路１２と吐出通路２４とが重合して相互に連通する。その後、ポンプ２３から吐出される洗浄液が吐出通路２４、固定通路１２およびフレキシブルチューブ１３を介してクランクケース２の油穴４に直接給送される。
【効果】 クランクケース２の油穴４を効率的かつ確実に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を軽減でき、メンテナンス性を向上でき、安全性が高く、かつ、低コストで必要十分に金属フープ条を洗浄できる金属フープ条の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】送り出しリール３から連続的に送り出され、所定の工程を経た後に巻き取りリール６に巻き取られる金属フープ条２の洗浄方法において、所定のｐＨ値のアルカリイオン水を生成し、このアルカリイオン水を貯留タンク１０に貯留し、この貯留タンク１０からのアルカリイオン水で前記送り出しリール３と前記巻き取りリール６の間の金属フープ条２を洗浄し、この洗浄に使用したアルカリイオン水から油を分離除去し、この油を分離除去したアルカリイオン水を排水するとき、このアルカリイオン水をｐＨ調整タンク１３内に収容して大気放置することにより排水のｐＨ値を下げるものである。 （もっと読む）

【課題】二流体ノズルの噴霧特性（洗浄性能など）を評価するのに適した評価基準部材及びそれを用いたノズルの性能評価方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板などの基板の表面に、熱可塑性樹脂粒子（スチレン系樹脂粒子を含むラテックス粒子など）を加熱により付着させ、ノズルの噴霧特性を評価するための基準部材とする。加熱温度及び／又は加熱時間を異にして、それぞれ基板に所定の付着力で樹脂粒子が付着した複数の基準セット部材をノズルからのミストの噴霧域に配置し、ノズルからミストを噴霧し、各基板に残存する樹脂粒子数と前記加熱温度及び／又は加熱時間との関係から変曲域を算出し、この変曲域に基づいてノズルの洗浄性能を評価できる。 （もっと読む）

【課題】
複チャンバ型デポジションピン洗浄ステーションを開示する。
【解決手段】
この洗浄ステーションは、複数の洗浄管によって接続された下方チャンバおよび上方ドレーンベースンを含んでいる。洗浄液は下方チャンバに提供されており、洗浄管を通過して上方ドレーンベースンに流入する。洗浄管は洗浄サイクル毎に１本の管を備えた１本のデポジションピンを洗浄するように設計されている。 （もっと読む）

【課題】
ウォータージェットピーニングの強制加振振動数を制御すること。
【解決手段】
ウォータージェットピーニングの強制加振振動数は、噴射距離，噴射流量，ノズル径で
変化することを見出したので、ウォータージェットピーニング施工対象物の固有振動数に
応じて、ウォータージェットピーニングの噴射距離，噴射流量，ノズル径を選定すること
で、共振を防止できる。
【効果】
本発明によれば、ウォータージェットピーニング施工による施工対象物の共振損傷を防
止できる。 （もっと読む）

【課題】隣接する処理室への処理液（ミスト）の侵入をより確実に防止する。
【解決手段】基板処理装置は、基板Ｓに薬液処理を施すウエット処理部２と、その前処理としてドライ洗浄等の処理を基板Ｓに施す前処理部１とを有する。各処理部１，２のチャンバ１０，２０は開口部１１ａを介して連通しており、この開口部１１ａは、前処理部１側に設けられるシャッタ装置１４と、ウエット処理部２側に設けられるシャッタ本体２５とにより開閉可能に設けられている。また、前処理部１のチャンバ１０内には、開口部１１ａの開放中、ウエット処理部２側に向かって開口部１１ａにエアを吐出するエアノズル１９ａ，１９ｂが配備されている。 （もっと読む）

【課題】フッ化水素（ＨＦ）を用いた表面処理における安全性を向上させる。
【解決手段】貯留容器１０に無水または含水の液体フッ化水素１１を貯留する。吸込加圧手段２０によって、容器１０内を大気圧以下または前記被処理物の配置環境の圧力以下にし、気化したＨＦガスを吸い込んで加圧し、被処理物Ｗへ供給して表面処理を行なう。氷を蓄熱剤３２とする温調手段３０によって、貯留容器１０内をＨＦの大気圧下での沸点（約２０℃）より低温に保つ。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板に対し、洗浄液の増加を抑え、超音波による洗浄効果の低下を生じない超音波洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】超音波洗浄のための超音波ノズル１０と、被洗浄物５０を搬送する搬送ローラ４０と、洗浄液６０を供給する洗浄液供給ノズル３０と、洗浄液６０を一旦蓄える洗浄液槽２０とを有し、超音波ノズル１０と洗浄液供給ノズル３０とは、搬送ローラ４０で搬送される被洗浄物５０の上方に位置し、洗浄液槽２０は被洗浄物５０の下方に位置している。 （もっと読む）

【課題】被処理面以外の面に対する処理液の飛散を防止し、被処理面のみに処理液を用いた処理を施すことができる表面処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面処理治具１は、半導体ウエハ５０の被処理面５０ａと対向する対向面１ａに形成された環状の溝１０と、溝１０に連通するように形成された、処理液を回収する貫通孔１１とを有する処理液回収部１３を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板上の不要物を良好に除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】バキュームチャック１１の上方には、ほぼ円錐形状の遮断板１２が配置されている。遮断板１２の下面１２１には、それぞれエッチング液、純水および窒素ガスを吐出する開口１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃが形成されている。エッチング液、純水および窒素ガスは、ウエハＷの回転半径外方に向かうにつれてウエハＷに近づくように傾斜した方向に吐出されて、それぞれウエハＷの表面のエッチング液供給位置Ｐｅ、純水供給位置Ｐｄおよび窒素ガス供給位置Ｐｎに供給される。 （もっと読む）

【課題】水を旋廻させながら噴射することで、キャビテーション現象を解消し、安定した水圧の状態で噴射水を噴射できるうえ、空気を含まないので、所定量の水を短時間で噴射できる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】ジェットポンプＰを連結した配管Ｌの先端から噴射ノズル１を介して高圧水等の流体Ｗを噴射し得るように構成してなる流体噴射装置において、前記噴射ノズル１の内壁面２には、基端３から先端４に向けて螺旋状に形成した螺旋部５を形成し、噴射水Ｗ‘が旋廻しながら前記噴射ノズル１先端４の噴射口４１から噴射し得るように構成する。 （もっと読む）

【課題】作業者が誤ってノズル部分を手で握るという不具合を解消して高い安全性を確保することができる高圧水洗浄装置を提供すること。
【解決手段】先端にノズル１５とランス１４が取り付けられたフレキシブルホース１３を縦型配管１０１の内部に下方から挿入しながら前記ノズル１５から噴射される高圧水によって縦型配管１０１内を洗浄する高圧水洗浄装置において、互いに平行に配されたローラ（２部材）１８間に前記フレキシブルホース１３を通すとともに、該フレキシブルホース１３の先端に取り付けられた前記ランス１４の一部に前記ローラ１８間の隙間よりも大きな外径を有する大径部１４Ａを形成する。又、前記ローラ１８の近傍に飛散防止カバー１２を立設する。 （もっと読む）

【課題】建物の外壁面に、建物の外壁面の洗浄を好適に行うことができる外壁洗浄装置を提供する。
【解決手段】建物Ａの外壁１を洗浄するための外壁洗浄装置１０であって、給水源３に配管接続され、該給水源から供給された供給水に気泡を含有させた泡洗浄液ＷＡを生成する泡洗浄液生成装置１３と、該泡洗浄液生成装置に接続され、前記泡洗浄液を給液する給液管路１１と、前記建物の外壁上方に配管され、前記給液管路に接続された吐水用管路１１ａと、該吐水用管路に形成され、前記泡洗浄液を前記建物の外壁面１ａに沿わせて流下させる吐水口１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 本発明はカセット型ストレーナの清掃作業のために作業者がプール内に潜水せず、大気中での作業を可能とすることでコスト面の問題を解決し、さらに、放射能汚染の問題をもなくして管理面の負担の大幅な削減を図ろうとするものである。
【解決手段】 原子力発電所のサプレッション・チャンバやサプレッション・プール内のカセット型ストレーナの清掃装置であって、カセット型ストレーナの外周にストレーナの端部から挿入可能なリングフレーム１と、リングフレーム１の外周に装着されたタイミングベルト２と、タイミングベルト２の上を走行する可動台４と、可動台４に搭載された確認用のカメラ５及び高圧水洗浄器６と、リングフレーム１に取付けられ、可動台４を駆動するための水中モータ７とからなっている。
そして、リングフレーム１上の可動台４を円周方向移動と軸方向の移動を繰返すことで、カセット型ストレーナの全面を清掃し、かつ角錐形カセットの先端部まで清掃と点検を可能にした。 （もっと読む）

【課題】蒸気清掃装置用の工具、および清掃方法を提供する。
【解決手段】ノズルが設けられる蒸気要素と、前記蒸気要素を介して蒸気を前記ノズルに導くための蒸気ガイドとが設けられた、蒸気清掃装置用の工具であって、前記蒸気要素が、蒸気を前記物体に分配するために、物体の異なる面に沿って延びるように配置される工具。物体の少なくとも一部を清掃する方法であって、蒸気が蒸気要素によって分配され、この蒸気要素が、前記物体の少なくとも２つの異なる面に沿って少なくとも部分的に延び、蒸気を前記物体に分配する方法。 （もっと読む）

【課題】水平に配置した状態で、湿式処理した後の基材の少なくとも１つの表面から液体を効率よく除去する。
【解決手段】基材に供給する液体と相溶性を有しており、該液体と混合した場合に、該液体の表面張力よりも低い表面張力を有する混合物を生じる気体物質を基材の表面に供給することを、回転する基材の表面の少なくとも一部に、液体を供給することと組み合わせて行う。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を必要とせず、表面にムラを生じることなく洗浄することを目的とする。
【解決手段】本発明の洗浄装置１は、基板Ｂの搬送路となる搬送ローラ２の上部に設けられ、基板Ｂに供給する洗浄液の流出口となるスリット開口３４が少なくとも基板Ｂの１辺よりも長く設けられたタンク３０と、スリット開口３４から流出した洗浄液の流れを整えて整流状態にする水平流路３２と、水平流路３２により流れが整えられた洗浄液の整流状態を維持しながら、洗浄液の流下速度を制御する垂直流路３３と、を有している。水平流路３２を流れている間に広がって整流状態となった洗浄液は、整流状態を維持しながら垂直流路３３を流下して所定の速度が与えられることにより、ムラなく洗浄液を基板Ｂに供給することができる。 （もっと読む）

【課題】植物プランクトンを含む懸濁水を濾過する濾過フィルタの懸濁物質付着面を効果的に洗浄することができるフィルタ洗浄用ノズルを提供する。
【解決手段】本発明のフィルタ洗浄用ノズル３０は、濾過フィルタの懸濁物質付着面に沿って配置され、洗浄液が導入される、先端が閉塞した筒状体３１と、筒状体３１に設けられている、洗浄液を濾過フィルタの懸濁物質付着面とは異なる方向に噴射する噴射口３２，３３と、筒状体３１を囲むように湾曲しかつ濾過フィルタの懸濁物質付着面に近づくにつれて筒状体３１の表面から離れる方向に伸びる反射面３４ａ，３５ａを備えている反射板３４，３５とを備えている。反射板３４，３５により、噴射口３２，３３から噴射された洗浄液が濾過フィルタの懸濁物質付着面の方向に放射状に拡散するため、一度で広い面積の懸濁物質付着面の洗浄が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 ニードル２に付着した洗浄液を接触物質等を用いることなく吹き飛ばして乾燥を促進させることができ、次工程における吸入時に洗浄液が試液内に混入してしまうことを防止することができるニードル洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄装置に、ニードル洗浄後の付着洗浄液を飛散し、または乾燥せしめるエアー噴出手段４を組として設けると共に、該エアー噴出手段４を、ニードル２の挿通部４１３が形成されたカバー部材４１と、該挿通部４１３の内周面域に挿入されたニードル２に向けてエアーを噴出するよう設けられた噴出口４１４とで構成する。 （もっと読む）