【課題】 第１溝と第２溝とを有するワークに対して互いに対応した高精度の超仕上げ加工を連続してスムーズになし得るようにする。
【解決手段】 アンギュラの方向が互いに異なる第１溝と第２溝とを有するワークＷを駆動装置に装着し、ワークＷを駆動しながら第１溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第１溝仕上げ工程と、ワークＷを駆動しながら第２溝に超仕上げ砥石を前進して押し当てかつオシレーションしてその後に後退させる第２溝仕上げ工程との間に、砥石ホルダの傾斜角度が第１溝から第２溝に適合するように揺動リンクを角度変更する角度変更工程と、超仕上げ砥石を第１溝から第２溝に対向するようにリンク部材と平行な方向に移動する溝変更工程とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】スピンドルシャフトから切削ブレードに安定した超音波振動を伝達することができるスピンドルシャフト端面修正方法を提供すること。
【解決手段】固定ボルト４１によりスピンドルシャフト２６の端面３４に密着部材２８を介して切削ブレード２７が固定され、スピンドルシャフト２６に設けた超音波振動子４３の超音波振動を切削ブレード２７に伝達させて、被加工物Ｗを切削する切削ユニット４のスピンドルシャフト２６の端面修正方法であって、スピンドルシャフト２６から使用済みの切削ブレード２７と密着部材２８を外して、未使用の切削ブレード２７と研磨シート６５を装着し、固定ボルト４１の締め付けにより研磨シート６５の研磨面６７をスピンドルシャフト２６の端面３４に当接させ、超音波振動により未使用の切削ブレード２７を径方向に振動させて、研磨面６７でスピンドルシャフト２６の端面を研磨するようにした。 （もっと読む）

【課題】
従来の超音波援用研削は、工作物側か工具側に超音波振動を1方向のみに付加するものが多い。その中で、加工面に垂直な方向に付加するものは加工力の低減効果が大きいが、加工面品位の向上における効果がほとんどない。これに対し、加工面上にある超音波振動はその効果が逆となる。そのため、加工面品位のよい加工と加工能率の高い加工を一つの工程で同時に実現するのが困難であった。
【解決手段】
加工物側か工具側に2次元（楕円）超音波振動を付加して、もしくは加工物側と工具側にそれぞれ1次元超音波振動を同時に付加して研削を行う加工法とそれを実現するための装置である。従来の超音波援用研削法と比べ品質のよい加工面と低い加工力を同時に得ることが可能である。 （もっと読む）

【課題】超半球凹面を簡易に形成するための研削装置及び研削方法を提供すること。
【解決手段】揺動機構５７が研削砥石部１０を開口ＯＰよりも内側に配置された揺動中心ＰＣのまわりに回転させるので、被研削物ＷＰにおいて半球凹面以上に深い超半球凹面ＳＳの加工が容易になる。つまり、研削砥石部１０の揺動中心ＰＣは、凹の球面の曲率中心に対応するので、これが開口ＯＰよりも内側に配置されるということは、曲率中心が開口ＯＰよりも内側にある超半球凹面ＳＳを研削加工できることを意味する。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤが長寿命であり、且つ加工精度が高く、信頼性の高いワイヤソー装置を提供すること。
【解決手段】 約１２０μｍの直径のワイヤ２と約１ｍｍの間隔を置いて磁石２０をエポキシ樹脂により接合したランジュバン型超音波振動子１３を位置させる。そして、ワイヤ２を挟んでランジュバン型超音波振動子１３に対向する位置にスラリまたは切削液１１を噴出する供給装置１０を設置する。供給装置１０から噴出されるスラリまたは切削液１１は、ワイヤ２及び磁石２０の表面を点線で示すように貯まる。そして、ランジュバン型超音波振動子１３の超音波振動は磁石２０に伝搬し、確実にスラリまたは切削液１１を伝搬してワイヤ２に到達してワイヤ２を超音波振動させる。 （もっと読む）

【課題】基板のトップエッジ部および／またはボトムエッジ部を正確かつ均一に研磨することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置は、基板Ｗを水平に保持し、該基板Ｗを回転させる回転保持機構３と、基板Ｗの周縁部に近接して配置された少なくとも１つの研磨ヘッド３０とを備える。研磨ヘッド３０は、基板Ｗの周方向に沿って延びる少なくとも１つの突起部５１ａ，５１ｂを有し、研磨ヘッド３０は、突起部５１ａ，５１ｂにより研磨テープ２３の研磨面を基板Ｗの周縁部に対して上方または下方から押圧する。 （もっと読む）

【課題】研削砥石に発生させたい超音波振動の周波数に合わせてホイール基台の径を設定してもホイールマウントを交換することなく装着することができる研削ホイールを提供する。
【解決手段】チャックテーブル上に保持された被加工物を研削する研削手段を構成する回転スピンドルの下端に設けられボルト挿通穴を備えたホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールであって、ホイール基台と、ホイール基台の下面に装着された環状の研削砥石と、ホイール基台における環状の研削砥石の内側に相当する位置に配設された環状の超音波振動手段とからなり、ホイール基台は研削砥石を装着する砥石装着部と超音波振動手段を装着する超音波振動手段装着部とを備えた基台本体と、基台本体の外周部から立設して形成された環状の側壁と、環状の側壁の上端から内方に向けて形成された環状の取り付け部とからなっており、環状の取り付け部におけるホイールマウントに設けられたボルト挿通穴と対応する位置に雌ネジ穴が形成されている。 （もっと読む）

【課題】光デバイス層の表面が凹凸状に形成された光デバイスウエーハを能率的に製造することができる光デバイスウエーハの製造方法を提供する。
【解決手段】サファイア基板の表面に光デバイス層が積層された光デバイスウエーハの製造方法であって、サファイア基板の表面を研削してサファイア基板の表面に微細な凹凸のうねりを形成する凹凸形成工程と、凹凸形成工程が実施されたサファイア基板の表面に光デバイス層を積層して形成する光デバイス層形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子にて発生させた超音波振動を効率良く砥石に付与することができる新規な構成の研磨具を提供すること。
【解決手段】支持板１１、支持板の下方に環状接続部１２を介して支持板と間隔をあけて平行に支持され、下面に環状の砥石１３が装着された環状砥石装着板１４、および砥石装着板に固定された超音波振動子を備え、上記環状接続部１２の上側環状接続面１２ａの内周縁が下側環状接続面１２ｂの外周縁よりも外周側に位置していて、この接続部１２の上側環状接続面１２ａの内周縁と下側環状接続面１２ｂの外周縁との間に、環状空気相含有帯域１６、１７を接続部１２の径方向に多重に形成してなる環状空気相含有領域１８が、この環状空気相含有領域により超音波振動子から発生される超音波振動が砥石装着板と平行な方向に沿って環状接続部１２の環状空気相含有領域１８よりも外周側の領域に伝達されないように設けられていることを特徴とする研磨具。 （もっと読む）

【課題】砥石の偏摩耗が発生し難く、そして研磨抵抗の小さい研磨具を提供する。
【解決手段】 研磨具１は、回転軸８の下端部に回転軸８に対して垂直に固定された支持板１０に、円環状の砥石装着板の２個の接続部３ａ、３ｂを図示しないボルトにより接続する。砥石装着板２は、砥石５を保持するリング状の砥石保持部４と支持板１０と接続するリング状の接続部３ａ、３ｂを持っている。また、砥石装着板２の上面に、リング状の接続部３ａ、３ｂの平均半径に合わせて円環状の超音波振動子７の平均半径を一致させてエポキシ樹脂を用いて接着する。研磨具１は、回転軸８の下端部に、例えば、ボルト９を用いて固定される。また砥石装着板２は、リング状の砥石保持部４を持つ。砥石保持部４の下面には、周溝６が形成されている。この周溝６に砥石５が嵌め合わせられて固定されている。 （もっと読む）

長尺状あるいは平板状の金属製ワークピースを加工するための装置であって、該装置は少なくとも１つの加工ユニットを有し、該加工ユニットによって、回転駆動される加工ベルトが、ワークピースの供給方向に対して斜状にあるいは横断方向に、少なくとも略直線的に案内されて、加工されるべきワークピースの領域を通過することが可能であり、このようにして、ワークピースは加工ベルトの加工面（３ａ）によって加工可能であり、可動担持要素（７）が、加工動作に必要な、加工ベルトの加工面（３ａ）とワークピースとの間の接触に影響を与えるために、加圧手段（８）を用いて加工ベルトの裏面に作用する装置が提案される。本発明によれば、駆動機構が設けられ、該駆動機構によって、担持要素（７）は、担持要素（７）が少なくとも加工ベルトの加工領域において加工ベルトの移動方向と実質的に平行に移動するように、モータ駆動されることができる。
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【課題】超音波振動子等の特別な部品を用いずに研削工具に振動を発生させることが出来る研削装置を提供する。
【解決手段】保持手段２によって保持されたワークＷを研削加工する加工手段３を備え、加工手段３は、ワークに作用する研削工具４と、研削工具４を支持する支持マウント５と、支持マウント５を支持する鉛直方向に延びる回転軸６と、回転軸６を囲繞するハウジング７と、ハウジング７と回転軸６との間に気体を送り込むことによって形成され回転軸６を回転可能に支持する気体軸受け部８とを有する研削装置において、ハウジング７と回転軸６との間であって気体軸受け部８が形成される箇所と異なる箇所に回転軸６を振動させる振動用の気体を送り込む加振用気体流入部１０を備えることにより、加振用気体流入部１０から流入する気体によって回転軸６を振動させ、超音波振動子等の特別な部品を用いずに研削工具４に振動を発生させる。 （もっと読む）

【課題】効果的に加工液の液漏れを防止して、安定した加工作業を行うことができる加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被加工物１００における被加工面１０１の一部を覆って、内部に加工液１５を有する加工室１１を形成するチャンバー容器２０と、チャンバー容器内部に配置され、加工室において加工液を用いて被加工面の加工を行う加工ツール３０と、チャンバー容器の被加工面側に環状に設けられ、被加工面と接触するシール部材２１と、加工室の圧力を、加工室外に対して相対的に減圧する圧力変化装置４０と、加工室を形成した状態のチャンバー容器を、被加工物に対して相対的に移動させる移動手段５０と、チャンバー容器外部に複数配置され、チャンバー容器の複数箇所を、被加工面に対してそれぞれ独立して押圧する押圧手段６０と、を有する加工装置１０とした。 （もっと読む）

本発明は、発電設備や産業設備（２）に組み付けられた閉止水栓（６）の、接続管（８ａ，ｂ）の端部（２６）に配置されたシール座面（２４ａ，ｂ）を加工する方法に関するものであり、次の各ステップを有している。すなわち、ａ）水栓上側部分（１６）とハウジング取付部品（３２）が閉止水栓（６）のハウジング（１０）から取り外され、それによってハウジング開口部（１４）が解放され、ｂ）軸受支持部（５６）を有するクランプ装置（４０）がハウジング開口部（１４）を通して接続管または別の接続管（８ａ，ｂ）へ挿入されて、その内壁（５０）に固定され、ｃ）ハウジング開口部（１４）を通して軸受（６４）を担持する加工機械（５８）がハウジング（１０）の中に挿入されて、軸受（６４）により軸受支持部（５６）に支承され、ｄ）加工機械（５８）によってシール座面（２４ａ，ｂ）で加工ステップ（Ｂ１−４）が実施され、ｅ）加工機械（５８）が軸受支持部（５６）から外されて、ハウジング開口部（１４）を通して取り出され、ｆ）必要に応じてステップｃ）からｅ）が別の工作機械もしくは同じ工作機械（５８）で反復され、ｇ）クランプ装置（４０）が接続管（８ａ，ｂ）から外されて、ハウジング開口部（１４）を通して取り出され、ｈ）水栓上側部分（１６）と取付部品（３２）がハウジング（１０）に取り付けられる。発電設備や産業設備（２）に組み付けられた閉止水栓（６）の、接続管（８ａ，ｂ）の端部（２６）に配置されたシール座面（２４ａ，ｂ）を加工する装置は、閉止水栓（６）のハウジング開口部（１４）を通って接続管または別の接続管（８ａ，ｂ）へ挿入可能であるクランプ装置（４０）を含んでおり、該クランプ装置は軸受支持部（５６）と、接続管（８ａ，ｂ）の内壁（５０）と協働する固定部材（４７）とを含んでおり、シール座面（２４ａ，ｂ）で加工ステップ（Ｂ１−４）を実行するためにハウジング開口部（１４）を通してハウジングへ挿入可能な少なくとも１つの加工機械（５８）を有しており、加工機械（５８）は軸受支持部（５６）で支承可能な軸受（６４）を有している。 （もっと読む）

【課題】砥石の偏摩耗が発生し難い研磨具を提供すること。
【解決手段】支持板１１、支持板の下方に接続部材１２を介して支持され、下面に環状砥石１３が装着された環状砥石装着板１４、および砥石装着板に固定された超音波振動子１５を含む研磨具であって、上記接続部材が、下記式（Ｉ）〜（IV）の関係を満足する形状及び配置の環状接続部１２ａを備えており、砥石が装着された砥石装着板の幅方向の重心が、砥石装着板の上面の環状接続部の外周縁と内周縁との間の領域の下側に位置していることを特徴とする研磨具：（Ｉ）０．１≦Ｗ／Ｌ≦０．５、（II）０．３≦Ｔ／Ｗ≦１０、（III)Ｌ₁／Ｌ≧１／４、（IV）Ｌ₂／≧１／４［但し、Ｗ及びＴは各々環状接続部の幅及び高さ、Ｌは環状砥石装着板の幅、そしてＬ₁は環状砥石装着板の環状接続部の外周縁よりも外周側の部分の幅、そしてＬ₂は環状砥石装着板の環状接続部の内周縁よりも内周側の部分の幅である］。 （もっと読む）

【課題】研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物でも、研磨加工面の全体を安定して精度良く均一に研磨加工することが可能な研磨加工技術を提供する。
【解決手段】円環形状の弾性体６ａからなる加工作用部６ｂを備えた研磨工具６を用い、被加工物１の主軸回転軸Ａと、研磨工具６の工具回転軸Ｂとが、被加工物１の研磨加工面１ａの研磨加工点ｋにおける傾斜角α（ｘ）（接線の傾き）から所定の角度β（ｘ）を減算して得られる研磨角度θとなるように制御し、円環形状の加工作用部６ｂが三日月形状の領域で部分的に研磨加工面１ａに接触するようにして、研磨加工面１ａの一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物１でも、研磨加工面１ａの全体を安定して均一に研磨加工することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】ワークに発傷等を誘発することなく、加工バリ除去効率に優れた加工バリ取り方法及びベルト式の加工バリ取り装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送経路Ｌに沿って搬送される板状のワークＷの表面Ｗａに、ワーク搬送方向と交差する方向に延在する研磨ローラ３２Ａ及びテンションローラ３８Ａに巻き掛けられて循環走行する無端帯状の研磨ベルト４１Ａを、研磨ローラ３２Ａによって摺接させてワークＷの加工バリＷｅを除去する際に、研磨ベルト４１Ａを研磨ローラ３２Ａの周面３２Ａａに沿ってその研磨ローラ３２Ａの軸方向に往復動を付与する。搬送されるワークＷの表面Ｗａ側に突出する加工バリＷｅに対して研磨ベルト４１Ａが当たる方向が逐次多方向に変化し、加工バリＷｅが研磨ベルト４１Ａにより擦られてワークＷから加工バリＷｅが確実に除去される。 （もっと読む）

光学素子を仕上げ処理する方法は、上記光学素子と重なる複数の基準を有する光学マウント内に上記光学素子を取り付けるステップと、上記光学素子と上記複数の基準の為に第１計量マップを取得するステップとを含む。また、この方法は、複数の基準を伴わずに光学素子の為に第２の計量マップを取得するステップと、上記第１計量マップと上記第２計量マップとの間の差異マップを形成するステップと、上記第１計量マップと上記第２計量マップとを整列させるステップとを含む。上記方法は、上記異なるマップを使用して上記第２計量マップ上に数学的基準を配置し、第３計量マップを形成するステップと、上記第３計量マップを上記光学素子に関連付けるステップとを更に含む。さらに、上記方法は、上記光学素子をＭＲＦツール内の取付け具に取り付けるステップと、上記取付け具に上記光学素子を位置決めするステップと、上記複数の基準を除去するステップと、上記光学素子を仕上げ処理するステップと、を含む。
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【課題】被加工物の回転中心部におけるヘソの発生を防ぐ。
【解決手段】非球面形状をもつ被加工物を回転させながら研磨工具を圧接させ、被加工物の回転中心を通る走査線に沿って走査させることで被加工物を研磨加工する研磨加工方法において、まず、ダミーワークを用いて工具の単位時間当りの除去形状を取得する。目標除去形状と、工具の単位除去形状とに基づいて工具の滞留時間分布を計算し、工具の走査速度を制御する。ダミーワークは、被加工物の回転中心部の曲率半径と同じ曲率半径をもつ球状面を有し、この球状面を研磨加工することによって工具の単位時間当たりの除去形状を取得する。 （もっと読む）

【課題】光学素材の外径の大きさに影響されることなく、高精度に加工する。
【解決手段】光学素材１を保持するワーク軸２に対してツール軸１３を傾斜させて配置し、ツール軸１３の回転中心軸Ａの回りに複数の砥石軸１２を介して複数の円筒形砥石１１を同一円周上に等間隔に配列し、個々の砥石軸１２の回転による円筒形砥石１１の自転と、ツール軸１３の回転による複数の円筒形砥石１１の公転とを組合せ、個々の円筒形砥石１１の外陵線部１１ａの包絡線である砥石外側軌跡２３によって光学素材１に凹形状１ａを形成する。光学素材１の外径が大きくても、小径の複数の円筒形砥石１１を、振動等を生じることなく高速回転させて高精度に研削加工できる。 （もっと読む）