【課題】基板の下面への処理液による処理時にのみ対向部材を当該基板の下面に近接させることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】下面処理液配管１０の管壁の途中部には、ベローズ部２４が設けられている。下面処理液配管１０内を処理液が流通するときは、その処理液の圧力によってベローズ部２４が伸長状態となり、下面処理液配管１０内を処理液が流通しないときよりも、下面処理液配管１０の配管長が長くなる。下面処理液配管１０の上端部に、対向棒２０が固定されている。処理液の吐出時には、対向棒２０を前記近接位置に位置し、また、処理液を吐出しないときは、対向棒２０を前記離間位置に位置する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で気泡径を微細化した多量の微細気泡を安定して発生できる微細気泡発生装置を提供する。
【解決手段】微細気泡発生装置１は、外筒３と内筒８の二重筒構造である。外筒３は断面が円形をなす内部空間２を有し、外筒３の内部空間２内に偏心した位置から液体を導入して旋回流を生じさせる液体導入部４と、内部空間２に気体を導入する気体導入部５とを備えた。外筒３内に配設した内筒８はその外周面に凹凸部１１を形成した。外筒３の内周面と内筒８の凹凸部１１との間の円筒状の間隙１３を旋回流の流路とし、間隙１３を通して環状の吐出口３ａから微細気泡を吐出する。凹凸部１１は凸部９と凹部１０を中心軸線Ｌ方向に交互に配設する。内筒８の先端は外筒３の先端と面一に形成し、内筒８の先端面に略円錐形状の円錐殻１４を設けた。外筒３の先端に対向して内筒８に凹凸部１１の凸部９を設けた。 （もっと読む）

【課題】ユニットバス内部の天井及び壁を自動的に洗浄する。
【解決手段】ユニットバスの天井６に設けた穴からホース２が垂れ下げてあり、ホース２は、洗浄水を供給する給水源４に接続されている。ホース２の先端は旋回体１に接続されている。旋回体１は、独立気泡の合成樹脂発泡体製であり、花びら状である。ホース２に給水源４の水をポンプＰで圧力を２ＭＰａ以上に上げて吐出させると、ホース２が不規則に運動し、複数の翼片１０の間には空間があるため空間を通る空気流が生じ、各翼片に不均一な空気力が作用し、旋回体１が不規則にホース２を中心に旋回運動をすると共に、ホース２をＵ字状に折り曲げるので、噴出孔３が天井６の方向を向き、噴出水は天井６に向かい、天井を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】噴射する液滴の粒径を一層均一に微小化することにより、基板上に形成された微細素子へのダメージを防止し、微小異物の洗浄が可能となる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄基板８０が載置される基板載置部７０と、微小液滴を生成、加速する気体を供給する気体供給部５０と、微小気泡を発生して微小気泡含有液を生成する微小気泡含有液生成部６０と、微小液滴を噴射する２流体ノズル１とを有する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】基板の表面からパーティクル汚染物質を洗浄するための装置及び方法は、粘弾性材料の層を表面上に塗布することを含む。粘弾性材料は、薄い膜として塗布され、実質的な液体様特性を示す。粘弾性材料を塗布された表面の第１のエリアには、粘弾性材料を塗布された表面の第２のエリアがその加えられる力を実質的に受けないように、外力が加えられる。外力は、粘弾性材料の固体様特性にアクセスするために、粘弾性材料の固有時間よりも短い持続時間にわたって加えられる。固体様特性を示す粘弾性材料は、表面上に存在するパーティクル汚染物質の少なくとも一部と少なくとも部分的に相互作用する。粘弾性材料は、固体様特性を示している間、パーティクル汚染物質の少なくとも一部と併せて表面の第１のエリアの領域から除去される。 （もっと読む）

【課題】洗浄水の不快な臭いを抑えることができる洗浄装置および洗浄水の消臭方法を提供する。
【解決手段】電解水生成手段２が、電解質溶液を電気分解して強酸性水と強アルカリ性水とを生成する。酸性容器３が生成された強酸性水を貯水し、アルカリ容器４が生成された強アルカリ性水を貯水する。ミスト容器５がアルカリ容器４に接続され、アルカリ容器４内の強アルカリ性水の一部を受けて消臭用ミストを生成する。吐出口６ａが、酸性容器３、アルカリ容器４または水道管８に選択的に接続されて、強酸性水、強アルカリ性水または水道水を吐出可能に設けられている。ミスト排出部７が、吐出口６ａから吐出される強酸性水または水道水の周囲に、強酸性水または水道水を包囲するようミスト容器５内の強アルカリ性水の消臭用ミストを噴霧可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】装置設計、コスト、メンテナンス等の負担を軽減し、洗浄工程に要する時間を軽減することが可能な、噴射蒸気により被洗浄物の洗浄を行なうスチームジェット用ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル本体１０は、蒸気室１２と、空気室１４と、蒸気室１２に通じる蒸気入力口１５と蒸気噴射口１６と蒸気排気口１７と、空気室１４に通じる空気入力口１８とを有し、蒸気室内１２には、噴射用バルブ２０と排気用バルブ３０を有し、空気入力口１８から入力される圧縮空気により、噴射用バルブ２０と排気用バルブ３０を制御し、洗浄処理時には、蒸気入力口１５から入力された蒸気を、蒸気噴射口１６から噴出させ、待機時には、蒸気排気口１７から排気させる。 （もっと読む）

【課題】現在市販されているガスふろがま（ＢＦ式２つ穴）は、浴槽のお湯を何度も循環させ追い炊きするタイプであり、その内部は湯あか・湯どろがびっしり付着し雑菌（大腸菌・ブドウ球菌）の温床となっている。
以上を完璧に掃除する用具を提供する。
【解決手段】 このかまの内部は大変せまく、迷路のようにいりくんでいる。
水道ビニールホースの一端に先端をまげ溶接加工したステンレスパイプＡ・Ｂを取り付けかま内部のいかなる箇所にも勢いよく水道水を噴射し清掃する。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部に形成された処理膜を除去する基板処理装置において、基板単位の処理時間を短縮し、処理膜形成のスループットを向上すると共に、歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板Ｇを基板搬送路に沿って平流しに搬送する基板搬送手段２１と、前記基板搬送手段により第一の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第一の除去手段５ｂと、前記第一の除去手段により前記両側縁部の処理膜が除去された基板の搬送方向を、前記第一の搬送方向に直交する第二の搬送方向に転換する搬送方向転換手段７と、前記基板搬送手段により第二の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第二の除去手段６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄すべき配管を効率的に洗浄することが出来る配管洗浄装置及び配管洗浄方法を提供する。
【解決手段】加圧した洗浄液３を供給する洗浄液供給配管４の下流端部に設けられる導入部と、該導入部内径より小さい内径の流路絞り部と、該流路絞り部の下流側に設けられ、該流路絞り部内径より大きい内径の拡径部と、該拡径部の下流側に設けられ、所定の径の孔又は所定の幅のスリットが所定の数だけ設けられた細開口板と、前記流路絞り部か、もしくはその上流側の流路４に連通して設けられ、洗浄液３内にガスを供給するガス供給路10を有する微細気泡発生ノズル６の前記細開口板の下流側に液密的且つ気密的に被洗浄配管11が接続され、洗浄液供給配管４により供給される洗浄液３を微細気泡発生ノズル６を流通させて微細気泡混合洗浄液とし、該微細気泡混合洗浄液を被洗浄配管11内を流通させて該被洗浄配管11内部を洗浄する構成とした。 （もっと読む）

【課題】水負荷の無い空焚き状態、振動素子の異常又は洗浄槽の異常のいずれかを検出することができる超音波発振器を提供する。
【解決手段】本発明に係る超音波発振器は、ｆ１、ｆ２及びｆ３の少なくとも一つの周波数の信号を発生させる信号源９と、前記信号源から発生させた前記信号を整合させる整合回路１７と、整合回路によって整合された信号が入力される振動素子２と、振動素子に入力される信号の電圧値及び電流値を検出する検出回路１０と、検出回路によって検出された電圧値及び電流値を用いて前記信号に対するインピーダンスが演算されるインピーダンス演算器１１と、予め設定されているインピーダンスの異常検出用閾値とインピーダンス演算器によって演算された前記信号に対するインピーダンスを比較することによって洗浄槽又は振動素子の異常を判定する判定部１３と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】噴射された液体が充分に正確な幕状となるようにするノズル装置を提供すること。
【解決手段】液体Ｗが供給される供給パイプ１の下部の長さ方向に液体Ｗが幕状に噴射されるスリット形のノズル口５が設けられている。供給パイプ１とノズル口５との間に、スリット形の補助ノズル口３が設けられている。ノズル口５と補助ノズル口３との間に、補助ノズル口３から噴射された液体Ｗを集合させる液体集合部４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】付着物をより確実に除去することが可能なシリンダーの洗浄方法を提供すること。
【解決手段】表面に電子写真感光体用の堆積膜を形成することが可能なシリンダーを洗浄する方法であって、シリンダー１０１の長軸の周りでシリンダー１０１を回転させながら、洗浄液を、シリンダー１０１の長軸方向の全長ｈに等しい長さのスリット形状の噴射位置から長軸と垂直にかつシリンダー１０１の表面の接線方向に向けて噴射する。 （もっと読む）

【課題】薬液又は再利用水を供給する配管が長く又は配管の経路が複雑な場合も、ノズルの詰まりを防止して、基板の処理を均一に行う。
【解決手段】基板１を移動しながら、制御弁３４を閉じ、制御弁３３を開いて、共通経路３５ａ及び分岐経路３５ｂを介して、ノズル３９を薬液供給源３０に接続して、ノズル３９から基板１の表面へ薬液を吐出する。所定の周期又は所定の枚数の基板の処理毎に、制御弁３３を閉じ、制御弁３４を開いて、共通経路３５ａ及び分岐経路３５ｃを介して、ノズル３９を圧縮気体供給源４０に接続して、ノズル３９から共通経路３５ａ内の薬液及び圧縮気体を吐出する。圧縮気体の圧力により、ノズル３９へつながる共通経路３５ａ内から薬液が排出されて、薬液の結晶や異物の発生が抑制される。また、ノズル３９内に付着した薬液の結晶や異物が、圧縮気体の圧力で除去される。 （もっと読む）

【課題】水蒸気と水とを組み合わせて照射する洗浄方法において、水分子の浸透時間に制限されず対象物を傷めることなく確実に洗浄する方法の提供。
【解決手段】水蒸気供給部Ａ、純水供給部Ｂ、水蒸気流体調整部Ｃ、混相流体照射部Ｄ、ウェハ保持・回転・上下機構部Ｅを有する構成であって、混相流体照射部Ｄの混合部１４４は、照射ノズル１４１の上流側に設置されており、該混合部１４４及び照射ノズル１４１は内壁面が略連続的な曲面を形成するとともに、該混合部１４４内壁面の一部に水導入部を有し、該照射ノズル１４１は、ノズル上流側からノズル出口へと向かうに従って縮径し、更に、最小断面積となるのど部を境に、拡径する末広構造を有し、前記混合部１４４内を流動する水蒸気に水を混合して、前記ノズル１４１の出口から混相流体として噴射することにより、対象物に液滴が衝突する際のキャビテーションを制御する。 （もっと読む）

【課題】各種ホースが接続される洗浄用ガンを用いての人為洗車作業において、洗車作業に要する力や労力が軽減されて、女性や老人等の方々でも容易に疲れること少なく洗浄用ガンを操作できるといった具合に、洗浄作業の省エネ化や簡略化が図れるようにする。
【解決手段】洗浄水を流すための第１ホース５の流路５ａ内に、エアを流すための第２ホース６が装備されて成る二重ホースＨが接続可能なホース接続部ｈと、互いに各別な第１給排部Ｋ１及び第２給排部Ｋ２と、ホース接続部ｈにおける第１ホース５の水流路５ａに連通接続される第１接続部分１２と第１給排部Ｋ１の給排口ｃ１とを連通させる第１連通路ｒ１と、ホース接続部ｈにおける第２ホース６のエア流路６ａに連通接続される第２接続部分１５と第２給排部Ｋ２の給排口ｃ２とを連通させる第２連通路ｒ２と、を有して洗浄具用継手Ａを構成する。 （もっと読む）

【課題】配管を介して供給される冷却流体によって基板を処理する基板処理装置において、低い温度に保たれた冷却流体を安定的に基板に供給する。
【解決手段】二重配管７１により冷却ガスが処理チャンバ１内の冷却ガス吐出ノズル３に供給される。二重配管７１は円環プレート８１に保持され、さらに円環プレート８１がベローズ８２により処理チャンバ１に対して移動自在に連結されている。このため、二重配管７１のうち処理チャンバ１内でノズル３と接続された冷却ガス供給管部７１Ｂは、冷却ガス吐出ノズル３の走査移動に伴い大きく移動変位するが、その移動に伴いプレート８１が移動して冷却ガス吐出ノズル３との距離がほぼ一定値に保たれて冷却ガス供給管部７１Ｂはほぼ直線状態を維持したまま変位する。このように冷却ガス供給管部７１Ｂが湾曲変形するのを抑制し、冷却ガス供給管部７１Ｂの移動により発生する負荷が抑制される。 （もっと読む）

【課題】低コストで、優れた除去効果を有する付着物の除去方法およびこれに用いる付着物の除去装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる付着物の除去方法は、液滴を含む気体を被処理物に対して吹き付ける、ことを特徴とし、本発明にかかる付着物の除去装置、前記付着物の除去方法に使用する除去装置であって、液滴を含む気体を吹き付けるためのノズルと、気体を送り込む配管と、前記配管に液体を合流させる配管と、気体を送り込む配管の途中に設けられ前記液体の合流前の気体および／または合流後の気体を加熱する少なくとも１つの加熱部と、を含む、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 一対の通水用面材を有するケース内に夫々平行に配設された多数本の杆状の器具押さえパッドにより、洗浄するべきマイクロ器具を閉じ込めた状態でジェット洗浄などで洗浄するに用いられる洗浄器において、高さや太さの異なる全てのマイクロ器具を、その高さか太さに応じて器具押さえパッド間に円滑且つ安定良好に閉じ込め、洗浄し得られるようにした洗浄器を提供する。
【解決手段】 通水用多孔面材2bを有する筐体2内に、その対向枠壁間2a,2aに亘り杆状の器具押さえパッド3,3,…の多数本を平行に配設して成るケース1の一対をその各開口面を対向させて互いに開閉自在として成る洗浄器において、両ケース1,1の少なくともいずれか一方のケース1内に配設して成る各器具押さえパッド3をばね6により上下方向に可動自在に支持せしめた。 （もっと読む）

【課題】貯留槽内の処理液の温度を槽内で一様にし、また、基板上に形成された膜の厚みが不均一であったり基板上の部位によって膜質の違いがあったりしても、基板面内における処理速度の不均一を緩和することでき、基板の主面全体における処理品質の均一性を向上させることができる装置を提供する。
【解決手段】処理液２０を貯留する貯留槽１０と、貯留槽の上部開口面を閉塞する覆蓋部２８と、貯留槽に貯留された処理液中で基板Ｗを搬送する搬送ローラ２６と、貯留槽の底部に設けられた供給口２２と、覆蓋部に設けられた補助供給口３０と、供給口および補助供給口に処理液を供給する処理液供給管２４、３２とを備えて、ディップ処理を行う装置を構成した。 （もっと読む）